JPS6288946A - 画像抽出方法 - Google Patents
画像抽出方法Info
- Publication number
- JPS6288946A JPS6288946A JP60228632A JP22863285A JPS6288946A JP S6288946 A JPS6288946 A JP S6288946A JP 60228632 A JP60228632 A JP 60228632A JP 22863285 A JP22863285 A JP 22863285A JP S6288946 A JPS6288946 A JP S6288946A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image
- images
- work
- lighting
- field illumination
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Image Analysis (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は外観検査装置による不良検出方法に係り、特に
、パターンの光反射特性が一様でないＩＣチップ等の欠
陥検出に好適な画像抽出方法に関する。
、パターンの光反射特性が一様でないＩＣチップ等の欠
陥検出に好適な画像抽出方法に関する。
検査対象ワークの画像を撮像する場合、対象ワークに光
を当て、反射光から対象ワークの画像を得る。この対象
ワークの照明方法には、対象面に対して略垂直方向から
光を照射する明視野照明と、対象面に対しである角度を
もって光を照射する暗視野照明とがある。、 対象ワークには、対象面全面の光反射特性が一定でない
ものがあり、対象ワークの一部分の画像を得るには明視
野照明が適し、他の部分の画像を得るには暗視野照明が
適するものがある。
を当て、反射光から対象ワークの画像を得る。この対象
ワークの照明方法には、対象面に対して略垂直方向から
光を照射する明視野照明と、対象面に対しである角度を
もって光を照射する暗視野照明とがある。、 対象ワークには、対象面全面の光反射特性が一定でない
ものがあり、対象ワークの一部分の画像を得るには明視
野照明が適し、他の部分の画像を得るには暗視野照明が
適するものがある。
斯かる対象ワークの所定領域を抽出する場合、第６図に
示すように、明視野照明、暗視野照明のいずれか一方だ
けで得た画像をあるしきい値で切り出すと、抽出したい
領域を部分的にしか抽出できなくなる１、そこで、斯か
る対象ワークの画像をイ、＋る場合、従来は、例えば特
開昭５６−１６８０４号公報、特開昭５８−７５７２５
号公報に記載されている明暗視野同時照明を採用してい
る。
示すように、明視野照明、暗視野照明のいずれか一方だ
けで得た画像をあるしきい値で切り出すと、抽出したい
領域を部分的にしか抽出できなくなる１、そこで、斯か
る対象ワークの画像をイ、＋る場合、従来は、例えば特
開昭５６−１６８０４号公報、特開昭５８−７５７２５
号公報に記載されている明暗視野同時照明を採用してい
る。
この明暗視野同時照明によれば、抽出したい領域を抽出
できる。しかし、背景の中に明視野照明にも暗視野照明
にもある程度の出力が生じる部分がある場合、合成画像
から所要領域を抽出する為のしきい値設定中（Ｔ）ＩＬ
Ｄ巾）に余裕がなくなり、安定し゛ＣＣ所領領域抽出で
きないという困難が生じる。しかも、両照明系の照明光
の強度をバランスを保つように調節することが難しく、
良好な画像が得がたいという不具合もある。従って、斯
かる明暗視野同時照明によらなければ画像を得ることな
困難な上記対象ワーク上に欠陥やゴミ等がある場合、欠
陥等をも識別可能な対象ワークの画像を抽出することは
更に一層困難であるという問題がある。
できる。しかし、背景の中に明視野照明にも暗視野照明
にもある程度の出力が生じる部分がある場合、合成画像
から所要領域を抽出する為のしきい値設定中（Ｔ）ＩＬ
Ｄ巾）に余裕がなくなり、安定し゛ＣＣ所領領域抽出で
きないという困難が生じる。しかも、両照明系の照明光
の強度をバランスを保つように調節することが難しく、
良好な画像が得がたいという不具合もある。従って、斯
かる明暗視野同時照明によらなければ画像を得ることな
困難な上記対象ワーク上に欠陥やゴミ等がある場合、欠
陥等をも識別可能な対象ワークの画像を抽出することは
更に一層困難であるという問題がある。
