JPS60198428A - 誘導型差圧センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、 一内部チャンバを画成する剛性体と、 −前記内部チャンバを密封的に２つのハーフチャンバに
分割するたわみ性測定用隔膜と、−比較されるべき両方
の圧力をそれぞれのハーフチャンバに、直接にまたは略
非圧縮性の圧液を介して加える手段とを含み、前記隔膜
の中央区域は、前記剛性体に対して固定し休止状態の隔
膜の全体面によって限定される基準面に対して垂直な基
準方向に沿って、前記の面圧力の差異を伏表する行程量
をもって移動するように放され、（４） −また該導作用でこの移動量を測定する電磁手段を含む
型の誘導型差厚セ／すに関するものである。

〔従来技術と間Ｍ点〕

この種のセンサは広く普及しており、出願人はその実際
的笑施態様を型式番号６４４５　で市販している。

この実＃態様において、雷ω式測定手段は、−各ハーフ
チャンバの中に配置され隔膜の中央区域によって連結フ
ィンガを介して固定的に担持された磁性鉄心であって、
基準方向に沿ったその移動が隔膜中央区域の移動を伏表
するようにした磁性鉄心と、 一剛性体によって固定的に相持された２個の同形の単相
誘導素子であって、剛性体内部において磁性鉄心の周囲
に基準方向に沿って並置された２個の単相誘導素子とを
含み、 比較されるべき圧力の差の変動により磁性鉄心が一方の
誘導素子の内部により深く係合すれば、この鉄心が他方
の誘導素子の中により浅く係合すろように全組立体の寸
法と記音な定め、この場合、比較されるべき両田力の差
異が両方の誘導素子のそれぞれのインピーダンス、好ま
しくは自己インダクタンスの間の差異によって＋１１１
宇される。

この冥施態様は、略一定の完全に限定された湯度条件で
作動されるときには十分に満足で））る。

しかし温度が変化すると共に、センサの各ｅｌｌｌｌ弁
部分何特性に対する膨張作用による温度の影響と、鉄心
、誘導素子および場合によりセンサ本体の隣接部分から
成る組立体の電磁作用に対する温度の影響の故に、測定
値の変動が吃られる。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、センサの体積と原価とを著しく増大す
ることなく温度の影響を自動的に恒久的にゼロに補正す
るに適したｔ串型測定手段の構造を提供するにある。

〔発明の概要〕

このため本発明は、前文に述べた型のセンサにおいて、 一隔膜の中央区域によって固定的に担持され、この隔胛
中央区域の両側に、それぞれのハーフチャンバの中に、
基準方向に対して平行に相互に整列して西ｌｌＦされた
２個の同形の磁性鉄心と、−基準面に刻して相互に対称
位置に、基準方向に対して平行に相互整列して剛性体に
よって固定的に相持された２個の同形の単相誘導素子で
あって、各素子は、この素子に対する鉄心の位置の関数
としてのインピーダンスを発生するようにそれぞれの鉄
心の周囲に１＃されるようにした２伊の却相誘導紫子と
、 一両インピーダンスをそのインピーダンスの差異の検知
手段と電気的に接続する手段と、−前記基準面に対して
少なくとも部分的に対称体を成す剛性体とを含む型式の
電磁式測定手段を提案する。

しかし誘導素子の数は前述の出願人によって普及されて
いるセンサの場合と同様であり、従って本発明によるセ
ンサの原価と体積は公知センサのいずれのものとも全く
同程度である。また剛性体が、その内部に、内部チャン
バに対して密封性の（７） キャビティを各誘漕累子の周囲に画バする手段を固定的
に相持し、この手段は少くとも対応の誘導素子とこれに
組合わされた磁性鉄心との間において非磁性とすること
が望ましい。

この場合、センサの作動に際して誘導素子は比較される
べき圧力から応力を受けることがない。

故に、両方の誘導素子は、同等の略一定の庄カ条件のも
とに、たとえば大気圧で作動Ｉ７、そのｗ気性性と磁気
特性は比較されるべき川によって影響されない。

また望ましくは、各誘導素子は、対応のキャビティ内部
に電機子を含み、このキャビティの内部に複数の弾性脚
を介して剛性体によって担持される。これらの弾性脚は
基準方向に対して略平行であって、一方では剛性体に固
着し他方では電機子に固着し、望ましくは電機子の一体
部分を成す。

この構造は、センサの各部材と剛性体との膨張係数の差
の故に温度変化から生じる機械的応力から各誘導素子を
保護する。

上述のすべての構造が協ｆ＃１シて、圧力を比較す（８
） べき流体の温度と絶対圧の変動に対して、本発明による
センサを可及的に不感に成す。

しかしこのセンサは、先行技術の銹導型差田センサと同
程度の体積と原価をもって製造することができる。

〔実施例〕

以下において本発明を図面に示す実施例について詳細に
説明するが、本発明はこの例に限定されるものではない
。

可撓骨組測用隔膜を１で示す。この隔膜ｌはたとえば含
コバルト鋼から成り、特に商標ＰｈｙｎｏｘおよびＥｌ
ｇｉｌｏｙで市販されている型の孟コバルト含有優から
製造される。

この隔膜１は体１Ｆ時には第１図と詰２図に図示の形状
を示す。すなわち、軸＃ｉ！２回りの回転形状を成し、
ディスク状の中央区域３と外周区域４とを有し、これら
の区域はいずれも平面であって、軸線２に対して垂直の
同一全体面５の中にある。

これらの両区域３と４は、同じく軸ｌｐ２回りに回転体
を成す波形部６によって相互に接続され、先行技術にお
いて公知のように、これらの波形により、中央区域３は
軸＠２に平行な両方向に、外周区域４に対して弾性的に
移動することができる。

隔膜１はその外周区域４において、不＠＠　３１６Ｌな
どの密封材から成る剛性体７によって密封的に挟持固定
され、隔膜ｌは剛性体７の内部チャンバ８を密封的に２
チヤンバ９と１０に分割１〜、隔膜ｌはこれらのチャン
バ９．１０に対してそれぞれ同一面積の面１１と１２を
示す。これらの面は、隔膜の中央区域３と、この中央区
域と外周区域４との間にある波形６を有する区域とによ
って画成されている。

隔膜１の全体面５は隔膜の外周区域４と一致していると
みなされ、剛性体７に対１−て固定していることを注意
しよう。全体面５が隔膜１の外周区域４と一致している
とみなされるのであるから、軸線２とその方向は下記に
おいて、それぞれ基準、　面、基準軸線および基準方向
とみなされる。

第１図からさらに明かなように、剛性体７は２個の構成
部分１３と１４から成り、これらの構成部分は、下記に
おいて特配する限定された区域を除いて、軸線２回りの
回転体を成し、また面５に関して相互に対称的である。

