JPS59207680A - ガスレ−ザ装置 - Google Patents
ガスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS59207680A JPS59207680A JP8204283A JP8204283A JPS59207680A JP S59207680 A JPS59207680 A JP S59207680A JP 8204283 A JP8204283 A JP 8204283A JP 8204283 A JP8204283 A JP 8204283A JP S59207680 A JPS59207680 A JP S59207680A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- voltage
- cathode
- detected
- minimum value
- discharge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、複数の放電領域を有するガヌレーザ２ ペー
ジ 装置に関するものモある。
ジ 装置に関するものモある。
従来例の構成とその問題点
一般にガヌレーザ装置、例えば炭酸ガスレーザ装置では
放電領域を減圧状態とし、高電圧電源よシ供給される電
力によシ放電を発生させてレーザ出力を得ている。放電
はグロー放電であシ、前記高電圧電源としては放電電流
が増加するに従って放電領域に印加する電圧を低減する
必要がある。
放電領域を減圧状態とし、高電圧電源よシ供給される電
力によシ放電を発生させてレーザ出力を得ている。放電
はグロー放電であシ、前記高電圧電源としては放電電流
が増加するに従って放電領域に印加する電圧を低減する
必要がある。
従来の炭酸ガスレーザ装置に使用されている回路の概略
を第１図に示す。１は放電領域としてのレーザ管で、ア
ノード２とカソード３，４を有している。このカソード
３，４にはバラスト抵抗などのインピーダンス素子６，
６が接続されてお沙、アノード２とアース間に高電圧電
源７が接続されている。そして、放電領域としてのレー
ザ管１の電圧とは高電圧電源７の電圧とインピーダンス
素子５，６の電圧降下の差となる。また前記高電圧電源
７は放電を開始するに十分な電圧が必要であシ、ガヌ圧
力３０ Ｔｏｒｒ 、放電長１炒で３０ＫＶ程度が必要
となる。一方、放電領域としてのレーザ３ ページ 管１の電圧は４０ ｍＡの放電電流で１ｏ数問となシ、
その差電圧２０間程度がインピーダンス素子６．６に印
加されるものである。
を第１図に示す。１は放電領域としてのレーザ管で、ア
ノード２とカソード３，４を有している。このカソード
３，４にはバラスト抵抗などのインピーダンス素子６，
６が接続されてお沙、アノード２とアース間に高電圧電
源７が接続されている。そして、放電領域としてのレー
ザ管１の電圧とは高電圧電源７の電圧とインピーダンス
素子５，６の電圧降下の差となる。また前記高電圧電源
７は放電を開始するに十分な電圧が必要であシ、ガヌ圧
力３０ Ｔｏｒｒ 、放電長１炒で３０ＫＶ程度が必要
となる。一方、放電領域としてのレーザ３ ページ 管１の電圧は４０ ｍＡの放電電流で１ｏ数問となシ、
その差電圧２０間程度がインピーダンス素子６．６に印
加されるものである。
このだめカソード３，４の近傍が高電圧に保持されるこ
とになり、構成部品の耐圧が問題となり、も有している
。しかも電力消費によるインピ〜ダンヌ素子５，６０発
熱は、素子自身の耐電圧性を低下し、劣化を早める欠点
も有する。
とになり、構成部品の耐圧が問題となり、も有している
。しかも電力消費によるインピ〜ダンヌ素子５，６０発
熱は、素子自身の耐電圧性を低下し、劣化を早める欠点
も有する。
発明の目的
本発明は、このような従来の欠点を除去し、しかも複数
の放電領域を有するガフレーザ装置においても放電が安
定したガフレーザ装置を提供することを目的とするもの
である１ 発明の構成 そのだめの構成として、本発明はアノードとカソードを
有する放電領域としてのレーザ管と、そのレーザ管のア
ノードとアーク間に接続された高電圧電源と、前記レー
ザ管のカソードとアーク間に接続されたインピーダンス
素子と、前記レーザ管のカソードに接続されたインピー
ダンス素子の電圧を検出するカソード電圧検出手段と、
そのカソード電圧検出手段により検出した電圧の最小値
を選択する比較手段と、検出したインピーダンス素子の
電圧最小値と比較する基準電圧供給手段とを備え、基準
電圧よシミ圧最小値が大きい場合には高電圧電源キ豐の
電圧を低下させ、基準電圧より電圧最小値が小さい場合
は高電圧電源の電圧を上昇させるものである。
の放電領域を有するガフレーザ装置においても放電が安
定したガフレーザ装置を提供することを目的とするもの
である１ 発明の構成 そのだめの構成として、本発明はアノードとカソードを
