JPH02190731A - 圧力変換器の高圧パッケージ - Google Patents
圧力変換器の高圧パッケージInfo
- Publication number
- JPH02190731A JPH02190731A JP1314508A JP31450889A JPH02190731A JP H02190731 A JPH02190731 A JP H02190731A JP 1314508 A JP1314508 A JP 1314508A JP 31450889 A JP31450889 A JP 31450889A JP H02190731 A JPH02190731 A JP H02190731A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- connector
- metal
- high pressure
- transducer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 28
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 abstract description 28
- 230000001066 destructive effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 14
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 241001125046 Sardina pilchardus Species 0.000 description 1
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 1
- 238000002788 crimping Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000012799 electrically-conductive coating Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 210000004072 lung Anatomy 0.000 description 1
- 230000013011 mating Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 1
- -1 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 1
- 235000019512 sardine Nutrition 0.000 description 1
- 239000000565 sealant Substances 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000002689 soil Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0072—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
- G01L9/0075—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance using a ceramic diaphragm, e.g. alumina, fused quartz, glass
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/14—Housings
- G01L19/142—Multiple part housings
- G01L19/143—Two part housings
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
め要約のデータは記録されません。
Description
[1バー1−・ビー・ごショップその他のaカセンリ゛
−に対する1988年12月2日付出願の一連番号第1
7376号に関連する−6のである。
くは約350KI/ctx2(約5000psi)まで
の範囲の高圧を測定出来る圧力変換器のパッケージに関
する。
れの典型的な装置は米国特許用4,716.492号及
び第4,774.626号に記載されている。
力に応答する可変キャパシターの形状の圧力感知モジュ
ールを形成することによって製造されていた。電子回路
はキャパシターの静電容量を感知して、プラスティック
の電気コネクターを介して感知された圧力を指示する出
力を与えるようになっていた。変換器の素子は、一端部
に測定される圧力の流体を受入れる開口又は圧力入口を
有する金属カップ組立体が、又内部にガスケットによっ
て前記入口から離隔された圧力感知モジュールを含むよ
うに配置され、電′FFi回路及びコネクターが又前記
金属カップ内に内蔵されるようになっていた。これらの
部品は金属カップをプラスティックコネクター上に緊縮
させることによって金属カップ内に共に保持され、プラ
スティックコネクターが支持部材として使用されるよう
になっていた。
至600psi)までの範囲の低圧及び中位の圧力にて
作動される時には著しく満足を与えるものであった。し
かし、約210乃至350KB/12 (約3000乃
至50001)si)及びそれ以上の範囲の圧力入口に
於ける圧力を受ける時には上述の圧力変換器は故障する
傾向を有していた。
クコネクターが受ける高圧に耐える能力がないことによ
るのである。更に詳しくは金属カップに於ける緊縮(c
risp )が電気コネクターを緊縮して保持出来ない
で、コネクターがカップから外れて変換器の故障を生じ
