JPS6295448A - 粒子測定方法及び装置 - Google Patents
粒子測定方法及び装置Info
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- JPS6295448A JPS6295448A JP60235357A JP23535785A JPS6295448A JP S6295448 A JPS6295448 A JP S6295448A JP 60235357 A JP60235357 A JP 60235357A JP 23535785 A JP23535785 A JP 23535785A JP S6295448 A JPS6295448 A JP S6295448A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/47—Scattering, i.e. diffuse reflection
- G01N21/49—Scattering, i.e. diffuse reflection within a body or fluid
- G01N21/53—Scattering, i.e. diffuse reflection within a body or fluid within a flowing fluid, e.g. smoke
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は1粒子測定方法反びその装置、さらに詳細には
被測定粒子にレーザー光源のようなコヒーレント光源か
らの光束を照射して粒子からの散乱光を測定し、粒径及
び粒子数など粒子の特性を測定する粒子測定方法及びそ
の装置に関する。
被測定粒子にレーザー光源のようなコヒーレント光源か
らの光束を照射して粒子からの散乱光を測定し、粒径及
び粒子数など粒子の特性を測定する粒子測定方法及びそ
の装置に関する。
[従来の技術]
従来より、測定領域内に光を入射させ、その透過光;、
1や散乱特性を測定することにより同領域内における粒
子の粒径、数などの特性をJlll定する技術が知られ
ている。
1や散乱特性を測定することにより同領域内における粒
子の粒径、数などの特性をJlll定する技術が知られ
ている。
例えば、純水中の不純物粒子の測定にもこの技術が用い
られているが、純水中の微粒子は径が小さく、またまば
らにしか存在しないため、測定には困難か伴なう。その
ため、従来では微粒子からの散乱強度を増加させるため
にレーザー光源などからの入射光束を小さな領域に集光
させ、高輝度の′All+定領域を股領域この領域を通
過する粒子からの散乱光を受光する方法が用いられてい
る。
られているが、純水中の微粒子は径が小さく、またまば
らにしか存在しないため、測定には困難か伴なう。その
ため、従来では微粒子からの散乱強度を増加させるため
にレーザー光源などからの入射光束を小さな領域に集光
させ、高輝度の′All+定領域を股領域この領域を通
過する粒子からの散乱光を受光する方法が用いられてい
る。
また、ラテックス粒子による抗原抗体反応の測定などに
おいては、ラテックス粒子懸濁液に入射させた光の透過
光Ii)を4縛定し、その減衰から反応の進行を検出し
抗原r、Hを検定する方法が用いられている。
おいては、ラテックス粒子懸濁液に入射させた光の透過
光Ii)を4縛定し、その減衰から反応の進行を検出し
抗原r、Hを検定する方法が用いられている。
[発明が解決しようとする問題点〕
ところが純水中の微粒子測定においては、比較的粒子密
度の高い測定範囲内では前記の方法により小さな測定領
域から粒子のIす集団の特性を測定できるか、純度が高
まるに従い狭いJlll定領域に送り込む純水H,Hを
増加させるなどの措置を講じないと純水の品質を反映す
るに充分な粒子数を測定できなくなり、10時間に測定
を終了できない問題があった。
度の高い測定範囲内では前記の方法により小さな測定領
域から粒子のIす集団の特性を測定できるか、純度が高
まるに従い狭いJlll定領域に送り込む純水H,Hを
増加させるなどの措置を講じないと純水の品質を反映す
るに充分な粒子数を測定できなくなり、10時間に測定
