JPS629001A - 加工機械の電気液圧サ−ボ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の技術分野］ この発明は成型、打法、折曲用等のプレス機械、インジ
ェクション機械、剪断機械等、各種加工機械の作動体の
制御に利用することができる電気液圧サーボ装置に関す
る。

［従来技術の説明］ 従来より、加工機械の電気液圧サーボ装置は各種提案さ
れ、又、実用化されている。これら電気液圧サーボ装置
は、基本的には所定圧力の液体の流量制御を行なって、
作動体の位置及び速度の制御を行うものであり、作動体
を位置及び速度に関して所望のものに制御することが可
能である。

［例えば、昭和５８年１０月３０日、株式会社オーム社
発行の自動制御ハンドブック（Ｉ！１器・応用編＞４０
５−４２６頁］。

しかしながら、従来の電気油圧サーボ装置にあっては作
動体を位置及び速度に関して所望のものに制御できるも
のの、作動体の加工圧までは十分に制御することはでき
なかった。

例えば、折曲機械における折曲終了位置でのダイに対す
るパンチの制御は位置決め制御に合わせて圧力制御を行
うのが望ましく又、この圧力制御の内容は、圧印（コイ
ニング〉作業、位置決めによる折曲作業等作業種に応じ
て変更可能とするのが望ましいのである。

又、例えば、樹脂等の成型加工に用いられるインジェク
ション機械におけるピストン抑圧作業は、所定速度で所
定位置に抑圧すれば十分かのようであるが、実際には、
成型加工機械の成型圧力に関連して、圧力制御を合わせ
て行うのがより好ましいのである。つまり、例えば、樹
脂成型金型への射出において、初期において比較的弱い
圧力で所定樹脂を所定の金型に射出することとし、樹脂
が成型金型内に略十分充填された段階で圧力上昇を見て
最後に比較的強い圧力で射出するようにすれば、樹脂材
料の無駄を無くし、かつ、十分な充填が可能となる態様
等が考えられるのである。又、この場合でも樹脂の種別
により、又、金型種別により圧力制御の内容を変更可能
とすることも望まれる。

なお、電気液圧サーボ装置には何らかの緊急停止手段が
設けられることがあるが、この緊急停止手段を作動させ
たとき、サーボ弁が無制御状態となり、ともすれば機械
に無理な振動を与えることがあった。

［発明の目的］ この発明は上記に鑑み、位置及び速度の制御に合わせて
圧力制御をすることが可能であり、かつ、緊急停止時に
機械にｊ＆勅を生じさせることがない加工機械の電気液
圧サーボ装置を提供することを目的とする。

［発明の概要］ 上記目的を達成するためにこの発明では、圧液供給回路
から供給される圧液をサーボ弁を介してシリンダ装置に
供給しこのシリンダ装置で所定の作動体を所定速度に制
御する加工機械の電気液圧サーボ装置において、前記圧
液供給回路に液圧を所定のものに設定する液圧設定回路
を備え、前記サーボ弁と前記シリンダ装置との間には前
記シリンダ装置への圧油の供給を前記サーボ弁の最大絞
り速度より荏い速度で遮断する緊急遮断回路を備えて加
工機械の電気液圧サーボ装置を構成し、シリンダ装置に
供給される液圧を所望のものにすることができると共に
、緊急遮断時であってもサーボ弁が無制御状態となるの
を防止した。

［実施例の説明］ 以下、この発明の詳細な説明する。

第１図に装置の概要図を示している。電気液圧サーボ装
置５は所定圧力の液体をサーボ弁１を介してシリンダに
供給し該シリンダ内のピストンロッドを介して接続され
た作動体３を位置及び速度制御する。電気液圧サーボ装
置５は前記液体の圧力及び前記作動体３の移動速度を指
令する液圧及び作動体速度指令手段７と、該手段７で指
令された圧力の液体を生成する汁液生成手段９と、該手
段９で生成された圧液サーボ弁１に供給する圧液供給手
段７と、前記液圧及び作動体速度指令手段７からの作動
体速度の指令を受けてサーボ弁開叶を制御るサーボ弁制
御手段１３と、前記作動体３の位置を検出する作動体位
置検出手段１５と、制御モードを設定するモード設定手
段１７と、該手段の設定モード及び前記作動体３の現在
位置とに基づいて前記液圧及び作動体速度指令手段７の
指令値を変更する条件設定手段１９と、を有している。

第２図〜第１１図はこの発明に係るサーボ装置を折曲機
械に適用した実施例を示している。

第２図は折曲機械の側面図、第３図は折曲機械の正面図
、第４図は油圧回路の系統図、第５図は電気回路のブロ
ック図、第６図は同調回路の詳細図、第７図は寸動モー
ドのフローチャート、第８図は運転モードのフローチャ
ート、第９図は両手押釦操作モードのフローチャート、
第１０図は単動モードのフローチャート、第１１図は単
動モード下での各部材の動作状態を示すタイムチャート
である。

第２図及び第３図に示したように、折曲機械２１は下部
フレーム２３と、側面フレーム２５（２５Ａ、２５Ｂ＞
と、昇降自在のラム２７とを有している。この折曲機械
２１は前記下部フレーム２３の上端に取付けたダイ２９
と前記ラム２７の下端に取付けたバンチ３１との間で図
示しない板材を折曲加工する形式のものである。

前記ラム２７は前記側面フレーム２５　（２５Ａ。

２５ｂ）の上方に取付けられたシリンダ３３（３３Ａ、
３３Ｂ）に図示しないピストン及びピストンロッド３５
　（３５Ａ、３５Ｂ＞を介して接続されている。ラム２
７とピストンロッド３５（３５Ａ、３５Ｂ）との接続は
第３図に示した平面内で揺動自在となるよう軸支される
ものである。なお、シリンダ３３　（３３Ａ、３３Ｂ）
の上端にはサーボ弁３７　（３７Ａ、３７Ｂ）が取付け
られている。

折曲機械２１の一側面には制御盤３９が設けられ、この
制御盤３９内に折曲機２１を制御するためのＮＣ装置Ｎ
ｃ及びラムを制御するためのラム制御モジュールＲＯＭ
が収納されている。折曲機２１の上方前面に設けられた
ペンダント４１は前記制御盤３９と旋回ダクト４３を介
して接続され制御ｆｉ３９の回りに旋回可能とされると
共に旋回ダクト４３の取付点の回りに回転可能に接続さ
れ、折曲機２１の前面を左右方向に移動可能に構成され
ている。このペンダント４１の前面には折曲機２１の操
作のためのスイッチ等を備えた操作パネル（図示せず）
が取付けられている。