させる結果となる。更に他の故障の理由は高圧にてガス
ケットを剪断し、又は圧縮して解放さu1圧力状態のガ
スを解放させるプラスティックコネクター自体にあるの
である。従って上述の型式の従来技術の圧力変換器が高
圧状態で信頼性のある作動を行い冑ないことlよ明らか
である。
欠点を排除した優れた性能のlf力変換器を提供するこ
とである。
て、[述の従来技術の問題点は最少限になされて克服さ
れ、約350Kg/d2 (約5000psi)及び恐
らくそれ以上までの高圧範囲の作動圧力、耐圧力及び破
壊圧力に耐えることの出来る圧力変換器が提供されるの
である。
で囲まれた空所内に配置されることによってコネクター
から絶縁され、これによってプラスティックコネクター
が圧力感知11−’7から絶縁され(°高圧流体によっ
て生ずる角筒を支持しないようになされるのである。こ
のことは圧力感知素子及びプラスティックコネクターの
間に配置される金属部材によって行われ、これにより圧
力変換器に生ずる高圧が決してプラグコネクターには与
えられないようになされるのである。
プ、又は罐内に、圧力感知素子及びプラスティックコネ
クターの間に配置され、電気回路がコネクターと圧力感
知素子の間でリングの開放部分に配置されるようになさ
れるのである。この配置に於て、金属カップ又は罐は金
属支持リング及びこれの内部に配置されるプラスティッ
クコネクターの両者の上に緊縮されて、これらのものを
定位薗に保持し、圧力感知モジュールを罐内に確実に固
定するようになされる。ガスケット及び圧力感知モジュ
ールは、F述の従来技術に於けるように圧力感知素子が
金属支持リングに当接して必要な支持を与えるようにな
す。支持リングは、上述されたように圧力感知素子から
電子回路網に対する電気供給路を与えるように中央範囲
で開放され、又は充実されて孔又は溝が設番)られるこ
とが出来る。罐はねじ嵌合部を有する1つの部片で変換
器が使用される装置上の圧力ボートに組合されるように
なっている。六角形の形状がこの部分に形成されて、装
d本体に対してレンチを使用出来るようになされている
。分離された罐及びボート嵌合部とは反対に1つの部片
を使用することは七1の利−点がある。例えば、部品の
数及び組立作業が少なくなされ、又2つの部品の結合に
よって生ずる潜在的な漏洩路が排除されるのである。こ
の組立体の形態は圧力感知素子をコネクターとは別個に
固定し、しかも組立の間に一方の端部から構成要素の装
填を可能にするが、このことは費用及び複雑さの観点か
ら有利である。
た固定が保たれる。この場合、罐が「力感知素子を包囲
するのに使用される。この鑓は感知される装置に対する
取付けを許す六角形ボートの上に緊縮される。罐の他端
部は隆起した壁部を有し、これがプラスティックコネク
ターの上に緊縮されて、」ネクターを定位置に保持して
電気回路網を包囲するのである。電気の供給の為に必要
7Zだ【プ孔又は溝が鐘に設けられ、必蚊な場所にはガ
スケット及び/又はシールが使用されて内部の構成要素
を保護するようになっている。
に2つの安価な金属賭が使用される。第1の鑓は圧力感
知素子を固定して六角形ポートの上に緊縮するのに使用
される。第2の罐は一端部で第1の罐の土に、又他端部
でプラスティックコネクターの上に緊縮され−Ul子回
路網を包囲して組立体を共に保持するのに使用される。
路を使用するのが望ましい。このことは装置の製造の罐
に組立体の折返しを可能になす。
附加することなくセラミック感知素子及びコネクター上
のビンに対する直接の製造を可能にな′9..可撓性回
路は又回路モジュールから罐に対する直接の製造を可能
になす。このことは変換器の接地ピンを金属罐に連結し
て(装置の接地)、装置の電磁的適合性(EMF)を改
善することによって行われるのである。このことは可撓
性回路の導電性1尾部」をコネクターの縁部の上に折返
して罐をその上に緊縮して電気的接触を行わせることに
よって行われるのである。
力変換器1が示されている。この変換器は1つの面に圧
力人口5を有する外側金属罐又はヤヤップ3を含み、又
この罐の内部にあってガスケット又は0リング9によっ
て前記入口からWi隔されている圧力感知モジュール7
を含んでいる。
の他の部分はv13が緊縮されるフランジ部分15を有
するプラスティックの電気」ネクター13によって包囲
されている。環境封止剤17が罐3及びコネクター13
の接合部に配置されて汚染物が諸及びコネクターの間を
移動して電子回路網11に侵入するのをl止している。
部から外方に伸長し、電子回路網に接続されてこれから
出力しくりるようになっている。圧力感知モジュール7
は互いに間隔をおかれた一対のピラミック層19及び2
1より構成されていて、夫々の層は対向面に導電性コー
ティングを有し、主11バシターを形成している。層1
9は圧力入口5に流入する流体の力を受けて、ダイヤフ
ラムとして働いて両方のi#電性コーティングの間の距
離を変化させて与えられる圧力の関数としてキャパシタ
ーの静電容量を変化させるようになっている。既述のよ
うに、上述の圧力変換器は約42に’j/α2 (約6
00psi)の圧力入口に於ける圧力に対して卓越した
結果を与える。しかし、210に9/cIR2(300
0psl)及びそれ以上のような高圧に於ては、コネク
ター上の緊縮及びコネクターの解除運動によって故障が
生ずる。又コネクターの圧縮及び鑵及び人口流体が漏洩
によって変換器の後部を通って逃げ、るのを許すコネク
ターの間のガスケットの運動によって故障が生ずるので
ある。
する第2図を参照し、本発明による第1の実施例が示さ
れている。この実施例は、約350に9/ls2 (約
5000psi)までの範囲の圧力に耐えることの出来
る金属支持リング31が圧力感知モジュール7及び電気
