KR20000069496A - 인광층이 설치된 기판 검사 방법 - Google Patents

인광층이 설치된 기판 검사 방법 Download PDF

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Abstract

기판상의 인광 스크린층의 특성이 상기 기판 및 상기 층을 투과하는 적외 방사빔의 투과 및 빔의 강도 측정에 의해 결정된다. 상기 방사는 CCD 카메라에 의해 측정될 수 있다.

Description

인광층이 설치된 기판 검사 방법{Method of inspecting a substrate furnished with a phosphor layer}
음극선관들은 특히 텔레비전 수상기들 및 컴퓨터 모니터들에 이용된다. 램프들은 조명 장치들에 이용된다.
음극선관들 및 플라즈마 표시 장치들 등의 표시 장치들은 표시창의 내면상에 인광층을 포함한다. 인광 스크린은 다수의 층, 예를 들면 세 개의 인광층들(적, 녹, 청)을 포함한다. 이들 층은 블랙 매트릭스층이라고도 하며, 때때로는 칼라 필터층들이라 한다. 표시 장치에 의해 표시된 화질은 상기 층들의 특성들에 의해 상당한 정도로 결정된다. 음극선관에서의 인광층들의 여러 특성들을 결정하는 방법에 대해서는 예를 들면 일본 특허출원 제 08-162023 호의 영문 요약서에 개시되어 있다. 인광층들의 위치는 광학적 측정 수단들에 의해 결정된다.
인광층들은 또한 램프들의 내면에도 제공된다. 램프들의 품질은 제공된 인광층의 질에 달려 있다.
그러나, 여러 특성들 및 특히 층 두께는 공지되어 있는 방법으로는 측정이 곤란하다. 지금까지는 통상적으로 두께 측정이 두께를 측정하는 인광층을 절개함으로써 이루어지고 있다. 그러나, 이 측정 방법은 파손을 가져오므로, 비용을 증가시키며 또한 판매할 생산품을 테스트하는 것이 불가능하다.
본 발명은 기판상의 인광 스크린층의 특성을 결정하는 방법에 관한 것이다. 상기 층은 예를 들어 표시 장치의 표시창의 내면에 제공될 수도 있고, 또는 예를 들어 음극선관의 표시 창의 내면이나, 램프에 제공될 수도 있다.
도 1은 표시 장치의 단면도.
도 2는 본 발명에 따른 방법에 대한 실시예를 개략적으로 도시하는 도면.
도 3은 다수의 지점들에 대한 투과도 측정을 도시하는 도면.
본 발명의 목적은 예컨대 표시 장치나 램프의 표시창의 내면 등의 기판상의 인광 스크린층의 특성들을 비파괴적 방식으로 결정할 수 있도록 하는데 있다.
이를 달성하기 위하여, 본 발명에 따르는 방법은, 기판 및 층이 적외선 방사에 노출되고, 그 빔의 강도는 상기 층 및 상기 기판을 통과한 후에 다수의 스폿에서 측정된다.
본 발명은 인광 스크린층의 적외선광 투과가 층의 두께 및 다공도(porosity)에 의해, 그리고 다소나마 기판 및/또는 인광 층의 다른 특성들에 의해서도 지배된다는 인식에 기초하고 있다. 다른 방사(가시광 또는 UV 방사)는 대부분 기판(대개는 유리 종류)의 재료나 층의 재료에 의해 흡수된다. 칼라 필터층들 및 블랙 매트릭스층들뿐만 아니라 인광층들도 가시광 스펙트럼에 있어 흡수도가 높게 나타난다. 따라서, 가시광이나 UV 방사의 투과도는 훨신 낮으며 모든 종류의 교란 변동을 받게 된다. 그러나, 적외선 광을 사용함으로써, 층의 두께(및/또는 이하에서 설명되는 바와 같이 다른 특성들)를 간단하고 비파괴적인 방식으로 측정할 수 있게 된다.
본 발명에 따른 방법은 인광층의 층 두께를 결정하는데 특히 이점적으로 이용될 수 있고, 동작에 있어서 가급적이면 인광층의 다공도를 결정한느데에도 이용될 수 있다.
적외선 방사의 거의 평행한 빔은 기판 및 인광층을 지나 투과되는 것이 바람직하다.
거의 평행한 빔을 이용하면 인광층의 두께를 보다 정밀하게 결정할 수 있다.
본 발명은 또한 인광 스크린층이나 기판층의 특성을 결정하기 우한 장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 장치는 기판의 홀딩 수단과, 적외선을 방사하는 적외원과, 상기 적외원에 의해 방출되고 상기 기판 및 상기 인광층을 지나는 적외선 방사를 기록하거나 측정하는 기록 수단을 포함하는 것을 특징으로 한다. 상기 기록 수단은 예를 들면 적외선 카메라일 수도 있다.
본 발명의 상기 및 다른 양태들에 대해서는 하기의 실시예들 및 첨부 도면들로부터 명백해지게 될 것이다.
상기 도면들은 척도에 따라 도시된 것은 아니다. 도면들에 있어서 동일 도면 부호들은 대개 동일한 부분을 언급한다.
