JPS6285834A - 爆発性雰囲気中で使用するための流体圧発信器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野〕 本発明は、潜在的爆発性τ囲気中での使用に適する流体
圧発信器に関する。

（従来の技術） 差圧、相対圧又は絶対圧力を検出するのに使用されるこ
れらの発信器は、周知の様に、誘導的、容量的又は抵抗
的センサ手段から成り、また少なくともひとつの測定チ
ャンバを有し、該チャンバはその中に電気乃至電子的ト
ランスジューサ部材を含み、片側で、測定ダイアフラム
により画定されている。その他方の片側では、測定チャ
ンバはいわゆるシーリングダイアフラムで閉じられ、一
方これは、真空（絶対圧）、大気（相対乃至ゲージ圧）
又は別の圧力（差圧）に対する圧力を検出しようとする
環ｉ！Ｊ、（）゛ロセス）に接Ｘ、売されている。測定
ダイアフラムとシーリングダイアフラムとの間には、流
体、通常は油、が充填され、これを介してシーリングダ
イアフラムに加えられた圧縮応力が測定ダイアフラムに
伝達される。あまり技巧ををこらしてない別の装置にお
いては、シーリングダイアフラムが省略されてプロセス
雰囲気が測定ダイアフラムに直接に作用される。

〔発明か解決しようとする問題点］ 電気的乃至電子的部材が装置内に含まれている為に、こ
の種の計測器を爆発性の雰囲気中で使用する場合、電気
部品で発生するスパークがプロセス雰囲気に達する事の
無いような保護を講じる必要がある。この保護は十分に
測定された規則を満足しなければならない。特にヨーロ
ッパ規則ＣＥＮＥＬＥＣＥＮ　５０．０１８　　″゛ｄ
°ｄ°耐炎°゛を参照の要がある。従って、この種計測
器は上述の用途に使用する場合、測定チャンバ内に配置
されている電気乃至電子部品とプロセス７囲気との間に
少なくともひとつの承認されている防炎ジヨイントを有
しなければならない。しかし、当然のことながら、この
防炎ジヨイントは、測定ダイアフラムトに作用する流体
の両方向への適当な二の流通を可能＆するものでなけれ
ばならない。

上述の規則によって課されている制限は、非常に限定さ
れた流路しか含まれていないため、高価どなると共にこ
れを（１４足することが困難であるので、この種の防炎
ジョイ°ントを用意しなければならないときにはこの種
の計測器の実用化に相当の問題か生しる。

軸通路ジヨイント（円筒ジヨイント）が含まれる場合、
適用された通りの方向に適合されることに、」：って、
すなわち、その中に、規則により定められた裕度を満足
する様に選定されたより小さな直径を有する部分閉止部
材を挿入した適当な直径の穴を用意することによって、
上述した形式の訓測器に前記ジ」イン１−を構成する事
か既に提案されている。この解決策は２種の欠点、即ち
、前記する必要性かあること、及び一度穴径が定まると
、ジヨイントを流れる測定流体流もまた定まるが、この
流路面積は計測器の最良の動作条件に適合するとは限ら
ないということである。

従って本発明の目的は、防炎ジヨイントが、特別に安全
規則を満足するのに加えて、特に簡単であり、製造安価
で、動作が非常に効果的で、又更に、測定メンブレンへ
の流体流の流路面積が少なくとも所定の範囲内で意のま
まに調節可能である様に設計された、爆発性７囲気内で
使用する流体圧発信器を提供する事である。

（発明の概要） 本発明によれは、上述の目的は、前途の様な形式の発信
器において、小シリンダをこれに対応する穴のなかに力
ばめしたときに画定される境界部に設けたひとつ以上の
周辺溝で防炎ジヨイントを構成する事によって達成され
る。この場合。前記構は、その夫々を上述した規則を満
足させながら、容易な要領て実現することが出来、一方
前記γＭ／７）＋キャレルｂレル勇（ティ＋１ｌｌｌ中
７μ７太田高÷奔敗小ｉ浮望の面積を得る事が出来る。

更に、小シリンダが対応大中に力ばめされていると言う
事実は、簡単な構成を成すと共に前記シリンダを当該計
測器のその他の部品の支持手段としても使用可能とする
。

〔実施例〕

図面、特に最初に第１図を参照すると、例えは溶接によ
って相互に強固に結合された２個の鏡面対称半片Ａ、Ｂ
で形成された中央ブロックＣを有するトランスジューサ
が示されている。ブロックＣは、１２においてブロック
Ｃの上に支承するスリーブ部材１０によって固定、クラ
ンプされている。