コネクター13の間に配置されて電気コネクター及び電
子回路網11を圧力人口5に与えられる高圧から絶縁す
るようになされている以外は、第1a図及び第1b図に
関して説明されたと同様である。この実施例に於ては、
罐3は支持リング31及びコネクター13の7ランジー
′[石の両者の上に緊縮されて示されている。又Oリン
グ9がポリテトラフルオロエチレン(商標名テフロン)
より成るのが望ましい剛性的な支持リン・グ33に関連
して使用されて0リングが感知素子7及び罐3の間で運
動しないように阻止しているa注目すべきことは、例え
ばガスケット、リップシール、金属シール及び同様のも
ののようなOリング以外の封止装置が使用され得ること
である。その結果は、金属が金属の上に緊縮されて変換
器の故障を生ずる高圧に耐える能力を与えるのである。
示ヒず)を受けることが出来るようになっている。
造が同じ符号を有する第3図を参照し、本発明の第2の
実施例が示されている。この実施例によれば、金属部4
1は反対両端部に1組の緊縮7ランジ43及び45を含
み、緊縮7ランジ43は少なくとも210Kt/ctr
2乃至350に’J/ tya2(3000psi乃至
50001)si )+7)ffE力に耐え得る金属の
六角形ボート47のLに緊縮されている。この六角形ボ
ート47は測定される高圧流体の変換器内への流入を行
う為の中央圧力入口通路5を含んでいる。ガスケット9
又はOリング及び支持リング33が罐41の内部に配置
されて圧力感知素子7を六角形ボート47から間隔を与
えていて、この素子7の他面は罐の内壁部に当接してい
る。電子回路網11は[41の外部で圧力感知素子7が
当接する壁部上に配置されている。プラスティックの電
気コネクター13は電子回路網11の上に配dされ、緊
縮フランジ45がコネクターのフランジ15の上に緊縮
されて完成した圧力変換器を形成するようになっている
。圧力感知素子及び総ての高圧を受ける部分が、与えら
れる圧力に耐え得る金属部材によって物理的に電子回路
網及び電気コネクターから離隔されていることが判る。
同様の構造を示すようになされている第4図を参照し、
本発明による第3の実施例が示されている。この実施例
は7ランジ43と同様のフランジ63を含む第1の内部
金属部61を含み、圧力人口5と共に六角形ボート47
の上に緊縮されている。ここで6圧力感知モジユール7
はガスケット9によって入口5から間隔をおかれていて
、モジュール7が圧力入口から遠い方の罐61の内壁部
に当接している。第2の金属部65が1161の上にR
aされ、反対両縁に緊縮フランジ67及び69を含んで
いる。緊縮7ランジ67は1161及びこれの緊縮7ラ
ンジ63の上に緊縮されている。電子U路網11は圧力
感知モジュール7を支持]る罐壁の外部に当接して配置
され、プラスティックの電気コネクター13ににって取
囲まれている。フランジ69はコネクターのフランジ1
5−トに緊縮されて完成した圧ツノ変換器を形成してい
る。ここでも又電子回路網及び電気コネクターが、与え
られる圧力に耐え得る金属部材によって高圧範囲から絶
縁されていることが判る。
の構造に使用されている第5図を参照し、電子回路網1
1及び金属部の間の直接の接続が行われている第4の実
施例が示されている。このことは、回路モジュール及び
罐の間に直接の接続を行って変換器の接地ビン(回路の
接地)が金属部(装置の接地)に連結され得るようにな
すことによって行われる。このことは変換器のfffl
的適合性(EMC)を改善する。このことは可撓性導電
体の形態で、電子回路の接地に接続されたS電性尾部7
1をコネクター13のフランジ15上に折返し、次に金
fi11を7ランジ及び7ランジと鰺との間に配置され
る北部又は可撓性導電体71の上に緊縮することによっ
て行われる。判るように、このことは所望のように、装
置の接地と回路の接地との間の筒車な相互接続を与える
のである。
当業者には多くの変形及び修正が明らかに判るところで
ある。従って、特許請求の範囲が従来技術に鑑みて可能
な限り広範にこれらの変形及び修正を総て包含すること
が企図されている。
に9/α2 (約5000tlSi)及び恐らくそれ以
上までの高圧範囲の作動圧力、耐圧力及び破壊圧力に耐
えることの出来る優れた性能の圧力変lk器が提供され
るのである。
図。 第3図は本発明の第2の実施例による圧力変換器の断面
図。 第1I図は本発明の第3の実m例によるDカ変換器の断
面図。 第5図は本発明の第3の実施例にJこる圧力変換器の断
面図。 1・・・・・・・・・圧力変換器 3.41.65・・・外側金属舖即ちキャップ5・・・
・・・・・・圧力入口 ア・・・・・・・・・圧力感知モジュール11 ・ 13 φ 17 ・ 19゜ 23゜ 31 ・ 33 ・ 47 ・ 71 ・
Claims (3)
- (1)(a)高圧流体入口を有するハウジング装置と、
(b)前記流体入口に連通して前記ハウジング装置内に
配置される圧力感知素子と、 (c)前記ハウジング内に固定されて前記圧力感知素子
を当接支持する、前記ハウジングの圧力入口部分に生ず
る圧力を支持出来る支持部材と、(d)前記支持部材及
び前記ハウジングの内の少なくとも一方に固定され、前
記支持部材によつて前記圧力感知素子から絶縁されてい
る電気コネクターと、 を組合せて含んでいる圧力変換器。 - (2)前記支持部材が中空の中央区域及び前記中空の中
央区域内に配置された電子回路モジュールを含んでいる
請求項1に記載された圧力変換器。 - (3)前記電気コネクターが前記ハウジング装置及び前
記支持部材よりも高圧により更に容易に変形可能の材料
によつて形成されている請求項2に記載された圧力変換
器。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US282185 | 1988-12-08 | ||