を終了できない問題があった。
あった。
また、前記の透過光らニ一式のラテックス粒子−により
抗原抗体反応の測定では透過光r−がラテックス粒子の
数と粒径の両方により変化するため、予めJil!定し
た反応前の粒径と粒子数に応じた減光j11補11:を
行なう必要があった。この点ではレーザーなどのコヒー
レント光を用いて同一粒子に対する方向のそれぞれ異な
る1散乱光強度の比を検出することにより、粒子−散に
関係なく粒径変化を検出できることが知られている。
抗原抗体反応の測定では透過光r−がラテックス粒子の
数と粒径の両方により変化するため、予めJil!定し
た反応前の粒径と粒子数に応じた減光j11補11:を
行なう必要があった。この点ではレーザーなどのコヒー
レント光を用いて同一粒子に対する方向のそれぞれ異な
る1散乱光強度の比を検出することにより、粒子−散に
関係なく粒径変化を検出できることが知られている。
ところが、純水のa11定の場合と同様レーザー光を用
いた11+11定領域は非常に狭いので反応初期の少数
の粒子の粒径変化をとらえきれない間mがあった。
いた11+11定領域は非常に狭いので反応初期の少数
の粒子の粒径変化をとらえきれない間mがあった。
[問題点を解決するためのf段]
従って本発明では粒子測定領域を拡大して少数の微粒子
、1+11定を11丁能とし、しかも方向の異なる散乱
光を検出できるようにするため、その411定方法にお
いては、被+711定粒子にコヒーレント光源からの光
束を照射して粒子からの故^L光を測定し、粒子−の特
性を測定する粒子Jilt定方法において、前記光・東
を被測定粒子の存在するM1定領域で複数回反射させる
ことによって、測定領域で同一方向に走るほぼ1L行な
コヒーレント光束群を形成するプロセスと、同様の方法
により前記コヒーレント光束4Tと異なる同一方向に走
るほぼ品行なコヒーレント光束群を形成する少なくとも
もう1つのプロセスから成り、各コヒーレント光束群に
よる散乱方向の賢なった被′All定粒子の散乱光を測
定することにより被a111定粒子の特性を411定す
る構成とし、またその測定装置においては、被All定
粒子にコヒーレント光源からの光束を照射して粒子から
の散乱光をJlll定し、粒子の特性を測定する粒子測
定装置において、第1.第2.第3あるいはそれ以上の
数の反射手段をall定領域の周囲に前記コヒーレント
光源からの光束を順次反射させるよう配置するとともに
、前記コヒーレント光源からの光束の前記各反射手段に
おける反射順を変更する偏向手段を設け、この偏向手段
によりX1ll定領域に形成されるほぼ4L行なコヒー
レント光束群の方向を変更し、異なる方向を有するコヒ
ーレント光束群により得られる散乱方向の異なる被測定
粒子−の散乱光をJlll定することにより被測定粒子
−の特性を測定する構成を採用した。
、1+11定を11丁能とし、しかも方向の異なる散乱
光を検出できるようにするため、その411定方法にお
いては、被+711定粒子にコヒーレント光源からの光
束を照射して粒子からの故^L光を測定し、粒子−の特
性を測定する粒子Jilt定方法において、前記光・東
を被測定粒子の存在するM1定領域で複数回反射させる
ことによって、測定領域で同一方向に走るほぼ1L行な
コヒーレント光束群を形成するプロセスと、同様の方法
により前記コヒーレント光束4Tと異なる同一方向に走
るほぼ品行なコヒーレント光束群を形成する少なくとも
もう1つのプロセスから成り、各コヒーレント光束群に
よる散乱方向の賢なった被′All定粒子の散乱光を測
定することにより被a111定粒子の特性を411定す
る構成とし、またその測定装置においては、被All定
粒子にコヒーレント光源からの光束を照射して粒子から
の散乱光をJlll定し、粒子の特性を測定する粒子測
定装置において、第1.第2.第3あるいはそれ以上の
数の反射手段をall定領域の周囲に前記コヒーレント
光源からの光束を順次反射させるよう配置するとともに
、前記コヒーレント光源からの光束の前記各反射手段に
おける反射順を変更する偏向手段を設け、この偏向手段
によりX1ll定領域に形成されるほぼ4L行なコヒー
レント光束群の方向を変更し、異なる方向を有するコヒ
