JPS63101515A - 静圧空気軸受 - Google Patents
静圧空気軸受Info
- Publication number
- JPS63101515A JPS63101515A JP24498086A JP24498086A JPS63101515A JP S63101515 A JPS63101515 A JP S63101515A JP 24498086 A JP24498086 A JP 24498086A JP 24498086 A JP24498086 A JP 24498086A JP S63101515 A JPS63101515 A JP S63101515A
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- JP
- Japan
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- bearing
- variable member
- variable
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- orifice
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- Pending
Links
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- 230000002706 hydrostatic effect Effects 0.000 claims description 5
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
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- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
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Landscapes
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
この発明は精密測定機、精密加工機、半導体製造装置等
に適用する静圧空気軸受に関する。
に適用する静圧空気軸受に関する。
〈従来の技術〉
従来この種空気軸受としては第３図に示すものがある。
該空気軸受は、軸受パッド４に圧力空気源と接続する空
気導孔４１を穿設し、金属円柱に微細孔５１を穿設した
オリフィス部材５を前記空気導孔４１の先端部材に捻じ
込み、構成している。
気導孔４１を穿設し、金属円柱に微細孔５１を穿設した
オリフィス部材５を前記空気導孔４１の先端部材に捻じ
込み、構成している。
〈発明が解決しようとする問題点〉
ところが、上記従来の空気軸受において、オリフィス孔
径を変えるためには、孔径の異なる複数個のオリフィス
部材５を製作しなければならず、この場合、コスト高と
なるばかりでなく、オリフィス部材５の着脱交換に手間
がかかる。
径を変えるためには、孔径の異なる複数個のオリフィス
部材５を製作しなければならず、この場合、コスト高と
なるばかりでなく、オリフィス部材５の着脱交換に手間
がかかる。
しかも、オリフィス孔径の微調整ができない等６幾多の
問題があった。
問題があった。
そこで、この発明は軸受パッドに穿設した空気導孔の先
端部に、電圧印加により膨張、縮小する可変部材を配備
するだけの簡単な構成により、オリフィス孔径を可変調
整し得、従来の問題を解消した新規な静圧空気軸受を提
供することを目的とする。
端部に、電圧印加により膨張、縮小する可変部材を配備
するだけの簡単な構成により、オリフィス孔径を可変調
整し得、従来の問題を解消した新規な静圧空気軸受を提
供することを目的とする。
く問題点を解決するための手段〉
上記の目的を達成するためのこの発明の詳細な説明する
と、この発明は、軸受案内面と軸受面との間に圧縮空気
を噴出し軸受すきまのフィルム状圧縮空気によって軸受
負荷を支える静圧空気軸受であって、空気導孔の先端部
に電圧印加によって膨張或いは縮小する可変部材を配設
し、この可変部材には、空気導孔と軸受すきまとの間に
連通し内径が拡縮する可変孔を形成してなるものである
。
と、この発明は、軸受案内面と軸受面との間に圧縮空気
を噴出し軸受すきまのフィルム状圧縮空気によって軸受
負荷を支える静圧空気軸受であって、空気導孔の先端部
に電圧印加によって膨張或いは縮小する可変部材を配設
し、この可変部材には、空気導孔と軸受すきまとの間に
連通し内径が拡縮する可変孔を形成してなるものである
。
〈作用〉
上記の構成によると、電圧を印加しないとき、可変孔を
含む可変部材は一定の形態を保ちオリフィスを構成して
いる。オリフィスの調整に際し、可変部材に所定の電圧
を印加するとき、可変部材は軸方向に膨張しこの膨張に