折曲機２１の前記ラム２７の両端付近にはりニアスケー
ル４５　（４５Ａ、４５Ｂ）が取付けられ、このリニア
スケール４５　（４５Ａ、４５Ｂ）と対向して、検出ヘ
ッド４７　（４７Ａ、４７Ｂ）が下部フレーム２３に対
して固定的の取付板４９Ｇ（４９Ａ、４９Ｂ）に取付け
られている。このリニアスケール４５　（４５Ａ、４５
Ｂ）と検出ヘッド４７　（４７Ａ、４７Ｂ）で構成され
る位置検出装置の検出精度は０．０１ｍｍ〜０．００１
ｍｍ程度とされている。

なお、折曲機２１にはフットベタルＦＳが付属されてお
り、フットベタルＦＳにはラム下降指令用のフットペタ
ルＤＳと、ラム上昇指令用のフットペタルＵＳとが備え
られている。そして、オペレータはフットペタルＦＳを
足踏操作することにより、ラム２７を上背又は正時方向
に駆動指令することが可能である。

第４図に示したように、油圧回路５１は２つのシリンダ
３３Ａ、３３Ｂに油を供給するための２系統の回路を有
して成っており、これら回路は前記制御５Ｊ３９からの
電気信号に基づいて制御されている。

油圧回路５１は圧液生成部５３と、サーボ部５５と、圧
液供給部５７とから成っている。

圧液生成部５３は油ポンプＰＯＭＰと、目詰りヂエック
用圧力スイッチＳＷ１を備えたラインフィルタＦＩＬＴ
と、電磁比例弁５ＯＬＥとを有している。

前記油ポンプＰＯＭＰはモータＭで駆動され、油タンク
ＴＡＮＫ内の油を吸みとってこの油を前記ラインフィル
タＦＩＬＴを介して油路ＯＬＩに提供する。

前記電磁比例弁５ＯＬＥは電気回線Ｌ１を介して前記制
御Ｉ盤３９から電気信号を入力し、この信号に基づいて
前記油路ＯＬＩの油圧を所定のものに調整する。本例で
は電磁比例弁５ＯＬＥとして圧力調整誤差２％以下のも
のを使用した。従って、本例では油路ＯＬ１の圧力を誤
差２％以内で所定のものに設定可能である。

サーボ部５５は２つのサーボ弁３７（３７Ａ。

３７Ｂ）で構成されている。

サーボ弁３７Ａは４ポ一ト２段ノズルフラッパ形の電気
油圧式サーボ弁である。モして圧液供給用の前記油路Ｏ
Ｌ１とドレン油路ＯＬ２とを２つのポートＰ、Ｔに接続
し、他の２つのポートＡ。

Ｂに前記シリンダ３３Ａの上室と接続される油路○Ｌ３
と前記シリンダ３３Ａの王室側に後述の制御弁を介して
接続される油路ＯＬ４とを接続している。従って、サー
ボ弁３７Ａは油路ＯＬ１の圧油をシリンダ３３Ａの上室
と接続される油路ＯＬ３に供給することができ、シリン
ダ３３Ａの王室側と接続される油路ＯＬ４からの排油を
ドレン油路ＯＬ２に排出することができる。又、これと
は逆に油路ＯＬ１の圧油をシリンダ３３Ａの王室側と接
続される油路ＯＬ４に供給することができると共にシリ
ンダ３３Ａの上室と接続される油路ＯＬ３からの排油を
ドレン油路ＯＬ２に排出づることができる。

サーボ弁３７Ｂの構成はＩサーボ弁３７Ａと同一であり
、ボー１−Ｐ、Ｔには油路ＯＬ１、Ｏ１２が接続されて
いる。そして、ポートＢはシリンダ３３Ｂの上室と接続
される油路ＤＬ５に接続され、ボートＡは、シリンダ３
３Ｂの下室側に後述の制御弁を介して接続される油路Ｏ
Ｌ６と接続されている。従って、サーボ弁３７Ｂはサー
ボ弁３７Ａと同様に、油路ＯＬ１の圧油を油路ＯＬ５又
は油路ＯＬ６に供給することができると共に、油路ＯＬ
６又は油路ＯＬ５からの排油をドレン油路ＯＬ２に排出
することが可能である。

サーボ弁３７Ａの流ム制御は電気回線Ｌ２の電圧信号で
行われ、サーボ弁３７Ｂの流伍制御は電気回線Ｌ３の電
圧信号でそれぞれ個別に行われている。この制御は、通
常は、シリンダ３３△、３３Ｂ内のピストンＰＳＡ、Ｐ
ＳＢが常時同一方向に同一速度で作動するように制御さ
れるものである。

圧液供給部５７は前記サーボ弁３７（３７Ａ。

３７Ｂ）から出力される流船制御されたた圧油を前記シ
リンダ３３　（３３Ａ、３３Ｂ＞の上室又は王室に所定
制御の下で供給するものである。

図示の通り、前記油路ＯＬ４にはチェック弁Ｃ■とカウ
ンタバランス弁ＣＢ　Ｖとが直列に接続されでいる。又
、前記チェック弁Ｃｖと並列に２ポ一ト２位置の切換弁
５ＱＬ２−Ａが接続されている。更に、前記カウンタバ
ランス弁ＣＢＶには、３ボ一ト２位置のソレノイドパイ
ロット弁５ＱＬ２−Ａでパイロット制御されるパイロッ
トチェック弁ＰＣＶが接続されている。なお、前記シリ
ンダ３３Ａの上室には他のパイロットチェック弁ＰＣＶ
２が接続され、そのパイロット路は前記チェック弁ＣＶ
と前記カウンタバランス弁ＣＢｖとの間に接続されてい
る。又、前記シリンダ３３Δの王室には圧力スイッチＳ
Ｗ２が設けられている。

シリンダ３３Ｂ側の回路についても同様であり、参照符
号、！：Ｌｒ５ＯＬ１−Ａ１．：対し、５ＯＬ１−８を
、８０１２−　Ａに対し５ＱＬ２−８を、ＳＷ２に対し
ＳＷ３を付している他面−機能を果す部材には同一参照
符号を何して示している。