結合され溶接された２つの剛体半片Ａ、Ｂは、測定ダイ
アフラムＭをそれらの間でその周辺に沿ってロックおよ
びシールされるように支持しており、前記測定ダイアフ
ラムＭはいわゆる２つの測定チャンバＨＡとＨＢとを画
定している。測定ダイアフラムＭは中央ブロックＮを有
し、このブロックの土に高導磁率をもつ材料製のディス
クＩＡとＩＢどを支承している。

各半片Ａ、Ｂは、６ｎ気コア１４と、これに付属する界
け１コイル１５とを有し、これらコアは、ダイアフラム
Ｍに支持されたブロックＮ上の磁気ディスクＩＡとＩＢ
とに対面する様に配列されている。コイル１５にはリー
ド線１６を介して交流が給電されて磁界を作るが、その
ｍ力線は磁気コア１４とブロックＮ上の付属磁気ディス
クＩＡ。

ＩＢとを通って閉している。この事は２個の６Ｆｌ気回
路を得る事となるが、こねら６Ｒ気回路はで！！１１定
ダイアダイアフラム静止位置に来て２個の同一チャンバ
ＨＡ及びＨＢを形成した時は同一のＮ　６ｎ気的な値を
示す。

各チャンバＨＡとＨＢとは穴１７Ａ、＋８Ａ及び１７Ｂ
、１８Ｂを夫々有し、その中には電気部品と導体、及び
シリコーン油の様な充填液の充填後にこれを封止するシ
ールシステムとを有する。

各半片Ａ、Ｂば後述する防炎装置３ＯＡ、３０Ｂを有す
るが、これには、プロセスチャンバＣＰ内のプロセス流
体から装置の測定トランスジューサを隔てる溶接及び封
止されたシーリンゲタイアフラム２１Ａ、２１Ｂによっ
て外部と隔離された中間スペース２０Ａと２０Ｂとが付
属している。

２つのシーリングダイアフラム２１Ａと２１Ｂとに加え
られた差圧は、前記２つのシーリングダイアフラムと充
填流体を介して測定ダイアフラムＭに伝送され、これが
前記差圧をそのブロックＮの小移動に変更する。これは
一方で両ディスクＩＡとＩＢ及び磁気コア１４とそれら
の交流給電コイル１５で形成された対向固定磁気回路と
の間の空隙ＴＡ及びＴＢを変化させる。両インダクタン
スの最終及び初期の値の差が差圧検出トランスジューサ
の出力となる。静圧の影Ｊを勘定に入れる為に、抵抗Ｒ
ＡとＲＢとが穴１７Ａと１７Ｂに夫々配置されているが
、これらの抵抗は、好ましくはカーボンペースト形の、
そしてこの計測器が受ける静圧に感じるもので、導体２
２を介してトランスジューサのプロセッシング回路に接
続されている。防炎装置３ＯＡと３０Ｂとは第２図乃至
３２（第２図及び′ｆＪ４図）とこの穴３２に力ばめ可
能の様な許容度でこの円筒穴の直径に略等１ノい外径の
小シリンダ３４とによって大略構成されている。シリン
ダ３４は金属材で作られているが、その周辺に形成され
た１又はそれ以上の濡３６を有し、その溝の幅は前記の
規則に合致するものかあり、一方溝３６の全周辺長はそ
の幅と共に空隙２０からチェンバＨへ流体の通過を保証
し、逆に、計測器を最も好ましい動作の為の状、態に置
く様に選定される。この様にして、この装置は非常に簡
単で構造正確に成し得、その工業的尺度での製造が何等
の困難無しに形成される。更に、本計測器には構造、使
用にあたっての動作に何等の複雑性がないのみならず、
一度定位置に力ばめされた小シリンダは、計測器の他の
部品、例えはコア１４及びコイル１５用の支持体として
使用し得る。

