JPH06313833A - 光学装置 - Google Patents

光学装置

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JPH06313833A
JPH06313833A JP5104402A JP10440293A JPH06313833A JP H06313833 A JPH06313833 A JP H06313833A JP 5104402 A JP5104402 A JP 5104402A JP 10440293 A JP10440293 A JP 10440293A JP H06313833 A JPH06313833 A JP H06313833A
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JP
Japan
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optical
piezoelectric element
supporting
moving mechanism
optical system
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Application number
JP5104402A
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English (en)
Inventor
Hisataka Komatsu
久高 小松
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
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  • Lens Barrels (AREA)
  • Micromachines (AREA)
  • Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 部品点数が少なくてすみ、マイクロ化に最適
で、微小加工した場合でも精度の確保を図れるととも
に、光学素子を支持する支持部材を直接、直線的に動か
すために、レスポンスが速い、使い勝手のよい光学装置
を提供する。 【構成】 レンズ1と、レンズホルダ2と、これらレン
ズおよびホルダを、鏡筒4内部に移動機構3を介して支
持する。移動機構は、光軸方向に伸縮動作をなす第1の
圧電素子5と、この圧電素子の軸方向両端部に、径方向
に伸縮自在で、その伸縮にともなって鏡筒の内周壁に接
離する第2の圧電素子6および第3の圧電素子7を設
け、第2の圧電素子及び上記第3の圧電素子のうち一方
を収縮動作させるとともに他方を拡径動作させた状態で
上記第1の圧電素子を伸縮動作させるよう制御する制御
回路8を備えた。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、たとえば内視鏡や、配
管内の検査のために用いられるものであって、光学素子
を光軸方向に位置決め調整可能とした光学装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術】たとえば内視鏡や、配管内の検査のため
に用いられる光学装置においては、光学系を、よりコン
パクト化する必要がある。そして、光学素子であるレン
ズを光軸方向に移動させ、調整可能としなければならな
い。
【0003】このような装置におけるレンズ保持機構お
よびレンズ移動機構の一例として、レンズ保持リングで
ある内筒を外筒内部に収納し、これらの間に介在させた
カム機構によって、レンズ移動をなしている。あるい
は、外筒にカム溝が刻み込まれており、その溝の中を内
筒のフォローが動くために、レンズが移動するようにな
っている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】このように従来技術で
は、部品点数が多く、光学装置としてのコンパクト化を
阻害している。またカム溝等の加工にあたって、その精
度を非常に高く保持しなければならず、熟練した技術が
要求されるし、組立作業が複雑であって、面倒であるこ
とは避けられない。
【0005】そして、本来、レンズ系(光学系)が小さ
い、たとえばマイクロ視覚ロボットなどのマイクロマシ
ンでは、複雑な機構は使えないという不具合がある。本