前記ソレノイド弁５ＯＬ１−Ａ　（ＳＯＬｌ−８＞はラ
ム２７を下降させる場合にオンとされるが、ラム２７の
下降途中での停止時に際してオフとされ、油路○Ｌ４を
遮断してラム２７の停止を確実に行う作用を為す。

前記ソレノイドパイロット弁５ＯＬ２−Ａ　（ＳＱＬ２
−８）は前記ラム２７の高速下降に際してオンとされて
パイロットチェック弁ＰＣＶ１をオンとし、シリンダ３
３Ａ下室からの排油をカウンタバランス弁ＣＢＶを通す
ことなく油路ＯＬ４に排出する作用を為す。なお、前記
ソレノイド弁５ＯＬ１−Ａ、ＳＱＬ　１−Ｂ、及び、コ
レらパイロットソレノイド弁５ＱＬ２−Ａ、５ｏｌ−２
−Ｆ３の詳細な作用については第１１図で詳述する。

前記パイロットチェック弁ＰＣＶ２は、ラム上界時にシ
リンダ上室に圧力が隠るのを防止すると共に高速下降時
の吸込み作用の役目を為す。

なお、図示の通り、ラム２７の両端部に設けた検出ヘッ
ド４７Ａ、４７Ｂからの位置検出信号は゛冶気回線Ｌ４
．Ｌ５を介して制御盤３９に送られている。第５図で詳
述する制御盤３９内のラム制御モジュールＲＯＭはこの
回線Ｌ４．Ｌ５がらの信号を位置制御の帰還信号として
入力しラム２７が所定位置、所定速度となるようにサー
ボ弁３７Ａ、３３Ｂを制御しているのである。

第５図に電・気団路の詳細図を示した。

電気回路５３はＮＧ装置ＮＣと、ラム制御モジュールＲ
ＯＭとから成る。

ＮＣ装置ＮＣは、主制御部５５とシーケンサ及びリレ一
部５７と、通信部５９とを有している。

主制御部５５は図示しない中央処理装置（ＣＰＵ）、リ
ードオンリーメモリ°（ＲＯＭ）、ランダムアクセスメ
モリ（ＲＡＭ）等を有し、全体を総括制御する。

シーケンサ及びリレ一部５７は上昇、下降指令用のフッ
トペタルスイッチＤＳ、ＵＳ、電磁比例弁５ＯＬＥ用の
アンプ６１、ソレノイド弁５ＱＬ１−Ａ、５ＯＬ１−Ｂ
、その他のスイッチＳＷｎ、その他のソレノイド５ＯＬ
ｎ等と接続され、これらスイッチから入力されるスイッ
チ情報を所定手段で処理して所定のソレノイドを適時に
作動させる役目を為す。

シーケンサ及びリレ一部５７にアンプ６１を介して接続
された電磁比例弁５ＯＬＥは、シーケンサで定められる
条件に応じて作動され、第４図に示した油路ＯＬ４の圧
力を適正に制御する。

通信処理部５９はＮＣ装置ＮＣとラム制御モジコールＲ
ＯＭとの通信を行うためのものである。

なお、主制御部５５はペンダント４１と接続されている
が、ペンダント４１の操作パネルにはマニュアルデータ
インプット装置ＭＤｉ、モード選択スイッチ６１、ラム
２７（第３図参照）の現在位置や油圧等を表示する表示
器６３、手動パルス発生器６５等が設けられている。モ
ード選択スイッチ６１は、手動、自動モードの他、寸動
、単動、連続運転（以下、運転と略称する）、両手操作
等のモード選択を行うためのものである。手動パルス発
生器６５は手動で回転操作され回転量に応じたパルス信
号を発生するものである。主制御部は手動モード時にこ
の手動パルス発生器６５が回転された場合には所定のサ
ンプリングタイム毎のパルス毎を読み取って、読取憑を
データとして通信処理部５９を介してラム制御モジュー
ルＲＯＭに送信する。

ラム制御モジコールＲＯＭは通信処理部６７と、コマン
ド解析部６９と、２つのサーボ弁制御部７１．７３と、
同調回路ＳＣ１並びに、ドライバＤＶとを有している。

通信処理部６７は前記通信処理部５７との通信をシリア
ル通信回路Ｌ６を介して行うものである。

コマンド解析部６９は前記シーケンサ及びリレ一部５７
とステータス回線Ｌ７を介して接続されており、シーケ
ンサ及びリレ一部５７に発生したステータス情報を入力
し、入力したステータス情報を解析して、解析結果をサ
ーボ弁制御部７１（７３）に連絡する。

サーボ弁制御部７１は位置決め状態管理部７５、外部信
号ステータス処理部７７、カウンタを内蔵した現在位置
検出部７９、速度パターン設定部８１、指令値演算出力
部８３を有している。

状惧管理部７５は現在位置管理部等を有し、通信処理部
６７及びコマンド解析部６９から所定信号を入力して、
サーボ弁３７Ａを適正制御すべくサーボ弁制御部７１の
全体を総括管理している。

速度パターン設定部８１は１又は複数の速度パターンを
有しており、設定された制御モードに応じて、或いは、
現在状態に応じて所定の速度パターンを抽出し、これを
指令値演算出力部８３に提供する。速度パターンは位置
に対する速度のパターンの他、時間に対する速度のパタ
ーン、その地圧力に対する速度のパターン等指定できる
が、ここでは、位置に対する速度のパターンのみが格絡
されており、例えば所定位置への位置決め指令に対して
、現在位置から位置決め位置間を、所定加速度の加速域
、所定速度の等遠域、所定減速度の減速域に区分する速
度パターンが格納されているとする。

指令値演算出力部８３は速度パターン設定部８１で設定
される速度パターンに従って指令電圧を演算し、演算さ
れた電圧をサーボアンプ８５Ａへ出力する。

サーボアンプ８５Ａは、入力電圧を増幅し、増幅電圧を
サーボ弁３７Ａへ出力する。なお、サーボアンプ８５Ａ
には、検出ヘッド４７Ａからのパルス信号が周波数−電
圧変換器Ｆ／Ｖを介して帰還されている。

外部信号ステータス処理部７７は外部信号、即ち、オー
バートラベルスイッチＯＴや、原点スイッチ５Ｗ４−Ａ
等からのスイッチ信号を入力し、これら信号を入力し状
態管理部７５に知らしめる。

