JPS6283116A - マルチプランジヤレジンモ−ルド装置 - Google Patents

マルチプランジヤレジンモ−ルド装置

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JPS6283116A
JPS6283116A JP22346485A JP22346485A JPS6283116A JP S6283116 A JPS6283116 A JP S6283116A JP 22346485 A JP22346485 A JP 22346485A JP 22346485 A JP22346485 A JP 22346485A JP S6283116 A JPS6283116 A JP S6283116A
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JP
Japan
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resin
pot
plunger
pressure
cull
Prior art date
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Pending
Application number
JP22346485A
Other languages
English (en)
Inventor
Michitoshi Sera
世良 通利
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
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Publication of JPS6283116A publication Critical patent/JPS6283116A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕 本発明は、樹脂封止形半導体装置の製造装置て関するも
ので、4?にモールド工程に使用されるマルチプランジ
ャ型レジンモールド装置の改良に関するものである。 〔発明の技術的背景〕 半導体装置など電子部品の樹脂封止に使用されるトラン
スファモールド装置では、第4図に示すようなシングル
ポットシングルブランジャ型が通常使用される。これは
被成形物を配設する複数のキャビティ12 、12・・
・をランナ17を介して1つのポット9に連らね、この
ポット9に図示しない樹脂タブレッートを挿入し、この
タブレットを加熱溶融して図示しないプランジャにて押
し出し、前述の?Xaのキャピテイ12 、12・・・
内に溶融樹脂を圧入して被成形物をモールド成形するも
のである。 しかしながら、このようなシングルポット型ノモールド
装置では長いランナ17を有しここへ固化される分の樹
脂のため樹脂タブレット利用効率が悪い。 また大型のタブレットを使用するため、溶融しにくり、
′fI:)らかしめタブレット
【予備加熱をする必要が
ある。、という欠点がある。 その他、大型のタブレットを使用するため、クポット9
へのタブレット供給の自動化が難かしい。 装置の小型化が雄しい等の問題があろうこれに対し、最
近ポットとキャビティとの間のランナ一部分をなくした
マルチポットマルチプランジャ散が採用されるようにな
ってきたつこれは本発明の一実施例3file示す上方
からの平面図でちる第3図を用いて説明すると、樹脂タ
ブレット挿入用のポット9が複数に分割されておりその
個々に左右のゲート11 、11を介して干ヤビティ1
2 、12が形成されている。そしてリードフレーム(
被成形物)Fを複数のキャビティ12 、12 。 12・・・にまたがって配置し、ポット9,9・・・【
は図示しない樹脂タブレットを挿入する。そして図示し
ない上金型で上面を覆り型締めを行ない、図示しないプ
ランジャにて樹脂タブレットを加圧し、各ポットに成形
樹脂を圧入する。 このマルチポットマルチプランジャ型のifによシ、シ
ングルポットシングルプランジャ型の欠点は解決される
。 つまり、長いランチ部が不要となり樹脂タブレット利用
効率が向上する。また小型タブレット使用のため予備加
熱が不要となる。 そして装置の小型ができ、かつポット9へのタブレット
供給が自動的に行なえるようになり、被成型物のキャビ
ティへの配置から成形までの一連の製造行程が全自動で
行なうことが可能になるっしかしながらこの全自動化に
ともない、新らたに下記に述べるような問題が発生した
。 つまシ、 1、タブレットが一部ないし全数ポット内に投入されず
、一部ないし全数の成形品が未充填となる〇2、欠けた
(重量不足の)タブレットが一部ないし全数ポット内に
投入され、一部ないし全数の成形品が未充填となるっ 3、複数のタブレットが一部の同一ポット内または全数
のポット内に重ねて供給され、カル厚が大きくなって成
形品を自動搬出(アンローディング)できないつまた、
一部の同一ポット内に重ねて供給されたときは、当該ポ
ット以外の成形品は未充填となろう また、ポットとプランジャが磨耗され互いの摺動面にク
リアランスが増大すると。 4、このクリアランスに樹脂カスがたまりポットとプラ
ンジャの摺動抵抗が大きくなり、一部または全数のプラ
ンジャが樹脂を押し切れない(注入しきれない)とき一
部または全数の成形品が未充填となる。 5、クリアランスが大きくなるとそこから樹脂が漏出す
ることがある、そのため成形圧が所定値まで上がらず1
部または全数の成形品の巣が増える0 等の問題が発生するっ そしてこのようなトラブルがあった場合、連続して大漬
に成形不良品を作り込んでしまうっ〔発明の目的〕 この発明は、前記のごとき問題点を解決するためになさ
れたもので、従来のマルチプランジャ型レジンモールド
装置よりもはるかに成形不良の少ない、改良されたマル
チプランジャ型レジンモールド装置を提供することを目
的とする。 〔発明の概要〕 本発明は上記目的を達成するための樹脂タブレットを挿
入する複数のポットと、この複数のポットの夫夫一端を
形成する複数のカル部と、このカル部にゲートを介して
連らなり、被成形物を配置する複数のキャビティ部と、