応じて可変孔の内径を縮小し、部品交換を行うことなく
、オリフィス孔径を変更し且つ微調整し得る。
含む可変部材は一定の形態を保ちオリフィスを構成して
いる。オリフィスの調整に際し、可変部材に所定の電圧
を印加するとき、可変部材は軸方向に膨張しこの膨張に
応じて可変孔の内径を縮小し、部品交換を行うことなく
、オリフィス孔径を変更し且つ微調整し得る。
〈実施例〉
第１図は、この発明の一実施例にがかる静圧空気軸受の
縦断面図を示す。
縦断面図を示す。
該静圧空気軸受は、軸受バッド１に対し、軸受面１１に
開口した空気導孔２が穿設され、この空気導孔２は基端
を圧力空気源に接続すると共に、先端部に、電圧印加に
よって膨張或いは縮小するピエゾ素子等の圧電素子また
は電歪素子をもってなす可変部材３を配設し、この可変
部材３の軸心部に、空気導孔２と軸受すきま１２との間
に連通し、内径が拡大、縮小する可変孔３１を形成して
なるものである。上記可変部材３は、ゴム等の弾性材４
を介して空気導孔２に嵌着すると共に、弾性材４および
可変部材３の先端面は、軸受バッド１に嵌着固定した支
持プレート１３に支持されている。支持プレート１３に
は、可変孔３１に対応し且つ可変孔３１の最大の孔径と
等しい噴出孔１４が穿設されている。
開口した空気導孔２が穿設され、この空気導孔２は基端
を圧力空気源に接続すると共に、先端部に、電圧印加に
よって膨張或いは縮小するピエゾ素子等の圧電素子また
は電歪素子をもってなす可変部材３を配設し、この可変
部材３の軸心部に、空気導孔２と軸受すきま１２との間
に連通し、内径が拡大、縮小する可変孔３１を形成して
なるものである。上記可変部材３は、ゴム等の弾性材４
を介して空気導孔２に嵌着すると共に、弾性材４および
可変部材３の先端面は、軸受バッド１に嵌着固定した支
持プレート１３に支持されている。支持プレート１３に
は、可変孔３１に対応し且つ可変孔３１の最大の孔径と
等しい噴出孔１４が穿設されている。
然して、平時は可変孔３１を含む可変部材３は一定の形
態を保ちオリフィスを構成している（第２図Ａ）。
態を保ちオリフィスを構成している（第２図Ａ）。
今、オリフィスを調整するにあたり、可変部材３に所定
の電圧を印加するとき、可変部材３は軸方向に膨張する
。この可変部材３は、ピエゾ素子の体積一定則の原理に
より軸長ｂ２の増大に応じて軸径ａ２可変孔の内径ｄ２
が縮小しく第２図Ｂ）、以てオリフィス部材を変換する
ことなくオリフィス孔径を可変し得、且つ微調整し得る
のである。
の電圧を印加するとき、可変部材３は軸方向に膨張する
。この可変部材３は、ピエゾ素子の体積一定則の原理に
より軸長ｂ２の増大に応じて軸径ａ２可変孔の内径ｄ２
が縮小しく第２図Ｂ）、以てオリフィス部材を変換する
ことなくオリフィス孔径を可変し得、且つ微調整し得る
のである。
〈発明の効果〉
以上の如く、軸受案内面と軸受面との間に圧縮空気を噴
出し軸受すきまのフィルム状圧縮空気によって軸受負荷
を支える静圧空気軸受において、空気導孔の先端部に電
圧印加によって膨張或いは縮小する可変部材を配設し、
この可変部材に、空気導孔と軸受すきまとの間に連通し
内径が拡縮する可変孔を形成したから、従来の空気軸受
の如く、孔径の異なる数種オリフィスを製作することを
要せず、且つ着脱交換の手数を省略できる。しかも、こ
の発明によれば、可変部材に対し、印加電圧を調整する
だけでオリフィス孔径を調整し得、特に、印加電圧の微
調整によりオリフィスの微調整が可能となり、軸支持性
の微調整を実現できる等、構成筒易にして実用上の効果
は顕著である。
出し軸受すきまのフィルム状圧縮空気によって軸受負荷
を支える静圧空気軸受において、空気導孔の先端部に電
圧印加によって膨張或いは縮小する可変部材を配設し、
この可変部材に、空気導孔と軸受すきまとの間に連通し
内径が拡縮する可変孔を形成したから、従来の空気軸受
の如く、孔径の異なる数種オリフィスを製作することを
要せず、且つ着脱交換の手数を省略できる。しかも、こ
の発明によれば、可変部材に対し、印加電圧を調整する
だけでオリフィス孔径を調整し得、特に、印加電圧の微
調整によりオリフィスの微調整が可能となり、軸支持性
の微調整を実現できる等、構成筒易にして実用上の効果
は顕著である。
第１図はこの発明の一実施例にかかる静圧空気軸受の縦
断面図、第２図は可変部材の可変状況を示す図、第３図
は従来例を示す図である。 １・・・・軸受バッド ２・・・・空気導孔３・・
・・可変部材 ３１・・・・可変孔特許 出 願
人 立石電機株式会社 丹３）；￥ｌ ｊｔｊｔＪイｌ−１＊；ｒ、ｔｍｌ
ｔｌ 四−７フフこ７７）へ７／’／／／／／／／（耐２）２
社細祠建５加、模 ’ｔ／Ｌ＃ｐ ｎｏｉ
４Ｅｈ ｐアｆＪａイ表／−・−軸受／ 、！Ｉ
＋／ト ２−・・空逐導ル ３−・−町・変部耐 ３１−−一町麦Ｊし
断面図、第２図は可変部材の可変状況を示す図、第３図
は従来例を示す図である。 １・・・・軸受バッド ２・・・・空気導孔３・・