本発明の目的は、パターンの反射特性が一様でないＩＣ
チップ等の対象ワーク表面に欠陥等がある場合でも、欠
陥等をも識別できる良好な画像を抽出でべろ画像抽出方
法を提供することにある。
チップ等の対象ワーク表面に欠陥等がある場合でも、欠
陥等をも識別できる良好な画像を抽出でべろ画像抽出方
法を提供することにある。
上記目的を達成するため、本発明では、複数の照明系を
用いて対象ワークの画像を得る場合、各照明系を個々に
使用して得られる対象ワークの画像を夫々画像メモリ内
に格納し、各画像メモリ内の内容を論理演算（−て合成
し、対象ワークの画像を抽出するようにする。
用いて対象ワークの画像を得る場合、各照明系を個々に
使用して得られる対象ワークの画像を夫々画像メモリ内
に格納し、各画像メモリ内の内容を論理演算（−て合成
し、対象ワークの画像を抽出するようにする。
以下、本発明の一実施例を第１図乃至第５図を参照して
説明する。
説明する。
第２図は、本発明の一実施例を適用した外観検査装置の
システム構成図である。
システム構成図である。
本システムで・；マ、対象ワーク１上のＩＣチップの不
良（異物汚れ、傷など）を画像処理により外観検査する
。照明方法には、明視野照明２゜および暗視野照明６の
２とおりの方法がとられている。明視野照ＢＪ４２より
出念光は、ノ・−フミラー４によって′ｒｖカメラ５の
光軸に一致され、対物レンズ６を通して対象ワーク１に
照射される。一方、暗視野照明３より出た光は、斜めか
ら直接対象ワーク１に照射される。この２種類の照明に
より得られる画像を、第３図及び第４図に示す。
良（異物汚れ、傷など）を画像処理により外観検査する
。照明方法には、明視野照明２゜および暗視野照明６の
２とおりの方法がとられている。明視野照ＢＪ４２より
出念光は、ノ・−フミラー４によって′ｒｖカメラ５の
光軸に一致され、対物レンズ６を通して対象ワーク１に
照射される。一方、暗視野照明３より出た光は、斜めか
ら直接対象ワーク１に照射される。この２種類の照明に
より得られる画像を、第３図及び第４図に示す。
明視野照明２を照射した場合、光は対象ワーク１の光軸
に垂直なアルミパターン８で全反射し、ＴＶ右カメラに
入射する０セル９の部・分はパターンが光軸に垂直でな
いため、反射光はＴＶ右カメラに入射しない。従って、
ＴＶ右カメラで撮像した画像は、第６図に示すように、
ＩＣチップ上のアルミパターン８が白く、セル９の部分
が黒くうつる。
に垂直なアルミパターン８で全反射し、ＴＶ右カメラに
入射する０セル９の部・分はパターンが光軸に垂直でな
いため、反射光はＴＶ右カメラに入射しない。従って、
ＴＶ右カメラで撮像した画像は、第６図に示すように、
ＩＣチップ上のアルミパターン８が白く、セル９の部分
が黒くうつる。
暗視野照明５の方向は、セル９で反射した光が、ＴＶ右
カメラの方向となるように調整しておく。これにより撮
像された画像は、＠４閾に示すように、ＩＣチップ上の
アルミパターン８が噸く、セル９が白くなる。
カメラの方向となるように調整しておく。これにより撮
像された画像は、＠４閾に示すように、ＩＣチップ上の
アルミパターン８が噸く、セル９が白くなる。
、■３図、再４図の例では、対象ワーク１上のアルミパ
ターン８とセル９との境界線の箇所にキズ１０があるっ
このキズ１０による明視野照明２の）ｉ射光及び暗視野
照明３の反射光は、ともにＴＶ右カメラに入射しない。
ターン８とセル９との境界線の箇所にキズ１０があるっ
このキズ１０による明視野照明２の）ｉ射光及び暗視野
照明３の反射光は、ともにＴＶ右カメラに入射しない。
この為、第３図。
２ｇ４図にをいて、キズ１０は黒くなってうつっている
。しかし、この第３図、第４図の画像からキズ１０を識
別することは困難である。本発明では、第３図、４４図
の画像から第５図の画像を合成し、キズ１０・０有無の
判定が容易になるようする。
。しかし、この第３図、第４図の画像からキズ１０を識
別することは困難である。本発明では、第３図、４４図
の画像から第５図の画像を合成し、キズ１０・０有無の
判定が容易になるようする。
第１図は、＃ｆＪｓ図、第４図の画像を得て、これ等か
ら第５図の画像を合成する処理手１１１を示すフローチ
ャートであり、第２図の画像処理装置７で実行される。
ら第５図の画像を合成する処理手１１１を示すフローチ
ャートであり、第２図の画像処理装置７で実行される。
画像処理装置ｉ７は、先ず明視野照明２を点灯して（ス
テップ１）第５図に示す画像１を画像処理装置７内の画
像メモリに格納する（ステップ２）。次に、明視野照明