この被成形物の配置された複数のキャビティ部に、溶融
された前記樹脂タブレットを圧入する、前記複数のポッ
トに夫夫対応し、て投けられた複数のプランジャと、前
記カル部に設けられ、#記樹脂タブレット圧入の際の樹
脂圧を検出する圧力センサとを有し、この樹指圧により
前記被成形物の樹脂モールド成形の良否が1判断できる
ことを特徴とするマルチプランジャレジンモールド装置
である。 〔発明の実施例〕 本発明の一実施例を図を用いて説明するつ第1図は本実
施例装置の1部分、つtυ1つのポット9付近の部分断
面図である0 下金型2aには樹脂タブレットTを挿入するシリンダ形
状のポット9が形成され下金型2bにはポット9の一端
に対向してカル部lOが形成されこのカルM10の左右
端はゲート11となっており、このゲート11を介して
上下の金型2a、2bにてキャビティ12が形成されて
いる。このキャビティ】2はこの装置によりモールド成
形される樹脂封止型半導体装置の樹脂製外囲器部分を成
形するためのものであり、キャビティ12の形状は樹脂
封止型半導体装置の外囲器部分の形状となっている。 そしてポット9の他端には、プランジャ8がこのポット
9内を摺動可能に設けられている。 またカル部10の壁面には圧力センサ13が埋設されて
いる。この圧力センサ13は、先端ダイヤプラム部とひ
ずみゲージ部(図示しない)とからなっており、成形温
度(180℃程度)でも十分種度よく測定できる高温型
である。また、圧力センサ13は先端ダイヤフラム部の
径がプランジャ径以下のものを使用しく例えばプランジ
ャ径=13flのときダイヤグラム径= 8 m ) 
、受圧面がカル部10の壁面よりわずかに(0,1m程
度)低くなるように取付けて、直接プランジャ8の先端
面が当らないようにするのが望ましい。 けることも考えられるが、この場合ポット1つに対しキ
ャビティは2つ又は4つ連らなり形成されており、多数
のセンサを必要とするため生産コストが高くなるっまた
、キャビティ12内に設ける場合成形物にセンサ13の
痕が残9外感を損う。 また、プランジャ8の先端に設けることも考えられるが
、圧力センサ13はさほど小型にはできず従ってプラン
ジャを大型にしなければならない。 また摺動をくシ返す内に断線を起すため安全性が悪いっ 次【本実施例装置のモールド成形動作について説明する
。 まず、下金型2aは止金fi 2bの下方1c離される
うそして下金型2aのキャビティ内の所定の位置に半導
体チップを搭載したリードフレーム(被成形物)Fが配
置されろうまたポット9には短円柱状の樹脂タブレット
Tが挿入される。このときの下金型2a全体の斜視図を
第2図に、上方からの平面図を第3図にそれぞれ示す。 この第3図A−A線で切断したときの断面図が第1図で
ある。 そして下金型2aは上昇され第1図に示すよって上金型
2bと下金型2aは接合され型締めされる。 なお、上・下の金型2b、2aは図示しないヒータによ
り成形用樹脂(溶融された樹脂タプレッ)T)の硬化温
度(例えば180”0程度)に加熱されておりタブレッ
トTはポット9内で除々に溶融されるワそして、このタ
ブレッ)Tが溶融される間にプランジャ8は図示しない
駆動装置により上昇される。 これによシ溶融樹脂はこのプランジャ8の圧力でカル部
10、ゲート11を通りキャビティ12内に圧入される
。 そしてこのときの樹脂圧力はカル部の圧力センサ13で
検出され、この検出された圧力信号はアンプ14で増幅
され、ディスプレイあるいは記録計15によシ表示され
る。このときディスプレイあるいは記録計15にあらか
じめ正常成形時の圧力(→−待時間t)1曲線16を記
憶させておき、各成形時(ショット毎)の圧力信号と比
較すると異常成形の検知ができる。例えば。 1、タブレットがポット内に投入されない場合には全く
圧力値が上がらない。 2、欠けた(重量不足)のタブレットがポット内に投入
された場合には、所定の最高圧力値に達しない。 3、複数のタブレットが同一ポットに重ねて供給された
場合には、所定の時間よりはるかに早く最高圧力、値に
達してしまう。 4、ポット・プランジャの摺動抵抗が大きくなり、樹脂
を押し切れないときは(注入しきれない)所定の最高圧
力tに達しないっ 5.ポット・プランジャのクリアランスが大きくなり、
ポットから樹脂が漏出する場合も所定の最高圧力値に達
しなりつ 6、プランジャの上昇(注入)速度が変化した場合所定
の時間では最高圧力値に達しないうこのようKして異常
酸形成を検知できる。なおこの異常成形を検知した場合
、警報を出し、モールド装置の動作を自動的に停止させ
る装置を付加してもよい。 そして、この圧力センサは複数のポット全部に設け、チ
ャンネル切り替で瞬時に複数のポットの成形圧力を同時
に監視してもいい。 また複数のポットに対し特定のポットのみに設けてもよ
い。この場合多少検知精度は落ちるが例えばポットとプ
ランジャの磨耗による異常成形に対しては各ポット及び
各プランジャの磨耗度がほぼ均一であることを考えると
、効率的である、また本発明は本実施例に限定されるも
のでは無つI′ くプランジャγ上金型上部から挿入されるアッパ−グラ
/ジャ方式のモールド装置でもよい。 〔発明の効果〕 本発明によると成形時の樹脂圧をカル部に設けられた圧
力センサで検出することにより成形不良を素早く検知で
き従って連続して大量に成形不良品を作り込んでしまう
ことが無くなるっまた圧力センサはカル部に設けること
により容易に設置でき、かつ安定して精度よく樹ノ指圧
を測定できるつという効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図乃至第3図は本発明の一実施例装置を示す図であ
り、第1図は1組のポット、キャビティを示す断面図、
第2図は下金型の斜視図、第3図は下金型の平面図、第
4図は従来のシングルポットシングルプランジャ型装置
の平面図であろっ8・・・プランジャ、   9・・・
ポット、10・・・カル部、11・・・ゲート、12・
・・キャビティ、13・・・圧力センサ、T・・・樹脂
タブレットっ 代理人 弁理士  則 近 憲 佑 大胡典夫 、−」 第1図 第2図 第3図

