JPS5969982A - ガスレ−ザ−装置 - Google Patents
ガスレ−ザ−装置Info
- Publication number
- JPS5969982A JPS5969982A JP18079282A JP18079282A JPS5969982A JP S5969982 A JPS5969982 A JP S5969982A JP 18079282 A JP18079282 A JP 18079282A JP 18079282 A JP18079282 A JP 18079282A JP S5969982 A JPS5969982 A JP S5969982A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge
- gas
- control valve
- discharge tube
- pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、ガスレーザー装置のガス圧力調節機構に関す
る。一般のガスレーザー装置は、放電管内の放電エネル
ギーを利用してレーザー発振を行なうが、レーザー発振
出力を効率良く得るためには最適な放電管内のガス圧力
を必要とする。放電電圧は、放電管内のガス圧力が低け
れば低い程、低くて良いが」二連のように一定のレーザ
ー発振出力を得るためには、放電管内のガス圧力をあま
り低くすることができないので、放電電圧もそれに対応
して低くすることができない。
る。一般のガスレーザー装置は、放電管内の放電エネル
ギーを利用してレーザー発振を行なうが、レーザー発振
出力を効率良く得るためには最適な放電管内のガス圧力
を必要とする。放電電圧は、放電管内のガス圧力が低け
れば低い程、低くて良いが」二連のように一定のレーザ
ー発振出力を得るためには、放電管内のガス圧力をあま
り低くすることができないので、放電電圧もそれに対応
して低くすることができない。
特に、放電開始電圧は、その後の放電維持電圧と比較し
て高いため、従来のガスレーザー装置においては、放電
開始時に放電管に１〜りが電圧製印加するトリが電源と
放電を維持するための電源とを必要としていた。
て高いため、従来のガスレーザー装置においては、放電
開始時に放電管に１〜りが電圧製印加するトリが電源と
放電を維持するための電源とを必要としていた。
しかしながら、放電開始時のみしか使用されることのな
いトリが電源は、ガスレーザー装置の大型化とニス１−
高を招く一因となっている。
いトリが電源は、ガスレーザー装置の大型化とニス１−
高を招く一因となっている。
本発明は、この様な従来装置の欠点に鑑みてなされたも
のであり、放電開始前には、放電管内のガス圧力を低く
保つことによって放電開始を容易に行ない、放電開始後
、放電管内のカス圧力を放電の維持可能な範囲内で上昇
させることにより、所定の出力を得る事ができる１−り
が−電源の不要な小型で低コストのガスレーザー装置を
提倶しようとするものである。
のであり、放電開始前には、放電管内のガス圧力を低く
保つことによって放電開始を容易に行ない、放電開始後
、放電管内のカス圧力を放電の維持可能な範囲内で上昇
させることにより、所定の出力を得る事ができる１−り
が−電源の不要な小型で低コストのガスレーザー装置を
提倶しようとするものである。
以下、本発明の一実施例を図面に従って説明する。第１
図は、本発明の一実施例を示すブロック図であり、同図
において、符号１は、糸路切換弁で、流量コントロール
弁２，３のいず九かの方向ヘガスを流すものである。即
ち、糸路切換弁１は、例えば、三方ボール弁であり、放
電開始スイッチ８を閉じた後で手動で切換える。また、
糸路切換弁ｌは、例えば三方電磁弁であり、通常はガス
ボンベ４内のガスが流量コン１〜ロール弁２側に流れる
ように接続され、放電開始スイッチ８を閉じた後、周知
の制御方式で三方電磁弁を作動させれば、ガスボンベ４
内のガスは、流量コントロール弁３側の糸路に流れるよ
うに切換えられる。
図は、本発明の一実施例を示すブロック図であり、同図
において、符号１は、糸路切換弁で、流量コントロール
弁２，３のいず九かの方向ヘガスを流すものである。即
ち、糸路切換弁１は、例えば、三方ボール弁であり、放
電開始スイッチ８を閉じた後で手動で切換える。また、
糸路切換弁ｌは、例えば三方電磁弁であり、通常はガス
ボンベ４内のガスが流量コン１〜ロール弁２側に流れる
ように接続され、放電開始スイッチ８を閉じた後、周知
の制御方式で三方電磁弁を作動させれば、ガスボンベ４
内のガスは、流量コントロール弁３側の糸路に流れるよ
うに切換えられる。
放電開始前には、ガスボンベ４内のガスは、糸路切換弁
１．流爪コン１−ロール弁２．放電管５．圧力コントロ
ール弁６．排気ポンプ７を経て排気される。この時の放
電管５内のガス圧力は、流量コントロール弁２．圧力コ
ントロール弁６によって決定される。即ち、該流量コン
トロール弁２を調節することによって、放電開始前の放
電管５内のガス圧力をトリガー電源を使用しなくても放
電が行なえる程低い圧力に設定しておけば良い。
１．流爪コン１−ロール弁２．放電管５．圧力コントロ
ール弁６．排気ポンプ７を経て排気される。この時の放
電管５内のガス圧力は、流量コントロール弁２．圧力コ
ントロール弁６によって決定される。即ち、該流量コン
トロール弁２を調節することによって、放電開始前の放
電管５内のガス圧力をトリガー電源を使用しなくても放
電が行なえる程低い圧力に設定しておけば良い。
この状態で放電開始スイッチ８を閉じることにより、電
源９の放電重厚は 放電管５の電極５ａ。
源９の放電重厚は 放電管５の電極５ａ。
５ｂ間に印加されるため、放電管５ば、電１４５ ａ
。
。
５ｂ間にて放電を開始する。
放電開始後には、糸路切換弁１を切換えることによって
、ガスボンへ４内のガスが流量コントロール弁３側に流
れるようにすれば、カスボンへ４内のカスは糸路切換弁