有する放電領域としてのレーザ管と、そのレーザ管のア
ノードとアーク間に接続された高電圧電源と、前記レー
ザ管のカソードとアーク間に接続されたインピーダンス
素子と、前記レーザ管のカソードに接続されたインピー
ダンス素子の電圧を検出するカソード電圧検出手段と、
そのカソード電圧検出手段により検出した電圧の最小値
を選択する比較手段と、検出したインピーダンス素子の
電圧最小値と比較する基準電圧供給手段とを備え、基準
電圧よシミ圧最小値が大きい場合には高電圧電源キ豐の
電圧を低下させ、基準電圧より電圧最小値が小さい場合
は高電圧電源の電圧を上昇させるものである。
実施例の説明
以下、本発明の一実施例につき図面の第２図に沿って説
明する。
明する。
１、 ２． ３． ４． ５． ６． ７はそれぞれ従
来と同様の放電領域としてのレーザ管、アノード、カソ
ード、カソード、インピーダンス素子、インピーダンス
素子、高電圧電源である。８，９はそれぞれカソード３
，４に接続されたインピーダンス素子５，６の電圧を検
出するカソード電圧検出手段で、検出した電圧は各カソ
ード電圧の比較手段６ ページ １ｏにより、その最小値を検出する。そして検出された
最小値が基準電圧供給手段１１の規定値より上昇した場
合には高電圧電源７の電圧を降下させ、逆に低下した場
合は上昇させ、カソード電圧が異常に上昇しないよう前
記高電圧電源７の制御をする。この高電圧電源７の制御
は、昇電圧トランス低電圧側に設けられたサイリヌタ等
の制御素子で行う。
来と同様の放電領域としてのレーザ管、アノード、カソ
ード、カソード、インピーダンス素子、インピーダンス
素子、高電圧電源である。８，９はそれぞれカソード３
，４に接続されたインピーダンス素子５，６の電圧を検
出するカソード電圧検出手段で、検出した電圧は各カソ
ード電圧の比較手段６ ページ １ｏにより、その最小値を検出する。そして検出された
最小値が基準電圧供給手段１１の規定値より上昇した場
合には高電圧電源７の電圧を降下させ、逆に低下した場
合は上昇させ、カソード電圧が異常に上昇しないよう前
記高電圧電源７の制御をする。この高電圧電源７の制御
は、昇電圧トランス低電圧側に設けられたサイリヌタ等
の制御素子で行う。
発明の効果
以上のように本発明によれば、カソード電圧の上昇を低
下させることで、カソード近傍の劣化を防止することが
できることやインピーダンス素子の電圧、すなわちカソ
ード電圧の最小値を選んで高電圧電源を制御することに
より、最も高い電圧の放電領域の状態が検出でき、カソ
ード電圧を１蒔以下の最小電圧に制御することができる
。そのため、カソード近傍の部品の耐電圧劣化を一層防
止できるとともに、インピーダンス素子の消費電力を最
小に低減でき、前記インピーダンス素子の劣化を防止で
きることや各放電領域におけるガヌ６ ページ 圧力分布、放電長の差異、電極形状の相違などによる各
放電領域における電圧降下が大巾に異なっても常に放電
維持電圧を確保することができ、安定した放電が得られ
る優れた効果を奏するものである。
下させることで、カソード近傍の劣化を防止することが
できることやインピーダンス素子の電圧、すなわちカソ
ード電圧の最小値を選んで高電圧電源を制御することに
より、最も高い電圧の放電領域の状態が検出でき、カソ
ード電圧を１蒔以下の最小電圧に制御することができる
。そのため、カソード近傍の部品の耐電圧劣化を一層防
止できるとともに、インピーダンス素子の消費電力を最
小に低減でき、前記インピーダンス素子の劣化を防止で
きることや各放電領域におけるガヌ６ ページ 圧力分布、放電長の差異、電極形状の相違などによる各
放電領域における電圧降下が大巾に異なっても常に放電
維持電圧を確保することができ、安定した放電が得られ
る優れた効果を奏するものである。
第１図は従来のガフレーザ装置の回路図、第２図は本発
明の一実施例におけるガフレーザ装置の回路図である。 １・・・・・・レーザ管、２・・・・・・アノード、３
，４・・・・・・カソード、５，６・・・・・・インピ
ーダンスｉ子、７・・・・・・高電圧電源、８，９・・
・・・・カソード電圧検出手段、１０・・・・・・各カ
ソード電圧の比較手段、１１・・・・・・基準電圧供給
手段。
明の一実施例におけるガフレーザ装置の回路図である。 １・・・・・・レーザ管、２・・・・・・アノード、３
，４・・・・・・カソード、５，６・・・・・・インピ
ーダンスｉ子、７・・・・・・高電圧電源、８，９・・
・・・・カソード電圧検出手段、１０・・・・・・各カ
ソード電圧の比較手段、１１・・・・・・基準電圧供給
手段。
Claims (1)
- アノードとカソードを有する放電領域としてのレーザ管
と、そのレーザ管のアノードとアース間に接続された高
電圧電源と、前記レーザ管のカソードとアース間に接続
されたインピーダンス素子と、前記レーザ管のカソード
に接続されたインピーダンス素子の電圧を検出するカソ