これらの２部分は隔ＩＪ％Ｂの外縁区切２５において溶
接によって組立てられている。

枦２図を参照して剛性体７の構成部分１３についてさら
に詳細に考察すれば、この部分１３は軸Ｍ２回りの回転
円筒形の外周面＋５を有し、この外周面がこの部分１３
の軸線２に対する最大横方向寸法を限定する。この外周
面１５は全体面５から離れる側において、同じく軸線２
回りの回転体を成す環状切欠き１６によって、この側に
おいて部分１３を画成する面１７の外側縁６３に接続し
、この面１７は剛性体７の中央チャンバ８の外側の面を
限定している。

この面１７は２区域１８　、１９を有し、その第１区域
１８は環状、平面で、基準軸線２に対して垂直であり、
切欠部１６と接続しているが、第２面１９は中心部にあ
って基準軸線２と交わり、全体面５と環状区域１８に対
して傾斜■７て基準軸線２回りの回転波形を限定してい
る。

（１１） 構成部分１３の外周面１５は全体面５の側において、基
準軸ａ２に対して垂直で全体面５の方に向けられた環状
平坦面２０の外縁に接続され、この環状面２０の内周は
構成部分１３の基準軸線２回りの回転円筒形外周面２１
に接続している。この外周面２１は前記の外周面１５よ
り小なる直径を有し、このように外周面２０が基準面５
と反対の側において外周面２１を限定している。外周面
２１は、全体面５に近い側において、その方向に拡大１
−た軸２回りの回転切頭円錐面２２を介して、全体面５
に向って構成部分１３を画成する面２４、すなわち隔膜
１に向けられた面２４の外縁２３に接続している。

基準軸２を中心とする面２４の外＠２３は構成部分１３
の外周面２１と１５のそれぞれの直径の中間の直径を有
し、この直径は隔膜ｌの基準軸線２回りの回転円筒形外
縁２５０直径に略等しい。隔膜ｌと構成部分１３との連
結は、隔膜の外縁２５と面２４の外縁２３との連結によ
って正確に実施される。

面２４はその外縁２３の近傍において、基準軸線２に対
して垂直の環状平面区域２６を有し、この環状（１２） 面２６は基準軸線２の側において、基準軸＃２を中心と
する内縁２７によって画成され、この内縁２７の直径は
隔膜１の外周区域４と波形区域６との間の基準軸ｐ２を
中心とする移行部２８の直径に略等しいので、隔膜ｌの
外周区域４が面２４の外周区域２６に対して完全に当接
する。この面２４の外周区域２６はｐＱ性鉢体７構成部
分１３の全体面５にもつとも近い区域を限定している。

暴悪＃絽２の側に、外周区域２６に続いて面冴の中間区
域２９がある。この中間区域２９は、環状区域２６から
全体面５と反対側への面２４の彎入部を限定し、その波
形は、隔膜ｌが休止状態にあるときに、隔膜波形６を有
する隔膜面部分１１から離れてノ・−フチャンバ９を限
定しているが、隔膜Ｉが直圧の故にその中心部３が剛性
体７のＳ底部分１３の方向に移動して変形する際に、隔
膜の波形面１１と合致する。このような隔膜波形６と構
成部分１３の面Ｕの中間波形区域２９との接触がこの方
向における隔膜位置の変形の限界を成す。当業者は、隔
膜ｌの波形６に対応して面Ｕの中間波形区域四に対して
どのような形状を与えるべきかを容易に決定することが
できよう。

面Ｕの中間区域２９は基準軸線２を中心とする内縁３０
を有し、この内縁の直径は、隔膜１０波形区域６と中央
区域３との間の移行部３１の直径に近似する。

この内縁３０は面２４の中間区域の中央盲穴３２の縁を
成す。この中央盲穴３２は剛性体部分１３の内部におい
て、一方では、基準軸線２回りの回転円筒形内周面３３
によって、他方においては底面３５によって画成されて
いる。前記の内周面３３は、基準ｌＩｌ線２回りの回転
円筒体の小断差区域３４を介して、前記内縁３０に接続
し、また前記底面３５は基準軸１１ｊ２に対して垂直の
、前記内周面３３に隣接した環状外側平面外周区域３６
と、この外周区域３６よりも引込み、底面３５０大部分
を成す基準軸線２に対して垂直の平面ディスク状中心区
域３７とから成る。

第１図を見れば明らかなように、盲穴３２の内部に、た
とえば不銹＠３１６Ｌなどの非磁性材から成る取付部材
３８が装入され、この部材３８は、ハーフチャンバ９か
ら密封絶縁された１ＩｔＩ線２回りの環状キャビティ３
９を盲穴３２の内部に限定するように、構成部品１３上
にたとえば溶接によって固定されている。

そのため、取付部材３８は下記の区域を備える。

−スリーブ状区域４０゜このスリーブは、内周面４１と
外周面４２とによって画成され、これらの内周面と外周
面はいずれも軸線２回りの回転円筒体であって、そわぞ
れ盲穴３２の底面３５の中心区域３７の直径より小なる
直径を有する。

−全体面５と反対側において、１＋ｌｔｌ線２に対して
垂直方向に前記スリーブ４０の内部４７を閉鎖する底部
４３゜そのためこの底部４３は、軸線２に対して垂直の
ディスク状の２面４４と４５によって画成され、第１而
４４はスリーブ４４の内部に自装置され、その外縁がス
リーブ４０の内周面４】に接続し、また第２面４５はス
リーブ４０の外部にあって、その外縁がスリーブ４０の
外周面４２に接続している。

第１図に県られるように、取付部材３８はその底面４５
によって盲穴３２の底面３５の中心部３７に尚接（１５
） している。

＝スリーブ状区域４０を全体面５の側において画成する
フランジ状区域４６゜この場合、スリーブ４０の内部４
７を全体面５の側において完全に開放して、スリーブ内
部４７がハーフチャンバ９の一部を戒す。

そのため、フランジ４６は全体面５と反対側において、
軸線２に対して垂直な環状平面４８によって画成され、
この環状面４８の内縁はスリーブ４０の外周面４２に接
続し、またこの環状面４８の外縁は、軸線２回りの回転
段差部４９を介して、フランジ４６の外局面５０に接続
している。この外周面５０は軸線２回りの回転円筒形で
あって、その直径は盲穴３２の内局面３３０段差部３４
の直径に略等ｌ−い。このように外周面５０は、全体面
５と反対側において段差部４９に接続しているが、全体
面５の側においては、軸線２に対して垂直で全体面九の
方に向けられた環状平面５１の外縁に接続している。こ
の環状面５１は、外周面５０とスリーブ内周面４１との
中間の径の内縁を有する。またこの環状面５１より内側
に配置された軸線２に対して垂直ｊｃ環状平面５２が環
状面５１のｔ　１７　）　１１％＾ （１６） 内縁をスリーブ４０の内周面４１に接続している。