又、外部信号ステータス処理部７７は、状態管理部７５
からの信号を入力し、ドライバ７９に前記ソレノイド５
ＱＬ２−Ａへの作動信号を出力する。

このように、外部信号ステータス処理部７７を設け、こ
こでオーバートラベル信号や原点スイッチ信号を入力し
又、前記ソレノイドパイロット弁のソレノイド５ＱＬ２
−Ａに作動信号を与えるようにしたのは処理速痘の都合
からであり、通信処理部６７を介することなく信号処理
することとして、信号処理時間を、１０〜２Ｑｍｓとす
ることができるからである。

因みに、原点スイッチ５Ｗ４−Ａは第３図に示したラム
２７の原点位置に設けられ、ラム２７が原点位置に来た
ときにこの原点スイッチ５Ｗ４−Ａが作動するのである
が、状態管理部７５は外部信号ステータス処理部７７を
介して原点スイッチ５Ｗ４−Ａの入力をいち速く知るこ
とができ、原点位置を正確に知ることができるのである
。

なお、前記ソレノイド５ＱＬ２−Ａをいち速く作動させ
なければならない理由は第１１図で詳述する。

サーボ弁制御部７３の構成はサーボ弁制御部７１と同じ
であり、ここではサーボ弁３７Ｂの制御が行われる。参
照符号５Ｗ４−Ｂは第３図に示したラム２７の右端側に
設けられた原点スイッチを示している。

サーボ弁制御部７１と７３との間には同調回路ＳＣを設
けている。

第６図に同調回路ＳＣの詳細図を関連部材と共に示しで
ある。

同調回路ＳＣはラム２７を水平動作させるに際して利用
されるものである。

図示の通り、前記状態管理部７５には演算子Ａ１が、前
記サーボアンプ８５Ａ、８５Ｂには演算子（増幅器）Ａ
３　、Ａ５が又、同調回路ＳＣには演算子△２　、Ａ４
．Ａ６．Ａ７　、△８．Ａ９が含まれている。演算子Ａ
ＢとＡ７とで傾り算出部８９を、演算子へＢとへ９とで
平均値算出部９１を構成している。

第５図で説明したように、状態管理部７５は位置管理部
を有しているが、演算子Ａ１はこの位置管理部内に設け
られている。一方、前記サーボアンプ８５Ａ　（８５Ｂ
）は第５図に示した指令値演算出力部８３から指令電圧
を入力すると共に適宜周波数電圧変換器Ｆ／Ｖを介して
速度の帰還信号を得て、その差電圧を演算子Ａ５　　（
Ａ３　）でＧ倍に増幅し、サーボ弁３７Ａ（３７Ｂ）を
駆動している。演算子（増幅器＞Ａ３．Ａ５のゲインＧ
は可変であり、ラムの上昇、下降、曲げ作業の作業状態
に応じて最適ゲインに設定されるものである。

そこで、平均値算出部８９は検出ヘッド４７Ａ及び４７
Ｂからの帰還信号を演算子Ａ９で和すると共に１／２倍
して平均値を求め、演算子へ８でこの値を８１倍してラ
ム２７の中心位置信号としてこの信号を前記演算子Ａ１
に帰還している。これにより状態管理部７５の現在位置
管理部はラム２７の中心位置を管理することが可能とな
る。

又、傾り演算部９１は演算子へ７を用いて検出ヘッド４
７Ａ、４７Ｂからの帰還信号の差を求めると共にこれを
１／２倍し、ラム２７の傾り値ｅを演痒し、この傾り値
ｅを演算子へ〇でＨ２倍して前記演算子Ａ２及びＡ４に
与えている。演算子Ａ２では所定値から傾り値を引き、
一方、演算子Ａ４では所定値から傾り値ｅを加えて、ラ
ム２７を水平に保つべく適正の値をそれぞれの演算子△
３又はＡ５に出力するのである。

従って、同調回路ＳＣを用うれば、ラム２７は常時水平
動作を行うようになる。

なお、以上示した同調回路ＳＣは、２つのサーボ弁制御
部を互いに同調される方式であるが、この他、一方のサ
ーボ弁を基準として、他のサーボ弁を追従させる方式で
もラム２７の水平を保つことは可能である。

又、原点位置の設定作業を行う場合に両サーボ弁を独自
に制御したり、又場合によっては一方のサーボ弁を閉塞
したままで他方のサーボ弁を制御したいようなこともあ
るが、このような場合には同調回路ＳＣを断として使用
すれば良いものである。

次に、第２図及び第３図を参照しながら第７図〜第１０
図に基づいて折曲義械の作業モードについて説明する。

第７図は４動モードの説明図である。

寸動モードは、フットペタルＦＳの足踏操作に基づいて
ラム２７を自由に上昇又は下降させることができるもの
である。一般に、上昇又は下降速度は常時低速とされて
いる。なお、ラム２７がフットペタルＦＳの操作に従っ
て移動される場合、移動途中において関連部材、例えば
第４図に示した合弁、第５図に示したリレー等が動作す
るが、説明を容易とするために、ここではこれらの関連
部材の動作については説明を省略する。

ステップ７０１でフットペタル操作が行われたらステッ
プ７０３へ移行する。ステップ７０３は操作されたフッ
トベタルスイッチが下降用のベタルＤＳであったか上界
用のベタルＵＳであったかが判断され、下降用ペタルＤ
Ｓであったならステップ７０５へ、上界用ペタルＵＳで
あったならステップ７０７へ移行する。下降用及び上昇
用のフットペタルが共に操作された場合には上界用ベタ
ルＵＳの方を優先することとしているが、これは本例に
示した折曲機械２１がラム２７を下降させて折曲加工を
行う形式のものであることからの安全上の配慮である。

ステップ７０５は所定シーケンスに従ってラム２７を下
限位置に向って下降させる処理を示している。下降速度
は常時低速であり、下限位置ではダイ２とパンチ３１と
の間で所定の折曲加工が行われることになる。

ステップ７０７は所定シーケンスに従ってラム２７を上
限位置に向って上昇させる処理を示している。

以上のように単動モードでは、ベタルＤＳ１又はＵＳの
足踏操作に基いて、ラム２７を自由に昇降駆動すること
が可能であり、ラム２７を所望位置に作出させることも
可能である。