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)樹脂タブレットを挿入する複数のポットと、この
    複数のポットの夫夫一端を形成する複数のカル部と、こ
    のカル部にゲートを介して連らなり、被成形物を配置す
    る複数のキャビティ部と、この被成形物の配置された複
    数のキャビティ部に、溶融された前記樹脂タブレットを
    圧入する、前記複数のポットに夫夫対応して設けられた
    複数のプランジャと、前記カル部に設けられ、前記樹脂
    タブレット圧入の際の樹脂圧を検出する圧力センサとを
    有し、この樹脂圧により前記被成形物の樹脂モールド成
    形の良否が判断できることを特徴とするマルチプランジ
    ャレジンモールド装置。
  2. (2)前記圧力センサは、前記複数のカル部の内、特定
    のカル部のみに設けられていることを特徴とする特許請
    求の範囲第一項記載のマルチプランジャレジンモールド
    装置。
  3. (3)前記圧力センサは、前記複数のカル部の全てに設
    けられていることを特徴とする特許請求の範囲第一項記
    載のマルチプランジャレジンモールド装置。
JP22346485A 1985-10-09 1985-10-09 マルチプランジヤレジンモ−ルド装置 Pending JPS6283116A (ja)

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JP22346485A JPS6283116A (ja) 1985-10-09 1985-10-09 マルチプランジヤレジンモ−ルド装置

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JP22346485A JPS6283116A (ja) 1985-10-09 1985-10-09 マルチプランジヤレジンモ−ルド装置

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JPS6283116A true JPS6283116A (ja) 1987-04-16

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ID=16798558

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JP22346485A Pending JPS6283116A (ja) 1985-10-09 1985-10-09 マルチプランジヤレジンモ−ルド装置

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JP (1) JPS6283116A (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4872825A (en) * 1984-05-23 1989-10-10 Ross Milton I Method and apparatus for making encapsulated electronic circuit devices
JPH01156016U (ja) * 1988-04-08 1989-10-26
US7275924B1 (en) * 2005-04-29 2007-10-02 Hasbro, Inc. Container having extruder for a modeling compound
JP2009202507A (ja) * 2008-02-29 2009-09-10 Nec Corp 樹脂射出装置、樹脂射出方法、樹脂射出プログラム及び記録媒体

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