JPS6280951A - イオンミリング装置の試料台 - Google Patents
イオンミリング装置の試料台Info
- Publication number
- JPS6280951A JPS6280951A JP60217886A JP21788685A JPS6280951A JP S6280951 A JPS6280951 A JP S6280951A JP 60217886 A JP60217886 A JP 60217886A JP 21788685 A JP21788685 A JP 21788685A JP S6280951 A JPS6280951 A JP S6280951A
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- JP
- Japan
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- sample
- angle
- ion
- beams
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- Pending
Links
- 238000000992 sputter etching Methods 0.000 title claims description 6
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 8
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 abstract description 7
- 238000005530 etching Methods 0.000 abstract description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000003801 milling Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、上下２本の粒子線を有する試料台に係り、特
にイオンミリング装置における回転する試料にイオンビ
ームを広範囲な任意の照射角度で使用するのに好適な試
料台に関する。
にイオンミリング装置における回転する試料にイオンビ
ームを広範囲な任意の照射角度で使用するのに好適な試
料台に関する。
透過形電子顕微鏡の試料作成用イオンミリング装置にお
いて試料を回転させながらミリングを行う時に従来の方
法では試料上下方向から照射されるビームの入射角を浅
い角度から９０”まで望むことができなかった。また、
従来の試料台は、片面のみに試料を乗せ、もう片面には
回転を伝えるための機構があるために上下共面から粒子
線を照射して、しかも試料を回転させながら広い範囲の
照射可能な角度を得ることが難しかった。
いて試料を回転させながらミリングを行う時に従来の方
法では試料上下方向から照射されるビームの入射角を浅
い角度から９０”まで望むことができなかった。また、
従来の試料台は、片面のみに試料を乗せ、もう片面には
回転を伝えるための機構があるために上下共面から粒子
線を照射して、しかも試料を回転させながら広い範囲の
照射可能な角度を得ることが難しかった。
本発明の目的は、回転する試料に対して広い範囲の任意
の照射角度において上下２本の粒子線を照射することの
できるイオンミリング装置の試料台を提出することにあ
る。
の照射角度において上下２本の粒子線を照射することの
できるイオンミリング装置の試料台を提出することにあ
る。
本発明は、真空中で、試料に対して任意の照射角度を有
し上下方向からの一直線上の２本の粒子線を回転する試
料に照射するものにおいて、回転中心を固定させた状態
で試料を回転させるための複数個の円板を有した構造物
を試料又は試料を保持する円板をはさむように形成した
ことを特徴とするものである。
し上下方向からの一直線上の２本の粒子線を回転する試
料に照射するものにおいて、回転中心を固定させた状態
で試料を回転させるための複数個の円板を有した構造物
を試料又は試料を保持する円板をはさむように形成した
ことを特徴とするものである。
（発明の実施例〕
以下１本発明の実施例について説明する。
第１図には１本発明に係るイオンミリング装置の試料台
の一実施例が示されている。
の一実施例が示されている。
図において９本実施例の構造部品は試料ホルダを駆動さ
せるドライブプーリ１、カサ歯車２，３、外部から回転
を伝えるシャフト４、試料を中心に固定する試料ホルダ
５．試料６、Ｏリング７．８．２つのアイドラプーリ９
、ドライブシャフト１０．３つのプーリの位置を固定さ
せるボディ１１、試料傾斜軸１５と直角に位置した２本
のイオンガン１２、そしてドライブシャフト用の軸受１
３、アイドラプーリ用軸受１４から成る。
せるドライブプーリ１、カサ歯車２，３、外部から回転
を伝えるシャフト４、試料を中心に固定する試料ホルダ
５．試料６、Ｏリング７．８．２つのアイドラプーリ９
、ドライブシャフト１０．３つのプーリの位置を固定さ
せるボディ１１、試料傾斜軸１５と直角に位置した２本
のイオンガン１２、そしてドライブシャフト用の軸受１
３、アイドラプーリ用軸受１４から成る。
すなわち、・２つのイオンガン１２の間に、試料６が円
板状の試料ホルダ５に載置されている。この試料ホルダ
５はドライブプーリ１によってドライブ可能に構造され
ている。また、このドライブプーリ１の周端にはＯリン
グ７が嵌着されている。
板状の試料ホルダ５に載置されている。この試料ホルダ
５はドライブプーリ１によってドライブ可能に構造され
ている。また、このドライブプーリ１の周端にはＯリン
グ７が嵌着されている。
このドライブプーリ１には第２図に示す如く軸受１３を
介してドライブシャフト１０が設けられている。このド
ライブシャフト１０の先端にはカサ歯車２が取付けられ
ている。このカサ歯車２には外部の駆御源に直結されて
