JPS6284578A - ガスレ−ザ装置 - Google Patents
ガスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS6284578A JPS6284578A JP22264585A JP22264585A JPS6284578A JP S6284578 A JPS6284578 A JP S6284578A JP 22264585 A JP22264585 A JP 22264585A JP 22264585 A JP22264585 A JP 22264585A JP S6284578 A JPS6284578 A JP S6284578A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge
- laser
- cathode
- polarity
- cathode electrodes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0971—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser transversely excited
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明はガスレーザ装置に関する。
〔発明の技術的α景とその!?j! 4点〕レーザ発振
のためのレーザガス励起を直流グロー放電によって行う
がスレーザ装置に6いて、継続運転した場合龜極特にカ
ソード電極の汚れによる放電の不安定寸よびカソード電
橋消耗の問題があった。
のためのレーザガス励起を直流グロー放電によって行う
がスレーザ装置に6いて、継続運転した場合龜極特にカ
ソード電極の汚れによる放電の不安定寸よびカソード電
橋消耗の問題があった。
本発明は上記の問題点を解決するためになされたもので
、放電の安定化と電極の長縛命化がはかれるがスレーザ
諌遁?:提供することを目的とする。
、放電の安定化と電極の長縛命化がはかれるがスレーザ
諌遁?:提供することを目的とする。
本発明は放電のi性を適時反転することによってカソー
ド磁極の汚れを均一にし放電の安定化と長寿命化をはか
ることを特徴とする。
ド磁極の汚れを均一にし放電の安定化と長寿命化をはか
ることを特徴とする。
第1図は実施例に基く偶成図である共振器lはrノード
竜極2および1屓数のカソード電橋3−1〜3−Nをも
ち、直流グロー放電によって図示されていないレーザガ
スを励起する。カソード74&3−1〜3−Nは夫々安
定抵抗4−1〜4−Nを介して直流電源5の陽極に接続
され、−力rノード電極2は直流電源5の陽極に接続さ
れる。励起されたレーザガスは全反射ミラー6と出力ミ
ラー7により発振し矢印のレーザビームがとり出される
、しかしながらレーザビームは常に被加工物に照射され
ることはなく、被加工物のローディング/rンローデイ
ングや段取替え時間はビームシャッタ8によりレーザビ
ームを外部に出力しない。
竜極2および1屓数のカソード電橋3−1〜3−Nをも
ち、直流グロー放電によって図示されていないレーザガ
スを励起する。カソード74&3−1〜3−Nは夫々安
定抵抗4−1〜4−Nを介して直流電源5の陽極に接続
され、−力rノード電極2は直流電源5の陽極に接続さ
れる。励起されたレーザガスは全反射ミラー6と出力ミ
ラー7により発振し矢印のレーザビームがとり出される
、しかしながらレーザビームは常に被加工物に照射され
ることはなく、被加工物のローディング/rンローデイ
ングや段取替え時間はビームシャッタ8によりレーザビ
ームを外部に出力しない。
このよ5な運転を長時間継続すると放電の極性が一定で
あるためカソード電極3−1〜3−Nの表面は一様でな
くスパッタリングされ、放電の状態も一様でなく不安定
な放電に至る。又ビームシャッタ8を閉じている期間、
放電を停止すれば全放電時間を短縮できスパッタリング
の影響も低減できるが、運転−停止による一度変化を生
じ再起動時のレーザ発振の不安定と発振出力の不安定を
もたらす。然るにレーザ発振はしているが被加工物にレ
ーザビームを照射しない期間、極性切換器9により放電
の極性を反転させるとカソード電極3−1〜3−Nの表
面は均一となり、放電も安定し寿命も延長される。。
あるためカソード電極3−1〜3−Nの表面は一様でな
くスパッタリングされ、放電の状態も一様でなく不安定
な放電に至る。又ビームシャッタ8を閉じている期間、
放電を停止すれば全放電時間を短縮できスパッタリング
の影響も低減できるが、運転−停止による一度変化を生
じ再起動時のレーザ発振の不安定と発振出力の不安定を
もたらす。然るにレーザ発振はしているが被加工物にレ
ーザビームを照射しない期間、極性切換器9により放電
の極性を反転させるとカソード電極3−1〜3−Nの表
面は均一となり、放電も安定し寿命も延長される。。
放電の極性を反転させるために極性切換器を用いた例を
述べたが1.陽性切換器を使用せず極性反転式の電源を
用いても効果は同等である。
述べたが1.陽性切換器を使用せず極性反転式の電源を
用いても効果は同等である。
以上説明したよ5に本発明によれば放電が安定で電極の
消耗も少い艮好なガスレーザ装置を提供し5る、
消耗も少い艮好なガスレーザ装置を提供し5る、
第1図は本発明の一実施例のがスレーザ表置の構成図で
ある。 5・・・直ひt゛砲源゛ 9・・・極性切換器 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 三俣弘文
ある。 5・・・直ひt゛砲源゛ 9・・・極性切換器 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 三俣弘文
Claims (1)
- 対向する両電極間の放電現象によりレーザガスを励起さ
せレーザ発振を生じさせるガスレーザ装置において、両
電極間の極性切換機構を備えて成ることを特徴とするガ
スレーザ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22264585A JPS6284578A (ja) | 1985-10-08 | 1985-10-08 | ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22264585A JPS6284578A (ja) | 1985-10-08 | 1985-10-08 | ガスレ−ザ装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6284578A true JPS6284578A (ja) | 1987-04-18 |
Family
ID=16785695
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP22264585A Pending JPS6284578A (ja) | 1985-10-08 | 1985-10-08 | ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6284578A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2022093614A (ja) * | 2017-10-24 | 2022-06-23 | サイマー リミテッド ライアビリティ カンパニー | レーザチャンバ内の電極の寿命を延ばす方法及び装置 |
-
1985
- 1985-10-08 JP JP22264585A patent/JPS6284578A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2022093614A (ja) * | 2017-10-24 | 2022-06-23 | サイマー リミテッド ライアビリティ カンパニー | レーザチャンバ内の電極の寿命を延ばす方法及び装置 |
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