枦１図に見られ、るように、フランジ４６の環状側面５
】と外周面との接合点は、剛性体部分１３の側面２４の
中間区域２９の内縁３０と略一致しており、取付部材３
８がこの水準において気密的に溶接されて、キャビティ
３９をハーフチャンバ９から気密的に絶縁しているが、
このハーフチャンバ９はスリーブ４０の内部４７を旬含
している。

さらに詳しく述べるならば、ハーフチャンバ９は、隔膜
１の面１１と、剛性体部分１３の側面２４の中間区域２
９と、取付部材３８のフランジ５０の側面５１゜５２と
、スリーブ４０の内周面４１と、スリーブ４０の底面４
４とによってり密的に画成され、また隔＃ｌの外周区域
４は、剛性体部分１３の側面Ｕの外周環状区域２６と完
全に接讐しているものと見なすことができる。

このように限定されたハーフチャンバ９の中に。

さらに詳しくは剛性体部分１３の側面２４の中間区域２
９に、導溝回路５３　、５４が開口している。またこれ
らの導溝は、構成部分１３の反対佃！側面１７にも開口
（１８） し、またこれらの導溝は中心盲穴３２の周囲に西［１砕
゛されているが故に、軸線２回りの回転形状の例外を成
している。図示の実施例においては、各導溝５３　、５
４はａ＃２に対して平行なそれぞれ固有の直紳的軸線２
５７または２５８を有し、こわらの軸＃２５７　。

２５８は軸線２から同一距離に知則的角度間隔で配置さ
れているが、本発明の主旨の範囲内において他の配置法
を選ぶこともで伴る。また構成部分１３の内部にこのよ
うな３個の導管５３．５４を配置して良好なテスト結果
が得られ、だが、本発明の主旨の範囲内において３個以
上またけ３個以中の数の導溝な使用することもできる。

このようにして各導溝５３　、５４はハーフチャンバ９
と平らなスペース５５とを連結する役割を果たす。

このスペース５５は測定用隔膜１と同等の非磁性材料に
よって作られた密封性の可撓性セパレータ隔膜５６と、
剛性体部分１３の側面１７との間に密封的に画成されて
いる。

セパレータ隔膜５６は軸線２の方向において側面１７に
対向配置され、隔膜１と同様に外周区域５７と中央区域
５８とを有し、これらの区域はいずれも平坦で、軸Ｍ２
に対して垂直方向である。外周区域５７は環状であり、
中心区域はディスク状であって、これらの区域は波形中
間区域５９によって相互に連結されている。セパレータ
隔膜５６全体は隔膜ｌと同様に軸線２回りの回転形を成
す。

セパレータ隔膜５６の外周区域５７は軸線２に対して横
方向に、構成部分１３の側面理状区域１８と同等の内径
および外径を有し、またこの隔膜５６はこの外周区域５
７によって構成部分の環状区域１８に当接している。軸
線２の方向において構成部分の環状区域１８と反対の傭
に、環状リング６０が配量され、セパレータ隔膜の環状
区域５７に密着される。このリング６０は軸線２に対し
て軸方向において環状区域５７と略同等の寸法を有し、
またリング６０の外縁６１と、セパレータ隔膜５６の外
縁６２と、構成部分１３の側面１７と外周縁の切欠１６
の接合縁６３との全周に沿って相互に密封的に溶接する
ことにより、セパレータ隔膜５６と構成部分１３との連
結が実施される。

セパレータ隔膜５６の休止状態においてはその波（１９
） 形区域５９と中心区域５８が構成部分の側面１７から離
間されて中間スペース５５を形成するが、中心区域５Ｂ
が軸線２に平行に、外周区域５７に対して側面１７の方
に弾性的に曲げられる際に、この中心区域と波形区域５
９が側面１７０波形区域１９に密接に合致するように、
セパレータ隔膜５６が形成されている。

そのため印ましくけ、この隔膜５６の波形は、この隔膜
を直接に構成部分１３の側面１７の上でスタンピングす
ることによって作られる。

前記のリング６０は剛性体構成部分１３と同様に不変形
性と見なされ、また前記の構造は、セパレータ隔膜５６
０波形部分５９と中心部分５８のみを、構成部分１３に
向かって、さらに正確にはその側面１７に向かって運動
する自由を与える。隔ｐ４ｓ６の波形区域５９と中心区
域５８は、スペース５５の内部すなわち側面１７０波形
区域１９に向って、またこのスペース５５の外側は、リ
ング６０の内側に、それぞれ同一面積の面６４と６５を
呈示している。

図示の実施態様の場合、この面６５は比較されるべき一
方の圧力を受ける面を成し、そのため、剛（２０） 外体７はとの面６５に対向して、対応の流体受容チャン
バ６６を密封的に画成している。図示の実施例の場合、
このチャンバ６６は剛性カバー６７によって画成され、
このカバーはリング６０との接触部において環状平面６
９を備え、この環状面６９は軸線２に対して垂直な回転
面を成し、またこの面６９には、同じく軸′ｍ２回りの
回転形の埠枦グループ７０が相段され、このグループは
円環形シール６８を収容している。この環状面６９の内
縁７１は円形であって、リング６０の内径、およびセパ
レータ５６の外周区域５７と波形区域５９との結合部７
２の直径、あるいは構成部分１３の側面１７の区域１８
と１９との接合部７３の直径に略等しい直径を有し、キ
ャビティの縁を画成している。このキャビティは、カバ
ー６７の中に備えられ、圧力を比較しようとする一方の
流体の供給源に対する接続管７４によって外部に接続さ
れたチャンバ６６を成すものである。

センサが作動中にチャンバ６６の中に導入されてセパレ
ータ隔膜５６０面６５に作用する流体圧を測定用隔膜１
の面１１に伝送することは、実質的に非庄縮性の流体に
よって実施される。この流体は、セパレータ隔膜５６と
測定用隔膜１が休止している際に、即ちそれぞれの両面
において平ＩＡｔ　Ｆｌ−の際に、構成部分Ｉ３の中に
備えられた充満用導溝７５を介して、セパレータ５６と
構成部分１３の側面部分１７との間のスペース５５、導
溝回路５３，５４、およびハーフチャンバ９の中全体に
充満される。その後この導入用導溝７５を密封的に閉鎖
する。たとえば、この導溝７５の開口部にボール７６を
押ばめし、次に構成部分１３上に密封的にプラグ７７を
溶接する。この導溝７５は好ましくは構成部分Ｉ３の外
周面２１に配置され、導溝７５は放射方向に延びて一方
の回路導溝５３に達する。圧液としては望ましくはシリ
コーン油を使用する。これは温度によってほとんど変化
しない粘性を有する。あるいはフッ素化油、そのほか本
発明の主旨の節回において遊ぶことのできる圧液を使用
する。