ーレント光束群により得られる散乱方向の異なる被測定
粒子−の散乱光をJlll定することにより被測定粒子
−の特性を測定する構成を採用した。
る構成を採用した。
[作 川]
以j−の構成によれば、測定領域を多数の品行なコヒー
レント光重群で覆うことができ、少数の粒子の散乱光を
確実にとらえることが可能となるとともに、1■1.後
、側方など異なる方向への散乱光を1つのJlll定位
置からJlll定でき、粒子数と無関係な粒子−経の変
化その他の特性を確実に検出することができる。
レント光重群で覆うことができ、少数の粒子の散乱光を
確実にとらえることが可能となるとともに、1■1.後
、側方など異なる方向への散乱光を1つのJlll定位
置からJlll定でき、粒子数と無関係な粒子−経の変
化その他の特性を確実に検出することができる。
[実施例]
以下、図面に示す¥流側に基づき本発明の詳細な説明す
る。
る。
第1図は本発明による粒子?l111定の方法及びその
装置の構成を説明するだめのもので、実施例としてラテ
ックス粒子による抗原抗体反応の測定装置の主要部が示
されている。
装置の構成を説明するだめのもので、実施例としてラテ
ックス粒子による抗原抗体反応の測定装置の主要部が示
されている。
装置は測定領域構成部Xと、光路偏向部Yから成る。1
測定領域構成部Xには、ラテックス粒子懸濁液を収容し
た容器内などに設定されるJlll定領域5を囲むよう
に4枚のストライプ状のミラー1〜4をP方向に沿って
平行に配置する。各ミラー1〜4は反射面を内側に向け
、隣り合うミラーとそれぞれ90°の角度をもって交わ
るよう設置される。
測定領域構成部Xには、ラテックス粒子懸濁液を収容し
た容器内などに設定されるJlll定領域5を囲むよう
に4枚のストライプ状のミラー1〜4をP方向に沿って
平行に配置する。各ミラー1〜4は反射面を内側に向け
、隣り合うミラーとそれぞれ90°の角度をもって交わ
るよう設置される。
後述するJlll定動作かられかるように、411定領
域5は2つのミラー(2、3)間のほぼf板状の領域に
設定すれば良いので、ミラー1〜4は少なくとも3枚以
北であればよく、またミラー間の角度も906に限定さ
れないのは言うもでもない。
域5は2つのミラー(2、3)間のほぼf板状の領域に
設定すれば良いので、ミラー1〜4は少なくとも3枚以
北であればよく、またミラー間の角度も906に限定さ
れないのは言うもでもない。
一方、光路偏向部Yはレーザー光源9.及び偏向ミラー
7.10.11と遮光のためのピンホール板12などか
ら構成される。レーザー光源9はヘリウム会ネオンなど
のカスレーザ、゛V、4体レーザー素了−などのコヒー
レント光源から成り、そのレーザー光はC方向に沿って
進み、ミラー10に入射されるミラー10はモータなど
の駆動手段により軸10aの周りに回転振動できるよう
に構成されており、入射光束をA′またはB′力方向偏
向させる。B′力方向はミラー11が設けられており、
これによりミラー11の入射光束はA′力向とモ行な方
向に反射され、ミラー11の位置に応じて実線及び破線
で示した2本の4・−行な光束a、bを形成できるよう
にしである。
7.10.11と遮光のためのピンホール板12などか
ら構成される。レーザー光源9はヘリウム会ネオンなど
のカスレーザ、゛V、4体レーザー素了−などのコヒー
レント光源から成り、そのレーザー光はC方向に沿って
進み、ミラー10に入射されるミラー10はモータなど
の駆動手段により軸10aの周りに回転振動できるよう
に構成されており、入射光束をA′またはB′力方向偏
向させる。B′力方向はミラー11が設けられており、
これによりミラー11の入射光束はA′力向とモ行な方
向に反射され、ミラー11の位置に応じて実線及び破線
で示した2本の4・−行な光束a、bを形成できるよう
にしである。
ピンホール板12.12は各光束a、bのみを通すピン
ホールP3.PL、P2を右し、その他の方向の光束を
All!定領域構成部Xに到達しないよう遮断する。符
号SPは、ミラー10の変位に応じてピンホール板」二
で変位する、遮断されたレーザー光束により生じるスポ
フトの一部を指している。
ホールP3.PL、P2を右し、その他の方向の光束を
