JPS6282342A - Ｉｃｐ原子スペクトロメトリ−装置 - Google Patents
Ｉｃｐ原子スペクトロメトリ−装置Info
- Publication number
- JPS6282342A JPS6282342A JP22327285A JP22327285A JPS6282342A JP S6282342 A JPS6282342 A JP S6282342A JP 22327285 A JP22327285 A JP 22327285A JP 22327285 A JP22327285 A JP 22327285A JP S6282342 A JPS6282342 A JP S6282342A
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- Japan
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- plasma
- induction coil
- shield plate
- metal
- icp atomic
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
く産業上の利用分野〉
本発明は、高周波誘４結合プラズマを用いて試料を励起
させたり電離させたりして該試料中の被測定元素を分析
する高周波誘導結合プラズマ・原子スペクトロメトリー
装置（Ｉｎｄｕｃｔｉｖｅｌｙ ＣｏｕｐｌｅｄＰｌａ
ｓｍａ−Ａｔｏｍｉｃ ＳｐｃｃＬｒｏｍｅｔｒｙ、以
下ｒｉｃＰ原子スペクトロメトリー装置」と略す）に関
する。
させたり電離させたりして該試料中の被測定元素を分析
する高周波誘導結合プラズマ・原子スペクトロメトリー
装置（Ｉｎｄｕｃｔｉｖｅｌｙ ＣｏｕｐｌｅｄＰｌａ
ｓｍａ−Ａｔｏｍｉｃ ＳｐｃｃＬｒｏｍｅｔｒｙ、以
下ｒｉｃＰ原子スペクトロメトリー装置」と略す）に関
する。
〈従来の技術〉
第２図は、上述のような■ＣＰ原子スペクトロメトリー
装置の従来例要部構成説明図である。この図において、
例えば石英でなる管状部材（以下「石英管」と略す）■
内にはアルゴンガスが導びかれており、誘導コイル２の
中に高周波型ＦＡ３によって高周波電流が流されると、
該コイル２の周囲に高周波磁界（図示せず）が形成され
、上記アルゴンガスがプラズマ化されてプラズマ３を生
ずるようになる。そして、試料が霧化されて上記アルゴ
ンガス中に導入されると、該試料に含まれている元素に
応じてプラズマ４からスペクトル線が放出される。この
スペクトル線は、集光レンズ５→回−耘ミラー６→入）
（スリット７→凹面ＳＱ ８→回析格子９→凹面鏡８→
出射スリット１０を経て、光電子増（８管１１で検出さ
れ、該検出信号から上試料に含まれている被測定元素が
分析されるようになっている。
装置の従来例要部構成説明図である。この図において、
例えば石英でなる管状部材（以下「石英管」と略す）■
内にはアルゴンガスが導びかれており、誘導コイル２の
中に高周波型ＦＡ３によって高周波電流が流されると、
該コイル２の周囲に高周波磁界（図示せず）が形成され
、上記アルゴンガスがプラズマ化されてプラズマ３を生
ずるようになる。そして、試料が霧化されて上記アルゴ
ンガス中に導入されると、該試料に含まれている元素に
応じてプラズマ４からスペクトル線が放出される。この
スペクトル線は、集光レンズ５→回−耘ミラー６→入）
（スリット７→凹面ＳＱ ８→回析格子９→凹面鏡８→
出射スリット１０を経て、光電子増（８管１１で検出さ
れ、該検出信号から上試料に含まれている被測定元素が
分析されるようになっている。
然し乍ら、上記従来例においては、誘導コイル２とプラ
ズマ４の間に生ずる浮遊容量（以下「第１浮遊容Ｆｌｉ
Ｃｌｊという）を通じて、誘導コイル２内の高周波電
流がプラズマ４に流れ込むようになっていた。このため
、プラズマ４の近傍に存在する金属（例えばプラズマト
ーチ用の筐体等）１２とプラズマ４との間に生ずる浮遊
容量（以下「第２浮遊容ＩＣ２」という）を通じて、上
記高周波電流が金属１２に流れるようになり、その結果
、次のような好ましくない現象が生じていた。即ち、上
記金属まで１窩周波電流が流れることによって該金属と
プラズマ４の間で放電が生じプラズマトーチがゆらいで
安定しなくなったり、プラズマ４から放出されるスペク
トル線がゆらいだりする現象が生じ、究極的に上記検出
信号に誤差が含まれるようになってＩＣＰ原子スペクト
ロメトリー装置の性能が低下するという不都合があった
。
ズマ４の間に生ずる浮遊容量（以下「第１浮遊容Ｆｌｉ
Ｃｌｊという）を通じて、誘導コイル２内の高周波電
流がプラズマ４に流れ込むようになっていた。このため