剛性体７の第２部分１４は、全体′ｒｆｉ５に関して、
前述の構成部分１３と正確に対称的である。ただしその
例外として、ハーフチャンバ１０の内部において、構成
部分１３の面２４の中間区域２９と対称的でなく隔膜Ｉ
の面１２の波形６と相補的な面７８を呈示している。こ
の場合、隔膜１は、構成部分１３の方に移動したときに
この構成部分１３の側面２４の中間区域２９と合致する
突起と同一高さの彎曲部を構成部分１４の方に対して呈
示している。しかしこの構成部分１４の側面７８は、構
成部分１３の中間の区域２９と同様に、放射方向末端に
おいて環状面８０の内縁に接続している。この環状面８
０は、全り面５に関して構成部分１３の側面２４の対応
の外周環状区域２６と対称位置において、隔膜１の外周
区域４に完全に当接している。またこの環状面７９は全
体面５に対して対応の構成部分１３の側面の現状区域２
６の外縁２３と対称的な外縁８１を有し、これらの隣接
外縁２３゜２５、８１全体を溶接することによって剛性
体７の２構成部分１３と１４に対する隔膜１の接合が実
施される。

全体面５に関して、構成部分１３の盲穴３２と対称的に
、構成部分１４は盲穴８２を有し、この盲穴８２の中に
、全体面５に関して取付部材３８と対称的な部（２３） 品８３が挿入され、この部材８３は部材３８について述
べたのと同様にして構成部分１４に対して密封的に溶接
され盲穴８２の中にキャビティ８４を限定し、このよう
にして隔膜１の中央区域３および波形区域６を含む面１
２と、構成部品１４の波形面７８と、取付部材８３とに
よって画成されたハーフチャンバ１０からキャビティ８
４が密封的に絶縁されている。

全体面５に関して構成部分１３の側面１７と対称的に、
構成部分１４は外側面８５を有し、休止状態にあるとき
、即ち平衡用にあるときに全体面５に関して前記のセパ
レータ隔膜５６と対称的な密封性／可撓性セパレータ隔
＃８６が、環状リング８７と外側面８５の環状区域８８
との間に介在させられて外周に沿って連続的に溶接され
、外１１１１面　との間に扁平な中間スペース８９を限
定する。

前記スペース８９は油圧導溝９０および９１から成る回
路によってハーフチャンバ１０と連通し、これらの導溝
は全体′＠Ｉ５に関して構成部分１３の油圧導溝５３ま
たは５４とそれぞれ対称的である。

構成部分１３について先に述べたように、油ＦＦ：、梼
（２４） 管９０と９１、スペース８９およびハーフチャンバ１０
から成る組立体は、センサの製造に際して、測定相隔ｗ
１とセパレータ隔膜８６が休止しているときに、充満導
溝９３を通して、シリコーン油、フッ素化油などの非圧
縮性圧油を充満される。この充満導溝９３は全体面５に
関して充満導管７５と対称的であり、次にこの導溝にボ
ール８４を押ばめし、プラグ９５を構成部分１４の上に
溶接することによって閉塞する。

前記リング８７と構成部分１４の外側面８５の外周環状
区域８８との当接区域の内側において、セパレータ隔膜
８６はそれぞれスペース８９の側とその反対側に而９６
と９７を備え、これらの面の表面粕は、反対側セパレー
タ隔膜５６の対応の面の６４　、６５の表面積に等しく
、また外側面９７は比較される一方の圧の受容面を成し
ている。

そのため剛性体７は、全体面５に対して前記カバー６７
と対称的な剛性カバー９８を連結保持し、面９７に対向
して、前記チャンバー６６と対称的なチャンバ９９を限
定している。このチャンバ９９は、前記の接続管７４と
類似の指続管】（）０を通して、チャンｔ　２６　） バ６６の中に導入される流体圧と比較されるべき流体圧
を適当な流体源から受けるためのものである。

前記のリング６０に対するカバー６７と同じく、カバー
９８はカバー６７０面６９と対称的な外周環状部用】に
よって、適当ｔ「グループ中に配置された円環形密封シ
ール１０２を介在させて、リング８７に対して圧着され
ている。このような２つのカバーの密封的Ｗ接はネジ１
０３と】υ４によって興櫂される。これらのネジの数は
好ま（〜くけ２以上と（２、これらのネジは構成部分１
３の外周面１５と、これと対称的な構成部分１４の外周
面１０９に沿って、基準軸結２に対して等角度間隔で配
置され、これらのネジ１０３゜１０４はカバー６７およ
び９８の適当ｔ、ｃ割出穴１０５，１０６゜１０７　、
１０８を貫通してこれら両側のカバーを連結し、またナ
ツト１］υ、　ＩＪＩ　、　１１２　、１１３を受け、
これらのナツトがカバー６７と９８に応力を加えて、こ
れらを軸線２に対して平行に相ｑに近接させ、剛性体７
０両構成部分１３と１４を相互に圧着している。

それぞれリング６０、セパレータ隔＠’５６、構成部分
１３の外側面の外径と、対応のリング８７、セパレータ
隔膜８６および構成部分１４の外側面８５の外径は、構
成部分Ｉ３の外周面２］の直径より大であり、また構ｈ
ν部分１４上のその対称面１１４の直径より大であり、
また外縁２３　、２５および８１より大であるから、ナ
ツト１０１〜１１３によってカバー６７と９８に加えら
れる応力は、外周面２１と１１４および外縁２３　、５
１　。

８１すなわち本体部分１３　、１４に測定用隔膜ｌを溶
接する区切に対して突出したリング６０と８７を介して
、そねそれの構成部分１３と１４に伝達される。カバー
６７と９８に対してナツト１１０〜１１３によって加え
られる応力および前記の種々の直径な適当に連室するこ
とにより、ナツト１１０〜１１３によって加えられる田
縮作用のもとに、構成部分１３と１４の隔膜ｌに対する
溶接区域から突出した部分に対するカバー６７と９８の
作用の反作用として、構成部分１３と１４が放射方向に
拡張する傾向が補償され、従って測定用隔膜の放射方向
伸張を防止できることは当業者には明らかであろう。

