JPS6282342A - Icp原子スペクトロメトリ−装置 - Google Patents
Icp原子スペクトロメトリ−装置Info
- Publication number
- JPS6282342A JPS6282342A JP22327285A JP22327285A JPS6282342A JP S6282342 A JPS6282342 A JP S6282342A JP 22327285 A JP22327285 A JP 22327285A JP 22327285 A JP22327285 A JP 22327285A JP S6282342 A JPS6282342 A JP S6282342A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plasma
- induction coil
- shield plate
- metal
- icp atomic
- Prior art date
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- Granted
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- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
く産業上の利用分野〉
本発明は、高周波誘4結合プラズマを用いて試料を励起
させたり電離させたりして該試料中の被測定元素を分析
する高周波誘導結合プラズマ・原子スペクトロメトリー
装置(Inductively CoupledPla
sma−Atomic SpccLrometry、以
下ricP原子スペクトロメトリー装置」と略す)に関
する。
させたり電離させたりして該試料中の被測定元素を分析
する高周波誘導結合プラズマ・原子スペクトロメトリー
装置(Inductively CoupledPla
sma−Atomic SpccLrometry、以
下ricP原子スペクトロメトリー装置」と略す)に関
する。
〈従来の技術〉
第2図は、上述のような■CP原子スペクトロメトリー
装置の従来例要部構成説明図である。この図において、
例えば石英でなる管状部材(以下「石英管」と略す)■
内にはアルゴンガスが導びかれており、誘導コイル2の
中に高周波型FA3によって高周波電流が流されると、
該コイル2の周囲に高周波磁界(図示せず)が形成され
、上記アルゴンガスがプラズマ化されてプラズマ3を生
ずるようになる。そして、試料が霧化されて上記アルゴ
ンガス中に導入されると、該試料に含まれている元素に
応じてプラズマ4からスペクトル線が放出される。この
スペクトル線は、集光レンズ5→回−耘ミラー6→入)
(スリット7→凹面SQ 8→回析格子9→凹面鏡8→
出射スリット10を経て、光電子増(8管11で検出さ
れ、該検出信号から上試料に含まれている被測定元素が
分析されるようになっている。
装置の従来例要部構成説明図である。この図において、
例えば石英でなる管状部材(以下「石英管」と略す)■
内にはアルゴンガスが導びかれており、誘導コイル2の
中に高周波型FA3によって高周波電流が流されると、
該コイル2の周囲に高周波磁界(図示せず)が形成され
、上記アルゴンガスがプラズマ化されてプラズマ3を生
ずるようになる。そして、試料が霧化されて上記アルゴ
ンガス中に導入されると、該試料に含まれている元素に
応じてプラズマ4からスペクトル線が放出される。この
スペクトル線は、集光レンズ5→回−耘ミラー6→入)
(スリット7→凹面SQ 8→回析格子9→凹面鏡8→
出射スリット10を経て、光電子増(8管11で検出さ
れ、該検出信号から上試料に含まれている被測定元素が
分析されるようになっている。
然し乍ら、上記従来例においては、誘導コイル2とプラ
ズマ4の間に生ずる浮遊容量(以下「第1浮遊容Fli
Cljという)を通じて、誘導コイル2内の高周波電
流がプラズマ4に流れ込むようになっていた。このため
、プラズマ4の近傍に存在する金属(例えばプラズマト
ーチ用の筐体等)12とプラズマ4との間に生ずる浮遊
容量(以下「第2浮遊容IC2」という)を通じて、上
記高周波電流が金属12に流れるようになり、その結果
、次のような好ましくない現象が生じていた。即ち、上
記金属まで1窩周波電流が流れることによって該金属と
プラズマ4の間で放電が生じプラズマトーチがゆらいで
安定しなくなったり、プラズマ4から放出されるスペク
トル線がゆらいだりする現象が生じ、究極的に上記検出
信号に誤差が含まれるようになってICP原子スペクト
ロメトリー装置の性能が低下するという不都合があった
。
ズマ4の間に生ずる浮遊容量(以下「第1浮遊容Fli
