JPS6288802A - 流体制御装置 - Google Patents
流体制御装置Info
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- JPS6288802A JPS6288802A JP60228609A JP22860985A JPS6288802A JP S6288802 A JPS6288802 A JP S6288802A JP 60228609 A JP60228609 A JP 60228609A JP 22860985 A JP22860985 A JP 22860985A JP S6288802 A JPS6288802 A JP S6288802A
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- JP
- Japan
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- valve
- control device
- signal
- pressure
- fluid control
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は流体制御装置に係り、特にアクチュエータに供
給する流体の圧力もしくは流量を制御するに好適な流体
制御装置に関する。
給する流体の圧力もしくは流量を制御するに好適な流体
制御装置に関する。
従来、アクチュエータに供給する流体の圧力もしくは流
量を制御する流体制御装置には、３方弁もしくは４方弁
を用いるものが知られており、制御装置の構成例の多く
は例えば［油圧駆動とその制御」４２年４月２０日発行
Ｐ１８７〜Ｐ２Ｏ５に示されている。
量を制御する流体制御装置には、３方弁もしくは４方弁
を用いるものが知られており、制御装置の構成例の多く
は例えば［油圧駆動とその制御」４２年４月２０日発行
Ｐ１８７〜Ｐ２Ｏ５に示されている。
しかし、この種の制御弁は高い加工精度が必要とされ、
特に制御対象や要求される制御特性に応じ、弁のラップ
量を事前に決定せねばならず、一度決定すると容易に変
更できないという欠点があった。
特に制御対象や要求される制御特性に応じ、弁のラップ
量を事前に決定せねばならず、一度決定すると容易に変
更できないという欠点があった。
本発明は、複数の２方弁を組み合わせることにより、３
方弁あるいは４方弁と等価な機能を有し、自由にラップ
量を変化させることができる流体制御装置を提供するこ
とを目的とする。
方弁あるいは４方弁と等価な機能を有し、自由にラップ
量を変化させることができる流体制御装置を提供するこ
とを目的とする。
本発明の上記の目的は、圧力流体供給源とアクチュエー
タとを連結する配管に排出配管を分岐し、この下流側の
排出配管と分岐より上流側の配管とにそれぞれ電磁弁を
設けた流体制御装置において。
タとを連結する配管に排出配管を分岐し、この下流側の
排出配管と分岐より上流側の配管とにそれぞれ電磁弁を
設けた流体制御装置において。
前記電磁弁を２方向形の比例電磁弁で構成し、これらの
電気弁に弁ラップ量変更手段を接続することにより達成
される。
電気弁に弁ラップ量変更手段を接続することにより達成
される。
〔作用〕
上流側および下流側の各２方向ｆｉ磁弁の弁開度を独立
に制御することにより３方弁あるいは４方弁と等価な流
体回路を構成することができるとともに、多弁のバイア
ス流量を調節することにより、前述した３方弁あるいは
４方弁と等価な弁ラップ量を任意に設定することができ
る。
に制御することにより３方弁あるいは４方弁と等価な流
体回路を構成することができるとともに、多弁のバイア
ス流量を調節することにより、前述した３方弁あるいは
４方弁と等価な弁ラップ量を任意に設定することができ
る。
以下、本発明の一実施例を図面を用いて説明する。
第１図は本発明の流体制御装置の一例を備えたシリンダ
ーの駆動装置の一例を示すものであり、この図において
１０１はシリンダーの位置目標値ｒを発生する位置目標
値発生器である。１０２は位置目標値ｒおよび位置帰還
量すより、位置誤差信号Ｃを発生する減算器、１０３は
