JPS62806A - 半導体ウエハの角度調整方法 - Google Patents
半導体ウエハの角度調整方法Info
- Publication number
- JPS62806A JPS62806A JP13998085A JP13998085A JPS62806A JP S62806 A JPS62806 A JP S62806A JP 13998085 A JP13998085 A JP 13998085A JP 13998085 A JP13998085 A JP 13998085A JP S62806 A JPS62806 A JP S62806A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- angle
- pattern
- wafer
- stage
- pattern recognition
- Prior art date
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- Granted
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- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は半導体ウェハの角度調整方法に関し、特に半導
体ウェハの目合せ機構における半導体ウェハの角度調整
方法に関する。
体ウェハの目合せ機構における半導体ウェハの角度調整
方法に関する。
従来技術
ブＯ−バ等では半導体ウェハの目合せが不可欠であり、
特にウェハ内のチップの並び方向とウェハの載る載物台
の移動方向との平行をだす角度調整が特に重要である。
特にウェハ内のチップの並び方向とウェハの載る載物台
の移動方向との平行をだす角度調整が特に重要である。
かかる角度調整の方法としては、従来エツジセンスによ
るのが一般的であるが、これはチップ内を細かいピッチ
で光を走査してその反射率の差からチップのエツジを見
つけるため時間がかかるという欠点がある。他の方法で
あるパターンＯｎによって２ケ所のチップ内の同一パタ
ーンの位置の差から角度を算出して角度調整を行う方法
は、前者に比べ高速ではあるが、角度ずれが大きいと０
１しようとするパターンが視野から外れてしまうので予
めある程度まで角度調整がされていなければならないと
いう欠点がある。
るのが一般的であるが、これはチップ内を細かいピッチ
で光を走査してその反射率の差からチップのエツジを見
つけるため時間がかかるという欠点がある。他の方法で
あるパターンＯｎによって２ケ所のチップ内の同一パタ
ーンの位置の差から角度を算出して角度調整を行う方法
は、前者に比べ高速ではあるが、角度ずれが大きいと０
１しようとするパターンが視野から外れてしまうので予
めある程度まで角度調整がされていなければならないと
いう欠点がある。
そこで最初の粗調整はエツジセンスで行い、後の微調整
はパターンＱｌで行う方法が考えられるが、これを実現
する装置としては高価なものになってしまうという欠点
がある。
はパターンＱｌで行う方法が考えられるが、これを実現
する装置としては高価なものになってしまうという欠点
がある。
ｌ豆史ユ道
本発明は半導体ウェハの角度調整の粗調から微調までを
パターン認識だけを用いて行う方法を提供することを目
的としている。
パターン認識だけを用いて行う方法を提供することを目
的としている。
発明の構成
本発明は、テレビカメラによる観測光学系とパターン認
識装置を具備した半導体ウェハの目合せ機構におけるウ
ェハ内の各チップの並び方向と載物台の移動方向の平行
を出す角度調整方法を対象とし、その特徴とするところ
は、ウェハ上のチップの並び方向に平行な直線状パター
ンを参照パターンとして記憶し、その位置からＵ、吻合
をテレビカメラの視野から前記参照パターンが外れない
程度の微小距離だけ移動させたときのテレビカメラの視
野内における参照パターンのずれ母をパターン認識によ
って求め、このずれ巳のＸ方向成分。
識装置を具備した半導体ウェハの目合せ機構におけるウ
ェハ内の各チップの並び方向と載物台の移動方向の平行
を出す角度調整方法を対象とし、その特徴とするところ
は、ウェハ上のチップの並び方向に平行な直線状パター
ンを参照パターンとして記憶し、その位置からＵ、吻合
をテレビカメラの視野から前記参照パターンが外れない
程度の微小距離だけ移動させたときのテレビカメラの視
野内における参照パターンのずれ母をパターン認識によ
って求め、このずれ巳のＸ方向成分。