２を消灯しくステップ３）、暗視野照明３を改訂して（
ステップ４）第４図に示す画像２を上記とは別の画像メ
モリに格納しくステップ５）、暗視野照明を消灯する（
ステップ６）１、 この様にして＃た両像１９画像２を、ステップ７で最適
なしきい値で２値化し、次に、２つの２値画像１．２を
画素先位にＯＲ（オア）演算しくステップ８）１．ＪＧ
５図の画像をイ尋る。この第５図薯こ示される画像１／
！：画イま２の合成画像は、ＩＣチップが［柑（白）で
、キズが「０」（黒）で表わされ−Ｃいる１、そこＣ１
まず「１」パターンとなるＩＣチップの外形の４直線を
抽出し、その内部に「０」パターンがあるかどうかで、
不良かどうかを判定する。
テップ１）第５図に示す画像１を画像処理装置７内の画
像メモリに格納する（ステップ２）。次に、明視野照明
２を消灯しくステップ３）、暗視野照明３を改訂して（
ステップ４）第４図に示す画像２を上記とは別の画像メ
モリに格納しくステップ５）、暗視野照明を消灯する（
ステップ６）１、 この様にして＃た両像１９画像２を、ステップ７で最適
なしきい値で２値化し、次に、２つの２値画像１．２を
画素先位にＯＲ（オア）演算しくステップ８）１．ＪＧ
５図の画像をイ尋る。この第５図薯こ示される画像１／
！：画イま２の合成画像は、ＩＣチップが［柑（白）で
、キズが「０」（黒）で表わされ−Ｃいる１、そこＣ１
まず「１」パターンとなるＩＣチップの外形の４直線を
抽出し、その内部に「０」パターンがあるかどうかで、
不良かどうかを判定する。
尚、ステップ７〜９の代りに、次のような処理を行って
もよい。撮像した２つの濃淡画像を比軟して、各画素単
位ｌこ、畠いほうの濃度をとり、新たな濃淡画像を得る
。そして、その画像を最適なしきい値で二値化すること
により、第５図の如き画像を青ろ。
もよい。撮像した２つの濃淡画像を比軟して、各画素単
位ｌこ、畠いほうの濃度をとり、新たな濃淡画像を得る
。そして、その画像を最適なしきい値で二値化すること
により、第５図の如き画像を青ろ。
〔発ψ３の効果〕
本発１こよれば、パターンの反射特性が一様で；２い対
象ワークの表面上に欠陥等がある場合でも、この欠陥等
２容易に識別できる程良好な対象ワークの画像を抽出で
きる。
象ワークの表面上に欠陥等がある場合でも、この欠陥等
２容易に識別できる程良好な対象ワークの画像を抽出で
きる。
ｆ４１図’ｒｔ本発明の一実施例に係る画像抽出方法を
示すフローチャート、第２図は外観検査装備のシステム
構成図、第３図は明視野照明により身ら！Ｌ、６吋象ワ
ークの画像、第４図は暗視野照明ゐこより得ら、！する
対象ワークの画像、第５図は本発明の一実施例に係る画
像抽出方法で得られた第６図と第４図の合成画像、第６
図は明視野照明、暗視野照明、明暗視野同時照明で得ら
れる画像中の一ラインを示す濃淡ヒストグラムである。
示すフローチャート、第２図は外観検査装備のシステム
構成図、第３図は明視野照明により身ら！Ｌ、６吋象ワ
ークの画像、第４図は暗視野照明ゐこより得ら、！する
対象ワークの画像、第５図は本発明の一実施例に係る画
像抽出方法で得られた第６図と第４図の合成画像、第６
図は明視野照明、暗視野照明、明暗視野同時照明で得ら
れる画像中の一ラインを示す濃淡ヒストグラムである。
Claims (1)
- 対象ワークを複数の照明系で夫々照射し、各照明系によ
る対象ワークの画像を得て夫々画像メモリに格納し、各
画像メモリ内の内容を画素単位に論理演算して各画像の
合成画像を得る画像抽出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60228632A JPS6288946A (ja) | 1985-10-16 | 1985-10-16 | 画像抽出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60228632A JPS6288946A (ja) | 1985-10-16 | 1985-10-16 | 画像抽出方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6288946A true JPS6288946A (ja) | 1987-04-23 |
Family
ID=16879380
