JPS6295408A - 間隔測定方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、対向した直に設けられた穴のΔＨ１に接す
る２つの部品の間隔を？！ＴＩＩ定する方法に関する。

より詳しくは、例えばカラー受像管の電子銃の対向する
電極面に設けられた対向した小穴のＣ１部の２面幅を測
定する方法に関する。

〔従来の技術〕

電子銃の電極部は、例又は第３図に示すように構成すれ
ている。図において、（１）は陰極、（２）は陰極保持
部、（３）は陰極保持部（２）を支持している陰極サポ
ー１−　、ｆ４１〜（８）はそれぞれ第１〜第５電極で
、絶縁支持体（９）で一体に保持されている。陰１（１
１、第１電極（４）、第２電極（５）は一般に３極部と
称されろ。又電極には第４図に示す様に、それぞれ３個
の電子ビームの通過孔（１０１，Ｃｌ１ｌ、　　（１２
）が１列で一定間隔をもって設けられており、特に、３
極部の陰極（１）と第１電極（４）、第１電極（４）と
第２電極（５）の間隔および、３つの通過孔位置までの
間隔のばらつきは電子銃の性能に大きく影響する。一般
に陰極（１）は、陰極サポート（３）及び各電極（４）
〜（８）を絶縁支持体（９）に組み付けた後に陰極保持
部（２）内にｔｉｌ’ｉ人して固定し組立を行なう。第
１電極（４）と第２電極（５）の間隔は、組立誤差や電
極の変形等の為に各々の通過孔位置でばらついており、
性能を確保するには」１記間隔を測定しｒＡ極（１１の
位置決めを行うことが必要である。

従来、上記の電極間隔（３１の測定は第５図に示す様に
板状のスキマゲージ（１３）を用い人手によって行われ
ていた。これは、既知の厚みのスキマゲージ（１３）を
第１電極（４）と第２電極（５）の間に挿入し、手の感
触により判断して測定するものである。

〔発明が解決しようとする問題点〕

従来の電極間隔の測定方法は、以上の様に行われている
ので精度よく測定する乙とがてきず、また各電子の通過
孔位置での間隔を別々に測定するのは不可能であり、さ
らに電極直に接触する為に、キズの発生や電極の位置ず
れなどの問題があった。

この発明は、上記のような問題点を解消するためになさ
れたもので、高精度で非接触に電極間隔（Ｓ）を測定で
きる間隔測定方法を得ろことを目的としている。

〔問題点を解決するための手段〕 この発明に係る間隔測定方法は、対向する部品の２回上
に設けたそれぞれのパターンの輪郭に接する部品の２面
幅を測定する方法において、上記２直に反射して、この
２面の間を通過する光束を設けろと共に、この光束を受
ける撮像装置を備え、乙の撮像装置に投影された上記パ
ターンの斜視像の間隔を、撮像素子を構成ずろビット数
から測定するようにしたものである。

〔作用〕

この発明においては、対向ずろ電極等の間を通過出来る
光たスを設けろと共に、上記電極を介して反対側にテレ
ビカメラを備えて投光すると光源より発した光は上記対
向する電極の間（以下２面と言う）を直接通過してテし
・ビカメラに入る尤と、上記２面に反射してテレビカメ
ラに入る光が出来ろ。このとき、この２面の表面に穴又
は傷又はその他のパターンがあればその模様はテレビカ
メラに撮像されろ。このテレビカメラの中には無数の撮
像素子が規則正しく配列しているから光の明暗を示す素
子の数（ビット数）を数えれば被写体ずなわら上記バク
〜ンの間隔を間接的に測定することが出来る。又、例丸
ばテレビカメラによれば焦点の位置を変えて次々に隣接
するパターンの間隔を測定ずろ。

〔実施例〕

第１図（ａ）、（ｂ）はこの発明の一実施例を示すもの
で、ｌａ）はその構成を示す断面図、（ｂｌはそのパタ
ーンの投影図である。

図において、（１）は陰極、（２）はこの陰極保持部、
（３）は陰極サボー１−　、（４１と（５）は第１電極
と第２電極であってこの被測定部ＣＰ）における電極間
隔（Ｓ）を測定する。（６）は第３電極、（７）と（８
）（よ第４電極と第５電極であって、この間隔も測定の
対家となる。、（９１ｉよ上記（１）〜（８１まての部
品を支持している絶縁支持体（第３図参照）、００）〜
（１２）はそれぞれ電子ビーム通過孔であって上記（４
）〜（８）の電極にば各ノン３ケずつ開孔されている。

（１４）は′ｇ！測定部ＣＰ）の電極間隔（Ｓ）の間を
通過してテレビカメラ本体（１５）に設けた撮像素子（
１７）に光（、Ｌ　）を送る光源、（１６）はこの光（
Ｌ　＋の中から被写体であるｌ　ｆｌｌｌｌ定部（Ｐ）
を結像させるレンズ、（＋７ａ）は撮像素子（１７）の
結像を拡大したモニター面の画像、Ｓａは画像（１７ａ
）示された被測定部（Ｐ）におけろパターンの間隔であ
る。

次に動作について説明する。光源（１４）から放ｑ１さ
れた光（Ｌ＋は第１電極（４）及び第２電極（５）の間
を通過すると共に被測定部（Ｐ）の２面で反射され、テ
レビカメラ本体（１５）のレンズ（１６）で集光され、
撮像素子（１７Ｎ：に投射する。この時被測定部（Ｐ）
の穴からは光が反射しないので、撮像素子（１７）」ニ
では、（ｂ）図に示す様に扁平になった穴の像ができろ
。又、レンズ（１６）の焦点は？２！！測定部（Ｐ）に
合わせているので、他の２つの穴［１０）　。

（１１）に相当の像はボケでしまい、中心をＸ−Ｘ軸に
合わせた穴の像だけがはっきりと写る。従って、撮像素
子上の像すなわち明暗のパターンから穴の中心を認識し
、この中心間隔（Ｓａ）の素子を構成するビット数から
電極間隔（Ｓ）が求められる。

なお上記実施例で、放射状の光（Ｌ）を発光する光源（
１４）を使用した時に、はっきりした電極面の穴の像が
得られない場合には、光源（１４）と被測定部（１））
との間に中央部を遮へいした凸レンズを設けたり、それ
ぞれの電極面に斜めに入射する２つの平行光線を使用す
れば、より鮮明な像が得られる。又ｉ［極１／４１隔が
狭（なり、回折現象の為に２つの穴の像を同時に得るの
が困難な場合に（ま、第２図に示すように、一方の側か
ら先端が第１電極（４）あるいは第２電極（５）の電子
通過孔より小さな径のノズル（１８）を挿入し、段付き
部を第２電極（５）の反対側の面に当接させろ。第１電
極（４）の穴の像とノズル（１８）のノズル像（１８ａ
ｌは容易に得られるので、穴の中心とノズル先端の距離
（Ｂａ）を計ａ１１＋／、間接的に電極間隔を求めるよ
うに（７てもよい。

さらに上記実施例では、第１電極（４）と第２電極（５
）の間隔測定について示したが、他の電極間隔の測定あ
るいは、同様な穴を有するする２つの平行面間の間隔測
定に使用できることは言うまでもない。又、電極面の穴
の像の中心位置を自動で認識し間隔を求める方法を示し
たが、穴の像をモニクテし・ビ上に表示ずろと同時に２
つのボリューム（こよりそれぞれ移動できる罫線を表示
し、作業者がボリュームを操作して罫線を穴の中心に合
わせ、罫線間の距離を計測して間隔を求めても、安価で
高精度な測定ができろ効果がある。

〔発明の効果〕

この発明は以−ヒ説明した通り、被測定物の対向する２
面より反射した光をテレビカメラ等の撮像装置によって
受像し、このテレビカメラ内に設けた撮像素子が感する
明暗のビット数から被測定物の寸法を算出するようにし
たので狭小な部分の二面内にある複数のパターンの間隔
を比較的部ｊｌ　ニ、精度良く測定出来ろばかりでなく
手動・自動測定装置への応用が容易である。

なおこの測定方法は対向する２面内のパターンの寸法測
定のみならず、その他の寸法測定に応用してｔ）効果が
ある。

更に自動測定に応用すれば生産性の向上に寄与出来る。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）、（ｂ）はこの発明の一実施例による間隔
測定方法を示すもので、（、）は断面図。 （ｂ）はパターン図、第２図はこの発明の応用動作の説
明図、第３図及び第４図はこの発明に係る被写体の電子
銃組立体の構成図、第５図は従来の間隔測定方法を示す
断面図である。 図おいて、（４）は第１電極、（５）は第２電極、ＱＯ
Ｉ〜（１２）は電子ビーム通過孔、（１４）は光源、（
１５）はテレビカメラ本体、（１６）はレンズ、（１７
）ｌよ撮像素子、（Ｓａ）はパターン像の距離、Ｐは被
測定部、（Ｓ）は電極間隔である。 なお、各図中同一符号１．を同一または相当部分を示す
。 代理人　弁理士　佐　藤　正　年 第１図 Ｌ′先 第２図 ｑｏ 第３図 第４図 ニー−０−一二

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 対向する部品の２面上に設けたそれぞれのパターンの輪
   郭に接する部品の２面幅を測定する方法において、上記
   ２面に反射してこの２面の間を通過する光束を設けると
   共にこの光束を受ける撮像装置を備え、この撮像装置に
   投影された上記パターンの斜視像の間隔を撮像素子を構
   成するビット数から測定することを特徴とする間隔測定
   方法。