カバー６７と９８との間において、構成部分１３　、１
４（２７） の両方に対する隔膜１の溶接部を隠すように、これら構
成部分の外周面を包囲した環状リング１】５が備えられ
、このリング１１５は構成部分１３　、１４上を軸方向
滑動自在に、またこれら構成部分およびカバー６７　、
９８に対して十分な遊隙なもって（遊隙１１６　、１１
７　）取付けられている。

前記の構造を考慮すれば、チャンバ６６と９９の中にお
いて、そわぞれセパレータ隔膜５６の面６５と、セパレ
ータ隔膜８６の面９７に対して加★らねる圧力は、それ
ぞれ同様に、一方ではスペース５５、導溝５３　、５４
およびハーフチャンバ９から成る組立体、他方ではスペ
ース８９、導溝９０　、９１およびハーフチャンバ１０
のから軟る組立体の中に収容された圧液を介して、測定
用隔膜ｌの対応の面１１と１２に対して伝達される。

圧液は可能な限り非圧縮性のものが選ばれているのであ
るから、各隔膜１，５６．８６の両面に対して平衡圧の
かかった休止状態に対応するセンサ初状態から始まって
、チャンバ６６と９９の中のそれぞれの圧の差が発生す
れば、３隔膜１，５６，８６０そ（２８） れぞれの中心部が軸［２に対して平行に共同彎曲運動を
成す。即ちもしチャンバ６６の中の圧力が高ければこれ
らの膜はチャンバ９９の方に動き、もしチャンバ９９の
中の圧力が高ければ、チャンバ６６の方に移動する。

このようにして、３隔膜のそれぞれの中央部、特に測定
隔膜１の中央部が軸線２に治って、いずれかの方向に成
す偏位度は、そわぞれのチャンバ６６と９９の中の圧力
の差異を代表するものであり、また測定相隔Ｍ！Ｊｔの
中央部に関してこの偏位度を測定し、その方向を示すた
めの下記に説明する手段が備えられている。

そのため、この中央区域３は２伊の同形の磁性鉄心１１
８と１２７を固定的に、たとえば溶接によって保持し、
これらの鉄心はこの中央区域のそれぞれ両側に、すなわ
ちハーフチャンバ９とｌＯのそれぞれ一方の中に配置さ
れ、軸線２に沿って相互に整列されて中央区域３に関し
て対称的である。

鉄心１１８が第２図において詳細に図示されている。こ
の図から明かなように、鉄心はス□リーブ部１１９を有
し、このスリーブ部は、軸線２回りの回転円筒形の内周
面１２（）と外周面１２１とによって画成され、全体面
５と反対側において、これらの面１２０と１２１を軸線
に対して直角に接続する環状平面１２２によって画成さ
れている。スリーブ部１１９は全体面５に近い側におい
て、軸線２回りの回転形の環状フランジ部１２０に接続
■−ている。このフランジ部１２０は軸＃２から離れる
側において、この軸線２回りの回転円筒形外周面】２３
によって画成され、この外周１Ｎ２３は、全体面５と反
対側に向けられた軸線２に対して垂直な環状平面１２４
によって、スリーブ部１１９の外周面１２１に接続され
、また軸線２回りの回転形の、この軸線２に対して大部
分垂直で平面の環状面１２５によってフランジ部】１９
の内周面１２０に接続されている。１〜かしこの面１２
５は、外周面１２３との接合部において、軸線２回りの
回転環状の、全体面５の方に突出したリム１２６を備え
る。

このリム１２６は、公知の放電溶接法によって隔膜ｌの
面１１上に鉄心１１８を固定するために使用される。

鉄心のフランジ部１２０の外周面の直径は、隔膜ｌの中
央区域３に対する固着を可能とするためにこの中央区域
３の直径に最大限等しく、また剛性体７の構成部分１３
の内部に挿入された取付部材３８のフランジ４６の優退
面５２の直径に最大限等しい。

またスリーブ部１１９の外周面１２１の直径は取付部材
３８のスリーブ４ｏの内周面４１の直径以下であり、ま
た軸線２に対して平行にとられた鉄心１１８の面１２２
と１２４との間隔は、この軸線２に対して平行にとられ
た取付部材３８の底面４４と後退面５２との間隔以下で
あり、また軸＃２に対して平行にフランジ部１２４とフ
ランジリム１２６との間においてとられた鉄心１１８の
フランジ部１２０の全厚は、隔膜１の休止状態において
、隔膜Ｉの中央区域３０面と取付部材３８の後退面５２
との間隔より小であるので、この隔膜の休止状態を初状
態とすれば、この状態においては鉄心１１８のスリーブ
部１１９が取付部材３８のスリーブ部４ｏの中に係合し
、スリーブ部１１９の端面】２２が軸線２の方向に見て
取付部材の面４８（３１） と４４のそれぞれの位置の中間にあり、そこで隔膜ｌの
中央区域３が剛性体７の構成部分１３の方に彎曲すれば
、鉄心１１８のスリーブ部月９は鉄心３８の中にさらに
深く入る方向に移動する。好ましくは、先に定義した鉄
心１１８のフランジ部１２０の即さは、隔膜１の波形６
が剛性体構成部分１３の而２４の中間区域２９の波形と
一致したときに、取付部材の後退面５２と接触して、こ
の方向への隔膜１の移動に対抗する止め部材を成すよう
にすることが好ましい。

またこのように市め作用が生じたときに鉄心端面】２２
が取付部材ｒＭｒｆｒＩ４４に近接するように、鉄心面
１２２と１２４との軸線２に沿った間隔は、軸線２に平
行にとられた取付部材３８の底面４４と後退面５２との
間隔より小であるとしても、この間隔に近いことが好ま
しい。

しかしこれらの寸法は、取付部材３８の内部における鉄
心１１８の運動がハーフチャンバ９内部の流体の流れと
両立する限り任童に選定することができる。

鉄心１２７はすべての点において鉄心１１８と同等（３
２） であり、特に鉄心１１８のスリーブ区域１１９に対応す
るスリーブ区域１２８を有し、このスリーブ区域は、取
付部材３８のスリーブ部４０と全体面５に関して対称的
な取付部材８３のスリーブ区域１２９の中に係合し、隔
膜１の中心区域３がセンサ剛性体７のＨ１ｒ１部分１４
の方に移動する際に、さらにこのスリーブ区域１２９の
内部に進入する。また鉄心１２７は鉄心１１８のフラン
ジ区域１２０に対応するフランジ区域１３０を有し、こ
のフランジ区域１３０は、隔膜ｌの中央区域３に溶接に
よって固着され、また他方では、全体面５に関して取付
部材３８のフランジ区Ｍ４６に対応するこの取付部材８
３のフランジ区域１３１と協働して、この取付部材８３
のスリーブ区域１２９の中への鉄心１２７のスリーブ区
域１２８の進入を制限する止め部材を成す。このような
止め作用が生じたとき、隔膜ｌの波形６が剛性体７の構
成部分１４の波形簡７８と一致する。

好ましくは、測定用隔膜１と構成部分１３または１４と
の当接がセパレータ隔膜８６の構成部分１４の側面８５
に対する当接またはセパレータ隔膜５６の構成部分１３
の側面１１７に対する当接にそれぞわ対応するように、
スペース５５と８９の客積はハーフチャンバ９と１０の
容積にそれぞれ等しい。

隔膜１の中央区域３が軸ｍ２の方向に移動する結果、一
方の磁性鉄心のスリーブ区域が対応の取付部材のスリー
ブ区域の中にそれだけ深く進入し、同時に他方の１５性
鉄心のスリーブ区域が対応の取付部材のスリーブ区域か
らそれだけ脱出することを注意しよう。また一方の鉄心
が対応の取付部材に当接することにより他方の鉄心が対
応の取付部材から完全に脱出することなく、その最小限
の係合度が鉄心のスリーブ区域と堆付部利のスリーブ区
域の軸線２の方向にとられたそれぞれの長さのたとえば
約半分程度となるように、磁性鉄心１１８゜１２７と対
応の取付金具３８　、８３が寸法安めされ酉装置されて
いる。

軸線２の方向に沿って各鉄心１１８と１２７の対応取付
部材３８または８３の内部における位置を測定するため
、それぞれのキャビティ３９と８４の中に、同形の誘導
素子１３２と１３３が配置され、これらの素子は剛性体
内部において全体面５に対して対称的固定位置を占める
。

素子１３２の構造は素子１３３の構造と同形であって、
これを第２図と第３図について下記に説明する。この図
において、２本の口出１ｉ１３ｓと１３６を有する」４
相巻紳を１３４で示し、この巻線の磁性材料から成る電
機子を１３８で示す。この磁性材料は好ましくはフェロ
ニッケル合金とし、この材料は両方の磁性鉄心１１８と
１２７をも構成している。ただし、これに限定されるも
のではない。

好ましい実施態様においては、電機子】３７は２部材の
清接組立体の形を成し、その一方の部材１３８はすえ込
みで得られたコツプ状を成し、他方の部材１３９は、こ
のコツプ部材１３８の中に巻線１３４を保持する座金の
形状を成す。

コツプ部材は、軸線２回りの回転形状の環状平底壁１４
０を有し、この底壁は軸＃＃２に対して垂直であって、
取付部材３８のスリーブ区域４０の外周面４２の直径よ
り大であるがこの直径に近い直径の内＠　１４１を示す
。従って、このコツプ状部材１３８の（３５） 底壁１４０の内縁１４１は、非磁性のＰ磁性材料から成
るスリーブ１４２を介して、前記取付部材のスリーブ区
域の外周面４２上にすり合わされる。このスリーブ１４
２は、前記外周面４２全体を、７ランク区域４６の側面
４８から、底部４３の底面４５まで外張りしている。

またコツプ部材１３８の底壁１４＋１は、同じく軸線２
回りの回転形状の外縁］４３を有し、この外縁からコツ
プ状部材１３８の外周壁１４４に接続している。

この外周壁１４４は、軸線２回りの回転円筒形の内側面
１４５と外側面１４６とによって画成され、構成部分１
３の盲穴３２の内周面３３より小さな外径を有する。こ
のコツプ状部材の外周壁１４４は底壁１４０から、全体
面５と反対の側に延在し、この底壁１４０は取付部材３
８の７ランク区域４６の側面４８に隣初肖装置されるが
、この側面４８と接触することなく、また外周！！１４
４は、軸線２に対して平行なみぞ穴１４７によって分割
されて、脚１４８と１４９の交代構造を成す。脚１４８
は軸１２に対して平行方向に比較的長く、軸＃１２に対
して横方向に比較的薄く、また（３６） 脚】４９は軸線２に対して平行方向に比較的短く、軸線
２に対して比較的大なる中心角を有する。

みぞ穴１４０は軸線２と平行に全体面５から離れる方向
に開き、この全体面５に近づく方向においては底壁１４
０の近傍においてのみ中断し、これらのみぞ穴によって
作られる比較的多い脚１４８は、軸線２に対するその横
方向の寸法と軸線２に対するその中心角が十分な弾性た
わみ性を示す程度に小であるのに対して、脚１４９は比
較的剛性である。

底壁１４０と座金１３９との間の機械的連結と磁気連続
性とを保証するため、比較的剛性の脚１４９が使用され
、この座金１３９はコツプ状部材１３８の底壁１４０と
類似の形状を有し、軸＃２回りの回転円筒形のその外縁
】５（）の直径はコツプ状部材１３Ｂの外周壁部１４４
の外周面１４６の直径に等しく、同じ＜１１１線２回り
の回転円筒形のその内縁１５１は底壁１４０の内縁１４
１の直径に等しい。比較的たわみ性の脚１４８の弾性的
げの可能性を損わないでこのような連結を回部とするた
め、座金１３９の外縁１５０は各たわみ性脚１４８の周
囲に切込み１５２を備えて、脚１４８のすべての側面に
遊隙を残し、これに対して座金１３９は比較的剛性の脚
】４９の全体面５と反対の側の端部１５３に当接し、た
とえば放電溶接によって座金１３９とこれらの脚１４９
とを相互に溶接する。

卯、３図に図示のように、比較的たわみ性の脚１４８は
座金１３９から突出し、全体面５からもっとも耐れたそ
の突出部１５４をもって、盲穴３２の底面３５の区域３
６に溶接され、このようにして、剛性体７の構成部分１
３のキャビティ３９の内部におけるｔ挟子１３７の取付
けが保証される。

脚１４８の弾性たわみ性の故に、この構成部分１３の熱
変形は実際上、コツプ１３８の底壁１４０、脚１４９お
よび座金部材１３９に伝達されｔ（い。すなわち、電機
子１３７を構成する材料の磁気ひずみ特性が高いにもか
かわらず、この電機子の磁気特性に対して寅際上影響が
ない。

またスリーブ１４２を構成する材料の弾性用縮性の故に
、取付部材３８のスリーブ状区域４０から、コツプ部材
１３Ｂの底壁１４０と座金部材１３９のそれぞれの内縁
１４１と１１５１に対する機械的応力の伝達も防ＩＦさ
れる。

電機子１３７の内部において、巻線１３４は、それぞれ
座金部材１３９とコツプ部材１３８の底壁１４０に対し
て、絶縁性材料の２個の座金１５５と１５６の間に介在
させられている。また電機子１３７の内部において巻線
１３４を軸線２に対して平行な方向に底壁１４０と座金
部材１３９との間に弾性的に固定するため、底壁１４０
とｍ１記座金１５６との間に弾性座金１５７が介在させ
られている。座金１５５〜１５７は、巻＆　１３４その
ものと同様に、スリーブ１４２の周囲に遊隙なく取付け
られるため、コツプ部材１３Ｂの底壁１４０と座金部材
１３９のそれぞれの内縁１４１　。

１５１と略同−直径の内縁１５８　、１５９　、１６０
　、１８１を示す。

巻線１３４０２本の日出線１３５　、１３６はコツプ部
材１３８の外周壁１４４のみぞ穴１４７を通して電機子
１３７から出て、次に剛性体７の構成部分１３の中に特
に設置された導溝１６１を通って構成部分１３の外部に
出る。この導溝１６１はこの構成部分１３の軸線（３９
） ２回りの回転形状の例外を成している。この導管１６１
は、一方では、盲穴３２の内周面３３と段差部３４との
接合部に開き、他方では、構成部分１３の外周面２１に
開き、またこの導溝しまその内側に絶縁性材料管１６２
を配置される。

剛性体７の構成部分１３の環状面２０の上に、絶縁性ス
リーブ＋６３を介して、２個の端子１６４が固定され、
これらの端子十に、目出線１３５と１３６がそれぞれ溶
接され、またこれらの端子は、ネジ１０３の穴９２を通
して、導線１３５を瞥庄源１６５に接続して、これに所
定の’［ＦＥ−Ｖを加え、また導線１３６を当業者に任
意の型の電圧測定手段１６６に接続するのに役立つ。こ
の結線を第４図に示す。

剛性体７の構成部分１４のキャビティ８４の中に収納さ
れる誘導素子１３３は前述の誘導素子１３２とあらゆる
点において同等であって、巻線１３４と同等の単相巻線
１６７と、前記電機子１３７と同等の電機子１６８を含
み、この電機子は対応のキャビティの中に同様に増付け
られ、同様に対応の巻＃　１６７を受ける。

（４０） この巻線１６７は、前記の日出線１３５　、１３６に対
応する２本の日出線１６９と１７０を有し、これらの目
出＃１６９　、１７０は、前記の電機子１３７のみぞ穴
１４７に対応する重機子１６８上の１つのみぞ穴１７１
を通して構成部分１４から出て、次に全体面５に対して
前記の導溝１６１と対称的に配置された構成部分１４の
中の導溝１７２を通る。この導溝１７２の内部には、前
記の絶に＋管１６２と類似の絶Ｍ！管１７３が挿入され
ている。構成部分１３と同様に、構成部分１４はそれぞ
れ絶縁性スリーブ１７４を介して２個の端子１７５を担
持し、これらの端子上にそれぞれ導線１６９と１７０が
接続される。これらの導線はそれぞれｗ４図に図示のよ
うに、放射方向穴９２を通して市、圧源１６５と電圧測
定手段１６６とに接続される。

この図から明らかなように、電圧源１６５は電圧十ｖを
導線１６９に加えるが、導線１７０の測定手段１６６と
の接続は導線１３６と共通である。

＃業者には公知のように、前述の本発明の好ましい寮施
態様においては、各誘導素子１３２と１３３は、対応の
巻線１３４または１６７の軸線に沿った、即ち軸線２に
沿った磁性鉄心１１８または１１７の位置に対応するイ
ンピーダンスを発生し、それぞれの取付部材３８または
８３を通して対応の電機子１３７または１６８の磁気回
路が閉成される。実際上、この鉄心の位置に対応して、
磁束がそれぞれの鉄心１１８または１２７の全体面５と
反対側の末端と、同じくこの全体面５と反対１１１１の
電柵、子１３７または１６８の部分（この場合には電機
子の底部１３９）との間のエヤギャップを越える。

巻線１３４と１６７が同形であり、また磁性鉄心１１８
と１２８、電機子】３７と１６８がそれぞれ対称的に配
置されているが故に、セパレータ隔膜５６の面６５、即
ちチャンバ６６内部と、セパレータ隔膜８６の面９７と
に対して同等の圧力を加えれば、隔膜１が体重状態に保
持され、即ち鉄心１１８と１２８が全体面５に対して対
称的位置に留まる。即ち、誘導素子１３２または１３３
に対してこれらの鉄心が同等位置に留まり、その結果、
誘導素子１３２と１３３のインピーダンスが同等になる
。その結果、’１ＷＦＦ澗定手段１Ｇ６に対してゼロ電
位差が加えられる。もしこれに反して、チャンバ６６と
９９の中の圧力が相違すれば、隔膜１１従って磁性鉄心
１１８　、１２９が比較的圧力の低いチャンバ６６また
は９９に向かって軸線２に平行に移動し、これはこのチ
ャンバと同一側にある誘導素子１３２または１３３のイ
ンピーダンスの増大と、他すの誘導素子のインピーダン
スの減少に対応する。

巻線１３４と１６７の結紐法を見れば、その結果として
電圧計１６６に対して電圧が加えられ、この電圧の位相
は軸ｆｉＩ２に沿った両方の鉄心の共同移動方向を示し
、またこの電圧の振幅は移動量を示し、この移動量その
ものが、そわそれのチャンバ６６と９９の中の圧力の差
異を示す。この市１圧が回路１６６によって処理されて
、両方の巻線のインダクタンスの差異を代表する信号を
発生する。

前述の本発明の実施態様は好ましい実施態様を成すもの
であるが、圧力を比較しようとする流体の性格から可能
な場合には、本発明の主旨の範囲内において、セパレー
タ隔膜５６　、８６および前述の介在圧液を使用するこ
となく、前記の圧力の両方（４３） を直接にセパレータ隔膜の面】Ｊと１２に加えることも
できる。当業者は本発明の主旨の範囲内において前述の
態様に対して必要な変更を加えることができよう。また
この場合には、Ｒｔｆ述のように各誘導素子と対応の鉄
心との間に介在された取付部材３Ｂと８３に相当する非
磁性手段によって該導素子と測定用隔膜１０両面に作用
する流体との間に密封性を保持することが隣ましく、ま
た少なくともこのセンサが可変流度条件で使用される場
合には前述のような誘導素子の電機子の弾性的取付けが
望ましいであろう。

