JPS6237983A - ガスレ−ザ装置 - Google Patents
ガスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS6237983A JPS6237983A JP17720385A JP17720385A JPS6237983A JP S6237983 A JPS6237983 A JP S6237983A JP 17720385 A JP17720385 A JP 17720385A JP 17720385 A JP17720385 A JP 17720385A JP S6237983 A JPS6237983 A JP S6237983A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge
- power source
- current
- resistor
- stabilizing resistor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の技術分野］
本発明は放電励起ガスレーザ装置に係り、特に放電回路
の改良を図ったガスレーザ装置に関する。
の改良を図ったガスレーザ装置に関する。
［発明の技術的背景］
従来から、ガスレーザ装置としては種々のものが用いら
れているが、その一つとして横流形の放電励起ガスレー
ザ装置が多く採用されてきている。
れているが、その一つとして横流形の放電励起ガスレー
ザ装置が多く採用されてきている。
第２図は、この種の放電励起ガスレーザ装置の電気回路
の一例を示したものである。図において、１は陽極２ａ
および陰極２ｂよりなる放電電極を放電管３内に配設し
てなる放電部であり、光共振器の出力鏡４ａ、全反射鏡
４ｂが備えられている。
の一例を示したものである。図において、１は陽極２ａ
および陰極２ｂよりなる放電電極を放電管３内に配設し
てなる放電部であり、光共振器の出力鏡４ａ、全反射鏡
４ｂが備えられている。
また、５は放電のための電力を供給する高圧電源であり
、そのプラス（＋）側が上記陽極２ａに接続されると共
に、マイナス（−）側が安定抵抗６を介して上記陰極２
ｂ側に接続されて、放電電極へ放電電流が供給されるよ
うになっている。なおこの場合、放電電極はレーザ媒質
中に一様な放電を起こすように複数個に分割して並設さ
れており、その夫々に安定抵抗６が接続されている。第
２図では、陰極２ｂが複数個ある場合について示してい
るが、陽極２ａが複数個ある場合には安定抵抗６が陽極
２ａ側に接続されることになる。
、そのプラス（＋）側が上記陽極２ａに接続されると共
に、マイナス（−）側が安定抵抗６を介して上記陰極２
ｂ側に接続されて、放電電極へ放電電流が供給されるよ
うになっている。なおこの場合、放電電極はレーザ媒質
中に一様な放電を起こすように複数個に分割して並設さ
れており、その夫々に安定抵抗６が接続されている。第
２図では、陰極２ｂが複数個ある場合について示してい
るが、陽極２ａが複数個ある場合には安定抵抗６が陽極
２ａ側に接続されることになる。
かかる放電励起ガスレーザ装置において、高圧電源１か
ら放電電極へ放電電流が供給されるにより陽極２ａ、陰
極２ｂ間の放電によって励起されたレーザ媒質は、適宜
に配置された光共振器の出力鏡４ａ、全反射鏡４ｂの作
用によってレーザ発振を起こし、光共振器の出力鏡４ａ
を通し出力光７として取出されることになる。
ら放電電極へ放電電流が供給されるにより陽極２ａ、陰
極２ｂ間の放電によって励起されたレーザ媒質は、適宜
に配置された光共振器の出力鏡４ａ、全反射鏡４ｂの作
用によってレーザ発振を起こし、光共振器の出力鏡４ａ
を通し出力光７として取出されることになる。
［背理技術の問題点］
しかして、上述したような放電励起ガスレーザ装置にお
けるレーザ出力の制御は、高圧電ｗ！１の出力電圧また
は電流を増減することにより達成することができる。そ
してこの場合、広い範囲に渉ってレーザ出力を変化させ
ることは放電電流を広く変化させることに相当し、全範
囲で安定した放電を得るためには安定抵抗６の抵抗値を
大きくする必要がある。しかしこの結果、安定抵抗６で
の電力損が大きくなるばかりでなく、大きな電源電力が
必要となり非常に不経済である。逆に、安定抵抗６の抵
抗値を小さくすると安定抵抗６での電力損は小さくなる
が、放電電流値の小さい領域で放電を維持することが困
難となって放電中に放電しない陰極が生じ、しかも当該