位置誤差信号ｅを圧力目標値ｒｐに変換する増幅器、１
０４は圧力目標値ｒｒ＋および圧力帰還量ｂｐより圧力
誤差信号Ｑｐ を発生する減算器、１０５は弁開度オブ
セツ１−信号ｏｉを設定する可変抵抗、１０６は圧力誤
差信号ａｐおよび弁開度オフセット信号Ｏ１より、上流
側弁開度信号Ｓｕを発生する加算器、１０７は圧力誤差
信号ｅ、および弁開度オフセット信号○、より、下流側
弁開度信号Ｓ＋、を発生する減算器、１０８，１０９は
上流側および下流側の弁開度信号Ｓｕ、ＳＬを上流側、
下流側の電磁弁駆動信号Ｖ ｕ 、 Ｖ Ｌに変換する
増幅器、１１０は圧力流体供給源であり、流量に無関係
で常に一定の圧力を発生する。１１１は上流側比例電磁
弁で、この電磁弁１１１は駆動信号ｖｕに比例した弁開
度を呈し、Ｖ ｕ ＜ Ｏでは、完全に閉じた状態とな
る。
ーの駆動装置の一例を示すものであり、この図において
１０１はシリンダーの位置目標値ｒを発生する位置目標
値発生器である。１０２は位置目標値ｒおよび位置帰還
量すより、位置誤差信号Ｃを発生する減算器、１０３は
位置誤差信号ｅを圧力目標値ｒｐに変換する増幅器、１
０４は圧力目標値ｒｒ＋および圧力帰還量ｂｐより圧力
誤差信号Ｑｐ を発生する減算器、１０５は弁開度オブ
セツ１−信号ｏｉを設定する可変抵抗、１０６は圧力誤
差信号ａｐおよび弁開度オフセット信号Ｏ１より、上流
側弁開度信号Ｓｕを発生する加算器、１０７は圧力誤差
信号ｅ、および弁開度オフセット信号○、より、下流側
弁開度信号Ｓ＋、を発生する減算器、１０８，１０９は
上流側および下流側の弁開度信号Ｓｕ、ＳＬを上流側、
下流側の電磁弁駆動信号Ｖ ｕ 、 Ｖ Ｌに変換する
増幅器、１１０は圧力流体供給源であり、流量に無関係
で常に一定の圧力を発生する。１１１は上流側比例電磁
弁で、この電磁弁１１１は駆動信号ｖｕに比例した弁開
度を呈し、Ｖ ｕ ＜ Ｏでは、完全に閉じた状態とな
る。
１１２は下流側比例電磁弁で、この電磁弁１１２は駆動
信号■Ｌに比例した弁開度を呈し、Ｖｔ、＜０では完全
に閉じた状態となる。１１３は変位検出器であり、アク
チュエータ１１４におけるピストンの変位量を変位帰還
信号すに変換する。１１４はピストンおよびシリンダー
およびピストンの復帰力を発生させるバネとで構成され
、シリンダー内部に注入される流体の圧力に比例した変
位出力を得ることができるアクチュエータ、１１５はシ
リンダー内部の圧力を圧力帰還信号ｂｐに変換する圧力
センサである。
信号■Ｌに比例した弁開度を呈し、Ｖｔ、＜０では完全
に閉じた状態となる。１１３は変位検出器であり、アク
チュエータ１１４におけるピストンの変位量を変位帰還
信号すに変換する。１１４はピストンおよびシリンダー
およびピストンの復帰力を発生させるバネとで構成され
、シリンダー内部に注入される流体の圧力に比例した変
位出力を得ることができるアクチュエータ、１１５はシ
リンダー内部の圧力を圧力帰還信号ｂｐに変換する圧力
センサである。
次に上述した本発明の装置の一例を備えた駆動装置の動
作を説明する。
作を説明する。
位置目標値発生器１０１より発生された位置目標値ｒは
、減算機１０２により、位置検出器１１３からの位置帰
還信号すを減算され、位置誤差信号ｅとなる。この位置
誤差信号ｅは増幅器１０３により圧力目標値ｒ、となる
。圧力目標値ｒｐは、減算器１０４により、圧力センサ
１１５からの圧力帰還信号ｂＰを減算され、圧力誤差信
号ｅｐとなり、上流側、下流側へ与えられる。
、減算機１０２により、位置検出器１１３からの位置帰
還信号すを減算され、位置誤差信号ｅとなる。この位置
誤差信号ｅは増幅器１０３により圧力目標値ｒ、となる
。圧力目標値ｒｐは、減算器１０４により、圧力センサ
１１５からの圧力帰還信号ｂＰを減算され、圧力誤差信
号ｅｐとなり、上流側、下流側へ与えられる。
上流側においては、圧力誤差信号ｅｐは弁開度オフセッ
ト信号Ｏ１と、加算器１０６により加算され、上流側弁
開度信号Ｓｕが作られる。この弁開度オフセット信号Ｏ
ｆは、可変抵抗１０５により、プラスからマイナスまで
任意の値に設定できるものである。また、下流側におい
ては、圧力誤差信号ｅｐは、減算器１０７により弁開度