US07/282,185 US4888662A (en) | 1988-12-08 | 1988-12-08 | High pressure package for pressure transducers |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02190731A true JPH02190731A (ja) | 1990-07-26 |
JP2854897B2 JP2854897B2 (ja) | 1999-02-10 |
Family
ID=23080437
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1314508A Expired - Fee Related JP2854897B2 (ja) | 1988-12-08 | 1989-12-05 | 圧力変換器の高圧パッケージ |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4888662A (ja) |
EP (1) | EP0372988B1 (ja) |
JP (1) | JP2854897B2 (ja) |
DE (1) | DE68914264T2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04134044U (ja) * | 1991-05-29 | 1992-12-14 | 株式会社不二工機製作所 | 圧力センサ |
Families Citing this family (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4903164A (en) * | 1988-12-08 | 1990-02-20 | Texas Instruments Incorporated | O-ring/back-up ring seal for high pressure transducers |
US5043841A (en) * | 1989-06-13 | 1991-08-27 | Bishop Robert P | High pressure transducer package |
US5060108A (en) * | 1990-01-25 | 1991-10-22 | Texas Instruments Incorporated | Packaging and sealing for pressure transducer |
US5343757A (en) * | 1992-05-21 | 1994-09-06 | Fuji Koki Manufacturing Co., Ltd. | Pressure sensor |
US5349865A (en) * | 1993-08-30 | 1994-09-27 | Kavlico Corporation | Wide-pressure-range, adaptable, simplified pressure transducer |
US5827972A (en) * | 1993-11-02 | 1998-10-27 | Texas Instruments Incorporated | High pressure sensor apparatus with low cost compact packaging system |
DK0735353T3 (da) * | 1995-03-31 | 1999-09-06 | Endress Hauser Gmbh Co | Trykføler |
EP0862051A4 (en) * | 1996-09-19 | 1999-12-08 | Hokuriku Elect Ind | CAPACITIVE PRESSURE CONVERTER |
DK173145B1 (da) * | 1996-11-20 | 2000-02-07 | Danfoss A/S | ryktransmitter tForbetret kapsling til maeleomformer,saerligt en t |
US6131467A (en) * | 1997-05-09 | 2000-10-17 | Fujikoki Corporation | Pressure sensor including a joint for connecting a housing and connector case together |
US6076409A (en) * | 1997-12-22 | 2000-06-20 | Rosemount Aerospace, Inc. | Media compatible packages for pressure sensing devices |
US6311561B1 (en) | 1997-12-22 | 2001-11-06 | Rosemount Aerospace Inc. | Media compatible pressure sensor |
US6487911B1 (en) * | 2000-11-21 | 2002-12-03 | Texas Instruments Incorporated | Pressure sensor apparatus |
DE20219732U1 (de) * | 2002-12-18 | 2003-03-06 | Dbt Autom Gmbh | Druckaufnehmer für die Messung hydraulischer Drücke |