陰極を再放電させることは非常に難しいという問題があ
る。
けるレーザ出力の制御は、高圧電ｗ！１の出力電圧また
は電流を増減することにより達成することができる。そ
してこの場合、広い範囲に渉ってレーザ出力を変化させ
ることは放電電流を広く変化させることに相当し、全範
囲で安定した放電を得るためには安定抵抗６の抵抗値を
大きくする必要がある。しかしこの結果、安定抵抗６で
の電力損が大きくなるばかりでなく、大きな電源電力が
必要となり非常に不経済である。逆に、安定抵抗６の抵
抗値を小さくすると安定抵抗６での電力損は小さくなる
が、放電電流値の小さい領域で放電を維持することが困
難となって放電中に放電しない陰極が生じ、しかも当該
陰極を再放電させることは非常に難しいという問題があ
る。
［発明の目的］
本発明は上記のような問題を解決するために成されたも
ので、その目的は広い範囲に渉って円滑にレーザ出力を
制御することが可能であると共に、電力損が少なく経済
的にも有利なガスレーザ装置を提供することにある。
ので、その目的は広い範囲に渉って円滑にレーザ出力を
制御することが可能であると共に、電力損が少なく経済
的にも有利なガスレーザ装置を提供することにある。
［発明の概要］
上記目的を達成するために本発明のガスレーザ装置は、
陽極および陰極よりなる放電電極を放電管内に配設して
なる放電部と、主としてレーザ発振のための電力を供給
する第１の電源と、主として放電を維持するための電力
を供給する第２の電源とを備えて構成され、上記第１の
電源を第１の安定抵抗を介して上記放電電極に接続する
と共に、上記第２の電源を上記第１の安定抵抗とは異な
る第２の安定抵抗を介して上記放電電極に接続するよう
にしたことを特徴とする。
陽極および陰極よりなる放電電極を放電管内に配設して
なる放電部と、主としてレーザ発振のための電力を供給
する第１の電源と、主として放電を維持するための電力
を供給する第２の電源とを備えて構成され、上記第１の
電源を第１の安定抵抗を介して上記放電電極に接続する
と共に、上記第２の電源を上記第１の安定抵抗とは異な
る第２の安定抵抗を介して上記放電電極に接続するよう
にしたことを特徴とする。
［発明の実施例］
以下、本発明を図面に示す一実施例について説明する。
第１図は、本発明による放電励起ガスレーザ装置の電気
回路の構成例を示すもので、本例では放電電極として前
述同様に陰極が複数個ある場合について示している。
回路の構成例を示すもので、本例では放電電極として前
述同様に陰極が複数個ある場合について示している。
図において、８は陽極９ａおよび陰極９ｂよりなる放電
電極を放電管１０内に配設してなる放電部であり、光共
振器の出力鏡１１ａ、全反射鏡１１ｂを備えている。ま
た、１２は主としてレーザ発振のための電力を供給する
主放電用電源であり、そのプラス（＋）側を上記陽極９
ａに接続すると共に、マイナス（−）側を安定抵抗（以
下、主放電用バラスト抵抗と称する）１３を介して上記
陰極９ｂ側に接続して、放電電極へ放電電流を供給する
ようにしている。さらに、１４は主として放電を維持す
るための電力を供給するシマー用電源であり、そのプラ
ス（＋）側を上記陽極９ａに接続すると共に、マイナス
（−）側を上記安定抵抗１３とは異なる安定抵抗（以下
、シマー用バラスト抵抗と称する）１５を介して上記陰
極９ｂ側に接続して、同様に放電電極へ放電電流を供給
するようにしている。なお、１６は光共振器の出カ１ｉ
１１ａからの出力光である。
電極を放電管１０内に配設してなる放電部であり、光共
振器の出力鏡１１ａ、全反射鏡１１ｂを備えている。ま
た、１２は主としてレーザ発振のための電力を供給する
主放電用電源であり、そのプラス（＋）側を上記陽極９
ａに接続すると共に、マイナス（−）側を安定抵抗（以
下、主放電用バラスト抵抗と称する）１３を介して上記
陰極９ｂ側に接続して、放電電極へ放電電流を供給する
ようにしている。さらに、１４は主として放電を維持す
るための電力を供給するシマー用電源であり、そのプラ
ス（＋）側を上記陽極９ａに接続すると共に、マイナス
（−）側を上記安定抵抗１３とは異なる安定抵抗（以下
、シマー用バラスト抵抗と称する）１５を介して上記陰
極９ｂ側に接続して、同様に放電電極へ放電電流を供給
するようにしている。なお、１６は光共振器の出カ１ｉ
１１ａからの出力光である。
一方上記で、主放電用バラスト抵抗１３の抵抗値Ｒｍは