칼라 표시 장치(1)는 표시창(3), 원추형부(4), 목부(5)를 구비한 진공 배기된 엔벨롭(2)을 포함한다. 상기 목부(5)는 세 개의 전자 빔들(7, 8, 9)들 발생하기 위한 전자총(6)을 수납하고 있다. 표시 스크린(10)은 표시창의 내면에 위치한다. 상기 표시 스크린(10)은 적색, 녹색, 청색으로 냉광을 발하는 인광 요소들의 인광 패턴을 포함한다. 표시 스크린쪽으로의 빔들의 경로에 있어서, 상기 전자빔들(7, 8, 9)은 편향 유닛(11)에 의해 표시 스크린(10)을 지나 편향되고, 표시창(3)의 앞면에 배열되며 개구(13)들을 가진 얇은 판을 포함하는 칼라 선택 전극(12)을 통과한다. 상기 칼라 선택 전극은 현가(suspension) 수단(14)에 의해 표시창에서 현가된다. 음극선관은 또한 자기 차폐 케이스(15)를 포함한다. 세 전자 빔들은 섀도우 마스크의 개구들을 통과하고 각 전자 빔들은 단 하나의 색의 인광 요소들 상에 충돌한다.
도 2는 본 발명을 따르는 방법 및 장치를 도시하고 있다. 적외선 방사는 적외원(1)에 의해 방사된다. 기판(3)(본 실시예에서는 음극선관의 표시창)의 위치가 고정된다. 인광층(4)이 표시창에 제공된다. 본 실시예에 있어서, 시준기(2)가 적외원 및 기판 간에 배열되므로 기판에 입사하는 적외 방사선은 서로에 대해 거의 평행하다. 적외 방사는 적어도 기판(3) 및 인광층(4)을 일부 통과한다. 카메라(5)(본 실시예에서는 CCD 카메라)는 통과한 적외 방사의 강도를 기록한다. 적외 방사 이외에, 소스가 다른 방사(예컨대, 가시광)를 또한 방사하는 경우에, 적외 방사를 통과시키는 필터는 카메라 및 소스 사이에 배열된다. 그 측정된 값은 컴퓨터(6)에 공급된다. 상기 측정 결과들은 모니터(8)상에 가시화될 수 있다. CCD 카메라 및 기판은 서로에 대해 이동 가능하므로, 강도는 여러 위치에서 측정될 수 있다. CCD 카메라(5)는 스테핑(stepping) 모니터(10)에 의해 필터와 함께 이동이 가능하다.
통과된 적외 방사의 강도는 다음의 공식에 따라서 제 1 차 근사법으로 인광층의 두께에 의존하여 얻어진다.
상기 식에서 T는 통과된 적외광의 강도, T0는 인광층상에 입사하는 방사 강도, s는 상수, t는 인광층의 두께이다.
따라서, T0를 알면, 강도 T의 측정에 의해 인광층의 두께가 얻어진다. T0는 인광층없이 기판상의 눈금 측정에 의해 쉽게 결정될 수 있다. 상수 s는 알고 있는 두께의 인광층에 대한 눈금 측정에 의해 결정될 수 있다. 여러 지점에서 투과도 T를 측정함으로써 인광층의 두께 분포가 결정될 수 있다. 다공도는 인광층의 홀들에 대해 강도가 최대치인 것을 추정하는 사실에 따라서 결정될 수 있다.
도 3은 인광 라인에 대응하는 라인을 따라 기록 수단(CCD 카메라)의 위치의 함수로서 그 강도를 개략적으로 도시하고 있는 도면이다. 측정 지점(8, 10)들에 대한 값이 매우 높은 것은 인광 라인내의 홀들에 의한 것이고(최대치는 I0에 대응한다), 다른 값들의 편차는 인광 라인의 두께의 편차에 기인한다. 따라서, 층의 두께 편차 및 층의 평균 두께(다른 지점들에서의 두께를 결정하여 평균을 구함)뿐만 아니라 상기 측정에 의해서 평균 다공도가 결정될 수 있다(예외적으로 매우 높은 값을 갖는 측정치들의 분수에 의해서. 본 실시예에서는 20중에서 2).
가시광 및 UV광의 경우에 있어서는, 투과된 광의 강도 측정으로부터 인광층의 두께를 결정하는 것이 불가능하거나 극히 어렵다. 일반적으로, 인광재의 흡수도 및 유리의 흡수도가 훨씬 크며, 이들의 흡수도는 또한 파장 종속이다. 따라서, 투과된 광의 강도는 입사광의 양이 동일한 때에 훨씬 작으며, 또한 광원의 스펙트럼 및 인광재의 합성과 기판의 두께 및 정확한 합성에 의해 상당한 정도로 영향을 받는다.
본 발명의 범위내에서 다양한 변형이 가능함은 명백하다. 실시예에 있어서, 본 발명은 음극선관의 표시창의 내면상의 인광층에 대한 측정에 의해 설명되어져 있다. 기판은 또한 인광층이 제공되는 램프의 일부를 형성할 수도 있다. 또한 칼라 필터층들의 특성들(두께, 다공도)이 결정될 수 있다. 측정치들은 선택적으로 이용될 수 있다. 즉, 표준 인광 스크린이나 램프들을 적절히 구별하고 제조 공정에서는 제외된다. 측정치들은 또한 인광 스크린을 제조하는데 이용될 수 있다.
인광 도트들의 형태(두께 편차 및 두께뿐만 아니라 위치)를 결정할 수 있다.
제조 공정의 변화는 형상이나 두께나 두께 편차에 영향을 준다. 이와 같은 변화는 본 발명에 따른 방법을 채용함으로서 간단하고 비파괴적 방식으로 측정될 수 있다.
예를 들면, 도 3에 있어서, 지점(5∼9)들은 인광 도트들에 대한 인광층의 두께 편차를 도시한다. 수직축상에는 측정된 투과도(1대10의 상대적 척도)가 부여되고 수평축은 측정 지점의 수를 표시한다. 인광 도트(지점 5)의 한 측면에서는 투과도가 낮으며, 이는 비교적 두꺼운 두께에 해당되는 반면, 인광 도트의 반대측면상에는 투과도가 매우 높으며, 이는 인광층의 비교적 얇은 두께에 해당된다.