第１０図及び第１１図は中動モードの説明図である。

中動モードは下降用ベタルＤＳを下限位置まで連続的に
踏み続けた場合に、ラム２７に−サイクルの折曲作業を
行わせることを基本としたモードである。第１１図は単
動作モードにおいて下降用ペタルＤＳを下限位置Ｐｏか
ら下限位置Ｐ＋ｏまで踏み続けた場合の動作例を示した
タイムチャートである。

なお、図示の通り本例では、下降速度切換位置Ｐａ　、
プルパック位置Ｐ９、上昇速度切換位置Ｐ１１を設定し
、各位置でラム２７の速度を切換えたり、第４図に示し
た油路ＯＬ４の圧力を切換え制御するようにしている。

第１１図において、（ａ）図は下降用ベタルＤＳの操作
状態を示している。（ｂ　）図はラム速度を示している
。（Ｃ）図は加工圧力の変化状態を示している。（ｄ　
）図は第４図に示した油路ＯＬ４の圧力状態を示してい
る。（ｅ　）図はソレノイド弁５ＱＬ１−Ａ、５ＱＬ１
−Ｆ３（ＤＤ作抗Ｂを示している。（［）図はサーボ弁
３７　（３７Ａ、３７Ｂの）の開度状態を示している。

（０）図はパイロットソレノイド弁５ＱＬ２−Ａ、５Ｑ
Ｌ２−Ｂの動作状態を示している。

上限位置Ｐ　ｏで下降用ベタルＤＳが押圧されるとラム
２７は上限位１１Ｐｏから下限位置Ｐｒｏに向って下降
を開始する。下降速度Ｖは第５図に示した速度パターン
設定部８１によって設定された速度どなるが、この速度
Ｖはラム２７が衝撃動作を行なうことがない程度に緩や
かに上界され、以後所定の高速ＶｌａＸとされるように
なっている。

なお、このとき、給油圧力ｐは比較的低い圧力ｐ１とな
るように電磁比例弁５ＯＬＥで調整されている。又、こ
のときソレノイド弁５ＯＬＩ−Ａ。

５ＯＬＩ−Ｂはオンとされ（（ｅ）図）、パイロットソ
レノイド弁８０ｍ２−Ａ、５ＱＬ２−８もオンとされて
いる（（ｇ）図）。ψ−ボ弁３７Ａ。

３７Ｂの開度は（ｆ）図に示したようにラム２７を下降
させる方向（第４図において共に右方向に移動し！ζ状
Ｒ）で比較的大ぎく開かれている。従って、第４図にお
いて油路ＯＬ３及びＯ１２には圧力ｐ１の油が導かれ、
ピストンＰＳＡ、ＰＳＢは共に下方向に押圧され、油は
パイロットチェック弁ＰＣＶ＋　、ＰＯＹ３を素通りし
て油タンクＴＡＮＫに返されている。

ラム２７が下降速度切換位置Ｐ６に達したら、ここで、
第５図に示した現在位置検出部７９がこの位置Ｐｃを検
出して、パイロットソレノイド弁５ＱＬ２−Ａ、５ＱＬ
２−Ｂを素早くオフとすると共に号−ボ弁３７Ａ、３７
Ｂを所定開度に絞って行＜（（１図）。これにより、ラ
ム２７の下降速度が低速化されると共に、第４図に示し
たパイロットチェック弁ＰＣＶ１．ＰＣＶ２がオフとさ
れ、シリンダ３３Ａ及び３３Ｂの下室にはカウンタバラ
ンス弁ＣＢｖで設定された圧力がかけられるようになる
。

ラム２７はやがてプルバック位’ｆｌ　Ｐ　ｑの手前の
位置Ｐ８、即ち、図示しない材料突当てゲージを材料か
ら遠ざける作業を行なう位置Ｐ９の少し手前の位置Ｐ８
に到達する。

プルバック位置Ｐ９の手前の位１ＵＰｓではサーボ弁開
度を更に絞ってラム２７をプルバック位置Ｐ９で一時停
止するようにしている。そして、このプルバック位置Ｐ
９では図示しない突当てゲージが材料から遠ざけられ、
折曲機械は次の折曲作業に入ってゆく。

プルバック位置Ｐ９で給油圧力ｐは加工用圧力ｐ２まで
昇圧され、（「）図に示したようにサーボ弁２７Ａ、３
７Ｂは所定開度に開かれる。これにより、ラム２７の下
端に取付けられたパンチ３１はダイ２９の上に置かれた
図示しない材料を緩やかに下限位置Ｐ　＋ｏまで押圧す
るようになる。

下限位置ＰＩＯは第５図に示した現在位置検出部７９で
検出されており、ラム２７はこの位置ＰＩＯに正確に位
置決め制御されることになる。又、このとき、サーボ弁
３７Ａ、３７Ｂは共に独自に位置決め制御されているの
で、折曲機の両端で位置ずれをすることはない。

下限位置ＰＩＯでは所定時間停止され、その後、時刻Ｔ
ｏ　ｔ”／　Ｌ／　／　イド弁５ＯＬＩ−Ａ、５ＯＬＩ
−Ｂがオフどされるようになっている。その後、サーボ
弁３７Ａ、３７Ｂの開放制御に伴なって第４図に示した
油路ＯＬ４．ＯＬ６に圧油が供給されてラム２７は緩や
かに上昇する。そして、上昇速度切換位置Ｐ＋＋で給油
圧力ｐは低下され（（ｄ）図）、サーボ弁３７Ａ、３７
Ｂがより大きく開かれて（（ｆ）図）ラム２７は大きな
速度で上限位置Ｐａに向って上昇する。

以上の単動モードでのラム２７の速度は第５図に示した
速度パターン設定部８１で自由に設定され得るものであ
る。又、給油圧力ｐも電磁比例弁５ＯＬＥによって自由
に調整され得るものである。

従って、第１１図に示した例では、ラム２７の速度Ｖ、
給油圧力ｐは共に直線的に制御された例を示したが、よ
り円滑な制御を狙いとして曲線的に制御され得ることは
勿論である。

なお、第１１図に破線で示したように、ラム２７が下降
中に下降用ペタルＤＳをオフとした場合には、第４図に
示したパイロットソレノイド弁５ＱＬ２−Ａ、５ＱＬ２
−８は瞬時にオフ動作されることになるが、ここに、ソ
レノイド弁５ＯＬＩ−Ａ、５ＯＬ１−８は遅れΔＴ２を
持ってオフ動作されるようにしている。