発明はこのような事情によりなされたものであり、その
目的とするところは、部品点数が少なくてすみ、マイク
ロ化に最適で、微小加工した場合でも精度の確保を図れ
るとともに、光学素子を支持する支持部材を直接、直線
的に動かすために、レスポンスが速い、使い勝手のよい
光学装置を提供する。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、第1の発明における光学装置は、光学系素子、この
光学系素子の周端部を支持する支持部材、この支持部材
および光学系素子を、その内部に移動機構を介して支持
する鏡筒とを具備した光学装置において、上記移動機構
は、光軸方向に伸縮動作をなす第1の圧電素子と、この
第1の圧電素子の軸方向両端部にそれぞれ設けられ、径
方向に伸縮自在であり、その伸縮にともなって上記鏡筒
の内周壁に接離する第2の圧電素子および第3の圧電素
子、上記第2の圧電素子及び上記第3の圧電素子のうち
一方を収縮動作させるとともに他方を拡径動作させた状
態で上記第1の圧電素子を伸縮動作させるよう制御する
制御回路とを具備したことを特徴する。
【0007】第2の発明における光学装置は、光学系素
子、支持部材、移動機構、鏡筒を具備し、上記移動機構
は、上記鏡筒の内周壁に、光軸方向に沿って互いに離間
して設けられ、それぞれ径方向に伸縮動作をなす一対の
圧電素子、これら一対の圧電素子に亘って架設され、か
つ上記支持部材を移動自在に支持する傾斜板、上記圧電
素子の、少なくともいずれか一方を伸長もしくは収縮動
作するよう制御し、傾斜板を傾斜させて、光学素子とと
もに支持部材の傾斜方向への移動を発生させる制御回路
を備える。
【0008】第3の発明における光学装置は、光学系素
子、支持部材、移動機構、鏡筒を具備し、上記移動機構
は、上記鏡筒の内周壁に設けられ、その軸方向を光学素
子の光軸方向に沿わせたシリンダ、このシリンダに充填
され、電圧印加にともなって膨張収縮変形する高分子ゲ
ル、上記支持部材に設けられ、その一部は上記シリンダ
内に挿入され、高分子ゲルの膨張収縮変形を受けて支持
部材および光学素子の光軸方向へ移動をなすピストンを
備える。
【0009】第4の発明における光学装置は、光学系素
子、支持部材、移動機構、鏡筒を具備し、上記移動機構
は、上記鏡筒の内周壁に設けられ、光学素子の光軸方向
に沿って大径部と小径部が連設されるとともに、非圧縮
剤を充填するシリンダを有するベース、このベースに設
けられ、軸方向に伸縮する圧電素子、この圧電素子に支
持され、上記シリンダの大径部に挿入される駆動用ピス
トン、上記支持部材を支持するとともに、その一部がシ
リンダの小径部に挿入され、非圧縮剤から圧力を受けて
移動する従動用ピストンを備える。
【0010】
【作用】第1の発明において、第1ないし第3の圧電素
子の種類と、取付け位置、および変形のタイミングを設
定することにより、移動機構が、指定の光軸方向へ、い
わゆる尺取り虫と同様の動作で移動する。
【0011】第2の発明において、少なくともいずれか
一方の圧電素子を伸長もしくは収縮変形させれば、傾斜
板が光軸方向に沿って傾斜し、光学素子を支持する支持
部材が光軸方向に移動する。
【0012】第3の発明において、シリンダに充填した
高分子ゲルに電圧印加して、たとえば膨張変形させる
と、シリンダ内に挿入したピストンが高分子ゲルの膨張
圧を受けて光軸方向へ移動する。ピストンは光学素子を
支持する支持部材に設けられるから、光学素子の移動が
一体に行われる。
【0013】第4の発明において、圧電素子を印加して
駆動用ピストンをシリンダの大径部内で突出移動させる
と、シリンダ内に充填される非圧縮剤が、シリンダ小径
部の従動用ピストンを変位せしめる。大径部と小径部と
の直径の比と同様の比で、駆動用ピストン変位量が従動
用ピストンの拡大した変位量に換る。
【0014】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面にもとづいて
説明する。図1および図2は、第1の発明の一実施例に
該当する。図1において、1は光学系素子であるレンズ
であって、この中心軸を光軸aと言う。
【0015】上記レンズ1の周端部は、支持部材である
ホルダ2で支持される。このホルダ2は、レンズ1の全
周に亘って、レンズ1を支持してもよく、あるいは周方
向に3か所だけ支持してもよい。