オフセット信号Ｏｆより減算され、下流側弁開度信号Ｓ
Ｌが作られる６以上、上流側および下流側弁開度信号Ｓ
ｕ、ＳＬは、増幅器１０８，１０９により電磁弁駆動信
号Ｖ ｕ 、 Ｖ Ｌに変換された後、上流側電磁弁１
１１および下流側電磁弁１１２に供給され、各々の電磁
弁は流量の制御を行う。以上の動作より、上流側および
下流側の流量を操作して、シリンダー１１４に与える圧
力を制御し、ピストンの位置決め動作が行われる。
ト信号Ｏ１と、加算器１０６により加算され、上流側弁
開度信号Ｓｕが作られる。この弁開度オフセット信号Ｏ
ｆは、可変抵抗１０５により、プラスからマイナスまで
任意の値に設定できるものである。また、下流側におい
ては、圧力誤差信号ｅｐは、減算器１０７により弁開度
オフセット信号Ｏｆより減算され、下流側弁開度信号Ｓ
Ｌが作られる６以上、上流側および下流側弁開度信号Ｓ
ｕ、ＳＬは、増幅器１０８，１０９により電磁弁駆動信
号Ｖ ｕ 、 Ｖ Ｌに変換された後、上流側電磁弁１
１１および下流側電磁弁１１２に供給され、各々の電磁
弁は流量の制御を行う。以上の動作より、上流側および
下流側の流量を操作して、シリンダー１１４に与える圧
力を制御し、ピストンの位置決め動作が行われる。
第２図〜第４図は、圧力誤差信号ｅｐおよび弁開度オフ
セット信号Ｏｘに対する上流側および下流側の弁開度信
号Ｓｕ、 Ｓｔ、の関係を示したものであり、第２図は
０！＝０の場合、第３図は０．＜ ０の場合、第４図は
Ｏｆ〉０の場合である。上流側。
セット信号Ｏｘに対する上流側および下流側の弁開度信
号Ｓｕ、 Ｓｔ、の関係を示したものであり、第２図は
０！＝０の場合、第３図は０．＜ ０の場合、第４図は
Ｏｆ〉０の場合である。上流側。
下流側に配置した弁封は、０１の値によって、ラップ量
を自在に変化させることができ、Ｏ！二〇ではゼロラッ
プ、Ｏｆ〈０ではオーバーラツプ、○□〉Ｏではアンダ
ーラップ特性を有することになり、○ｌの値により、ラ
ップ量を自在に変化させることができる。
を自在に変化させることができ、Ｏ！二〇ではゼロラッ
プ、Ｏｆ〈０ではオーバーラツプ、○□〉Ｏではアンダ
ーラップ特性を有することになり、○ｌの値により、ラ
ップ量を自在に変化させることができる。
第５図は本発明の装置の第２の実施例を示するものであ
り、この図において第１図と同符号のものは同一部分で
ある。３０１，３０２は電磁弁１１１．１１２の温度を
検出し、各々の温度に比例した温度信号Ｔｕ、Ｔ＋、を
出力する温度センサ、３０３は上流側および下流側＠度
信号Ｔｕ、ＴＬの和を計算し、温度信号］゛を出力する
加算器、３０４は温度信号Ｔと温度オフセット信号Ｔ′
を加え合わせ、温度信号Ｔ＾を出力する加算器、３０５
は、温度信号Ｔ＾に比例した弁開度オフセット信号０１
を出力する増幅器、３０６はｍ度オフセット信号ＴＯｆ
を設定する為の可変抵抗である。
り、この図において第１図と同符号のものは同一部分で
ある。３０１，３０２は電磁弁１１１．１１２の温度を
検出し、各々の温度に比例した温度信号Ｔｕ、Ｔ＋、を
出力する温度センサ、３０３は上流側および下流側＠度
信号Ｔｕ、ＴＬの和を計算し、温度信号］゛を出力する
加算器、３０４は温度信号Ｔと温度オフセット信号Ｔ′
を加え合わせ、温度信号Ｔ＾を出力する加算器、３０５
は、温度信号Ｔ＾に比例した弁開度オフセット信号０１
を出力する増幅器、３０６はｍ度オフセット信号ＴＯｆ
を設定する為の可変抵抗である。
以下、第５図で示したシリンダー駆動装置の動作につい
て説明する。ここで弁開度オフセット信号Ｏｒの設定方
法以外は、第１図と同一の動作を行う、電磁弁の温度は
、温度センサ３０１，３０２により温度信号Ｔｕおよび
ＴＬに変換される。このＴ、およびＴ＋、は加算器３０
３により温度信号Ｔに変換され、更に加算器３０４によ
り温度オフセット信号Ｔ ｏ ｉを加えられた後、増幅
器３０５によって弁開度オフセット信号０１に変換され
る。以上の構成により、Ｏｒは電磁弁の温度に比例する
ものとなる。
て説明する。ここで弁開度オフセット信号Ｏｒの設定方
法以外は、第１図と同一の動作を行う、電磁弁の温度は
、温度センサ３０１，３０２により温度信号Ｔｕおよび