All!定領域構成部Xに到達しないよう遮断する。符
号SPは、ミラー10の変位に応じてピンホール板」二
で変位する、遮断されたレーザー光束により生じるスポ
フトの一部を指している。
さて、光束aはピンホールPiを介してミラー■に入射
される。光束aはミラーlの長手方向の反射面と直角な
面内よりわずかにずれた入射角をもって入射されるので
、以後ミラー1,2,3゜4.1.2・・・とらせん状
に回転するように反射をkitけ、光ファイバーなどか
ら構成した光トラ・ンブ6に回収される。この光トラッ
プは測定領域構成部Xにおける粒子11+11定に影響
をおよぼさない位置まで光束を導く。
される。光束aはミラーlの長手方向の反射面と直角な
面内よりわずかにずれた入射角をもって入射されるので
、以後ミラー1,2,3゜4.1.2・・・とらせん状
に回転するように反射をkitけ、光ファイバーなどか
ら構成した光トラ・ンブ6に回収される。この光トラッ
プは測定領域構成部Xにおける粒子11+11定に影響
をおよぼさない位置まで光束を導く。
一力、ミラー2,3はミラー1.4よりも光路偏向部Y
のある側が延長されており、この部分に光束すが導かれ
る。光束すはまずミラー7により」−力にはね上げられ
、ミラー3に入射する。この時の入射角の絶対値は光束
aのミラー1に対する角度と等しくされる。また、入射
地点は光束aが形成するらせん状に回転する千行光東の
ピッチの1.5倍(本実施例では)だけ、光束aがミラ
ー3F−で反射する地点から離れた位置とする。これに
より、光束すは前記と逆の順、即ちミラー3゜2.1,
4,3.2・・・の順で反射され、光トラップ8に回収
される。
のある側が延長されており、この部分に光束すが導かれ
る。光束すはまずミラー7により」−力にはね上げられ
、ミラー3に入射する。この時の入射角の絶対値は光束
aのミラー1に対する角度と等しくされる。また、入射
地点は光束aが形成するらせん状に回転する千行光東の
ピッチの1.5倍(本実施例では)だけ、光束aがミラ
ー3F−で反射する地点から離れた位置とする。これに
より、光束すは前記と逆の順、即ちミラー3゜2.1,
4,3.2・・・の順で反射され、光トラップ8に回収
される。
さらに光路偏向部Yについては次のような実施例も考え
られる。第3図(a)〜(d)で詳細に説明する。まず
、レーザー光束Cをケスタープリズム13の端面にI■
直に入射させ、モ行光東を得る。この1対の光束は第3
図(b)のような開[1部14a、14bを持つ光束選
択用円板14に入射させる。内周側の開口部14aの開
き角φ′と外周側の開口n14bの開き角φは等しく、
ともにφ=φ′=l&O’(nはiEの整数)に設定し
てある。この光束選択用円板を取りつけたモータ15を
子連で回転させることにより1対の光束a′。
られる。第3図(a)〜(d)で詳細に説明する。まず
、レーザー光束Cをケスタープリズム13の端面にI■
直に入射させ、モ行光東を得る。この1対の光束は第3
図(b)のような開[1部14a、14bを持つ光束選
択用円板14に入射させる。内周側の開口部14aの開
き角φ′と外周側の開口n14bの開き角φは等しく、
ともにφ=φ′=l&O’(nはiEの整数)に設定し
てある。この光束選択用円板を取りつけたモータ15を
子連で回転させることにより1対の光束a′。
b′は交互に同円板の開口部14a、14bを通過する
。
。
各光重の通過時間は円板14の開口部14a。
14bの開き角を変えることにより変化させることがで
きるが、本実施例では前記のように同じ開き角とし、2
光束a′、b′が同じ照射時間となるようにしている。
きるが、本実施例では前記のように同じ開き角とし、2
光束a′、b′が同じ照射時間となるようにしている。
さらに光束a′(又はb’)は固定ミラー16(または
17)で直角に反射され、直角に交わる2而の平面鏡を
有する可動式のミラー18の一反射而に45°の角で入
射して反射する。この時2光東a、bはqいにモ行光東
となるが、その間隔は可動ミラーを光束a′、b’と乎
行なR方向に前後させることにより変化させることがで
きる。
17)で直角に反射され、直角に交わる2而の平面鏡を