【0016】上記ホルダ2は、後述する移動機構3に取
着固定され、また移動機構3はホルダ2およびレンズ1
とともに鏡筒4内に収容される。上記移動機構3は、上
記ホルダ2を直接取付け固定する、光軸a方向に伸縮動
作をなす第1の圧電素子5と、この第1の圧電素子5の
軸方向両端部にそれぞれ設けられ、径方向に伸縮動作を
なす第2の圧電素子6および第3の圧電素子7とから構
成される。
【0017】上記第1の圧電素子5は、シリンダ状であ
ってもよく、あるいは周方向に3か所だけあるホルダ2
に合わせて、周方向に3か所だけ備えてもよい。要は、
電圧を印加した状態で光軸a方向に伸縮動作をなせばよ
い。
【0018】上記第2の圧電素子6および第3の圧電素
子7とも、互いにリング状でなければならない。その外
径は上記鏡筒4内周壁に嵌合可能な寸法であり、その内
径は互いの間に第1の圧電素子5を介在可能な寸法とし
なければならない。
【0019】そして、第2,第3の圧電素子6,7に電
圧を印加した状態で、径方向に拡大変形(拡径)させ、
鏡筒4の内周壁に当接しなければならないし、この状態
で光軸a方向に負荷がかかっても、鏡筒4の内周壁から
脱落することのない、強い当接力が必要である。
【0020】各圧電素子5ないし7とも、制御回路8に
電気的に接続され、以下に述べるような制御がなされ
る。図2は、第1ないし第3圧電素子5ないし7に対す
る、電圧印加パターンを示す。この電圧印加パターンに
基づいて、移動機構3の作用を説明する。
【0021】第1の圧電素子5にHighの電圧印加を
なし、これを軸方向に伸長動作させる。このとき同時
に、第2の圧電素子6に対する電圧印加をLowとし
て、これを径方向に収縮動作させる。したがって、この
圧電素子6の外周面と鏡筒4内周壁との間に、僅かな隙
間ができる。
【0022】さらに同時に、第3の圧電素子7に対する
電圧印加をHighとして、これを拡径動作させる。し
たがって、この圧電素子7外周面は鏡筒4内周壁に強固
に当接し、チャックをなす。
【0023】結局、上記第1の圧電素子5は下部側の第
3の圧電素子7を足場(チャック)として、上部側の第
2の圧電素子6を載設支持した状態で、光軸aに沿うと
ともに図における上部側へ伸長することとなる。
【0024】次のタイミングでは、逆の電圧印加をな
す。すなわち、第1の圧電素子5に対する電圧印加をL
owとして、これを軸方向に収縮動作させる。このとき
同時に、第2の圧電素子6に対してHighの電圧印加
をなし、これを拡径動作させる。したがって、この圧電
素子6外周面は鏡筒4内周壁に強固な状態で当接し、チ
ャックをなす。
【0025】さらに同時に、第3の圧電素子7に対して
Lowの電圧印加して、これを径方向に収縮動作させ
る。したがって、この圧電素子7外周面と鏡筒4内周壁
との間に僅かな隙間ができる。
【0026】こんどは、第1の圧電素子5は、上部側第
2の圧電素子6を鏡筒4に固定させ、下部側第3の圧電
素子7を吊持した状態で引き上げる。第1の圧電素子5
は、光軸aに沿うとともに収縮する。
【0027】以下は、この繰り返しであり、移動機構3
はいわゆる尺取り虫の形態で、レンズ1を保持したホル
ダ2を、図において上部側に、徐々に移動させ、レンズ
1の光軸a上の位置の調整をなす。
【0028】なお、基本的には、各圧電素子5ないし7
に対する電圧印加を、一斉に逆の状態に変えるようにな
っているが、特に、第2,第3の圧電素子6,7を完全
に一致したタイミングで変更すると、瞬間的であるが、
互いにLowとなって鏡筒4に対するチャックがなくな
るときがある。
【0029】そのままでは、移動機構3の位置ずれとな
ってしまうので、Highの電圧印加をなしている方の
圧電素子6もしくは7に対し、Lowに変わるタイミン
グをΔtだけ遅らせて、必ず一方の圧電素子6もしくは
7のチャックをなすとよい。
【0030】図における、下部側への移動は、第2の圧
電素子6と第3の圧電素子7の電圧印加パターンを逆に
変更するだけで可能である。いずれにしても、比較的簡
素な構成で、組立作業が容易であり、しかも高精度の保
持が不要でありながら、レンズ1の光軸a上の位置の調
整が可能となる。
【0031】図3ないし図6は、第2の発明の一実施例
を示す。図において、1は光学系素子であるレンズ、a
は光軸である。上記レンズ1の周端部は、支持部材であ
るホルダ10で支持される。このホルダ10は、レンズ