Cljという)を通じて、誘導コイル2内の高周波電
流がプラズマ4に流れ込むようになっていた。このため
、プラズマ4の近傍に存在する金属(例えばプラズマト
ーチ用の筐体等)12とプラズマ4との間に生ずる浮遊
容量(以下「第2浮遊容IC2」という)を通じて、上
記高周波電流が金属12に流れるようになり、その結果
、次のような好ましくない現象が生じていた。即ち、上
記金属まで1窩周波電流が流れることによって該金属と
プラズマ4の間で放電が生じプラズマトーチがゆらいで
安定しなくなったり、プラズマ4から放出されるスペク
トル線がゆらいだりする現象が生じ、究極的に上記検出
信号に誤差が含まれるようになってICP原子スペクト
ロメトリー装置の性能が低下するという不都合があった
。
〈発明が解決しようとする問題点〉
本発明は、かかる状況に鑑みてなされたものであり、そ
の目的は、プラズマの近傍に存在する金属へ高周波電流
が流れこむのを防止した高性能のTCP原子スペクトロ
メトリー装置を提供することにある。
の目的は、プラズマの近傍に存在する金属へ高周波電流
が流れこむのを防止した高性能のTCP原子スペクトロ
メトリー装置を提供することにある。
く問題点を解決するための手段〉
上述のような問題点を解決する本発明の特1敢は、TC
P原子スペクトロメトリー装置において、アース接続さ
れたシールド板を、プラズマと誘導コイルの間に装着す
るようにしたことにある。
P原子スペクトロメトリー装置において、アース接続さ
れたシールド板を、プラズマと誘導コイルの間に装着す
るようにしたことにある。
〈実施例〉
以下、本発明について図を用いて詳しく説明する。第1
図は本発明実施例の要部4/11成説明図であり、図中
、第2図と同一記号は同一意味をもたせて使用し、ここ
での重複説明は省略する。また、13は例えば銅製円部
でなるシールド板である。二のシールド板は誘導コイル
2とプラズマ40間にうな構成からなる本発明の実施例
においては、アースf2Y &?されたシールド板13
がプラズマ4と誘導コイル2の間に装着されているため
、プラズマ4と1;誘導コイル2の間が静電気的にほぼ
完全にシールドされる。この結果、プラズマ4には誘導
結合によってのみエネルギーが供給されるようになり、
該プラズマ囁近傍に上記金属12が存在しても該金属と
プラズマの間に放電が生ずるようなことはない。従って
、プラズマトーチのゆらぎやプラズマ4力目ら放出され
るスペクトル線のゆらぎに起因して、上記光電子増f8
管11の出ツノ(検出信号)に誤差が含まれるようにな
る現象も消失する。
図は本発明実施例の要部4/11成説明図であり、図中
、第2図と同一記号は同一意味をもたせて使用し、ここ
での重複説明は省略する。また、13は例えば銅製円部
でなるシールド板である。二のシールド板は誘導コイル
2とプラズマ40間にうな構成からなる本発明の実施例
においては、アースf2Y &?されたシールド板13
がプラズマ4と誘導コイル2の間に装着されているため
、プラズマ4と1;誘導コイル2の間が静電気的にほぼ
完全にシールドされる。この結果、プラズマ4には誘導
結合によってのみエネルギーが供給されるようになり、
該プラズマ囁近傍に上記金属12が存在しても該金属と
プラズマの間に放電が生ずるようなことはない。従って
、プラズマトーチのゆらぎやプラズマ4力目ら放出され
るスペクトル線のゆらぎに起因して、上記光電子増f8
管11の出ツノ(検出信号)に誤差が含まれるようにな
る現象も消失する。
第3図は上記シールド板I3の柿々の具体例を示す構成
説明図であり、図中、第1図や第2図と同一記号は同一
意味をもたせて使用する。第3図(3)のシールド板1
3′は、シールド板本体13a゛にすり′8リリ 13
b゛が設けられて構成されている。また、第3図〆のシ
ールド板13パは、シールド板本体13a”の一部+
3 b ”が一定間隔を保持しながら重なるように構成
されており、第3図的のシールド板13 ”’は例えば
山高帽を逆さにして底を切り抜いたような形状に構成さ
れている。これらのシールド板13゛〜13″″は、い
ずれも上記シールド板13の具体例であるが、本発明の
シールド板はこうした具体例に限定されることなく種々
の変形が可能であり、例えば、一部にスリットを有しH
導コイル2を完全に囲むように174成してもよく、或
いは、石英管1の表面(又は裏面)に付着される金属被
膜で代替してもよいものとする。
説明図であり、図中、第1図や第2図と同一記号は同一
意味をもたせて使用する。第3図(3)のシールド板1
3′は、シールド板本体13a゛にすり′8リリ 13
b゛が設けられて構成されている。また、第3図〆のシ
ールド板13パは、シールド板本体13a”の一部+
3 b ”が一定間隔を保持しながら重なるように構成