Ｉ、流足コン１ヘロールブ１゛３゜放電管５．圧力コン
１へロール弁６．排気ポンプ７を経て排気される。
、ガスボンへ４内のガスが流量コントロール弁３側に流
れるようにすれば、カスボンへ４内のカスは糸路切換弁
Ｉ、流足コン１ヘロールブ１゛３゜放電管５．圧力コン
１へロール弁６．排気ポンプ７を経て排気される。
この時の°放電管５内のカス圧力は、流星コントロール
弁３．圧力コントロール弁６によって決定されるので、
放電開始後のガス圧力が、放電電圧によって放電の維持
可能な範囲内に才；いて放電開始前のガス圧力より」−
昇するように流量コン１〜ロール弁３を設定しておけば
放電開始は、上述の如く低いガス圧力で容易に行なわｈ
、放電開始後には、ガス圧力は所定のガス圧力に−１−
昇し、旧つ放電管内の放電が持続できるのでレーザー発
振は正常に行なわれる。
弁３．圧力コントロール弁６によって決定されるので、
放電開始後のガス圧力が、放電電圧によって放電の維持
可能な範囲内に才；いて放電開始前のガス圧力より」−
昇するように流量コン１〜ロール弁３を設定しておけば
放電開始は、上述の如く低いガス圧力で容易に行なわｈ
、放電開始後には、ガス圧力は所定のガス圧力に−１−
昇し、旧つ放電管内の放電が持続できるのでレーザー発
振は正常に行なわれる。
尚、上記実施例においては、ガスの供給系路を切り換え
ることによって放電開始前と放電開始後におけるガス圧
力の変更を行なったが、ガスの供給系路を一本化し、流
量コン１−ロール弁又は圧力コ刈−ロール弁の調節操作
によっ、て上記ガス圧力の変更を行なっても良いことは
勿論である。この場合、糸路切換弁］は不要となり、流
星コントロール弁又は圧力コントロール弁は、放電開始
スイッチ８の開閉動作に呼応して手動或は自動制御され
ることになる。
ることによって放電開始前と放電開始後におけるガス圧
力の変更を行なったが、ガスの供給系路を一本化し、流
量コン１−ロール弁又は圧力コ刈−ロール弁の調節操作
によっ、て上記ガス圧力の変更を行なっても良いことは
勿論である。この場合、糸路切換弁］は不要となり、流
星コントロール弁又は圧力コントロール弁は、放電開始
スイッチ８の開閉動作に呼応して手動或は自動制御され
ることになる。
以上述べたように本発明によれば、放電開始後に放電管
内のガス圧力を上昇させるため放電管の放電開始電圧は
低くて済み放電開始のための１−りが電源は不要となる
。また、放電管に印加される電圧も低くなるため、安価
で小型で信頼性の窩いガスレーザー装置の供給が可能と
なる。
内のガス圧力を上昇させるため放電管の放電開始電圧は
低くて済み放電開始のための１−りが電源は不要となる
。また、放電管に印加される電圧も低くなるため、安価
で小型で信頼性の窩いガスレーザー装置の供給が可能と
なる。
第１図は、本発明の一実施例を示すブロック図である。
１：糸路切換弁 ２，３：流量コン１−ロール弁４：ガ
スボンベ ５：放電管 ６：圧力コントロール弁 ７：排気ポンプ８：放電開始
スイッチ ９：電源
スボンベ ５：放電管 ６：圧力コントロール弁 ７：排気ポンプ８：放電開始
スイッチ ９：電源
Claims (1)
- 放電を励起用エネルギーとして用いたガスレーザー装置
において、放電開始前は放電管内のガス圧力を低く保ち
、放電開始後には、放電管内のガス圧力を」二昇させる
ガス圧力調節機構を設けたことを特徴とするガスレーザ
ー装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18079282A JPS5969982A (ja) | 1982-10-15 | 1982-10-15 | ガスレ−ザ−装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18079282A JPS5969982A (ja) | 1982-10-15 | 1982-10-15 | ガスレ−ザ−装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5969982A true JPS5969982A (ja) | 1984-04-20 |
Family
ID=16089407
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18079282A Pending JPS5969982A (ja) | 1982-10-15 | 1982-10-15 | ガスレ−ザ−装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5969982A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60157275A (ja) * | 1984-01-25 | 1985-08-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レ−ザ発振器 |
| JPS60170282A (ja) * | 1984-02-14 | 1985-09-03 | Toshiba Corp | 横流形炭酸ガスレ−ザ装置 |
-
1982
- 1982-10-15 JP JP18079282A patent/JPS5969982A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60157275A (ja) * | 1984-01-25 | 1985-08-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レ−ザ発振器 |
| JPS60170282A (ja) * | 1984-02-14 | 1985-09-03 | Toshiba Corp | 横流形炭酸ガスレ−ザ装置 |
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