1の周端部に沿って掛合する支持部11と、この支持部
11に連結される振動子12および、この振動子12の
端部に一体に設けられる半球状の摩擦部材、たとえばゴ
ム材13からなる。
【0032】上記振動子12およびゴム材13は一体化
され、支持部11の周方向に沿って少なくとも3か所は
設けなければならない。各振動子12とゴム材13に対
向して、移動機構14が設けられる。
【0033】この移動機構14は、上記支持部材である
ゴム材13と当接する位置にあってこれらと同数であ
り、光軸a方向に沿う帯板状の傾斜板15と、この傾斜
板15の両端部をそれぞれ鏡筒4の内周壁に対して支持
し、かつ光軸a方向に離間して設けられる第1の圧電素
子16および第2の圧電素子17と、各圧電素子16,
17および振動子12に電気的に接続して、これらの電
圧印加制御をなす制御回路18とから構成される。
【0034】なお、各圧電素子16,17は、弾性部材
19を介して鏡筒4内周壁に取付け支持するとよい。し
かして、例えば図5に示すように、第1の圧電素子16
はそのままの状態を保持し、第2の圧電素子17を収縮
動作させる。同時に、振動子12を振動動作させる。
【0035】上記傾斜板15の第2の圧電素子17側端
部は僅か(Δh)に降下して、この方向に傾斜する。全
ての傾斜板15が一斉に、かつ同方向に傾斜するのであ
るから、鏡筒4を基準にしてみれば、傾斜板15相互は
拡径する方向に移動して、互いにテーパ状になる。
【0036】振動子12は振動しているところから、ゴ
ム材13が弾性変形を繰返しながら、支持部材10全体
がレンズ1を支持したまま、光軸a方向へ僅かづつずれ
る。すなわち、レンズ1の光軸a方向への移動がなされ
る。
【0037】必要量の移動が完了したタイミングをとっ
て、図6に示すように、第2の圧電素子17に対する電
圧印加を変えて、元の状態に復帰させる。傾斜板15
は、鏡筒4と平行な状態に戻り、支持部材10の移動が
停止する。
【0038】さらに、同方向へレンズ1を移動させたい
場合は、上述のような制御をなせばよい。あるいは、レ
ンズ1の移動量が多過ぎて、逆方向へ移動復帰が必要な
場合には、第1の圧電素子16を収縮変形させるか、あ
るいは第2の圧電素子17を伸長変形させることによ
り、可能である。
【0039】なお、上述の説明では、第2の圧電素子1
7を収縮変形させるよう説明したが、これに代えて、第
1の圧電素子16を伸長変形させても、同様のレンズ移
動作用が得られる。
【0040】いずれにしても、比較的簡素な構成で、組
立作業が容易であり、しかも高精度の保持が不要であり
ながら、レンズ1の光軸a上の位置調整が可能である。
図7は、第3の発明の一実施例を示す。
【0041】図において、1は光学系素子であるレン
ズ、aは光軸である。上記レンズ1の周端部は、支持部
材であるホルダ20で支持される。このホルダ20は、
レンズ1の全周に亘って支持しても、あるいは周方向に
3か所だけ支持してもよい。
【0042】上記ホルダ20は、後述する移動機構21
に取着固定され、また移動機構21はホルダ20および
レンズ1とともに鏡筒4内に収容される。上記移動機構
21は、上記鏡筒4内周壁に設けられ、その中心軸bを
レンズ1の光軸a方向と並行に沿わせたシリンダ22
と、このシリンダ22に充填され、電圧印加にともなっ
て膨張収縮変形する高分子ゲル23と、上記ホルダ20
に設けられ、その一部は上記シリンダ22内に挿入され
るピストン24とから構成される。
【0043】ここでは、移動機構21が軸方向に離間し
て一対設けられ、後述するように、互いにプッシュ:プ
ル(差動型)の関係になるよう調整されている。各移動
機構21におけるシリンダ22の開口端は互いに対向し
ており、ホルダ20の上下両面に設けられたピストン2
4がそれぞれ挿入される。
【0044】しかして、図において、上部側の高分子ゲ
ル23を膨張変形する電圧印加をなし、下部側の高分子
ゲル23を収縮変形する電圧印加をなす。上部側のピス
トン24は高分子ゲル23に押圧され下部側に後退する
一方、下部側のピストン24は高分子ゲル23を押圧し
て下部側に移動する。
【0045】このように、高分子ゲル23の変形量が、
そのままレンズ1の光軸a方向への移動となる。上部側
の移動機構21がプッシュすれば、下部側の移動機構2
1がプルの状態となり、その範囲でレンズ1が移動す
る。
【0046】上記高分子ゲル23の膨張変形から収縮変