ＴＬに変換される。このＴ、およびＴ＋、は加算器３０
３により温度信号Ｔに変換され、更に加算器３０４によ
り温度オフセット信号Ｔ ｏ ｉを加えられた後、増幅
器３０５によって弁開度オフセット信号０１に変換され
る。以上の構成により、Ｏｒは電磁弁の温度に比例する
ものとなる。
電磁弁１１１，１１２の温度は、電磁弁を駆動するコイ
ルの発熱により上昇する。
ルの発熱により上昇する。
弁開度オフセット信号Ｏｆは、この温度上昇に比例し増
加する。よって電磁弁の温度上昇時、電磁弁の特性をア
ンダーラップ特性とし、電磁弁を流れる流体により熱を
うばうことにより、電磁弁の温度上昇を抑える。これに
より、熱による弁の特性の変化を抑えることができる。
加する。よって電磁弁の温度上昇時、電磁弁の特性をア
ンダーラップ特性とし、電磁弁を流れる流体により熱を
うばうことにより、電磁弁の温度上昇を抑える。これに
より、熱による弁の特性の変化を抑えることができる。
第６図は、本発明の装置の第３の実施例を示したもので
あり、この図において第１図に示されている符号と同一
のものは、同一部分を示す。
あり、この図において第１図に示されている符号と同一
のものは、同一部分を示す。
４０１は位置決めに要求される精度に比例した精度信号
ｍを発生する精度信号発生器、４０２は精度信号ｍより
弁開度オフセット信号○ｌを作る増幅器である。
ｍを発生する精度信号発生器、４０２は精度信号ｍより
弁開度オフセット信号○ｌを作る増幅器である。
次に、上述の第６図で示したシリンダーの駆動装置の動
作について述べる。ここでは、弁開度オフセットの設定
方法以外の動作は、第１図と同一であるので省略する。
作について述べる。ここでは、弁開度オフセットの設定
方法以外の動作は、第１図と同一であるので省略する。
実施例に示しである流体制御装置では、第１図での説明
のように、弁開度オフセットｏｆを操作することにより
、弁の特性をオーバーラツプからアンダーラップまで、
自在に変化させることが可能である。オーバーラツプ。
のように、弁開度オフセットｏｆを操作することにより
、弁の特性をオーバーラツプからアンダーラップまで、
自在に変化させることが可能である。オーバーラツプ。
アンダーラップには、互いに相反する特徴があり、オー
バーラツプでは、消費流体量を少なく抑えることができ
る反面、ヒステリシスが大きくなり、制御される圧力の
精度の低下をまねき、アンダーラップでは、その逆であ
る。そこで、高い位置決め精度が要求された場合、精度
信号発生器４０１よりの精度信号ｍを大きくすることに
より、弁のラップ量をアンダーラップ形とし、それ以外
では。
バーラツプでは、消費流体量を少なく抑えることができ
る反面、ヒステリシスが大きくなり、制御される圧力の
精度の低下をまねき、アンダーラップでは、その逆であ
る。そこで、高い位置決め精度が要求された場合、精度
信号発生器４０１よりの精度信号ｍを大きくすることに
より、弁のラップ量をアンダーラップ形とし、それ以外
では。
ｍを小さくすることにより、ゼロラップないしオーバー
ラツプ形とすることによって流体の使用量を抑える。以
上により、高精度の位置決めが可能となり、使用する流
体の量を小さく抑えることができる。
ラツプ形とすることによって流体の使用量を抑える。以
上により、高精度の位置決めが可能となり、使用する流
体の量を小さく抑えることができる。
第７図は、本発明の第４の実施例として、圧力流体の流
入により収縮動作を行うアクチュエータ例えばマッキベ
ン型ゴム人工筋と、バネを用いて変位出力を得るものの
一例を示したものであり、この図において第１図と同符
号のものは同一部分を表している。５０１はアクチュエ
ータであり。
入により収縮動作を行うアクチュエータ例えばマッキベ
ン型ゴム人工筋と、バネを用いて変位出力を得るものの
一例を示したものであり、この図において第１図と同符
号のものは同一部分を表している。５０１はアクチュエ
ータであり。
供給圧力の増加により収縮力を発生する。５０２はコイ
ルバネであり、前記アクチュエータ５０１に対して予張
力を与えると同時に、アクチュエータ５０１に対して引
張力を発生し、アクチュエータ５０１の収縮力とのつり