また同様に本発明の主旨の範囲内において、当業者は誘
導素子１３２と１３３のそれぞれのインピーダンスの前
記以外の比較手段を選定することができよう。

【図面の簡単な説明】

第１図は基準面に対して直角な対称面に沿って切られた
本発明のセンサの断面図、第２図はこのセンサの一部の
同一面における分解図、第３図は（４４） センサ誘導素子の同一面における断面図、第４図はセン
サの電気回路図である。 １・・・測定用隔膜、２・・・基準方向（軸線）、５・
・・基準面（全体面）、７・・・剛性体、８・・・内部
チャンバ、９．１０・・・ハーフチャンバ、１３．１４
・・・岡Ｉｔ　ｔ　体構成部分％１７　、８５・・・剛
性体外ｆｌ１１　槍、３８　、８３・・・取付部材、３
９　、８４・・・キャビティ、５３　、５４．９０．９
１・・・液圧回路、ｓｓ、ｓｓ・・・中間スペース、５
ｆｉ、８６・・・セパレータ隔膜、６４　、９６・・・
セパレータ隔膜の内側面、　６５　、９７・・・セパレ
ータ隔膜の外側面、　６ｆｉ　、　９９・・・チャンバ
、１１８　、１２７・・・磁性鉄心、１３２　、１３３
・・・誘導素子、１３５　、１３６　、１６９　、１７
０・・・日出線、１３７　、１６８・・・電機子、１４
７　、１７１・・・みぞ穴、１４８・・・弾性脚、１６
６・・・電位差計。 出願人代理人　猪　股　清 手続補正書（方式） 昭和６０年４月２Ｚ日 特許庁長官　志　賀　学　殿 １　事件の表示 昭和５９年　特許願　第２４９４２７号２　発明の名称 誘導型差圧センサ ３　補正をする者 事件との関係　特許出願人 セレ ４代理人 昭和６０年３月６日 （発送日　昭和６０年３月２６日） ６　補正の対象 図面、法人証明書 ７　補正の内容 別紙の通り 図面の浄書（内容に変更なし） 　１−

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、−内部チャンバを画成する剛性体と、−前記チャン
   バを２つのハーフチャンバに密封的に分割するたわみ性
   測定用隔膜と、−前記ハーフチャンバにそれぞれ比較さ
   れるべき圧力を加えるための手段とを含み、前記隔膜の
   中央区域は、ｍ１記剛性体に対して固定し休止状態の隔
   膜の全体面によって限定される基準面に対して垂直の基
   準方向に沿って、これらの両圧力の差異を代表する行程
   の移動を成し、−さらにこの移動量を誘導作用で測定す
   る電磁手段とを含む誘導型差圧センサにおいて、前記電
   磁測定手段は、 一隔膜（１）の中心区域（３）によって固定的に担持さ
   れ、前記隔膜の中央区域の両側に対称的に、それぞれハ
   ーフチャンバ（９，１０）の中に、基準方向（２）に対
   して平行に相互整列して配置された同形の２個の磁性鉄
   心（１１８、１２７）と、−基準面（５）に対して相互
   に対称位置に、基準方向（２）に対して平行に相互整列
   して剛性体（７）によって固定的に担持された２個の同
   形の単相誘導素子（１３２、１３３）であって、各素子
   は、この素子に対する鉄心（ｕｓ　、　１２７　）の位
   置の関数としてのインピーダンスを発生するようにそれ
   ぞれの鉄心の周囲に配置された２個の単相誘導素子と、 一両誘導素子（１３２、１３３）をそのインピーダンス
   の差異の検知手段（１６６）と接続する手段（１３５、
   １３６、１６９、１７０）と、−前記基準面に対して少
   なくとも部分的に対称体を成す剛性体（７）とを含むこ
   とを特徴とする誘導型差圧センサ。 ２、前記剛性体（７）はその内部において、各誘導素子
   （１３２、１３３）の周囲に、内部チャンバ（８）に対
   して密封されたキャビティ（３９，８４）を限定する手
   段（３８、８３）を固定的に担持し、これらの手段（３
   ８、８３３は、少なくとも対応の誘導素子（１３２、１
   ３３）とこれに対応する磁性鉄心（３３８，１２７）と
   の間において、非磁性であることを特徴とする特許請求
   の範囲第１項によるセンサ。 ３、各誘導素子（１３２、１３３）は、対応のキャビテ
   ィ（３９、８４）の内部に電機子（３３７、１６８）を
   含み、また各誘導才子（３３２、Ｊ３３　）は、一方で
   は瞥゛機子（３３７、１６８）に固着し他方では剛性体
   （７）に固着した複数の弾性脚（３４８）を介して、Ｉ
   Ｉ記キャピテイ（３９、８４）の内部に岡１１性什（７
   ）によって担持されることを特徴とする特許請求の範囲
   第２項によるセンサ。 ４、前記脚（ｔ４８）は悸゛機子（Ｊ３７　、　Ｊ６８
   　）の一部を成し、電機子の他の部分から溝穴（３４７
   、１７１）によって離間され、前記の脚（１４８）は基
   準方向（２）に対して略平行に配向されていることを特
   徴とする特許請求の範囲第２項によるセンサ。 ５、比較されるべき２つの圧力をそれぞれのハーフチャ
   ンバ（９、］Ｏ）　Ｋ加えるための手段（５６゜６６　
   、８６　、９９　）は、 −剛性体（７）の周外側面（１７，８５）と、−それぞ
   れ剛性体（７］の外側面（１７，８５）に対向してこの
   外側面と共に中間スペース（５５，８９）を密封的に画
   成する２個の同形のたわみ性セパレータ隔膜（５６，８
   ６１であって、これらの隔膜は、対応の中間スペース（
   ５５，８９１の内部に向がって同一面積の内側面（６４
   ，９ｆｉ）を示し、またこのスペース（５５，８９）の
   外伸に向かって、比較されるべき田をそれぞれ受けるた
   めの同一面積の外側面（６Ｆｉ　、　９７１を示すよう
   にしたセパレータ隔膜と、−それぞれ一方のハーフチャ
   ンバ（９，１０）を対応の中間スペース（５５、８９）
   に接続するそれぞれ別個の２つの液圧回路（５３，５４
   ，９０，９１）と、−前記両方の回路網（５３，５４，
   ９０，９１）、ハーフチャンバ（９，１０）および中間
   スペース（５５，８９）を充満する略非圧縮性の液圧汁
   体とを含み、また前記剛性体（７）は、前記のセパレー
   タ隔膜（５６，８ｆ））のそれぞれの外側面（６５，９
   ７）に対向して、圧力を比較すべきそれぞれの流体を受
   ける２つのチャンバ（６６，９９）を画成することを特
   （３） 徴とする特許請求の範囲か−１項乃至躯４項のいずれか
   によるセンサ。 ６、両方の訪導素子自３２　、１３３　）のインピーダ
   ンスの差を検知する手段（１６６）を具備した傷許請求
   の範囲第１項乃至卯−５項のいずわかによるセンサ。