形へ、もしくはその逆の変化は、特性上、ヒステリシス
の発生が強く、制御が困難であるが、上述のように一対
の移動機構21をプッシュ:プル(差動型)として備え
ることにより、制御の容易化が図れることとなる。
【0047】なお、レンズ1の移動量は、高分子ゲル2
3に対する電圧印加の高低により調整可能であり、かつ
レンズ1の移動速度は電圧の時間変化(時間微分)によ
り調整可能である。
【0048】やはり、比較的簡素な構成で、組立作業が
容易であり、しかも高精度の保持が不要でありながら、
レンズ1の光軸a上の位置の微調整が可能となる。図8
は、第4の発明の一実施例を示す。
【0049】図において、1は光学系素子であるレン
ズ、aは光軸である。上記レンズ1の周端部は、支持部
材であるホルダ30で支持される。このホルダ30は、
レンズ1の全周に亘って支持してもよく、あるいは周方
向に3か所だけ支持してもよい。
【0050】上記ホルダ30は、後述する移動機構31
に取着固定され、また移動機構31はホルダ30および
レンズ1とともに鏡筒4内に収容される。上記移動機構
31は、上記鏡筒4内周壁に設けられるベース32と、
このベース32に設けられ、その中心軸cをレンズ1の
光軸a方向に並行に沿わせて形成され、非圧縮剤である
オイル33を充填するシリンダ34と、このシリンダ3
4の一端側からこの内部に挿入される駆動用ピストン3
5と、この駆動用ピストン35を支持する圧電素子36
と、上記ホルダ30に一体的に設けられる従動用ピスト
ン37とから構成される。
【0051】上記シリンダ34は、上記駆動用ピストン
35が挿入される大径部34aと、上記従動用ピストン
37が挿入される小径部34bとが、中心軸cに沿って
連設される。
【0052】これらピストン35,37の間に上記オイ
ル33が、密封状態で充填されることになる。なお説明
すれば、上記圧電素子35はシリンダ34の軸方向cに
沿って伸縮変形するようになっており、この変形はその
まま駆動用ピストン35の位置変動に換わる。そして、
駆動用ピストン35の位置変動によって、この端面でシ
リンダ34内のオイル33を加圧し、もしくは減圧す
る。
【0053】シリンダ大径部34aに挿入される駆動用
ピストン35がオイル33を押圧すれば、その押圧力が
小径部34bに挿入される従動用ピストン37の端面に
伝達し、これを押圧する。
【0054】大径部34aと小径部34bとの直径の相
違があり、その比に応じた、駆動用ピストン35の移動
量に対する従動用ピストン37の移動がある。このよう
な構成であるので、圧電素子35を伸長変形させる電圧
印加をなせば従動用ピストン37が後退し、ホルダ30
を介してレンズ1が光軸aに沿って移動する。すなわ
ち、レンズ1の位置調整がなされる。
【0055】駆動用ピストン35の移動量は、電圧量に
よって調整され、かつこの移動量が従動用ピストン37
との直径比に応じて拡大されることは、先に説明した通
りである。
【0056】図9は、全く同一構造の、一対の移動機構
31,31を、鏡筒4の軸方向に離間対向して備えた光
学装置である。同一構成部品には同番号を付して、新た
な説明を省略する。
【0057】ここでも、両方の移動機構31,31をプ
ッシュ:プルの関係にすることにより、オイル33に対
する加圧減圧にともなうヒステリシスを効率よく吸収す
ることができる。
【0058】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、少
ない部品点数で、組立作業が面倒にならず、精度を確保
して、光学素子の位置の微調整ができるようになり、装
置のマイクロ化に最適で、レスポンスが速く、使い勝手
の向上を図れるなどの効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の発明における、一実施例の、光学装置の
概略縦断面図。
【図2】同実施例の、電圧印加パターンを示す図。
【図3】第2の発明における、一実施例の、光学装置の
概略平面図。
【図4】同実施例の、光学装置の縦断面図。
【図5】同実施例の、移動機構の作動を説明する図。
【図6】同実施例の、移動機構の図5とは異なる作動を
説明する図。
【図7】第3の発明における、一実施例の、光学装置の
概略縦断面図。
【図8】第4の発明における、一実施例の、光学装置の
概略縦断面図。
【図9】同発明における、他の実施例の、光学装置の概