、プラズマ４の近傍に存在する金属（例えばプラズマト
ーチ用の筐体等）１２とプラズマ４との間に生ずる浮遊
容量（以下「第２浮遊容ＩＣ２」という）を通じて、上
記高周波電流が金属１２に流れるようになり、その結果
、次のような好ましくない現象が生じていた。即ち、上
記金属まで１窩周波電流が流れることによって該金属と
プラズマ４の間で放電が生じプラズマトーチがゆらいで
安定しなくなったり、プラズマ４から放出されるスペク
トル線がゆらいだりする現象が生じ、究極的に上記検出
信号に誤差が含まれるようになってＩＣＰ原子スペクト
ロメトリー装置の性能が低下するという不都合があった
。
〈発明が解決しようとする問題点〉
本発明は、かかる状況に鑑みてなされたものであり、そ
の目的は、プラズマの近傍に存在する金属へ高周波電流
が流れこむのを防止した高性能のＴＣＰ原子スペクトロ
メトリー装置を提供することにある。
の目的は、プラズマの近傍に存在する金属へ高周波電流
が流れこむのを防止した高性能のＴＣＰ原子スペクトロ
メトリー装置を提供することにある。
く問題点を解決するための手段〉
上述のような問題点を解決する本発明の特１敢は、ＴＣ
Ｐ原子スペクトロメトリー装置において、アース接続さ
れたシールド板を、プラズマと誘導コイルの間に装着す
るようにしたことにある。
Ｐ原子スペクトロメトリー装置において、アース接続さ
れたシールド板を、プラズマと誘導コイルの間に装着す
るようにしたことにある。
〈実施例〉
以下、本発明について図を用いて詳しく説明する。第１
図は本発明実施例の要部４／１１成説明図であり、図中
、第２図と同一記号は同一意味をもたせて使用し、ここ
での重複説明は省略する。また、１３は例えば銅製円部
でなるシールド板である。二のシールド板は誘導コイル
２とプラズマ４０間にうな構成からなる本発明の実施例
においては、アースｆ２Ｙ ＆？されたシールド板１３
がプラズマ４と誘導コイル２の間に装着されているため
、プラズマ４と１；誘導コイル２の間が静電気的にほぼ
完全にシールドされる。この結果、プラズマ４には誘導
結合によってのみエネルギーが供給されるようになり、
該プラズマ囁近傍に上記金属１２が存在しても該金属と
プラズマの間に放電が生ずるようなことはない。従って
、プラズマトーチのゆらぎやプラズマ４力目ら放出され
るスペクトル線のゆらぎに起因して、上記光電子増ｆ８
管１１の出ツノ（検出信号）に誤差が含まれるようにな
る現象も消失する。
図は本発明実施例の要部４／１１成説明図であり、図中
、第２図と同一記号は同一意味をもたせて使用し、ここ
での重複説明は省略する。また、１３は例えば銅製円部
でなるシールド板である。二のシールド板は誘導コイル
２とプラズマ４０間にうな構成からなる本発明の実施例
においては、アースｆ２Ｙ ＆？されたシールド板１３
がプラズマ４と誘導コイル２の間に装着されているため
、プラズマ４と１；誘導コイル２の間が静電気的にほぼ
完全にシールドされる。この結果、プラズマ４には誘導
結合によってのみエネルギーが供給されるようになり、
該プラズマ囁近傍に上記金属１２が存在しても該金属と
プラズマの間に放電が生ずるようなことはない。従って
、プラズマトーチのゆらぎやプラズマ４力目ら放出され
るスペクトル線のゆらぎに起因して、上記光電子増ｆ８
管１１の出ツノ（検出信号）に誤差が含まれるようにな
る現象も消失する。
第３図は上記シールド板Ｉ３の柿々の具体例を示す構成
説明図であり、図中、第１図や第２図と同一記号は同一
意味をもたせて使用する。第３図（３）のシールド板１
３′は、シールド板本体１３ａ゛にすり′８リリ １３
ｂ゛が設けられて構成されている。また、第３図〆のシ
ールド板１３パは、シールド板本体１３ａ”の一部＋
３ ｂ ”が一定間隔を保持しながら重なるように構成
されており、第３図的のシールド板１３ ”’は例えば
山高帽を逆さにして底を切り抜いたような形状に構成さ
れている。これらのシールド板１３゛〜１３″″は、い
ずれも上記シールド板１３の具体例であるが、本発明の
シールド板はこうした具体例に限定されることなく種々
の変形が可能であり、例えば、一部にスリットを有しＨ
導コイル２を完全に囲むように１７４成してもよく、或
いは、石英管１の表面（又は裏面）に付着される金属被
膜で代替してもよいものとする。
説明図であり、図中、第１図や第２図と同一記号は同一
意味をもたせて使用する。第３図（３）のシールド板１
３′は、シールド板本体１３ａ゛にすり′８リリ １３
ｂ゛が設けられて構成されている。また、第３図〆のシ
ールド板１３パは、シールド板本体１３ａ”の一部＋
３ ｂ ”が一定間隔を保持しながら重なるように構成