このように、パイロットソレノイド弁５ＱＬ２−八、５
ＯＬ２−Ｂをソレノイド弁５ＯＬＩ−Ａ。

５ＯＬ１−８と共に動作させるのは、仮にソレノイド弁
５ＯＬＩ−Ａ、８０１１−８が作動しなかったとしても
シリンダ下室にカウンタバランス弁ＣＢＶにより定まる
圧力を与えて安全を確保したいからである。又、ソレノ
イド弁５ｏｉｌ−Ａ及び５ＯＬ１−Ｂのオフ動作に遅れ
ΔＴ２を持たぜたのは、動作時間をサーボ弁３７Ａ、３
７Ｂの最大絞り速度よりは遅くして、油圧回路の急激な
遮断に伴うラム２７による機械的振動を低減し、機械に
歪が生じて折曲精度を悪くしたりすることがないように
するための配慮である。

第１０図において、ステップ１００１はフットペタルＦ
Ｓの操作時にラム２７がいずれの位置にあるかを判断す
るものである。そして、ラム２７が上限位置〜下降速度
切換位置にある場合にはステップ１００３へ移行する。

ラム２７が下降速度切換位置〜プルバック位置にあると
きにはステップ１００５へ移行する。ラム２７がプルバ
ック位置〜下限位置にあるときにはステップ１００７へ
移行する。ラム２７が下限位置〜上限位置にあるときに
はステップ１００９へ移行する。

ラム２７が上限位置〜下降速度切換位置にあるときフッ
トベタルＦＳがオンされると、ステップ１０１５で操作
されたベタルが下降用ベタルＤＳであったか上昇用ベタ
ルＵＳであったかが判断され、下降用ペタルＤＳであっ
たならステップ１０１７へ、上昇用ベタルＵＳであった
ならステップ１０２１へ移行する。

ステップ１０１７及び１０１９はラム２７を高速度で下
降速度切換位１ａまで高速下降させることを示している
、ステップ１０１９で下降速度切換位置が判断されれば
端子Ｂを介してステップ１００５へ移行されるが、ステ
ップ１０１１で７ツトベタルがオフされたことが判断さ
れた場合にはラム２７はステップ１０１３でその場停止
される。

一方、ステップ１０２１及びステップ１０２３に示した
ように、上昇用ベタルＵＳが操作されたことがステップ
１０１５で判断された場合にはラム２７は高速で上限位
置まで上昇され、上昇位置で停止されることになるが、
ステップ１０１１でフットベタルの装置が中止されれば
ステップ１０１３でその場停止される。

ラム２７が下降速度切換位置〜プルパック位置にあると
きフットペタルＦＳが操作されると、ステップ１０２９
で操作されたベタルが下降用ベタルＤＳであったが上界
用ペタルＵＳであったかが判断される。そして、下降用
ベタルＤＳであった場合にはステップ１０３１へ、上昇
用ベタルＵＳであった場合にはステップ１０３５へ移行
する。

ステップ１０３１及びステップ１０３３ではラム２７を
プルバック位置まで低速で下降させ、プルバック位置に
到達すれば端子Ｃを介してステップ１００７へ移行させ
ると共にその途中でフットペタルＦＳの操作が停止され
ればこれをステップ１０２５で判断してステップ１０２
７でラム２７をその場停止させ“Ｃいる。

ステップ１０３５では、ステップ１０３７で上Ｒ用ベタ
ルＵＳがオフされるまで高速上昇し、図示していないが
上限位置に到達すればここで停止する。又、ステップ１
０３７で上昇用ベタルＵＳのオフが判断された場合には
、上昇用ベタルＵＳのオフが判断された時の位置がプル
パック位置〜下降速度切換位置であれば端子Ｂを介して
ステップ１００５へ移行し、そうでない、即ち、上限位
置〜下降速度切換位置であれば端子Ａを介してステップ
１００３へ移行する。

ラム２７がプルパック位置〜下限位置で操作された場合
は、ステップ１０４５で操作されたフットペタルＦＳが
下降用ペタルＤＳであったか上昇用ペタルＵＳであった
かが判断され、下降用ベタルＤＳであった場合にはステ
ップ１０４７へ移行し、上昇用ペタルＵＳであった場合
にはステップ１０５１へ移行する。

ステップ１０４７及びステップ１０４９はラム２７を下
限位置まで曲げ速度で下降させるものであり、途中で７
ツトベタルＦＳをオフとすればステップ１０４３でその
場停止するが、下限位置に達ずれば端子りを介してステ
ップ１００９へ移行する。

ステップ１０５１は上昇用ベタルＵＳが操作されている
のでステップ１０５３で上昇用ペタルＵＳのオフが判断
されるまでラム２７を高速上昇させ、図示していないが
上限位置に達すればここで停止する。そしてステップ１
０５３で上昇用ベタルＵＳがオフされたことが判断され
た場合にはステップ１０５５で、以後、下降用ベタルＤ
Ｓの操作を無効として、言い換えれば折曲加工のやり直
しはできないこととしてステップ１０５７でその場停止
し、端子Ｃを介してステップ１００７へ移行する。

ラム２７が下限位置〜上限位置にあるときフットペタル
Ｆ３が操作された場合には、ステップ１０５９で上昇用
ペタルＩＪＳが操作されているか否かが判断され、上界
用ペタルＵＳが操作されていない限りにおいてステップ
１０６１へ移行する。

ステップ１０６１及びステップ１０６３は所定時間ラム
２７を下限位置に停止させ、ラム２７の下端に取付けら
れたパンチ３１で図示しない材料を加圧することを示し
ている。ステップ１０６５はラム２７を所定時間経過後
に所定シーケンスに従って、上限位置まで上昇させるこ
とを示している。所定シーケンスとは、第１１図の時間
ＴＩ２以後に示した処理である。

ステップ１０５９で一ヒ昇用ベタルＵＳがオンされた場
合にはラム２７が加圧中であってもループを脱出し、ス
テップ１０６７で以後の下降用ペタルＤＳの操作を無効
として、ステップ１０６９へ移行する。ステップ１０６
９はラム２７を所定シーケンスに従いながら上限位置に
向って上昇させるものである。ステップ１０７３で上昇
用ベタルの操作が中止されたならステップ１ｏ７５でそ
の場停止をするようになっている。