略縦断面図。
【符号の説明】
1…光学系素子(レンズ)、2…支持部材(ホルダ)、
3…移動機構、4…鏡筒、5…第1の圧電素子、6…第
2の圧電素子、7…第3の圧電素子、8…制御回路。

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光学系素子と、 この光学系素子の周端部を支持する支持部材と、 この支持部材および光学系素子を、その内部に移動機構
    を介して支持する鏡筒とを具備した光学装置において、 上記移動機構は、 光軸方向に伸縮動作をなす第1の圧電素子と、 この第1の圧電素子の軸方向両端部にそれぞれ設けら
    れ、径方向に伸縮自在であり、その伸縮にともなって上
    記鏡筒の内周壁に接離する第2の圧電素子および第3の
    圧電素子と、 上記第2の圧電素子及び上記第3の圧電素子のうち一方
    を収縮動作させるとともに他方を拡径動作させた状態で
    上記第1の圧電素子を伸縮動作させるよう制御する制御
    回路とを具備したことを特徴する光学装置。
  2. 【請求項2】 光学系素子と、 この光学系素子の周端部を支持する支持部材と、 この支持部材および光学系素子を、その内部に移動機構
    を介して支持する鏡筒とを具備した光学装置において、 上記移動機構は、 上記鏡筒の内周壁に、光軸方向に沿って互いに離間して
    設けられ、それぞれ径方向に伸縮動作をなす一対の圧電
    素子と、 これら一対の圧電素子に亘って架設され、かつ上記支持
    部材を移動自在に支持する傾斜板と、 上記圧電素子の、少なくともいずれか一方を伸長もしく
    は収縮動作するよう制御し、傾斜板を傾斜させて、光学
    素子とともに支持部材の傾斜方向への移動を発生させる
    制御回路とを具備したことを特徴とする光学装置。
  3. 【請求項3】 上記各圧電素子および傾斜板は、周方向
    に少なくとも3か所以上設けたことを特徴とする請求項
    2記載の光学装置。
  4. 【請求項4】 上記支持部材は、 上記光学系素子の周端部に掛合する支持部と、 この支持部に連結され、上記傾斜板に対して振動する振
    動子とからなり、 上記振動子は、上記制御回路によって、傾斜板の傾斜中
    に、振動しながら傾斜板の傾斜方向へ移動をなすよう制
    御されることを特徴とする請求項2記載の光学装置。
  5. 【請求項5】 光学系素子と、 この光学系素子の周端部を支持する支持部材と、 この支持部材および光学系素子を、その内部に移動機構
    を介して支持する鏡筒とを具備した光学装置において、 上記移動機構は、 上記鏡筒の内周壁に設けられ、その軸方向を光学素子の
    光軸方向に沿わせたシリンダと、 このシリンダに充填され、電圧印加にともなって膨張収
    縮変形する高分子ゲルと、 上記支持部材に設けられ、その一部は上記シリンダ内に
    挿入され、高分子ゲルの膨張収縮変形を受けて支持部材
    および光学素子の光軸方向へ移動をなすピストンとを具
    備したことを特徴とする光学装置。
  6. 【請求項6】 上記移動機構は、軸方向に離間して一対
    設けられ、互いにプッシュ:プルの関係にあることを特
    徴とする請求項5記載の光学装置。
  7. 【請求項7】 光学系素子と、 この光学系素子の周端部を支持する支持部材と、 この支持部材および光学系素子を、その内部に移動機構
    を介して支持する鏡筒とを具備した光学装置において、 上記移動機構は、 上記鏡筒の内周壁に設けられ、光学素子の光軸方向に沿
    って大径部と小径部が連設されるとともに、非圧縮剤を
    充填するシリンダを有するベースと、 このベースに設けられ、軸方向に伸縮する圧電素子と、 この圧電素子に支持され、上記シリンダの大径部に挿入
    される駆動用ピストンと、 上記支持部材を支持するとともに、その一部がシリンダ
    の小径部に挿入され、非圧縮剤から圧力を受けて移動す
    る従動用ピストンとを具備したことを特徴とする光学装
    置。
  8. 【請求項8】 上記移動機構は、軸方向に離間して一対
    設けられ、互いにプッシュ:プルの関係にあることを特
    徴とする請求項7記載の光学装置。
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