大電流領域における電力損を少なくするため比較的小さ
な値に選定し、またシマー用バラスト抵抗１５の抵抗値
Ｒ５は特に小電流領域における放電を維持するため比較
的大きな値に選定している。すなわち、主放電用電源１
２が比較的低電圧大電流動作、またシマー用電源１４が
比較的高電圧小電流動作となるようにしている。
大電流領域における電力損を少なくするため比較的小さ
な値に選定し、またシマー用バラスト抵抗１５の抵抗値
Ｒ５は特に小電流領域における放電を維持するため比較
的大きな値に選定している。すなわち、主放電用電源１
２が比較的低電圧大電流動作、またシマー用電源１４が
比較的高電圧小電流動作となるようにしている。
次に、かかる如く構成した放電励起ガスレーザ装置の運
転を行なうにあたっては、まずシマー用電源１４を回路
に投入することによって小電流の放電を全電極に渉って
確保し、つぎに主放電用電源１２を回路に投入すること
によって正常運転に入る。そしてこの場合、シマー用電
源１４投入時の放電電流ＩＳはレーザ発振スレッショル
ド以下となるように定め、またシマー用バラスト抵抗１
５の抵抗値Ｒｓはシマー用電源１４による放電電流■Ｓ
によって全陰極９ｂが放電維持できるように定めている
ことから、前述した如く放電しない陰極が生じたような
場合には隣接の放電している陰極どの間に放電転移に必
要な電圧が生じることになり、結果的に放電中刃−放電
しない陰極が生じてもただちに当該陰極を再放電させる
ことが可能となる。
転を行なうにあたっては、まずシマー用電源１４を回路
に投入することによって小電流の放電を全電極に渉って
確保し、つぎに主放電用電源１２を回路に投入すること
によって正常運転に入る。そしてこの場合、シマー用電
源１４投入時の放電電流ＩＳはレーザ発振スレッショル
ド以下となるように定め、またシマー用バラスト抵抗１
５の抵抗値Ｒｓはシマー用電源１４による放電電流■Ｓ
によって全陰極９ｂが放電維持できるように定めている
ことから、前述した如く放電しない陰極が生じたような
場合には隣接の放電している陰極どの間に放電転移に必
要な電圧が生じることになり、結果的に放電中刃−放電
しない陰極が生じてもただちに当該陰極を再放電させる
ことが可能となる。
上述したように本実施例の放電励起がスレーザ装置によ
れば、広い範囲に渉って電流が可変となり、小電流領域
での放電をも安定に維持することができる。また、放電
中刃−放電しない陰極が生じてもただちに当該陰極を再
放電させることが可能となる。これにより、広い範囲に
渉って円滑にレーザ出力を制御することが可能となる。
れば、広い範囲に渉って電流が可変となり、小電流領域
での放電をも安定に維持することができる。また、放電
中刃−放電しない陰極が生じてもただちに当該陰極を再
放電させることが可能となる。これにより、広い範囲に
渉って円滑にレーザ出力を制御することが可能となる。
さらに、主放電用バラスト抵抗１３の抵抗値Ｒｍを比較
的小さな値に定めるようにしていることから、大電流領
域における電力損が少なくなり、また電源電力を小さく
して経済的にも有利な信頼性の高い放電励起ガスレーザ
装向とすることができる。
的小さな値に定めるようにしていることから、大電流領
域における電力損が少なくなり、また電源電力を小さく
して経済的にも有利な信頼性の高い放電励起ガスレーザ
装向とすることができる。
尚、上記実施例では放電Ｎ極として陰極が複数個ある場
合を述べたが、これに限らず陽極が複数個ある場合につ
いても同様に本発明を適用することができるものである
。
合を述べたが、これに限らず陽極が複数個ある場合につ
いても同様に本発明を適用することができるものである
。
その他、本発明はその要旨を変更しない範囲で、種々に
変形して実施することができるものである。
変形して実施することができるものである。
［発明の効果］
以上説明したように本発明によれば、陽極および陰極よ
りなる放電電極を放電管内に配設してなる放電部と、主
としてレーザ発振のための電力を供給する第１の電源と
、主として放電を維持するための電力を供給する第２の
電源とを備えて構成され、上記第１の電源を第１の安定
抵抗を介して上記放電電極に接続すると共に、上記第２
のＮ源を上記第１の安定抵抗とは異なる第２の安定抵抗
を介して上記放電電極に接続するようにしたので、広い
範囲に渉って円滑にレーザ出力を制御することが可能で
あると共に、電力損が少なく経済的にも有利な極めて信
頼性の高いガスレーザ装置が提供できる。