合いにより、位置決めを行う。５０３はアクチュエータ
の伸縮動作を回転運動に変換する変位変換部である。
ルバネであり、前記アクチュエータ５０１に対して予張
力を与えると同時に、アクチュエータ５０１に対して引
張力を発生し、アクチュエータ５０１の収縮力とのつり
合いにより、位置決めを行う。５０３はアクチュエータ
の伸縮動作を回転運動に変換する変位変換部である。
この実施例においても、上述した実施例と同様に作動さ
せることができると共に弁のラップ量を変更させること
ができる。
せることができると共に弁のラップ量を変更させること
ができる。
第８図は、本発明の第５の実施例であり、前記圧力流体
の流入により収縮動作を行うアクチュエータとして、マ
ッキベン形ゴム人工筋を用い抵抗させて使用した例であ
る。６００，６０１の一点鎖線で示した部分は圧力を制
御するものであり、アクチュエータ６０９，６１０に対
し、バイアス圧力を基準として、相反する圧力を与える
ものであって、更に６００，６０１は全く同じの構造と
なり、６００，６０１内に含まれる１０３〜１１２は、
第１図と同一のものであるので、同じ記号を用いて表わ
しである。６０３は角度目標値発生器であり本実施にお
いては、変位変換部の回転角目標値ｒを出力する。６０
２は、回転角目標値ｒより、回転角検出器６０８からの
回転角帰還信号すを減じ、回転角誤差信号ｅを求める減
算器である。６０４は回転角誤差信号ｅと圧力オフセッ
ト信号Ｏｆ−の和を演算し、６００側の圧力制御部に供
給する為の、６００側回転角誤差信号ｅ１を算出する加
算器、６０５は圧力オフセット信号Ｏ１ｄから、回転角
誤差信号ｅを減じ、６０１側の圧力制御部に供給する為
の６０１側回転角誤差信号ｅｒを算出する減算器、６０
６は圧力オフセット信号０，４を設定する為の可変抵抗
、６０７はアクチュエータ対の伸縮動作を回転運動に変
換する変位変換部、６０８は変位変換部６０７の回転運
動を検出し１回転角検出器号すを出力する回転角検出手
段であり、例えばロータリーエンコーダである。６０９
，６１０は圧力流体の流入により収縮動作を行うアクチ
ュエータであり、例えばマツキベン形ゴム人工筋である
。
の流入により収縮動作を行うアクチュエータとして、マ
ッキベン形ゴム人工筋を用い抵抗させて使用した例であ
る。６００，６０１の一点鎖線で示した部分は圧力を制
御するものであり、アクチュエータ６０９，６１０に対
し、バイアス圧力を基準として、相反する圧力を与える
ものであって、更に６００，６０１は全く同じの構造と
なり、６００，６０１内に含まれる１０３〜１１２は、
第１図と同一のものであるので、同じ記号を用いて表わ
しである。６０３は角度目標値発生器であり本実施にお
いては、変位変換部の回転角目標値ｒを出力する。６０
２は、回転角目標値ｒより、回転角検出器６０８からの
回転角帰還信号すを減じ、回転角誤差信号ｅを求める減
算器である。６０４は回転角誤差信号ｅと圧力オフセッ
ト信号Ｏｆ−の和を演算し、６００側の圧力制御部に供
給する為の、６００側回転角誤差信号ｅ１を算出する加
算器、６０５は圧力オフセット信号Ｏ１ｄから、回転角
誤差信号ｅを減じ、６０１側の圧力制御部に供給する為
の６０１側回転角誤差信号ｅｒを算出する減算器、６０
６は圧力オフセット信号０，４を設定する為の可変抵抗
、６０７はアクチュエータ対の伸縮動作を回転運動に変
換する変位変換部、６０８は変位変換部６０７の回転運
動を検出し１回転角検出器号すを出力する回転角検出手
段であり、例えばロータリーエンコーダである。６０９
，６１０は圧力流体の流入により収縮動作を行うアクチ
ュエータであり、例えばマツキベン形ゴム人工筋である
。
本実施例においては、互いに抵抗させ、その収縮力を各
々変化させることにより、変位変換部６０７を駆動する
。６１１，６１２はアクチュエータ６０９，６１０内の
圧力を検出し、圧力帰還信号ｂｐｐ、 ｂｐｒを出力す
る圧力センサである。
々変化させることにより、変位変換部６０７を駆動する
。６１１，６１２はアクチュエータ６０９，６１０内の
圧力を検出し、圧力帰還信号ｂｐｐ、 ｂｐｒを出力す
る圧力センサである。