有する可動式のミラー18の一反射而に45°の角で入
射して反射する。この時2光東a、bはqいにモ行光東
となるが、その間隔は可動ミラーを光束a′、b’と乎
行なR方向に前後させることにより変化させることがで
きる。
又、光束a′の反射面に乎行な方向即ちR方向と45°
の角度を成すR′方向に前後させれば、第31剥(C)
に示すように光束aは移動せず、光束すのみを光束aに
対して上行に移動させることかできる。さらにn)動ミ
ラー18を第3図(d)のように回転移動させれば光束
a又はbの進行方向を偏向させることも可能である。
の角度を成すR′方向に前後させれば、第31剥(C)
に示すように光束aは移動せず、光束すのみを光束aに
対して上行に移動させることかできる。さらにn)動ミ
ラー18を第3図(d)のように回転移動させれば光束
a又はbの進行方向を偏向させることも可能である。
次に以]二の構成における動作につき説明する。
以−ドではまず光路偏向部Yとして第1図の構成を用い
るものとして説明を進める。
るものとして説明を進める。
第1図のような構成により、上板状の測定領域5をKj
いて、コヒーレントな平行光束群Aと、このセ1行光東
群とほぼ180’方向の異なるコヒーレントな平行光束
群Bを形成することができる。
いて、コヒーレントな平行光束群Aと、このセ1行光東
群とほぼ180’方向の異なるコヒーレントな平行光束
群Bを形成することができる。
この様子をfllllllll周領域5周辺図として第
2図に示す。
2図に示す。
ここで、以上の2つの乎行な光束群により形成される散
乱光のI!lll定装置を第4図に示す。第4図におい
ては、測定領域を通過する光束群A。
乱光のI!lll定装置を第4図に示す。第4図におい
ては、測定領域を通過する光束群A。
Bの方向のみがほぼ1直線に近似した形で示されている
。この直線A−Hに対して受光レンズ20.光電検知器
21から成る受光系が角度Oだけ傾けて配置される。図
示の角度θ′はθ′翼180’−0であり、o′>oと
とれば光電検知器21によって)i行光束群Aに対して
は散乱角θ′の粒子の後方散乱を、また平行光束群Bに
対しては散乱角Oの1■i方散1IiL?測定できる。
。この直線A−Hに対して受光レンズ20.光電検知器
21から成る受光系が角度Oだけ傾けて配置される。図
示の角度θ′はθ′翼180’−0であり、o′>oと
とれば光電検知器21によって)i行光束群Aに対して
は散乱角θ′の粒子の後方散乱を、また平行光束群Bに
対しては散乱角Oの1■i方散1IiL?測定できる。
光電検知器21はフォトタイオード、光電子増倍管その
他の光センサ装置から構成され、入射される光強度を測
定できるものとする。
他の光センサ装置から構成され、入射される光強度を測
定できるものとする。
次に以トの構成におけるfllll定方法につき詳述す
る。
る。
まず、測定領域5にラテックス粒子懸濁液を収納した所
定形状の容器を用意し、レーザー光源9を発光させる。
定形状の容器を用意し、レーザー光源9を発光させる。
そしてミラー10を交TI[にば動させ、その反射光束
をA′またはB′方向に偏向させる。ミラー10は第5
図上段に示すようにA′、B′方向に光束反射を行なう
へ〈揺動を繰り返すが、この時、測定に充分な時間ずつ
測定領域5に平行光束群A、ないしBが形成されるよう
ミラー10の揺動速度を調節する。
をA′またはB′方向に偏向させる。ミラー10は第5
図上段に示すようにA′、B′方向に光束反射を行なう
へ〈揺動を繰り返すが、この時、測定に充分な時間ずつ
測定領域5に平行光束群A、ないしBが形成されるよう
ミラー10の揺動速度を調節する。
同時に光電検知器21による光強度測定を行なうと、検
知器21の出力は第5図下段のようになる。この時、受
光系に対する散乱光の散乱角は第5図中段のようにθ′
と0の間で変化する。従ってミラー10の揺動に同期し
て光電検知器21の出力を読み取ることにより、平行光
束群AによるJll領領域5おける散乱角度θ′の後方
散乱光強1i B Sと、平行光束群Bによる同領域に
おける散乱角度0の前方散乱光強度FSを11一定する
ことができる。
知器21の出力は第5図下段のようになる。この時、受