りなる放電電極を放電管内に配設してなる放電部と、主
としてレーザ発振のための電力を供給する第１の電源と
、主として放電を維持するための電力を供給する第２の
電源とを備えて構成され、上記第１の電源を第１の安定
抵抗を介して上記放電電極に接続すると共に、上記第２
のＮ源を上記第１の安定抵抗とは異なる第２の安定抵抗
を介して上記放電電極に接続するようにしたので、広い
範囲に渉って円滑にレーザ出力を制御することが可能で
あると共に、電力損が少なく経済的にも有利な極めて信
頼性の高いガスレーザ装置が提供できる。
第１図は本発明の一実施例を示す回路構成図、第２図は
従来の放電励起ガスレーザ装置の電気回雷管、４ａ・・
・光共振器の出力鏡、４ｂ・・・光共振器の全反射鏡、
５・・・高圧電源、６・・・安定抵抗、７・・・出力光
、８・・・放電部、９ａ・・・陽極、９ｂ・・・陰極、
１０・・・放電管、１１ａ・・・光共振器の出力鏡、１
１ｂ・・・光共振器の全反射鏡、１２・・・主放電用電
源、１３・・・主放電用バラスト抵抗、１４・・・シマ
ー用電源、１５・・・シマー用バラスト抵抗、１６・・
・出力光。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第１図
従来の放電励起ガスレーザ装置の電気回雷管、４ａ・・
・光共振器の出力鏡、４ｂ・・・光共振器の全反射鏡、
５・・・高圧電源、６・・・安定抵抗、７・・・出力光
、８・・・放電部、９ａ・・・陽極、９ｂ・・・陰極、
１０・・・放電管、１１ａ・・・光共振器の出力鏡、１
１ｂ・・・光共振器の全反射鏡、１２・・・主放電用電
源、１３・・・主放電用バラスト抵抗、１４・・・シマ
ー用電源、１５・・・シマー用バラスト抵抗、１６・・
・出力光。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第１図
Claims (1)
- 陽極および陰極よりなる放電電極を放電管内に配設して
なる放電部と、主としてレーザ発振のための電力を供給
する第１の電源と、主として放電を維持するための電力
を供給する第２の電源とを備えて構成され、前記第１の
電源を第１の安定抵抗を介して前記放電電極に接続する
と共に、前記第２の電源を前記第１の安定抵抗とは異な
る第２の安定抵抗を介して前記放電電極に接続するよう
にしたことを特徴とするガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17720385A JPS6237983A (ja) | 1985-08-12 | 1985-08-12 | ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17720385A JPS6237983A (ja) | 1985-08-12 | 1985-08-12 | ガスレ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6237983A true JPS6237983A (ja) | 1987-02-18 |
Family
ID=16026975
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17720385A Pending JPS6237983A (ja) | 1985-08-12 | 1985-08-12 | ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6237983A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4955898A (en) * | 1988-10-31 | 1990-09-11 | Matsutani Seisakusho Co., Ltd. | Surgical staple |
-
1985
- 1985-08-12 JP JP17720385A patent/JPS6237983A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4955898A (en) * | 1988-10-31 | 1990-09-11 | Matsutani Seisakusho Co., Ltd. | Surgical staple |
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