されており、第3図的のシールド板13 ”’は例えば
山高帽を逆さにして底を切り抜いたような形状に構成さ
れている。これらのシールド板13゛〜13″″は、い
ずれも上記シールド板13の具体例であるが、本発明の
シールド板はこうした具体例に限定されることなく種々
の変形が可能であり、例えば、一部にスリットを有しH
導コイル2を完全に囲むように174成してもよく、或
いは、石英管1の表面(又は裏面)に付着される金属被
膜で代替してもよいものとする。
〈発明の効果〉
以上詳しく説明したような本発明の実施例によれば、ア
ース接続されたシールド板13を用いて誘導コイル2と
プラズマ4の間が静電気的にほぼ完全にシールドするよ
うな構成であるため、プラズマ4には誘導結合によって
のみエネルギーが供給されるようになる。従って、前記
従来例の賜金に見られたような金i12への高周波電流
の流れ込みが防止でき、検出信号への誤差混入を防止し
た高性能の■CP原子スペクトロメトリー装置が実現す
る。
ース接続されたシールド板13を用いて誘導コイル2と
プラズマ4の間が静電気的にほぼ完全にシールドするよ
うな構成であるため、プラズマ4には誘導結合によって
のみエネルギーが供給されるようになる。従って、前記
従来例の賜金に見られたような金i12への高周波電流
の流れ込みが防止でき、検出信号への誤差混入を防止し
た高性能の■CP原子スペクトロメトリー装置が実現す
る。
第1図(本本発明実施例の要部構成説明図、第2図は従
来例の要部構成説明図、第3図はシールド板の具体例構
成説明図である。 1・・・石英管、2・・・誘導コイル、3・・・高周波
電源、4・・・プラズマ、12・・・全屈、13・・・
シールド板。 第3図 SNη寸さη
来例の要部構成説明図、第3図はシールド板の具体例構
成説明図である。 1・・・石英管、2・・・誘導コイル、3・・・高周波
電源、4・・・プラズマ、12・・・全屈、13・・・
シールド板。 第3図 SNη寸さη
Claims (3)
- (1)アルゴンガスが導入される管状部材の周りに誘導
コイルを配設し該コイルに高周波電力を供給してプラズ
マを生じさせ該プラズマを用いて試料を励起させたり電
離させたりして含有されている被測定元素を分析する装
置において、高周波的にアース接続されたシールド板を
前記プラズマと誘導コイルの間に装着したことを特徴と
するICP原子スペクトロメトリー装置。 - (2)前記シールド板は、すり割りが設けられた銅製円
筒でなる特許請求範囲第(1)項記載のICP原子スペ
クトロメトリー装置。 - (3)前記シールド板は、一部が一定間隔を保ちながら
重なるような構成の円筒でなる特許請求範囲第(1)項
記載のICP原子スペクトロメトリー装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22327285A JPS6282342A (ja) | 1985-10-07 | 1985-10-07 | Icp原子スペクトロメトリ−装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22327285A JPS6282342A (ja) | 1985-10-07 | 1985-10-07 | Icp原子スペクトロメトリ−装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6282342A true JPS6282342A (ja) | 1987-04-15 |
JPH0341784B2 JPH0341784B2 (ja) | 1991-06-25 |
Family
ID=16795518
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP22327285A Granted JPS6282342A (ja) | 1985-10-07 | 1985-10-07 | Icp原子スペクトロメトリ−装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6282342A (ja) |
-
1985
- 1985-10-07 JP JP22327285A patent/JPS6282342A/ja active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0341784B2 (ja) | 1991-06-25 |
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Legal Events
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