US7186131B2 (en) * | 2003-03-19 | 2007-03-06 | Kulite Semiconductor Products, Inc. | Vibration isolated transducer connector |
JP2005106796A (ja) * | 2003-08-05 | 2005-04-21 | Fuji Koki Corp | 圧力センサ |
DE102007001855B4 (de) * | 2007-01-12 | 2013-08-22 | Continental Automotive Gmbh | Gehäuseanbindung für Drucksensoren |
CA2709495C (en) | 2007-12-20 | 2016-07-12 | Inficon Gmbh | Diaphragm pressure measuring cell arrangement |
US9625342B2 (en) * | 2014-01-31 | 2017-04-18 | DunAn Sensing, LLC | Sensor housing apparatus providing a hermetic seal |
US9581468B2 (en) * | 2014-01-31 | 2017-02-28 | DunAn Sensing, LLC | Methods for fabricating apparatus having a hermetic seal |
US9903777B2 (en) | 2015-03-12 | 2018-02-27 | Sensata Technologies, Inc. | Pressure transducer |
US9857260B2 (en) * | 2015-03-12 | 2018-01-02 | Sensata Technologies, Inc. | Pressure transducer with multiple joinable portions |
CN107290099B (zh) | 2016-04-11 | 2021-06-08 | 森萨塔科技公司 | 压力传感器、用于压力传感器的插塞件和制造插塞件的方法 |
EP3236226B1 (en) | 2016-04-20 | 2019-07-24 | Sensata Technologies, Inc. | Method of manufacturing a pressure sensor |
US10545064B2 (en) | 2017-05-04 | 2020-01-28 | Sensata Technologies, Inc. | Integrated pressure and temperature sensor |
US10323998B2 (en) | 2017-06-30 | 2019-06-18 | Sensata Technologies, Inc. | Fluid pressure sensor |
US10724907B2 (en) | 2017-07-12 | 2020-07-28 | Sensata Technologies, Inc. | Pressure sensor element with glass barrier material configured for increased capacitive response |
US10557770B2 (en) | 2017-09-14 | 2020-02-11 | Sensata Technologies, Inc. | Pressure sensor with improved strain gauge |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58731A (ja) * | 1981-06-25 | 1983-01-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 静電容量式圧力センサ |
JPS62267636A (ja) * | 1986-05-05 | 1987-11-20 | テキサス インスツルメンツ インコ−ポレイテツド | センサ |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4128006A (en) * | 1976-12-13 | 1978-12-05 | Bunker Ramo Corporation | Packaging of pressure sensor cells |
US4329732A (en) * | 1980-03-17 | 1982-05-11 | Kavlico Corporation | Precision capacitance transducer |
US4414851A (en) * | 1981-08-28 | 1983-11-15 | Motorola, Inc. | Gauge pressure sensor |
US4774626A (en) * | 1986-05-05 | 1988-09-27 | Texas Instruments Incorporated | Pressure sensor with improved capacitive pressure transducer |
US4716492A (en) * | 1986-05-05 | 1987-12-29 | Texas Instruments Incorporated | Pressure sensor with improved capacitive pressure transducer |
-
1988
- 1988-12-08 US US07/282,185 patent/US4888662A/en not_active Expired - Lifetime
-
1989