いるシャフト４に取付られているカサ歯車３ががみ合っ
ている。
介してドライブシャフト１０が設けられている。このド
ライブシャフト１０の先端にはカサ歯車２が取付けられ
ている。このカサ歯車２には外部の駆御源に直結されて
いるシャフト４に取付られているカサ歯車３ががみ合っ
ている。
また、試料ホルダ５のドライブプーリ１の当接側の反対
側には、２つのアイドラプーリ９が当接している。この
アイドラプーリ９の周端には０リング８が嵌着されてい
る。このアイドラプーリ９の下面は軸受１４が設けられ
ている。
側には、２つのアイドラプーリ９が当接している。この
アイドラプーリ９の周端には０リング８が嵌着されてい
る。このアイドラプーリ９の下面は軸受１４が設けられ
ている。
これらドライブプーリ１とアイドラプーリ９は、ボディ
１１によって位置決めされている。このボディ１１には
ボディ１１全体を傾けて、イオンガン１２との間に第３
図に示す如き任意の角度θをもたせるための試料傾斜軸
１５が設けられている。
１１によって位置決めされている。このボディ１１には
ボディ１１全体を傾けて、イオンガン１２との間に第３
図に示す如き任意の角度θをもたせるための試料傾斜軸
１５が設けられている。
このように構成されるものであるから、試料台５に乗っ
た試料を回転させるために外部からシャフト４に回転を
伝える。次に試料を傾斜させて、第３図に示すように任
意の角度θだけ傾けて上下方向からイオンビームを照射
する。
た試料を回転させるために外部からシャフト４に回転を
伝える。次に試料を傾斜させて、第３図に示すように任
意の角度θだけ傾けて上下方向からイオンビームを照射
する。
本実施例によれば、各部の寸法形状にもよるが、約最少
１０°から最大１７ｏ°程度の広い範囲の角度設定が可
能になる。又イオンビームがあたる部分は試料の表裏と
試料台５の表裏のみであり、不必要な部分へのイオンビ
ームによるエツチングは最少限におさえられている。以
上のような効果を本実施例は有する。
１０°から最大１７ｏ°程度の広い範囲の角度設定が可
能になる。又イオンビームがあたる部分は試料の表裏と
試料台５の表裏のみであり、不必要な部分へのイオンビ
ームによるエツチングは最少限におさえられている。以
上のような効果を本実施例は有する。
以上説明したように、本発明によれば薄い厚みの回転す
る試料又は試料台に上下方向から任意の照射角度で粒子
線を照射可能となり、試料を回転させるための構造物が
、照射される粒子線の通る部分にないという効果がある
。
る試料又は試料台に上下方向から任意の照射角度で粒子
線を照射可能となり、試料を回転させるための構造物が
、照射される粒子線の通る部分にないという効果がある
。
図面のＷＭＩＬな説明
第１図は本発明の実施例を示す図、第２図は第１図Ｂ−
Ｂ断面図、第３図は第１図Ａ−Ａ断面図である。
Ｂ断面図、第３図は第１図Ａ−Ａ断面図である。
１・・・ドライブプーリ、２．３・・・カサ歯車、５・
・・試料ホルダ、６・・・試料、７，８・・・０リング
、９・・・アイドラプーリ、１１・・・ボディ、１２・
・・イオンガン。
・・試料ホルダ、６・・・試料、７，８・・・０リング
、９・・・アイドラプーリ、１１・・・ボディ、１２・
・・イオンガン。
１３．１４・・・軸受、１５・・・試料傾斜軸。
Claims (1)
- １、真空中で試料に対して任意の照射角度を有し上下方
向からの一直線上の２本の粒子線を回転する試料に照射
するものにおいて、回転中心を固定させた状態で試料を
回転させるための複数箇の円板を有した構造物を試料又
は試料を保持する円板をはさむように形成したことを特
徴とするイオンミリング装置の試料台。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60217886A JPS6280951A (ja) | 1985-10-02 | 1985-10-02 | イオンミリング装置の試料台 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60217886A JPS6280951A (ja) | 1985-10-02 | 1985-10-02 | イオンミリング装置の試料台 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6280951A true JPS6280951A (ja) | 1987-04-14 |
Family
ID=16711304
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60217886A Pending JPS6280951A (ja) | 1985-10-02 | 1985-10-02 | イオンミリング装置の試料台 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6280951A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP4004950A4 (en) * | 2019-07-26 | 2023-11-15 | Rad Source Technologies, Inc. | INCLINED ROTATOR ON AXIS FOR X-RAY IRRADIATION |
-
1985
- 1985-10-02 JP JP60217886A patent/JPS6280951A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP4004950A4 (en) * | 2019-07-26 | 2023-11-15 | Rad Source Technologies, Inc. | INCLINED ROTATOR ON AXIS FOR X-RAY IRRADIATION |
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