・・可変部材 ３１・・・・可変孔特許 出 願
人 立石電機株式会社 丹３）；￥ｌ ｊｔｊｔＪイｌ−１＊；ｒ、ｔｍｌ
ｔｌ 四−７フフこ７７）へ７／’／／／／／／／（耐２）２
社細祠建５加、模 ’ｔ／Ｌ＃ｐ ｎｏｉ
４Ｅｈ ｐアｆＪａイ表／−・−軸受／ 、！Ｉ
＋／ト ２−・・空逐導ル ３−・−町・変部耐 ３１−−一町麦Ｊし
Claims (2)
- （１）軸受案内面と軸受面との間に圧縮空気を噴出し軸
受すきまのフィルム状圧縮空気によって軸受負荷を支え
る静圧空気軸受であって、空気導孔の先端部に電圧印加
によって膨張或いは縮小する可変部材を配設し、この可
変部材には、空気導孔と軸受すきまとの間に連通し内径
が拡縮する可変孔を形成して成るを特徴とする静圧空気
軸受。 - （２）可変部材が、電圧印加により膨張縮小変形するピ
エゾ素子等の圧電素子または電歪材料である特許請求の
範囲第１項記載の静圧空気軸受。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24498086A JPS63101515A (ja) | 1986-10-14 | 1986-10-14 | 静圧空気軸受 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24498086A JPS63101515A (ja) | 1986-10-14 | 1986-10-14 | 静圧空気軸受 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63101515A true JPS63101515A (ja) | 1988-05-06 |
Family
ID=17126802
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24498086A Pending JPS63101515A (ja) | 1986-10-14 | 1986-10-14 | 静圧空気軸受 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63101515A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5726548A (en) * | 1992-12-18 | 1998-03-10 | Canon Kabushiki Kaisha | Moving stage apparatus and system using the same |
| JP2005032818A (ja) * | 2003-07-08 | 2005-02-03 | Canon Inc | 静圧軸受、位置決め装置、並びに露光装置 |
| JP2012159103A (ja) * | 2011-01-31 | 2012-08-23 | Kyocera Corp | 静圧スライダ |
| KR20180121371A (ko) * | 2017-04-28 | 2018-11-07 | 캐논 가부시끼가이샤 | 스테이지 장치, 리소그래피 장치, 임프린트 장치, 및 물품의 제조 방법 |
| CN110513395A (zh) * | 2019-08-27 | 2019-11-29 | 武汉科技大学 | 狭缝节流式主动气浮支承装置 |
-
1986
- 1986-10-14 JP JP24498086A patent/JPS63101515A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5726548A (en) * | 1992-12-18 | 1998-03-10 | Canon Kabushiki Kaisha | Moving stage apparatus and system using the same |
| JP2005032818A (ja) * | 2003-07-08 | 2005-02-03 | Canon Inc | 静圧軸受、位置決め装置、並びに露光装置 |
| JP2012159103A (ja) * | 2011-01-31 | 2012-08-23 | Kyocera Corp | 静圧スライダ |
| KR20180121371A (ko) * | 2017-04-28 | 2018-11-07 | 캐논 가부시끼가이샤 | 스테이지 장치, 리소그래피 장치, 임프린트 장치, 및 물품의 제조 방법 |
| JP2018190801A (ja) * | 2017-04-28 | 2018-11-29 | キヤノン株式会社 | ステージ装置、リソグラフィ装置、インプリント装置、及び物品の製造方法 |
| CN110513395A (zh) * | 2019-08-27 | 2019-11-29 | 武汉科技大学 | 狭缝节流式主动气浮支承装置 |
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