ード電圧検出手段と、そのカソード電圧検出手段によシ
検出した電圧の最小値を選択する比較手段と、検出した
インピーダンス素子の電圧最小値と比較する基準電圧供
給手段とを備え、基準電圧よシミ圧最小値が大きい場合
には高電圧電源の電圧を低下させ、基準電圧より電圧最
小値が小さい場合は高電圧電源の電圧を上昇させるガヌ
レーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8204283A JPS59207680A (ja) | 1983-05-10 | 1983-05-10 | ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8204283A JPS59207680A (ja) | 1983-05-10 | 1983-05-10 | ガスレ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59207680A true JPS59207680A (ja) | 1984-11-24 |
Family
ID=13763459
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8204283A Pending JPS59207680A (ja) | 1983-05-10 | 1983-05-10 | ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59207680A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4866722A (en) * | 1988-03-25 | 1989-09-12 | Ushio Denki Kabushiki Kaisha | Metal vapor laser device stabilizing system |
-
1983
- 1983-05-10 JP JP8204283A patent/JPS59207680A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4866722A (en) * | 1988-03-25 | 1989-09-12 | Ushio Denki Kabushiki Kaisha | Metal vapor laser device stabilizing system |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6717375B2 (en) | Discharge lamp lighting device and system comprising it | |
| EP2178349A2 (en) | Solar simulator | |
| RU149862U1 (ru) | Плазменный источник светового излучения | |
| JPS59207680A (ja) | ガスレ−ザ装置 | |
| JP2757066B2 (ja) | Ｃｒｔディスプレイ装置 | |
| JP3157518B2 (ja) | フラツシユランプ駆動電源 | |
| JPH0319717B2 (ja) | ||
| JP2730732B2 (ja) | 高周波発生器 | |
| JPH0755584Y2 (ja) | 蛍光表示管駆動回路 | |
| JPS55150524A (en) | Gas discharged display device | |
| JPS633475B2 (ja) | ||
| JPS6314511B2 (ja) | ||
| JP2757226B2 (ja) | 気体レーザ装置 | |
| US20070262722A1 (en) | Method and Circuit for Supplying a Hot Cathode Fluorescent Lamp | |
| JPH0755585Y2 (ja) | 蛍光表示管駆動回路 | |
| JPH049391B2 (ja) | ||
| JPS586142Y2 (ja) | 電子銃のウエネルト電源 | |
| JPH06142943A (ja) | 溶接装置 | |
| JPS6028155B2 (ja) | レ−ザ発振用励起回路 | |
| JPH04119994U (ja) | 放電灯の制御装置 | |
| JP2002082643A (ja) | Ｃｒｔ表示装置 | |
| JPS6020916B2 (ja) | レ−ザの出力制御方式 | |
| JPS6344692A (ja) | 平面型デイスプレイ用プラズマ電子源の制御方法 | |
| JPS61147591A (ja) | 放電型気体レ−ザ装置 | |
| JPS6179273A (ja) | 放電形ガスレ−ザ−装置 |