JPS63100980A - スピンコ−ト方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ■　発明の背景 技術分野 本発明は、光記録ディスク、磁気ディスク等において、
ディスク基板に塗布液を塗布するスピンコート方法に関
する。

先行技術とその問題点 例えば、光記録ディスクの記録層の塗布など、各種ディ
スク基板に各種塗膜を形成するためのスピンコートをす
る場合、従来より、ディスク基板を回転させその上に塗
布液を滴下し、一定の１膜厚の塗膜を得る方法が行なわ
れている。

この場合、通常、雰囲気温度の変動中は±０．５℃であ
るとの前提の基に、塗布液の粘度、温度およびディスク
基板を回転させるスピンナーヘッドの回転数を一定にし
、塗膜厚を一定にするようにしている。

しかし、実際はスピンコート装置の駆動部の熱や室温の
変動等により、雰囲気温度を一定に保つことは極めて困
難であり、このため塗布液の溶媒の蒸発、乾燥速度が変
動し、塗布厚みが安定しない。　例えば光記録ディスク
のように記録層厚が０．２−程度以下ときわめて薄い場
合において、記録層塗布時の雰囲気温度が１　”Ｃ変動
すると、記録層の厚みが変動し、これにより光透過率が
１％程度変動する。

このため、雰囲気温度の変動による影響を受けない安定
したスピンコート方法が望まれている。

■　発明の目的 本発明の目的は、安定した塗膜形成が可能で、かつ操作
の容易なスピンコート方法を提供することにある。

■　発明の開示 このような目的は、下記の本発明によって達成される。

すなわち本発明は、ディスク基板を回転し、このディス
ク基板上に塗布液を滴下して所定の膜厚に塗布するスピ
ンコート方法において、ディスク基板の近傍の雰囲気温
度の変動を検知し、温度が上昇したときはディスク基板
の回転数を増加し、温度が降下したときはディスク基板
の回転数を減少することを特徴とするスピンコート方法
である。

■　発明の具体的構成 以下、本発明の具体的構成について詳細に説明する。

本発明のスピンコート方法は、例えば光記録ディスク、
磁気ディスク等のディスク基板に各種塗膜を形成するに
際し、ディスク基板の近傍の雰囲気温度の変動を検知し
、適宜ディスク基板の回転数を調整するものである。

ディスク基板の近傍の雰囲気温度の変動を検知するには
、温度センサーをディスク基板の近傍に設置すわばよい
。

温度センサーの設置位置は特に制限はないが、好ましく
はディスク基板の塗膜形成面側の上方であることが好ま
しい。　この場合、ディスク基板と温度センサーとの距
離は５〜５０ｍｍ程度であればよい。

使用する温度センサーは公知のものであってよく、例え
ば熱電対、測温抵抗体等である。

また、設置する温度センサーの数量は、通常は１個であ
るか、必要に応じ測定点を増やす場合には複数の温度セ
ンサーを設置してもよい。

本発明では、このような温度センサーにより検知したデ
ィスク基板の近傍の雰囲気温度の変動を基に、ディスク
基板の回転数を調整する。

この場合、雰囲気温度が上昇すると、ディスク基板上に
塗設された塗布溶液からの溶媒の蒸散速度が速くなり塗
膜の厚さが大となるため、これを防止するためにディス
ク基板の回転数を増加し、ディスク基板上の塗布溶液量
を調節し塗膜の厚さを所定の厚さに保つようにするもの
である。

また雰囲気温度が降下した場合は、上記とは逆に、ディ
スク基板の回転数を減少することにより塗膜の厚さを所
定の厚さに保つものである。

この場合、雰囲気温度の変動量△Ｔとディスク基板の回
転数の変化量△Ｒとの関係は、塗布溶液の量、粘度、使
用する溶剤の蒸発速度、雰囲気の設定温度、雰囲気中の
気流の有無等により個々の状況に応じて、逐一実験的に
決定されるものである。