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60228632A Pending JPS6288946A (ja) | 1985-10-16 | 1985-10-16 | 画像抽出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6288946A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02134541A (ja) * | 1988-11-15 | 1990-05-23 | Nissan Motor Co Ltd | 金属組識の検査方法 |
| JPH0550631U (ja) * | 1991-12-09 | 1993-07-02 | デイエツクスアンテナ株式会社 | 押釦スイッチ装置 |
| WO2013021968A1 (ja) * | 2011-08-10 | 2013-02-14 | 国立大学法人京都工芸繊維大学 | 樹脂成型品における傷の検査方法、及び検査装置 |
-
1985
- 1985-10-16 JP JP60228632A patent/JPS6288946A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02134541A (ja) * | 1988-11-15 | 1990-05-23 | Nissan Motor Co Ltd | 金属組識の検査方法 |
| JPH0550631U (ja) * | 1991-12-09 | 1993-07-02 | デイエツクスアンテナ株式会社 | 押釦スイッチ装置 |
| WO2013021968A1 (ja) * | 2011-08-10 | 2013-02-14 | 国立大学法人京都工芸繊維大学 | 樹脂成型品における傷の検査方法、及び検査装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7355692B2 (en) | System and method for inspecting electrical circuits utilizing reflective and fluorescent imagery | |
| JP2004354250A (ja) | 欠陥検査装置 | |
| JPH09210785A (ja) | 木材欠陥部の検出方法 | |
| US7570799B2 (en) | Morphological inspection method based on skeletonization | |
| JP4184511B2 (ja) | 金属試料表面の欠陥検査方法及び装置 | |
| JPS6288946A (ja) | 画像抽出方法 | |
| JP4015436B2 (ja) | 金めっき欠陥検査装置 | |
| JP4216485B2 (ja) | パターン検査方法およびその装置 | |
| JP2008026149A (ja) | 外観検査装置 | |
| JP2001194322A (ja) | 外観検査装置及び検査方法 | |
| JPH04223262A (ja) | 蛍光磁粉探傷における画像処理方法 | |
| JP2003172709A (ja) | 検査装置 | |
| JP3047168B2 (ja) | 鶏卵の検査方法 | |
| JPS6232345A (ja) | 欠点検出装置 | |
| JPS6355445A (ja) | 外観検査方式 | |
| JP2807599B2 (ja) | 半導体チップ外観検査装置 | |
| JP2818347B2 (ja) | 外観検査装置 | |
| JPS62113050A (ja) | びん口部検査装置 | |
| US20240077425A1 (en) | Method and system for detecting a defect on a semi-reflective film by illuminating different light sources along the same optical axis | |
| JP6980241B2 (ja) | 異物検査装置及び異物検査方法 | |
| JP2001021500A (ja) | 金属表面検査方法及び装置 | |
| KR200336984Y1 (ko) | 표면 및 형상 검사장치 | |
| JPH10206341A (ja) | 非金属介在物測定における異物検出装置 | |
| JP3369880B2 (ja) | 鏡面状被検査物の鏡面認識方法 | |
| JPH10142161A (ja) | ミラー傷検査方法 |