第８図は運転モードの説明図である。

運転モードは下降用ペタルＤＳを継続して°踏み続けた
場合には連続したサイクル運動を繰り返すようにしたも
のである。

ステップ８０１はラム２７が上昇中に下降用ペタルＤＳ
が継続してオンされたか否かが判断され、継続してオン
されていたならステップ８０３へ移行するが、途中でオ
フされたなら第１０図に示したＤ　Ｇａ子へ入り、ステ
ップ１０６７へ移行する。

ステップ８０３では下降用ペタルＤＳが上限位置で継続
して所定時間以上オンされていたか否かが判断され、所
定時間以上オンされていたなら、ステップ８０５で次の
単動運転に移行してゆくことを示している。下降用ベタ
ルが上限位置で所定時間内にオフとされた場合にはステ
ップ８０７へ移行し、上限位置で停止する。

第９図は両手押釦操作モードの説明図である。

両手押釦操作モードは両手で押釦を操作したときのみラ
ム上限位置〜プルパック位置まで下降することができる
ようにしたものである。

ステップ９０１はフットベタル、又は図示しない両手押
釦の操作位置を判断するものである。操作時のラム位置
が上限位置〜プルバック位置であればステップ９０３へ
移行するがそうでなければステップ９１３へ移行し単動
処理（第１０図参照）が行われる。

ステップ９０３は、両手押釦操作か否かを判断するもの
であり、両手押釦操作であればステップ９０７へ移行し
、ラム２７はステップ９０７．９０９でプルバック位置
まで下降され、以後はステップ９０３の単動処理に移っ
てゆく。

以上、第７図〜第１０図を用いて説明した作業別のモー
ドでは、第７図に示した４動モードと第１０図に示した
単動モードで給油圧力及び速度パターンが共に異ならし
められている。

しかし、第１１図に示したような給油圧力や速度パター
ン、並びに各制御弁の制御様式は各モード別に定められ
るものであり単独に設計されていてもよいのである。こ
の実施例では、第５図に示したように給油圧力を無段階
に調整できる電磁比例弁５ＯＬＥと速度パターン設定部
８１とを設けているのでこれら変更は極めて容易に行え
る。

又、以上のモード分けは作業極毎に分類したモード分け
であるが、加工材料の板厚、材質等の加工種別毎のモー
ド分けを行って、各制御モード゛を作成してモード毎に
給油圧力（加工圧力）や速度パターンを設定することも
可能である。

以上第１図〜第１１図に示した実施例によれば以下の通
りの効果がある。

■油圧回路に第４図に示したサーボ弁３７Ａ、３７Ｂを
設け、第５図に示した電気回路５３でこのサーボ弁３７
Ａ、３７Ｂを駆動するので、ラム２７を所望の速度パタ
ーンで昇降駆動することかできる。

■第６図に示した同調回路により、ラム２７を常時水平
を保ちつつ駆動することができる。

■第４図に示した電磁比例弁５ＯＬＥを第５図に示した
シーケンサ及びリレ一部５７で駆動するので給油圧力を
所望のものとすることができ、ラム２７に所望の加工圧
力を発生させることができる。

言い替えれば、圧力制御のオーブンループ制御を行うこ
とができる。

■第４図に示した回路遮断用ソレノイド弁５ＱＬ１−Ａ
、５ＯＬＩ−Ｂに加えてカウンタバランス弁ＣＢＶを有
効とするパイロットチェック回路（パイロットチェック
弁ＰＣＶ１．ＰＣＶ２とパイロンＩ・ソレノイド弁５Ｑ
Ｌ２−Ａ、５ＱＬ２−８）を設けたので、第１１図で説
明したように、ラム停止時の２重の安全対策が行われる
。そして、ソレノイド弁５ＯＬ１−Ａ、５ＯＬ１−Ｂを
時間△Ｔ２だけ遅延動作させているので、ラム停止時に
機械に衝撃を与えることがなく、機械精度を狂わしてし
まう恐れがない。

■第４図、第５図に示されるように、サーボ弁３７Ａ、
３７Ｂの制御は別途のルーフで行われるので、ラム２７
の両端を独自に駆動することができ、水平動作可能であ
ることに加えて、故意に傾らせて制御することも可能で
ある。このことは、例えば原点位置決め時に又は、下限
位置設定作業時に有効である。

■第５図に示されるようにラム制御モジュールＲＯＭを
ユニット化できるので、ＮＣ装置側では、単に移動指令
、速度パターン選択指令のみを出力部ればよく、どの機
械にでも着脱自在の態様となるので、は械設計が容易と
なる。

次に、第１２図〜第１４図を用いてこの発明の他の実施
例を説明する。

第１２図は折曲機械におけるスプリングバック量の自動
検出を行う実施例を示している。

この実施例に使用できる装置は、第１図〜第１１図で示
したものを略そのまま利用することが可能である。例え
ば、第５図に示した電気回路（例えばＮＣ装置の主制御
部）にスプリングバック量の検出指令用のプログラムを
挿入するだ番ノでよい。

ステップ１２０１は下限位置で所定時間加圧処理する工
程を示しである（第１０図ステップ１０６１参照）。ス
テップ１２０１で加工処理が行われたらステップ１２０
３へ移行し、ここでサーボループを解除する。

そして、ステップ１２０５でサーボ弁をラムが上昇する
方向へ切換える。又、ステップ１２０７で第４図に示し
た電磁比例弁５ＯＬＥをラム上昇力１：がラム重量　Ｆ
　＋　と釣り合うように調整される。

第４図に示したピストンＰＳＡ、ＰＳＢの下室側面積を
Ｓ、給油圧力をｐとするならば、釣合いの条件はＦ１＝
２・ｐ−８であるので、Ｄ＝Ｆ＋／（２・Ｓ）に調整す
れば、ラム２７の自重と上昇力が釣合うことになる。こ
れによりラム２７は折曲材料のはね返り剛性に応じて少
し上昇する。

ステップ１２０９は所定時間後にラム２７の坦在位置夕
読み込む処理を示している。ラム２７の現在位置は第５
図に示した現在位置検出部７９で検出されている。

ステップ１２１１でラム２７の現在位置と下限位置との
差を演算することにより、スプリングバック量が自動検
出されることになる。

なお、本例では電磁比例弁５ＯＬＥの誤差が２％のもの
を使用している。従って、ステップ１２０７における電
磁比例弁５ＯＬＥの調整では、ラムが上昇ザるのを防止
するために前記１）＝Ｆ＋／（２・Ｓ）で求まる値より
約り％小ざい値に設定するのが望ましい。