この実施側においても、上述した実施例と同様に作動さ
せることができる。
せることができる。
本発明によれば、２方向形の電磁弁の組み合わせにより
、３方弁あるいは４方弁と８！械的な調整を必要とせず
に等価な流体回路を構成し得ると共にそれと等価な弁の
ラップ量を自在に設定することができる。
、３方弁あるいは４方弁と８！械的な調整を必要とせず
に等価な流体回路を構成し得ると共にそれと等価な弁の
ラップ量を自在に設定することができる。
第１図は本発明の制＃装置の一例を備えたアクチュエー
タの駆動装置を示す図、第２図〜第４図は第１図に示す
駆動装置における圧力誤差１３号ｅ−に対する弁開度指
令値Ｓ ｕ ＋ Ｓ Ｌを弁開度オフセット０１をパラ
メータとして表した特性図、第５図は本発明の第２の実
施例を示す構成図、第６図は本発明の第３の実施例を示
す構成図、第７図は本発明の装置をマツキベン形ゴム人
工筋とバネとを抵抗させて構成したアクチュエータに適
用した例を示す図、第８図は本発明の装置を２つのマッ
キベン形ゴム人工筋を抵抗させて構成したアクチュエー
タに適用した例を示す図である。 １０１・・・位置目標値発生器、１０２・・・減算器。 １０３・・・増幅器、１０４・・・減算器、 １０５・
・・可変抵抗、１０６・・・加算器、１０７・・減算器
、１０８・・・増幅器、１０９・・・増幅器、１１０・
・・圧力流体供給源、１１１・・・下流側比例電磁弁、
１１２・・・下流側比例電磁弁、１１３・・・変位検出
器、１１４・・・アクチュエータ、】１５・・・圧力セ
ンサ、３０１・・・温度センサ、３０２・・・温度セン
サ、３０３・・・加算器。 ３０４・・・加算器、３０５・・・増幅器、３０６・・
可変抵抗、４０１・・・精度信号発生器、４０２・・・
増幅器、５０１・・・アクチュエータ、５０２・・・コ
イルバネ、５０３・・・変位変換部、６００・・・圧力
制御部、６０１・・・圧力制御部、６０２・・・減算器
、６０３・・・角度目標値発生器、６０４・・・加算器
、６０５・・・減算器、６０６・・・可変抵抗、６０７
・・・変位変換部、６０８・・・回転角検出手段、６０
９・・・アクチュエータ、６１０・・・アクチュエータ
、６１１・・・圧力センサ、６１２・・・圧力センサ６
タの駆動装置を示す図、第２図〜第４図は第１図に示す
駆動装置における圧力誤差１３号ｅ−に対する弁開度指
令値Ｓ ｕ ＋ Ｓ Ｌを弁開度オフセット０１をパラ
メータとして表した特性図、第５図は本発明の第２の実
施例を示す構成図、第６図は本発明の第３の実施例を示
す構成図、第７図は本発明の装置をマツキベン形ゴム人
工筋とバネとを抵抗させて構成したアクチュエータに適
用した例を示す図、第８図は本発明の装置を２つのマッ
キベン形ゴム人工筋を抵抗させて構成したアクチュエー
タに適用した例を示す図である。 １０１・・・位置目標値発生器、１０２・・・減算器。 １０３・・・増幅器、１０４・・・減算器、 １０５・
・・可変抵抗、１０６・・・加算器、１０７・・減算器
、１０８・・・増幅器、１０９・・・増幅器、１１０・
・・圧力流体供給源、１１１・・・下流側比例電磁弁、
１１２・・・下流側比例電磁弁、１１３・・・変位検出
器、１１４・・・アクチュエータ、】１５・・・圧力セ
ンサ、３０１・・・温度センサ、３０２・・・温度セン
サ、３０３・・・加算器。 ３０４・・・加算器、３０５・・・増幅器、３０６・・
可変抵抗、４０１・・・精度信号発生器、４０２・・・
増幅器、５０１・・・アクチュエータ、５０２・・・コ
イルバネ、５０３・・・変位変換部、６００・・・圧力
制御部、６０１・・・圧力制御部、６０２・・・減算器
、６０３・・・角度目標値発生器、６０４・・・加算器
、６０５・・・減算器、６０６・・・可変抵抗、６０７
・・・変位変換部、６０８・・・回転角検出手段、６０
９・・・アクチュエータ、６１０・・・アクチュエータ
、６１１・・・圧力センサ、６１２・・・圧力センサ６
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、圧力流体供給源とアクチュエータと連結する配管に
排出配管を分岐し、この下流側の排出配管と分岐より上
流側の配管とにそれぞれ電磁弁を設けた流体制御装置に