光系に対する散乱光の散乱角は第5図中段のようにθ′
と0の間で変化する。従ってミラー10の揺動に同期し
て光電検知器21の出力を読み取ることにより、平行光
束群AによるJll領領域5おける散乱角度θ′の後方
散乱光強1i B Sと、平行光束群Bによる同領域に
おける散乱角度0の前方散乱光強度FSを11一定する
ことができる。
一方、第3図(a)〜(d)に示した光路偏向部の応用
例を用いる場合には第5図に対応した第6図に示すよう
に光束a、bの選択は瞬蒔に行なわれ、散乱光強度信号
に第5図に破線で示されたような不感帯が現われず、後
段の信壮処理系の構成が容易になる。
例を用いる場合には第5図に対応した第6図に示すよう
に光束a、bの選択は瞬蒔に行なわれ、散乱光強度信号
に第5図に破線で示されたような不感帯が現われず、後
段の信壮処理系の構成が容易になる。
以1ユのような方法によれば、ラテックス粒子を用いた
抗原抗体反応において、前方及び後方の散乱光強度を簡
rl>、安価な単一の受光系により各々検出でき、これ
らの強度比から粒子数に関係なく粒径を検出することが
でき、この粒径の変化から抗原抗体反応の進行を測定す
ることができる。特に、1−、記の構成によれば、広範
な1111!定領域を全て4L行な光束群で覆うように
しているので、微早:な抗原X11に対しての抗体反応
における初期のわずかな粒径変化を確実に検出し、反応
の開始時期、進行を正確に知ることができる。
抗原抗体反応において、前方及び後方の散乱光強度を簡
rl>、安価な単一の受光系により各々検出でき、これ
らの強度比から粒子数に関係なく粒径を検出することが
でき、この粒径の変化から抗原抗体反応の進行を測定す
ることができる。特に、1−、記の構成によれば、広範
な1111!定領域を全て4L行な光束群で覆うように
しているので、微早:な抗原X11に対しての抗体反応
における初期のわずかな粒径変化を確実に検出し、反応
の開始時期、進行を正確に知ることができる。
従って従来方式1とおけるように粒子数による減光補正
などを必要とせず、IF確に粒径変化のみを検出するこ
とにより信頼性の高い抗原抗体反応の測定がiif能と
なる。
などを必要とせず、IF確に粒径変化のみを検出するこ
とにより信頼性の高い抗原抗体反応の測定がiif能と
なる。
本発明の構成は抗原抗体反応測定のみではなく、他の粒
子alll定にも適用することができる。
子alll定にも適用することができる。
例えば、純水の品質測定などにおいて不純物粒子の粒径
、数密度その他の特性を測定する場合にも同様の技術を
用いるこができる。このような場合には、測定領域全体
の各粒子の散乱光強度の相関を演算する処理手段を光電
検知器の後段に組み合わせることも可能である。
、数密度その他の特性を測定する場合にも同様の技術を
用いるこができる。このような場合には、測定領域全体
の各粒子の散乱光強度の相関を演算する処理手段を光電
検知器の後段に組み合わせることも可能である。
また、−[二記実施例では簡略化のため、Jlll定領
域中のコヒーレントな平行光束群の密度をまばらな状態
で図示したが、光栄群の密度は回転反射用のミラー1〜
4に対する光栄の入射角度により用途に応して様々に設
定することができる。特に密度を増加させる場合には、
方向の異なる平行光束群の角度差を180″により近づ
けることができる。逆に平行光束の密度を低−ドさせる
場合には、受光系の配置角度によって前方、後方のみで
なく、側方I散乱なと種々の散乱角度の散乱光を測定す
ることができる。又、測定領域を覆う方向の異なった平
行光束群の数は2つに限定されることなく、偏向手段そ
の他の改変により必要に応じて変更できる。
域中のコヒーレントな平行光束群の密度をまばらな状態
で図示したが、光栄群の密度は回転反射用のミラー1〜
4に対する光栄の入射角度により用途に応して様々に設
定することができる。特に密度を増加させる場合には、
方向の異なる平行光束群の角度差を180″により近づ
けることができる。逆に平行光束の密度を低−ドさせる
場合には、受光系の配置角度によって前方、後方のみで
なく、側方I散乱なと種々の散乱角度の散乱光を測定す
ることができる。又、測定領域を覆う方向の異なった平