第１３図は片荷重制御の実施例を示している。

本例は、折曲機において、幅の短い材料を金型端部で折
曲可能とするものである。装置は第１〜第１１図で示し
たものをそのまま使用することが可能である。

今、第４図においてラム２７の左側で折曲作業が行われ
るとして以下のフローチャートを説明する。

ステップ１３０１は主従シリンダの設定処理を示してい
る。ここでは、第４図においてラム２７の左側で折曲作
業が行われることから、主シリンダをシリンダ３３Ａと
し、従シリンダをシリンダ３３Ｂとする。

そこで、ステップ１３０３で、主シリンダ３３Ａを圧力
制御すると共に、従シリンダ３３Ｂを位置制御する。位
置制御における位置は主シリンダ３３Ａの現在位置であ
り、ステップ１３０５にＪ３いて従シリンダ３３Ｂは主
シリンダ３３Ａに追従制御されることになる。

これにより、ステップ１３０６によりコイニング曲げ加
工が・行われることになる。

なお、以上に示した主シリンダ３３Ａの圧力制御では第
５図に示した指令値演算出力部８３の位置決め位置を下
限位置より十分下方に位置指令すると共に、電磁比例弁
５ＯＬＥの調整圧力を所望のものに設定しておくことで
行われ得る。

又、従シリンダ３３Ｂの追従制御は、主シリンダ３３Ａ
側のラム２７の現在位置を常時読み取りつつこの位置に
位置決め制御することで行われ得る。

第１４図はラム両端を個別に速度制御する実施例を示し
ている。

機械は例えば剪断機械であるとする。電気油圧回路は第
４図、第５図に示されるものと同一とする。但し、本例
では第５図に示した同調回路８７は除かれる。

第５図にも示されるように、各サーボ弁３７Ａ。

３７Ｂは独立に速度制ＣＯすることが可能である。

そこで、第１４図（ａ　＞に示した剪断機械のラム８９
のロッド３５Ａを速度ｖ１で、ロッド３５Ｂをｖ２で制
御する。Ｗは剪断される材料を示している。

（ｂ　）図に示されるように、剪断開始位置ではラム８
９の傾きが比較的小さい角度θ１で行われるようにする
。

次いで、（Ｃ）図に示されるように、中央剪断位置では
ラム８９の傾きを比較的大きな値θ２とする。これによ
り、中央を剪断する場合の剪断荷重を極めて小さくなる
。

その後（ｄ）図に示すようにラム８９の傾きを比較的小
さな値θ１に戻し、（ｅ）図に示すようにラム８９を上
昇させて剪断作業の１サイクルを終了する。

この実施例では中央位置を剪断する場合の剪断荷重を小
さくすることができるので、剪断精度を向上することが
可能となる。

なお、傾き角θ１．θ２は材料の板厚に応じて、又、材
料の硬さ等に応じて、種々に変更することが可能である
ことは勿論であるが、これら変更は、機械的に変更する
のと違って第５図に示した速度パターンのみを変更づれ
ばよく、極めて容易に行われｆｆ？るものである。又、
速度制御の途中において加圧力も自由に設定可能である
から、圧力、速度における各種の条件を付加してラム８
９を制御することが可能である。

以上の実施例は主に複数シリンダの制御について述べて
きたが、この発明は単一シリンダに適用できることは勿
論である。

例えば、インジェクション機械の射出用シリンダの制御
において、射出量の制御、即ち、自由に設定される位置
へのピストン位置決め制御に加えて、ピストンの圧力、
速度の制御を行うことが可能である。

又、射出圧力、射出速度、射出量を射出材料や、成型金
型に合わせて適正化でき、効率的な、しがも良質製品を
製作Ｊることのできる射出制御が行なえることになるの
である。

なお、同じくインジェクション機械には成型用プレス機
械が用いられるが、この発明はこの成型用プレス機械の
ラムの制御にも実施可能である。

この場合、成型圧力を適正化できると共に、成型工程に
おいて、上金型と下金型を精密に調整できるので単に最
大圧力で押圧するのみならず、位置及び圧力に関して高
度のプレス制御を行うことも可能である。

し発明の効果］ この発明に係る加工機械の電気液圧サーボ装置を用うれ
ば各種加工機械の作動体を制御モードに合わせて位置、
速度、圧力に関して適正制御することが可能となり、又
、緊急停止時においても機械に振動を発生させることが
ない。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明に係る装置の概要を示すブロック図、
第２図〜第１４図はこの発明の実施例を示す図である。 第２図は折曲機械の側面図、第３図は折曲機械の正面図
、第４図は油圧回路の系統図、第５図は電気回路のブロ
ック図、第６図は同調回路の詳細を示す回路図、第７図
は４動モードのフローチャート、第８図は連動モードの
フローチャート、第９図は両手押釦操作モードのフロー
チャート、第１０図は単動モードのフローチャート、第
１１図は単動モード下での各部材の動作状態を示すタイ
ムチャート、第１２図はスプリングバック最の検出例を
示すフローチャート、第１３図は折曲機械における片荷
重制御を行う例を示すフローチャート、第１４図は剪断
機械におけるラム制御の例を示す説明図である。 １・・・サーボ弁　　　　　３・・・作動体５・・・加
工機械の電気液圧サーボ装置７・・・液圧及び作動体速
度指令手段 ９・・・圧液生成手段　　１１・・・圧液供給手段１３
・・・サーボ弁制御手段 １５・・・作動体位置検出手段 １７・・・モード設定手段 １９・・・条件設定手段 代理人　　弁理士　　三　好　　保　男７１２図　　　
　　　　　　　　　　　　’ｆＴ１８図Ｔ％１４図 ｆｆｌ刊酬−

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 圧液供給回路から供給される圧液をサーボ弁を介してシ
   リンダ装置に供給しこのシリンダ装置で所定の作動体を
   所定速度に制御する加工機械の電気液圧サーボ装置にお
   いて、前記圧液供給回路に液圧を所定のものに設定する
   液圧設定回路を備え、前記サーボ弁と前記シリンダ装置
   との間には前記シリンダ装置への圧油の供給を前記サー
   ボ弁の最大絞り速度より遅い速度で遮断する緊急遮断回
   路を備えたことを特徴とする加工機械の電気液圧サーボ
   装置。