おいて、前記電磁弁を２方向形の比例電磁弁で構成し、
これらの電磁弁に弁ラップ量変更手段を接続したことを
特徴とする流体制御装置。 ２、特許請求の範囲第１項記載の流体制御装置において
、弁ラップ量変更手段は弁開度オフセット信号を設定す
る可変抵抗器で構成したことを特徴とする流体制御装置
。 ３、特許請求の範囲第１項記載の流体制御装置において
、弁ラップ量変更手段は電磁弁の温度変化を検出する検
出器と、温度オフセット信号を設定する可変抵抗器と、
この可変抵抗器からの温度オフセット信号と検出器から
の温度信号とを加算して弁開度オフセット信号を出力す
る加算器とで構成したことを特徴とする流体制御装置。 ４、特許請求の範囲第１項記載の流体制御装置において
、弁ラップ量変更手段は位置決め精度に対応して弁開度
オフセット信号を出力する精度信号発生器で構成したこ
とを特徴とする流体制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60228609A JPS6288802A (ja) | 1985-10-16 | 1985-10-16 | 流体制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60228609A JPS6288802A (ja) | 1985-10-16 | 1985-10-16 | 流体制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6288802A true JPS6288802A (ja) | 1987-04-23 |
Family
ID=16879028
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60228609A Pending JPS6288802A (ja) | 1985-10-16 | 1985-10-16 | 流体制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6288802A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006106985A1 (ja) * | 2005-03-31 | 2006-10-12 | Japan Science And Technology Agency | 流体シリンダを用いたアクチュエータ及びその制御方法 |
| WO2014141961A1 (ja) * | 2013-03-14 | 2014-09-18 | 株式会社Ihi | アクチュエータ制御装置 |
-
1985
- 1985-10-16 JP JP60228609A patent/JPS6288802A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006106985A1 (ja) * | 2005-03-31 | 2006-10-12 | Japan Science And Technology Agency | 流体シリンダを用いたアクチュエータ及びその制御方法 |
| US7870817B2 (en) | 2005-03-31 | 2011-01-18 | Japan Science And Technology Agency | Actuator using fluid cylinder and method of controlling the same |
| WO2014141961A1 (ja) * | 2013-03-14 | 2014-09-18 | 株式会社Ihi | アクチュエータ制御装置 |
| JP2014177983A (ja) * | 2013-03-14 | 2014-09-25 | Ihi Corp | アクチュエータ制御装置 |
| US9752512B2 (en) | 2013-03-14 | 2017-09-05 | Ihi Corporation | Actuator control device |
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