そして、△Ｔと△Ｒとの関係を満足するように、温度セ
ンサーの信号に基づきディスク基板の駆動部を制御すれ
ばよい。

通常、温度センサーからの？に気信号によって駆動部へ
の電流を制御する方法がとられる。

なお、ディスク基板の回転数は６０００ｒ、ｐ、ｍ程度
以下とする。

そして、一般に△Ｒ／△Ｔは１０〜５０ｒ、ｐ、ｍ／℃
程度である。

また、塗膜を一定するための制御可能な雰囲気温度の変
動中は１０℃程度以下である。

本発明のスピンコート法によって、ディスク基板に各種
塗膜を形成するに際し、ディスク基板は用途に応じ、樹
脂板、ガラス板、金属板等を用いることができる。　光
記録ディスクの場合、このディスク基板は、アクリル樹
脂、ポリカーボネート樹脂、ナイロン等が好ましく用い
られる。

また、塗布物としては、光記録ディスク用記録層、磁気
ディスク用記録層、各種ディスク用保護層、各種レジス
ト等がある。

光記録ディスクの場合、記録層としては、種々のもので
あってよいが、色素単独からなるか、色素組成物からな
ることが好ましい。

用いる色素としては、書き込み光および読み出し光の波
長に応じ、これを有効に吸収するもののなかから、適宜
決定すればよい。　この場合、これらの光源としては、
装置を小型化できる点で、半導体レーザーを用いること
が好ましいので、色素はシアニン系、フタロシアニン系
、アントラキノン系、アゾ系、トリフェニルメタン系、
ビリリウムないしチアピリリウム塩系等が好ましい。

また、色素組成物を記録層とする場合、ニトロセルロー
ス等の自己酸化性の樹脂や、ポリスチレン、ナイロン等
の熱可塑性樹脂を含有させることができる。　また、色
素の酸化劣化を防止するため、クエンチャ−を含有させ
ることもできる。　さらには、この他の添加剤を含有さ
せてもよい。

このような場合、特に好ましくは、インドレニン系のシ
アニン色素とビスフエニルジチオール系等のクエンチャ
−との混合物が好ましい。

またこれらを色素のカチオンと、クエンチャ−のアニオ
ンとのイオン結合体、あるいはこれと色素との混合物と
して用いるものも好ましい。

記録層厚は５０〜２０００人、特に１００〜１５００人
程度である。

さらに、本発明は、種々の下地層、表面層等の設層にも
有効である。

■　発明の具体的作用効果 本発明のスピンコート方法は、ディスク基板上に各種塗
膜をスピンコートによって形成するに際し、ディスク基
板の近傍の雰囲気温度の変動を検知し、温度が上昇した
ときはディスク基板の回転数を増加し、温度が降下した
ときはディスク基板の回転数を減少するものである。

このため、ディスク基板上に形成される塗膜の厚さは極
めて安定なものとなり、同一基板内および製造ロット間
における塗膜厚さのバラツキが解消されるものである。

特に、光記録デイグの記録層、下地層、表面層など１０
０〜２０００人程度の塗膜Ｊｖの場合には、本発明はき
わめて有効である。

本発明者は、本発明の効果を確認するために、下記に示
される実験を行フた。

実験例 プリグループ付きのポリカーボネート［Ｊディスクにイ
ンドレニン系シアニン色素をシクロヘキサノンを溶媒と
して塗布液とし、これを６００　ｒ、ｐ、＋ｎにてスピ
ンコートにより６００人の塗膜とした。

この場合、雰囲気設定温度は２３℃、雰囲気の気流は無
しとした。

そして、雰囲気温度を設定温度から±０．５℃の範囲で
変動させた場合の塗膜の厚さを測定した結果、本発明の
スピンコート法で塗膜を形成した場合の塗膜の厚さには
バラツキかみら九なかった。

これに対し、従来の方法に従い、回転速度を一定とした
場合は２００人程大のバラツキか発生した。

なお、この場合、本発明のスピンコート方法における雰
囲気温度の変動に対するディスク基板の回転数の変化の
割合は２０　ｒ、ｐ、ｍ／”Ｃとした。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ディスク基板を回転し、このディスク基板上に塗布液を
   滴下して所定の膜厚に塗布するスピンコート方法におい
   て、 ディスク基板の近傍の雰囲気温度の変動を検知し、温度
   が上昇したときはディスク基板の回転数を増加し、温度
   が降下したときはディスク基板の回転数を減少すること
   を特徴とするスピンコート方法。