行光束群の数は2つに限定されることなく、偏向手段そ
の他の改変により必要に応じて変更できる。
[効 果]
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、その
方法においては被ΔIII定粒子−にコヒーレント光源
からの光栄を照射して粒子−からの散乱光をWlll定
し、粒子の特性を測定する粒子−?Ill定力法に方法
て、前記光栄を被測定粒子−の存在するalll定領域
で複数回反射させることによって測定領域で同一方向に
走るほぼ平行なコヒーレント光栄群を形成するプロセス
と、同様の方法により前記コヒーレント光栄群と異なる
同一方向に走るほぼ中−行なコヒーレント光栄群を形成
する少なくとももう1つのプロセスから成り、各コヒー
レント光5に群による散乱方向の火なった被へ1鴫定粒
子−の散^し光を測定することにより被゛側定粒子−の
特性を′A14定する構成を採用し、その装置において
は、被Jlll定粒子にコヒーレント光源からの光栄を
照射して粒子からの散乱光をX1ll定し、粒子の特性
を7測定する粒子All!定装置において、第1.第2
.第3あるいはそれ以上の数の反射手段を11+11定
望域の周囲に前記コヒーレント光源からの光束を順次反
射させるよう配置するとともに、前記コヒーレント光源
からの光束の前記各反射手段における反射順を変更する
偏向手段を設け、この偏向手段により、測定領域に形成
されるほぼ平行なコヒーレント光栄群の方向を変更し、
異なる方向を有するコヒーレント光束群により得られる
散乱方向の異な゛る被Jlll定粒子の散乱光をfl1
1定することにより被測定粒子の特性を測定する構成を
採用しているので、筒中安価な装置構成により異なる散
乱方向を有する散乱光を測定でき、面ゆ1な補正処理を
必要とすることなく被測定粒子の特性を正確かつ確実に
測定できる優れた効果がある。
方法においては被ΔIII定粒子−にコヒーレント光源
からの光栄を照射して粒子−からの散乱光をWlll定
し、粒子の特性を測定する粒子−?Ill定力法に方法
て、前記光栄を被測定粒子−の存在するalll定領域
で複数回反射させることによって測定領域で同一方向に
走るほぼ平行なコヒーレント光栄群を形成するプロセス
と、同様の方法により前記コヒーレント光栄群と異なる
同一方向に走るほぼ中−行なコヒーレント光栄群を形成
する少なくとももう1つのプロセスから成り、各コヒー
レント光5に群による散乱方向の火なった被へ1鴫定粒
子−の散^し光を測定することにより被゛側定粒子−の
特性を′A14定する構成を採用し、その装置において
は、被Jlll定粒子にコヒーレント光源からの光栄を
照射して粒子からの散乱光をX1ll定し、粒子の特性
を7測定する粒子All!定装置において、第1.第2
.第3あるいはそれ以上の数の反射手段を11+11定
望域の周囲に前記コヒーレント光源からの光束を順次反
射させるよう配置するとともに、前記コヒーレント光源
からの光束の前記各反射手段における反射順を変更する
偏向手段を設け、この偏向手段により、測定領域に形成
されるほぼ平行なコヒーレント光栄群の方向を変更し、
異なる方向を有するコヒーレント光束群により得られる
散乱方向の異な゛る被Jlll定粒子の散乱光をfl1
1定することにより被測定粒子の特性を測定する構成を
採用しているので、筒中安価な装置構成により異なる散
乱方向を有する散乱光を測定でき、面ゆ1な補正処理を
必要とすることなく被測定粒子の特性を正確かつ確実に
測定できる優れた効果がある。
効果がある。
第1図は本発明による粒イΔ11定装置の構成図、第2
図は第1図のl1ttl定領域周辺を詳細に示した11
而図、第3図(a)〜(d)は光路偏向部の異なる実施
例を示した説明図、第4図は第1図の装置とともに用い
られる散乱光411定装置の説明図、第5図は本発明に
おける散乱光測定を説明するための波形図、第6図は第
3図(a)〜(d)の構成を用いる場合の散乱光測定を
説明する波形図である。 1〜4,7,10.11・・・ミラー 5・・・測定領域 6,8・・・光トラップ9・
・・レーf−)lt 12・・・ピンホール板13
・・・ケスタープリズム 14・・・光路選択用円板 15・・・モータ A、B・・・)1行光束群P
i、P2・・・ピンホール
図は第1図のl1ttl定領域周辺を詳細に示した11
而図、第3図(a)〜(d)は光路偏向部の異なる実施
例を示した説明図、第4図は第1図の装置とともに用い
られる散乱光411定装置の説明図、第5図は本発明に
おける散乱光測定を説明するための波形図、第6図は第
3図(a)〜(d)の構成を用いる場合の散乱光測定を
説明する波形図である。 1〜4,7,10.11・・・ミラー 5・・・測定領域 6,8・・・光トラップ9・
・・レーf−)lt 12・・・ピンホール板13
・・・ケスタープリズム 14・・・光路選択用円板 15・・・モータ A、B・・・)1行光束群P
i、P2・・・ピンホール
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1)被測定粒子にコヒーレント光源からの光束を照射し
て粒子からの散乱光を測定し、粒子の特性を測定する粒
子測定方法において、前記光束を被測定粒子の存在する
測定領域で複数回反射させることによって測定領域で同
一方向に走るほぼ平行なコヒーレント光束群を形成する
プロセスと、同様の方法により前記コヒーレント光束群
と異なる同一方向に走るほぼ平行なコヒーレント光束群
を形成する少なくとももう1つのプロセスから成り、各
コヒーレント光束群による散乱方向の異なった被測定粒
子の散乱光を測定することにより被測定粒子の特性を測
定することを特徴とする粒子測定方法。 2)被測定粒子にコヒーレント光源からの光束を照射し
て粒子からの散乱光を測定し、粒子の特性を測定する粒
子測定装置において、第1、第2、第3あるいはそれ以
上の数の反射手段を測定領域の周囲に前記コヒーレント
光源からの光束を順次反射させるよう配置するとともに
、前記コヒーレント光源からの光束の前記各反射手段に
おける反射順を変更する偏向手段を設け、この偏向手段
により、測定領域に形成されるほぼ平行なコヒーレント
光束群の方向を変更し、異なる方向を有するコヒーレン
ト光束群により得られる被測定粒子の散乱方向の異なる
散乱光を測定することにより被測定粒子の特性を測定す
ることを特徴とする粒子測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60235357A JPS6295448A (ja) | 1985-10-23 | 1985-10-23 | 粒子測定方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60235357A JPS6295448A (ja) | 1985-10-23 | 1985-10-23 | 粒子測定方法及び装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6295448A true JPS6295448A (ja) | 1987-05-01 |
Family
ID=16984886
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60235357A Pending JPS6295448A (ja) | 1985-10-23 | 1985-10-23 | 粒子測定方法及び装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6295448A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023238654A1 (ja) * | 2022-06-07 | 2023-12-14 | ウシオ電機株式会社 | 光測定装置 |
-
1985
- 1985-10-23 JP JP60235357A patent/JPS6295448A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023238654A1 (ja) * | 2022-06-07 | 2023-12-14 | ウシオ電機株式会社 | 光測定装置 |
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