第５図、第６図及び第７図は防炎装置の変形例を示す。

木装誼は事実上、この場合も又、円筒穴穴４２に略等し
い外径を有する小形金属シリンダ４４から成るものであ
る。この場合、穴４２はその内周に形成された１又はそ
れ以上の満４６を有し、この講４６の幅は上述の規則に
合致、する様に選定され、一方講の周長に関しては、第
３図、第４図の実施例に関連して為されたと同様な事が
応用出来る。

上述の規則を満足する装置に対しては、シリンダの軸方
向長さは少なくとも６ｍ＋ｎ　、溝の半径方向寸法即ち
幅は０．０８乃至０．１５ｍｍの程度である。一方、前
途の通り、これらの溝の周辺長さは計画中の計測器の動
作上の要求に応じて変更する事が出来る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例に係る差圧発信器の断面図、第
２図は防炎ジヨイントを示す第１図の詳細断面図、第３
図及び第４図は第２図のジヨイントを形成するシリンダ
の夫々平面及び斜視図、第５図及び第６図は変形防炎ジ
ヨイントの平面図、第７図はこの変形防炎ジヨイントを
使用したシリンダの斜視図である。 図中１４．１５は測定トランスジューサ、２０Ａ、２０
Ｂはシーリングダイアフラム、３０は防炎ジヨイント、
３２は穴、３４．４４は小シリンダ、３６．４６は周辺
溝、ＨＡ、ＨＢは測定チャンバ、Ｍは測定ダイアフラム
を夫々示す。 代理人　弁理士　佐　膿　正　年 ■面の浄書（内存に変更なし）　　　　　　　　　　　
ｍ正ｌｆｆ１ｉ第１図 １Δ 第２図　　補正図面 手続補正書、ヵえ） 特許庁長官殿　　　　　　　　　　昭和６１年１０月３
０日１、事件の表示 昭和６１年特許願第１５８８８４号 ２、発明の名称 爆発性雰囲気中で使用するための流体圧発信器３、補正
をする者 事件との関係　　特許出願人 名称　　ケン）・−テイエギ・エツセ・ビー・アー４、
代理人 住　所　東京都港区虎ノ門−丁目２１番１９号秀和第２
虎ノ門ピル （発送日：昭和６１年９月３０日） ６、補正の対象

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、誘導的、容量的又は抵抗的センサ手段を有する測定
   トランスジューサを備え、前記トランスジューサが内部
   に電気的乃至電子的トランスジューサ部材を配置した少
   なくとも１つの測定チャンバを有し、該測定チャンバが
   片側で測定ダイアフラムにより画定され且つ他の片側に
   圧力流体を測定ダイアフラムへ流出入させ得る少なくと
   も１つの防炎ジョイントを有し、該防炎ジョイントが対
   応形状の穴に力ばめされた小シリンダによって画定され
   る境界部に設けられたひとつ以上の周辺溝で形成されて
   いる流体圧発信器。 ２、前記シリンダに、安全規則を満足するように予め定
   められた半径方向寸法と変更され得る周方向寸法とを有
   するひとつ以上の周辺溝が備えられ、このシリンダが連
   続した内壁面を有する対応穴に力ばめされている特許請
   求の範囲第１項に記載の流体圧発信器。 ３、前記対応穴に、安全規則を満足するように予め定め
   られた半径方向寸法と変更され得る周方向寸法とを有す
   るひとつ以上の周辺溝が形成され、一方シリンダが連続
   した周面を有する特許請求の範囲第１項に記載の流体圧
   発信器。 ４、シリンダ又は対応穴の溝の半径方向寸法が０．０８
   から０．１５ｍｍの範囲にあり、シリンダの軸方向長さ
   が６乃至１５ｍｍの範囲内にある、特許請求の範囲第２
   項又は第３項に記載の流体圧発信器。 ５、前記シリンダが動作に当たり測定チャンバ内に含ま
   れる少なくとも１個のトランスジューサ部材の構成部材
   を支承している、特許請求の範囲第１項に記載の流体圧
   発信器。 ６、シーリングダイアフラムで隔てられたプロセスチャ
   ンバを更に有し、前記測定チャンバが圧力伝達流体で充
   填されている形式の流体圧発信器であって、前記ひとつ
   以上のジョイントが測定チャンバ中の前記電気乃至電子
   的部材とシーリングダイアフラムとの間に設けられ、前
   記溝が圧力伝達流体の両方向への流通を可能とする寸法
   になされている、特許請求の範囲第１項に記載の流体圧
   発信器。