されており、第３図的のシールド板１３ ”’は例えば
山高帽を逆さにして底を切り抜いたような形状に構成さ
れている。これらのシールド板１３゛〜１３″″は、い
ずれも上記シールド板１３の具体例であるが、本発明の
シールド板はこうした具体例に限定されることなく種々
の変形が可能であり、例えば、一部にスリットを有しＨ
導コイル２を完全に囲むように１７４成してもよく、或
いは、石英管１の表面（又は裏面）に付着される金属被
膜で代替してもよいものとする。
〈発明の効果〉
以上詳しく説明したような本発明の実施例によれば、ア
ース接続されたシールド板１３を用いて誘導コイル２と
プラズマ４の間が静電気的にほぼ完全にシールドするよ
うな構成であるため、プラズマ４には誘導結合によって
のみエネルギーが供給されるようになる。従って、前記
従来例の賜金に見られたような金ｉ１２への高周波電流
の流れ込みが防止でき、検出信号への誤差混入を防止し
た高性能の■ＣＰ原子スペクトロメトリー装置が実現す
る。
ース接続されたシールド板１３を用いて誘導コイル２と
プラズマ４の間が静電気的にほぼ完全にシールドするよ
うな構成であるため、プラズマ４には誘導結合によって
のみエネルギーが供給されるようになる。従って、前記
従来例の賜金に見られたような金ｉ１２への高周波電流
の流れ込みが防止でき、検出信号への誤差混入を防止し
た高性能の■ＣＰ原子スペクトロメトリー装置が実現す
る。
第１図（本本発明実施例の要部構成説明図、第２図は従
来例の要部構成説明図、第３図はシールド板の具体例構
成説明図である。 １・・・石英管、２・・・誘導コイル、３・・・高周波
電源、４・・・プラズマ、１２・・・全屈、１３・・・
シールド板。 第３図 ＳＮη寸さη
来例の要部構成説明図、第３図はシールド板の具体例構
成説明図である。 １・・・石英管、２・・・誘導コイル、３・・・高周波
電源、４・・・プラズマ、１２・・・全屈、１３・・・
シールド板。 第３図 ＳＮη寸さη
Claims (3)
- （１）アルゴンガスが導入される管状部材の周りに誘導
コイルを配設し該コイルに高周波電力を供給してプラズ
マを生じさせ該プラズマを用いて試料を励起させたり電
離させたりして含有されている被測定元素を分析する装
置において、高周波的にアース接続されたシールド板を
前記プラズマと誘導コイルの間に装着したことを特徴と
するＩＣＰ原子スペクトロメトリー装置。 - （２）前記シールド板は、すり割りが設けられた銅製円
筒でなる特許請求範囲第（１）項記載のＩＣＰ原子スペ
クトロメトリー装置。 - （３）前記シールド板は、一部が一定間隔を保ちながら
重なるような構成の円筒でなる特許請求範囲第（１）項
記載のＩＣＰ原子スペクトロメトリー装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22327285A JPS6282342A (ja) | 1985-10-07 | 1985-10-07 | Ｉｃｐ原子スペクトロメトリ−装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22327285A JPS6282342A (ja) | 1985-10-07 | 1985-10-07 | Ｉｃｐ原子スペクトロメトリ−装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6282342A true JPS6282342A (ja) | 1987-04-15 |
| JPH0341784B2 JPH0341784B2 (ja) | 1991-06-25 |
Family
ID=16795518
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22327285A Granted JPS6282342A (ja) | 1985-10-07 | 1985-10-07 | Ｉｃｐ原子スペクトロメトリ−装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6282342A (ja) |
-
1985
- 1985-10-07 JP JP22327285A patent/JPS6282342A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0341784B2 (ja) | 1991-06-25 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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