- 1989-12-05 JP JP1314508A patent/JP2854897B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1989-12-08 EP EP89312813A patent/EP0372988B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1989-12-08 DE DE68914264T patent/DE68914264T2/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58731A (ja) * | 1981-06-25 | 1983-01-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 静電容量式圧力センサ |
JPS62267636A (ja) * | 1986-05-05 | 1987-11-20 | テキサス インスツルメンツ インコ−ポレイテツド | センサ |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04134044U (ja) * | 1991-05-29 | 1992-12-14 | 株式会社不二工機製作所 | 圧力センサ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0372988B1 (en) | 1994-03-30 |
JP2854897B2 (ja) | 1999-02-10 |
DE68914264D1 (de) | 1994-05-05 |
DE68914264T2 (de) | 1994-07-21 |
EP0372988A2 (en) | 1990-06-13 |
EP0372988A3 (en) | 1991-04-03 |
US4888662A (en) | 1989-12-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH02190731A (ja) | 圧力変換器の高圧パッケージ | |
JP2854896B2 (ja) | 圧力センサー | |
JP4343276B2 (ja) | 内燃機関における吸気管における圧力及び温度を検出する装置並びに該装置を製造する方法 | |
US6389903B1 (en) | Pressure-detecting device coupling member with interchangeable connector part | |
US6076409A (en) | Media compatible packages for pressure sensing devices | |
JP4582633B2 (ja) | 圧力を測定するための装置 | |
US7313969B2 (en) | Pressure sensor | |
JP2840390B2 (ja) | 圧力トランスジューサ | |
EP0676628A2 (en) | Stress isolated semiconductive pressure sensor | |
US20060283257A1 (en) | Moisture resistant differential pressure sensors | |
US7176541B2 (en) | Pressure sensor | |
CN110829684B (zh) | 防爆结构 | |
US11348880B2 (en) | Semiconductor device and electronic apparatus | |
US6782758B2 (en) | Hermetic pressure transducer | |
CN106461481A (zh) | 压差感测基座 | |
US6715357B2 (en) | Hermetic pressure transducer | |
US6763724B2 (en) | Hermetic pressure transducer | |
JPH0394132A (ja) | 圧力トランスデューサ外装体 | |
US6672170B1 (en) | Hermetic pressure transducer | |
US7244895B1 (en) | Electrical feedthrough for varied environmental conditions | |
JP4482870B2 (ja) | ターミナルコンタクトのアセンブリ | |
JPH05509191A (ja) | コネクタ | |
US9672962B2 (en) | Bushing of an electrical conductor | |
JP5278448B2 (ja) | 圧力センサ装置 | |
US6866545B2 (en) | Electrical cordset with integral signal conditioning circuitry |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071120 Year of fee payment: 9 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071120 Year of fee payment: 9 |
|
R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071120 Year of fee payment: 9 |
|
R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |