JPS62247203A - 非接触式表面凹凸の測定方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、接触することなく物体あるいは構造物の被検
査表面の凹凸を迅速に測定する方法に関する。この方法
は前記被検査表面から反射される放射線の検出および測
定に基すいて凹凸を測定するものである。

（従来の技術） 従来のこの種の方法としては、被検査表面に集束光線を
あて、この表面によって反射された、より厳密には後方
散乱された、光線を観察して行なうものがある。より詳
述すると、反射光線は表面の凹凸、あるいは１■さによ
って大なり小なり拡散する。従って、この拡散量を調べ
ることにより表面の凹凸状態を測定することができるの
である。

この様な方法に関する一つの先行技術例として５Ｕ−Ａ
１０６７３５０に開示されたものがあるが、この方法に
おいては、被検査表面を所定の角度より照射し、反射光
線中の放射線を、鏡面反射方向に対し垂直な平面中の様
々な点において測定する。

このａｔｑ定は反射光線のエネルギー分布、即ち、反射
放射線を表す値あるいは曲線値を得ることに役立ち、そ
してこれらの値ｆ！：被検査面の他の点における値と比
較することによりこの被検査面のこの点における１■さ
゛あるいは凹凸特性を測定することができるのである。

しかしながら、上記の方法を用いた測定値は被検査面の
一点の特性に関するものであり、被検査面の全部分の測
定値を得る為には、この面の全ての点において上記の測
定を繰り返さなければならず、しかもそれぞれの測定に
は一連のいくつかの作業が必要である。この様に全部の
点において測定を行なう代わりに、被検査表面の特定領
域のみを測定することも可能であるが、この場合には測
定値はこの特定領域の平均値にすぎなくなってしまう。

更に、この方法による凹凸度測定は本質的に比較に基ず
くものであり、従って、この凹凸の形状あるいは断面を
正確に測定することはできない。

更に、この測定法による結果は、対象物から発せられる
放射線の変化によって変わってくる。そしてこの様な放
射線の変化は測定を繰り返す内に発生する可能性がある
。

次にＵＳ−＾４０１７＋８８に開示された方法について
述べる。この方法においては、被検査面に光線をあて、
この面から後方散乱された前記光線をレンズによって集
束する。すると光線はこのレンズによって測定光線に分
離され、この測定光線はダイアフラムを通過する。この
ダイアフラム通過後の測定光線は総エネルギー値Ｗｆを
有している。

一方、このダイアフラムを通過しない基準光線は総エネ
ルギー値ＷＯを有している。そして、前記入射光線と前
記レンズを、前記面に対してこの面から一定平均距離で
変位させながらこの変位作業の間、連続的に前記測定光
線と前記基準光線を測定する。そして、それぞれの測定
点においてこれらの値の比率Ｗ　ｆ　／　Ｗ　ｏを算出
する。この時、前記変位中における前記比率の変化力曹
皮検査表面の凹凸度を表しているのである。この方法に
おいて。

前記ダイアフラムは長穴によって構成されている。

虻って　この方法の適用範囲は特定タイプの凹凸に限ら
れている。しかも、ｒＦｔ記レンズは光源と被検査に面
との間に設けられてるＺ）、二重焦点現象が生じ、これ
によって小光点、従って、測定領域はかなり小さなもの
になってしまう。つまり、面に対する光線のインパクト
の二重焦点化に伴い、この面に対して平行な空間の解像
度も制限されてしまうのである。

（発明が解決しようとする問題点） 本発明の目的は、」１記の欠点を収り除くことができる
表面凹凸検出、測定方法な提供することにある。

（問題点を解決するための手段） 本発明による方法は、物体もしくは構造物の表面の凹凸
を、前記表面に接触することなく検出もしくは測定する
方法であって、前記被検査表面を電磁波光線により照射
し、前記表面から後方散乱した前記光線を対物レンズに
より合焦し、前記対物レンズからの光線を測定光線及び
基準光線に分離し、前記測定光線にダイアフラム作用を
施し、前記ダイアフラム作用後の前記ｒＴｌｌＩ定光線
が二光線ギー値Ｗｆを有し、前記ダイアフラム作用を受
けない基準光線が総エネルギー値ＷＯを有し、前記入射
光線及び前記対物レンズを前記被検査表面に対し平行か
つこれから一定平均距離で変位させ、この変位作業中に
前記測定光線及び前記基準光線のエネルギーを連続的に
測定し、それぞれの測定点において前記値の比率Ｗ　ｆ
　／　Ｗ　ｏを求め、前記変位作業中のこの比率の変化
によって前記被検査表面の凹凸を測定することを特徴と
する。

（作用、効果） 本発明による方法においては、被検査表面を電磁波の入
射光線によって照らず。この光線は狭帯で、集束されて
おり、通常のエネルギー分散率を有し、円対称でなけれ
ばならない。次に、従来の方法により、この面から後方
散乱された光線を対物レンズを用いて合焦させる。この
対物レンズから発せられる光線は二つの光線に分離され
、これらの光線の内一方が測定光線であり、これはダイ
アフラムの作用により制限され、この作用を受けたｔ裔
、総エネルギー値Ｗ　ｆを有している。一方、らう一つ
の光線は基準光線であり、これは前記ダイアフラム作用
を受けずに、総エネルギー値Ｗ　。

を有している０次に、前記入射光線とレンズを被検査表
面に対し、この表面から一定平均距離で変位させてゆく
。そして、この変位中、前記測定光線及び基準光線のエ
ネルギー値は常時測定される。

それぞれの測定点において、上記の値開の比率Ｗｆ　／
　Ｗ　ｏが算出されるが、この時、前記変位中のこの比
率の変化が被検査表面の凹凸度を表している。

上記の説明において、光線に用いられた分離という言葉
は、一つの入力光線から少なくとも二つの光線を得るこ
とを意味するのであり、この分離がたとえ仮想上のもの
であってもよく、得られる二つ光線が物理的に互いに分
離している必要はない。同様に、ダイアフラムという言
葉は、その断面が特定の表面によって制限された状態で
、光線の一部分のみを取り出すのに的したあらゆる手段
を指している。

さて、周知の様に、前記被検査面はその凹凸の働きによ
り、前記入射光線を後方散乱させる。

そして、この後方散乱された光線は前記対物レンズによ
り合焦される。ここでもし前記対物レンズと入射光線に
よって照らされた表面上の点との真光学距離が変化すれ
ば、この対物レンズとこの点の像との真光学距離もまた
変化し、更に、対物レンズからの収束光線の立体角もま
た変化する。その結果、前記レンズから一定距雛で、し
かも前記光線の像平面から離れて配設されたダイアフラ
ムは、前記対物レンズと被検査表面との間の真光学距離
における変化に基すき前記光線を制限する。

その結果、前記測定光線のエネルギーはこのダイアフラ
ムにより変調され、一方、前記基準光線はダイアフラム
によって制限されないので、その全部が送信される。

従って、一つの光線を分離することによって得られた前
記測定光線と前記基準光線とのエネルギー値の比率Ｗ　
ｆ　／　Ｗ　ｏであるところの測定結果は、前記入射光
線内のエネルギーの変化、即ち、検査’ｔ−ｆ象拘の変
動から影響を受けないのである。

この方法の一つの特筆すべき点は、前記入射光線は狭帯
で集束された（即ちほぼ円筒形状）ものではあるが、シ
ャープなものである必要はなく、ｂ′Ｃって、この方法
は実行が容易であることである。

又、ばかしは一度しか行なわないので、光点の大きさは
、この光点内でのエネルギー分布が円対称であるので、
一定している。

その実施範囲にはそれなりの限界があるものの、この方
法は、もしその実施において適切な変数が与えられるな
らば広い粒度測定範囲に渡って凹凸をＮＩＱ定するのに
利用することが可能である。

最後に、本発明の方法によって得られた測定結果は対物
レンズと被検査表面上の点との間の真光学距離を表すも
のであり、基準表面に対する比較値を表すものではない
、従って、被検査表面の凹凸の断面を事実上、直接表す
ことが可能になると・いう特別な利点を有している。

次に本発明による方法の一つの有用な利用法について詳
述する。入射光線を対物レンズを介して、被検査表面に
直角に当て、後方散乱される光線も同様にこの表面に対
し直角に観察できる様にする。この様にすることにより
、前記表面に対して斜めに照射し観察する時に生じる投
射形現象を避けるこ°とができ゛、これにより測定誤差
をかなり取り除くことが可能である。

本発明は、接触することなく物体あるいは構造物の表面
粗さを測定する装置により実施することができる。前記
装置は次のものを有する：周知の円対称エネルギー分布
特性を有する電磁波を持つ狭帯の集束され、かつ被検査
表面に向けられここから後方散乱される光線を発するこ
とができる光源と、前記後方散乱光線を合焦させる対物
レンズと、前記対物レンズの下方に設けられ、この対物
レンズからの光線を二種の光線、即ち、測定光線、及び
、基準光線とに分離する分離装置と、前記分離装置内あ
るいはこの装置の下方の前記測定光線上であって、しか
も前記対物レンズによって与えられる前記被検査表面の
像平面から常に異なっている平面内に設けられ、前記測
定光線を常時制限するダイアフラムと、前記入射光線と
前記対物レンズとを、前記被検査表面に対し、この表面
と平行かつ、この表面から一定平均距離で変位させる手
段と、前記測定光線及び前記基準光線上に配設され、前
記入射光線と前記対物レンズの被検査表面に対する変位
中に、前記測定光線と前記基準光線とのエネルギー値の
比率Ｗ　ｆ　／　Ｗ　。

を常時測定する測定手段と、前記測定光線と基準光線と
のエネルギー値の比率Ｗ　ｆ　／　Ｗ　ｏをそれぞれの
測定点において算出する手段。

本発明の特に好ましい実施例としては、前記対物レンズ
からの光線は検出装置の感受表面上に受けられる。この
検出！Ａ置は放射線を電気信号に変える時、正確にさま
ざまな帯域を限定する様に構成されており、前記基準光
線の全横断面に対応するその第１帯域においてエネルギ
ー値Ｗｆを測定し、ダイアフラムの効果分受けた前記光
線の槽断面に対応する小さな帯域においてエネルギー値
Ｗｏを測定する。

この小さな帯域は、はぼ円形あるいは環状であり、前記
第１帯域内に含ま！している。

（実施例） 第１図において、放射線源１（この実施例においては、
スペクトラムの可視領域において作用するレーザーであ
るが、他の電磁放射線源であっても良く、可視である必
要はない）は、光線１０を発する。この光線１０は、装
置を適当な空間で使用できる様に、ミラー１６によって
９０”屈折される。なお、このミラーは前記光線１０の
特性に対しこれ以外の影響は与えない。

前記入射光線１０は被検査表面２に向けられ、屈折、よ
り厳密にはここから発散光線１１．１２として後方散乱
される。この散乱光線１１．１２は対物し〉・ズ４によ
り合焦され、収束光線１３になる。

第１図においで、３は前記後方散乱光線１１のＩ）の反
射板であり、前記光線１２はこの光線１１に対し一定の
角度を有している。本発明において、前記入射光線１０
を前記表面２に当てこの表面２に対して傾斜している前
記後方散乱光線を観′！：（することも可能ではあるが
、入射光線１０ｅ表面２に当てこの表面２に対し直角を
成す前記後方散乱光線１１を観察する方が明らかに好都
合である。これは、前記光線の光路に有り、前記入射光
線の方向に対し４５°の角度に位置し、半透明板あるい
は狭い入射光線１０が通過できる穴、あるいは他の同様
の装置によって構成されている前記反射板３を用いるこ
とにより可能である。

対物レンズ４がらの前記収束光線１３は光線分離装置に
向けられる。第１図においてこの光線分離装置はキュー
ブ５により形成されている。光線１３はこの光線分離装
置により分離されて二つの光線１４．１５になるが、こ
れらの光線は直交していることが望ましい。

前記光線１５は基準光線であり、これはこの基準光線１
５のエネルギーをＪｌｌ定する検出装置８に向けられる
。

前記光線１４は工：１定光線であり、これはタイアフラ
１１通過後のこの測定光線１４のエネルギーを測定する
検出装置７に向けられる。

これら検出装置７．８は、受け取った放射線エネルギー
をこのエネルギーに対応する電気信号に変換することで
この放射線エネルギーを測定する様になっている。そし
て、これらの検出装置７．８が発生する信号は次に電気
信号処理ユニット９によって処理される。

第１図において略図的に示したこの装置を用いて実際に
測定を行なうには、前記光源１、ミラー１６、半透明板
３、対物レンズ４、光線分離装置５、ダイアフラム６、
そして前記検出装置７．８から構成されたアセンブリを
前記被検査表面２に対して相対的に移動させる。

この移動は、この表面の凹凸における変化が前記装置全
体の寸法に対して僅かなものである場合、前記表面２に
対して平行、がっこの表面２がら一定平均距離をおいて
、即ち、この表面２の表面エンベロー１に対して平行に
行なわれる。

前記装置の前記表面２に対する相対変位動作中、対物レ
ンズ４と被検査表面２の被照射点との間の真光学距離に
は変化が生じる。そして、この距ｐＺの変化に（ｆい、
前記光線分離装置の後方に位置する像平面Ｐｉ、Ｐ２も
変化し、前記光線１４の直径をこれが前記ダイアフラム
６に一致するまで変化させる。従って、前記距離Ｚの変
化に伴いこのダイアフラム６を通過する測定光線１４中
のエネルギーも変化する。

前記入射光線１０が表面２上の突出した点を照射すると
５距ＮＺは小さくなり、前記像平面Ｐ１を前記対物レン
ズ４から遠ざけ、ダイアフラム６の真上に位置する前記
光線１４の直径を大きくする。その結果、ダイアフラム
６はこの光線中のエネルギーの内比較的少量部分を通過
させる。

このエネルギー値Ｗｆは前記検出装置７によって測定さ
れる。同時に、前記基準光線１５（即ち、ダイアフラム
を通過しない光線）中のエネルギー値Ｗｏは前記検出装
置８によって測定される。このエネルギー［Ｗ　ｏは前
記後方散乱光線１１のエネルギー値に対し正確に比例し
ている。一方、前記検出装置７によって測定されるエネ
ルギー値Ｗｆは、前記ダイアフラム６による変調によっ
て変化する。

上記の測定を正確に行なうりには、前記検出装置７．８
は共に、受け取る放射線の全部を、前記像平面Ｐ１、Ｐ
２の位置にかかわらず、積分できるだけの十分な感受表
面を有していなければならない。又、前記ダイアフラム
６が常に前記像平面Ｐ１、Ｐ２からはなれた所に位置し
ていること、そして、このダイアフラム６の直径がこの
ダイアフラム６の真上に位置する前記光線１４の直径に
比べて、同じくらいか、少なくともこの直径よりも小さ
いものであることも必要である。

言うまでもなく、第１図に示した方法、即ち、前記像平
面ＰＩ、Ｐ２を前記光線分離装置５の後方に位置させる
方法は、これらの必要性に対して好都合に構成されてい
る。というのは、前記検出装置感受表面を小さく維持す
ることが可能であるからである。しかしながら、前記ｆ
ｆｆｉ平面Ｐ１、Ｐ２を前記光線分離装置５（この場合
、これらの像平面は一つの像平面として形成される）の
前方に位置させ、これにより発散光線１４．１５を発生
さぜ、検出ＳＡ７／として大型のものを使用することも
可能て′あろう。

第３図は、本発明を特に有用に実施するろの装置の略図
であり、ここにおいて、前記光線分離装置及び前記ダイ
アフラムは前記測定手段の検出装置の感受表面と同じ平
面に位置している。

この場合、第３図において１点鎖線によって示されてい
る基準光線１５′は前記対物レンズからの全光線１３に
よって構成され、測定光線１４′は、同様に１点鎖線に
よって示され、前記光線と同軸の円形部１７に制限され
る部分により構成されている。

対物レンズ４からの前記光線１３は、検出装置１８に接
続された前記信号処理手段により直接分離される。前記
検出装置１８の感受表面１つは、放射線を電気信号に変
換する際に異なった領域を正確に限定する様に構成され
、しかも常に前記全光線１３の横断面２０よりも大きい
。

勿論、前記測定光線はダイアフラムによって物理的に制
限されるものではなく、必要な制限はこの測定光線を制
限する部分１７に対応する領域を選択することにより、
前記感受表面によって行なわれるのである。

前記検出装置１８の特性許容範囲内であれば、円形状も
しくは環状の前記測定光線を制限する部分１７に対応す
る領域を選択することも同様に可能である。この時、必
要条件としては、ただ前記光線１３が前記全領域１７の
少なくとも一部を照射すること、そして前記測定光線領
域が対物レンズからの前記光線１３と同軸であれば良い
。

前記感受表面１つはマトリックス型のセル１９ａ（第３
Ａ図参照）あるいは環状型セル１９ｂ（第３Ｂ図参照）
により構成することができるが、この時いずれの場合に
おいてムその解像力は可能な限り良好であることが望ま
しい（この点に関して図面は極めて略図的である）。例
えば、この感受表面を電荷移動検出装置を利用したソリ
・ソドステートカメラによって構成することができる。

前記検出装置の感受表面により光線を分離、制限する時
、二つのエネルギー値が得られる。即ち、前記領域１７
ａ、１７ｂにより制限された測定光線に対応する値Ｗｆ
と、前記基準光線に対応し、領域２０ａ、２０ｂにおい
て受け取られた前記対物レンズから来る、前記エネルギ
ー値Ｗｆと前記領域１７ａ、１７ｂの外部で前記検出装
置によりとらえられた放射エネルギー値との和であると
ころのｆｔ１Ｗ　ｏである。

雨検出装置から発せられる電気信号は前記信号処理装置
に送り込まれ、ここで前記の比率がアナログ除法により
リアルタイムでそれぞれの点に対して得られるのである
。その結果得られた信号ｒ　（ｚ）は前記対物レンズ４
と前記披検査表面２との間の距ｇＩｉｚの関数であり、
ここで次の式が成立する。

１（Ｚ）　　＝　　Ｗｆ／Ｗ。

理論的には、そして実験によっても確かめられたことで
あるが、前記表面一対物レンズ距離Ｚの関数としての、
ある点における前記比率Ｗｆ／Ｗｏ−Ｉ（Ｚ）の変化は
非対称鏡型曲線（第２図参照）によって表される。この
曲線の両側はそれぞれ前記像平面Ｐ１の前記ダイアフラ
ムに対する上方、下方位置を表している。ここでこの曲
線の頂点中央部は同時に得られたものである。

明らかに、この装置の有用作用領域は、対物レンズ６と
表面との間の真光学距１ｌｉｔｚする時の比率ＷｆとＷ
Ｏの最大変化に対応する前記曲線の疑１１ブ、直線部分
に有る。

この装置の有用作業領域はこの装置の一つあるいはそれ
以上のパラメーターを変えることにより、所望の能力、
測定範囲に適応させることができる。これらのパラメー
ターには次のものが有る。

１、対物レンズの直径 ２、対物レンズの焦点距離 ３、変調ダイアフラムの直径 ４　ダイアフラム一対物レンズ距離、そして５、非検査
表面と対物レンズとの間の距離。

第２図に示す一連の曲線は他のパラメーター１．２．３
そして５が一定である場合の上記パラメーター４（ダイ
アフラム一対物レンズ距Ｍ）の変化に対応している。

距離Ｚの関数としての非直線性Ｉ　（Ｚ）は、前記信−
；■（Ｚ）を処理する際に補正する必要が′あるかもし
れない。そしてこの補正は前記信号処１１１！装置９を
用いることにより可能である。この装置９は前記アナロ
グ信号１（Ｚ）を、表面粗さに閏するパラメーターを導
き出す為に実際の横断面の１−？性をＪｌｌ＋定するの
に用いることができるデジタル信号に変換する。

外部光、即ち、障害の関数としての値Ｔ　（Ｚ）の変化
も又、補正することが可能である。これは次の作業によ
り行なう。前記領域２０ａ、２０ｂの外部（例えば、前
記マトリックス検出装置１９ａの端部のセル、あるいは
前記環状検出装置１９ｂの最外端セル）に位置する一つ
の測定センサーに受け取られたエネルギーＷｉを測定し
、次に前記領域１７．２０のそれぞれにおけるセルの数
としてＮｆ、Ｎｏを与える。この時、値１　（Ｚ）の補
正値Ｉ’　　（Ｚ）は次の式により与えられる。

（′（Ｚ　）　＝　（Ｗ　ｆ　−Ｎ　ｆ　Ｗ　ｉ　）　
／　（Ｗ　ｏ　−Ｎ　ＯＷ　ｉ　） 上述した様に、そのパラメーターを変えることができる
ので、この装置はさまざまな応用が可能である。例えは
、二つの直交する方向で走査すれば。

表面の凹凸を立体的に再構成することができる。

その幾何学的配置を選択することにより、被検査表面に
接触することなく、マクロ粗さ、マイクロ粗さ、縦断面
、高さの測定が可能である。

この方法は又、道路表面の粗さを測定するのにも利用で
きる。しかし、本方法の利用はこれに限定されるもので
はない。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による方法を実施する装置の略図、第２
図はさまざまなダイアフラム一対物レンズ距離に対する
対物レンズと被検査表面との間の光学距離の関数である
ところの比率Ｗ　ｆ　／　Ｗ　。 は第３図に示した実施例に適切な検出装置の略正面図で
あり、第３Ａ図はマトリックス検出装置そして第３８図
は環状検出装置を示している。 ２・・・被検査表面、４・・・対物レンズ、６・・・ダ
イアフ、ラム、１０・・・電磁波光線、１　ｔｌ、１４
′　・・・測定光線、 １５．１５′　・・・基準光線。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、物体もしくは構造物の表面の凹凸を、前記表面に接
   触することなく検出もしくは測定する方法であって、前
   記被検査表面を電磁波光線により照射し、前記表面から
   後方散乱した前記光線を対物レンズにより合焦し、前記
   対物レンズからの光線を測定光線及び基準光線に分離し
   、前記測定光線にダイアフラム作用を施し、前記ダイア
   フラム作用後の前記測定光線がエネルギー値Ｗｆを有し
   、前記ダイアフラム作用を受けない基準光線が総エネル
   ギー値Ｗｏを有し、前記入射光線及び前記対物レンズを
   前記被検査表面に対し平行かつこれから一定平均距離で
   変位させ、この変位作業中に前記測定光線及び前記基準
   光線のエネルギーを連続的に測定し、それぞれの測定点
   において前記値の比率Ｗｆ／Ｗｏを求め、前記変位作業
   中のこの比率の変化によって前記被検査表面の凹凸を測
   定する方法。 ２、前記入射光線が、前記表面から後方散乱された光線
   を前記表面に対し直交する角度で観察することを可能に
   する装置により、前記表面に直交する角度で照射される
   ところの、特許請求の範囲第１項に記載の方法。 ３、前記比率Ｗｆ／Ｗｏの変化が、前記対物レンズ及び
   前記被検査表面間の真光学距離が変化する時に最大とな
   る様に、前記対物レンズが前記被検査表面から平均光学
   距離に位置するところの、特許請求の範囲第１項に記載
   の方法。 ４、前記基準光線が前記対物レンズからの全光線により
   構成され、一方、前記測定光線が前記対物レンズからの
   前記光線の一部分により構成され、しかも前記部分の横
   断面が前記対物レンズからの前記全光線と同軸である円
   形上もしくは環状領域に限定されているところの、特許
   請求の範囲第１項に記載の方法。 ５、前記表面に対し直交する角度で照射及び観察を可能
   にするところの前記装置が前記入射光線に対し望ましく
   は４５°の角度に向けられた半透明板によって構成され
   ているところの、特許請求の範囲第２項に記載の方法。 ６、前記表面に対し直交する角度で照射及び観察を可能
   にするところの前記装置が前記入射光線に対し望ましく
   は４５°の角度に向けられたミラーによって構成されて
   いるところの、特許請求の範囲第２項に記載の方法。 ７、前記入射光線がレーザー光線であるところの、特許
   請求の範囲第１項に記載の方法。 ８、前記対物レンズからの前記光線が、前記光線を二つ
   の直交する光線に分離する光線分離キューブによって分
   離されるところの、特許請求の範囲第１項に記載の方法
   。 ９、前記対物レンズからの前記光線が、放射線を電気信
   号に変換する時に異なった領域を正確に限定できる様に
   構成された検出装置の感受表面に受け取られ、前記検出
   装置はまず前記基準光線の全横断面に対応する第１領域
   において受け取られるエネルギー値Ｗｆを測定するのに
   用いられ、次に、前記ダイアフラム作用を受ける前記光
   線の横断面に対応する相対的に小さな領域において受け
   取られるエネルギー値Ｗｏを測定するのに用いられると
   ころの、特許請求の範囲第１項に記載の方法。 １０、前記相対的に小さな領域が前記第１領域に含まれ
   るほぼ円形状あるいは環状領域であるところの、特許請
   求の範囲第９項に記載の方法。