JPS6284578A - ガスレ−ザ装置 - Google Patents
ガスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS6284578A JPS6284578A JP22264585A JP22264585A JPS6284578A JP S6284578 A JPS6284578 A JP S6284578A JP 22264585 A JP22264585 A JP 22264585A JP 22264585 A JP22264585 A JP 22264585A JP S6284578 A JPS6284578 A JP S6284578A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge
- laser
- cathode
- polarity
- cathode electrodes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0971—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser transversely excited
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明はガスレーザ装置に関する。
〔発明の技術的α景とその！？ｊ！ ４点〕レーザ発振
のためのレーザガス励起を直流グロー放電によって行う
がスレーザ装置に６いて、継続運転した場合龜極特にカ
ソード電極の汚れによる放電の不安定寸よびカソード電
橋消耗の問題があった。
のためのレーザガス励起を直流グロー放電によって行う
がスレーザ装置に６いて、継続運転した場合龜極特にカ
ソード電極の汚れによる放電の不安定寸よびカソード電
橋消耗の問題があった。
本発明は上記の問題点を解決するためになされたもので
、放電の安定化と電極の長縛命化がはかれるがスレーザ
諌遁？：提供することを目的とする。
、放電の安定化と電極の長縛命化がはかれるがスレーザ
諌遁？：提供することを目的とする。
本発明は放電のｉ性を適時反転することによってカソー
ド磁極の汚れを均一にし放電の安定化と長寿命化をはか
ることを特徴とする。
ド磁極の汚れを均一にし放電の安定化と長寿命化をはか
ることを特徴とする。
第１図は実施例に基く偶成図である共振器ｌはｒノード
竜極２および１屓数のカソード電橋３−１〜３−Ｎをも
ち、直流グロー放電によって図示されていないレーザガ
スを励起する。カソード７４＆３−１〜３−Ｎは夫々安
定抵抗４−１〜４−Ｎを介して直流電源５の陽極に接続
され、−力ｒノード電極２は直流電源５の陽極に接続さ
れる。励起されたレーザガスは全反射ミラー６と出力ミ
ラー７により発振し矢印のレーザビームがとり出される
、しかしながらレーザビームは常に被加工物に照射され
ることはなく、被加工物のローディング／ｒンローデイ
ングや段取替え時間はビームシャッタ８によりレーザビ
ームを外部に出力しない。
竜極２および１屓数のカソード電橋３−１〜３−Ｎをも
ち、直流グロー放電によって図示されていないレーザガ
スを励起する。カソード７４＆３−１〜３−Ｎは夫々安
定抵抗４−１〜４−Ｎを介して直流電源５の陽極に接続
され、−力ｒノード電極２は直流電源５の陽極に接続さ
れる。励起されたレーザガスは全反射ミラー６と出力ミ
ラー７により発振し矢印のレーザビームがとり出される
、しかしながらレーザビームは常に被加工物に照射され
ることはなく、被加工物のローディング／ｒンローデイ
ングや段取替え時間はビームシャッタ８によりレーザビ
ームを外部に出力しない。
このよ５な運転を長時間継続すると放電の極性が一定で
あるためカソード電極３−１〜３−Ｎの表面は一様でな
くスパッタリングされ、放電の状態も一様でなく不安定
な放電に至る。又ビームシャッタ８を閉じている期間、
放電を停止すれば全放電時間を短縮できスパッタリング
の影響も低減できるが、運転−停止による一度変化を生
じ再起動時のレーザ発振の不安定と発振出力の不安定を
もたらす。然るにレーザ発振はしているが被加工物にレ
ーザビームを照射しない期間、極性切換器９により放電
の極性を反転させるとカソード電極３−１〜３−Ｎの表
面は均一となり、放電も安定し寿命も延長される。。
あるためカソード電極３−１〜３−Ｎの表面は一様でな
くスパッタリングされ、放電の状態も一様でなく不安定
な放電に至る。又ビームシャッタ８を閉じている期間、
放電を停止すれば全放電時間を短縮できスパッタリング
の影響も低減できるが、運転−停止による一度変化を生
じ再起動時のレーザ発振の不安定と発振出力の不安定を
もたらす。然るにレーザ発振はしているが被加工物にレ
ーザビームを照射しない期間、極性切換器９により放電
の極性を反転させるとカソード電極３−１〜３−Ｎの表
面は均一となり、放電も安定し寿命も延長される。。
放電の極性を反転させるために極性切換器を用いた例を
述べたが１．陽性切換器を使用せず極性反転式の電源を
用いても効果は同等である。
述べたが１．陽性切換器を使用せず極性反転式の電源を
用いても効果は同等である。
以上説明したよ５に本発明によれば放電が安定で電極の
消耗も少い艮好なガスレーザ装置を提供し５る、
消耗も少い艮好なガスレーザ装置を提供し５る、
第１図は本発明の一実施例のがスレーザ表置の構成図で
ある。 ５・・・直ひｔ゛砲源゛ ９・・・極性切換器 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 三俣弘文
ある。 ５・・・直ひｔ゛砲源゛ ９・・・極性切換器 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 三俣弘文
Claims (1)
- 対向する両電極間の放電現象によりレーザガスを励起さ
せレーザ発振を生じさせるガスレーザ装置において、両
電極間の極性切換機構を備えて成ることを特徴とするガ
スレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22264585A JPS6284578A (ja) | 1985-10-08 | 1985-10-08 | ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22264585A JPS6284578A (ja) | 1985-10-08 | 1985-10-08 | ガスレ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6284578A true JPS6284578A (ja) | 1987-04-18 |
Family
ID=16785695
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22264585A Pending JPS6284578A (ja) | 1985-10-08 | 1985-10-08 | ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6284578A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2022093614A (ja) * | 2017-10-24 | 2022-06-23 | サイマー リミテッド ライアビリティ カンパニー | レーザチャンバ内の電極の寿命を延ばす方法及び装置 |
-
1985
- 1985-10-08 JP JP22264585A patent/JPS6284578A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2022093614A (ja) * | 2017-10-24 | 2022-06-23 | サイマー リミテッド ライアビリティ カンパニー | レーザチャンバ内の電極の寿命を延ばす方法及び装置 |
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