Claims (8)

  1. 기판상의 인광 스크린층의 특성을 결정하는 방법에 있어서,
    상기 기판 및 상기 층은 적외 방사빔에 노출되고, 상기 빔의 강도는 빔이 상기 층 및 상기 기판을 통과한 후에 측정되는 것을 특징으로 하는 방법.
  2. 제 1 항에 있어서, 실질적으로 평행한 적외 방사빔은 상기 기판 및 상기 층을 지나 투과되는 것을 특징으로 하는 방법.
  3. 제 1 항에 있어서, 인광층의 층두께는 강도 측정으로부터 결정될 수 있는 것을 특징으로 하는 방법.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 인광층의 다공도는 상기 강도 측정으로부터 결정될 수 있는 것을 특징으로 하는 방법.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 기판은 음극선관의 표시창을 형성하는 것을 특징으로 하는 방법.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 기판은 램프의 일부인 것을 특징으로 하는 방법.
  7. 기판상의 인광 스크린층의 특성을 결정하는 장치에 있어서,
    상기 기판을 홀딩하는 수단과, 적외선을 방사시키는 적외원과, 상기 적외원에 의해 방사되어 상기 기판 및 상기 인광층을 투과한 적외 방사를 기록하거나 측정하는 기록 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  8. 제 7 항에 있어서, 상기 적외원에 의해서 방사된 적외 방사를 충돌시키는 수단은 상기 적외원 및 상기 홀딩 수단 사이에 위치하는 것을 특징으로 하는 장치.
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