Ｙ方向成分（Ｘ、Ｙ方向は互いに直交する方向）及び載
物台の移動量から、載物台の移動方向とチップの並び方
向とのなす角度を算出して角度の粗調を行い、次いで１
つのチップ内で新たに参照パターンを記憶し、その位置
から載物台をチップ寸法の整数倍だけ移動させ、その時
の参照パターンのテレビカメラの視野内におけるずれ伍
をパターン認識によって知り、これと載物台の移動距離
から角度を算出しこれによって角度の微調を行うことに
ある。
物台の移動量から、載物台の移動方向とチップの並び方
向とのなす角度を算出して角度の粗調を行い、次いで１
つのチップ内で新たに参照パターンを記憶し、その位置
から載物台をチップ寸法の整数倍だけ移動させ、その時
の参照パターンのテレビカメラの視野内におけるずれ伍
をパターン認識によって知り、これと載物台の移動距離
から角度を算出しこれによって角度の微調を行うことに
ある。
実施例
以下、図面を用いて詳細に説明する。
第１図はウェハチップ内の直線状パターン２をテレビカ
メラ視野１の中心付近でパターン認識装置に記憶させる
ところを示す図であり、視野１の中心部領域３の中にあ
る直線状パターン２の斜線の部分が記憶されるとする。
メラ視野１の中心付近でパターン認識装置に記憶させる
ところを示す図であり、視野１の中心部領域３の中にあ
る直線状パターン２の斜線の部分が記憶されるとする。
この直線状パターン２は、ウェハ内のチップ上にあって
チップ並び方向と平行な直線であるとする。第２図は載
物台を微小距１１ｉｘだけ移動させたときに、テレビカ
メラ視野１内において、第１図のステップにて記憶した
参照パターンの位置関係を示す図である。ここでパター
ン認識を行うと、参照パターンの記憶された位置からの
ずれ量としてΔＸ及びΔＹが得られ、これから直線状パ
ターン２すなわちウェハチップの並び方向と載物台の移
動方向とのなす角θは、 θ−ｔａｎ ” （△Ｙ／（Ｘ−△Ｘ））で与えられる
。
チップ並び方向と平行な直線であるとする。第２図は載
物台を微小距１１ｉｘだけ移動させたときに、テレビカ
メラ視野１内において、第１図のステップにて記憶した
参照パターンの位置関係を示す図である。ここでパター
ン認識を行うと、参照パターンの記憶された位置からの
ずれ量としてΔＸ及びΔＹが得られ、これから直線状パ
ターン２すなわちウェハチップの並び方向と載物台の移
動方向とのなす角θは、 θ−ｔａｎ ” （△Ｙ／（Ｘ−△Ｘ））で与えられる
。
これだけの角度θだけ載物台を回動させてやることによ
って角度合せが可能となる。この場合の移動距離Ｘは微
小であり、パターン認識の誤差により、算出された角度
にも比較的大きな誤差が含まれるので、移動距離Ｘを増
しながら複数回この動作を実行することになる。
って角度合せが可能となる。この場合の移動距離Ｘは微
小であり、パターン認識の誤差により、算出された角度
にも比較的大きな誤差が含まれるので、移動距離Ｘを増
しながら複数回この動作を実行することになる。
次に、第３図は上記の粗調が終った模の微調の様子を示
したちので、ウェハ内の任意のチップ４の中のパターン
認識装置に記憶することのできる領１ａ６内の適当なパ
ターン７を参照パターンとして記憶する。載物台をチッ
プ寸法の整数倍×１だけ移動させると、テレビカメラの
視野内にチップ５内のチップ４で記憶したパターン７に
相当するパターン７′が現れる。このとき、チップ並び
方向８と載物台移動方向９とのなす角θ１に応じてずれ
△Ｙ１が生じる。これをパターン認識で求めることによ
って、 θＩｍｔａｎ−’（ΔＹ１ ／ＸＩ ）で角度θ１
が算出できることになり、この角度の＠調が可能となる
のである。
したちので、ウェハ内の任意のチップ４の中のパターン
認識装置に記憶することのできる領１ａ６内の適当なパ
ターン７を参照パターンとして記憶する。載物台をチッ
プ寸法の整数倍×１だけ移動させると、テレビカメラの
視野内にチップ５内のチップ４で記憶したパターン７に
相当するパターン７′が現れる。このとき、チップ並び
方向８と載物台移動方向９とのなす角θ１に応じてずれ
△Ｙ１が生じる。これをパターン認識で求めることによ
って、 θＩｍｔａｎ−’（ΔＹ１ ／ＸＩ ）で角度θ１
が算出できることになり、この角度の＠調が可能となる
のである。
発明の効果
叙上の如く本発明によれば、半導体ウェハの角度調整の
粗調から微調までをパターン認識技術のみを用いて簡単
に行うことができるので、調整装置の簡素化が図れると
いう効果がある。
粗調から微調までをパターン認識技術のみを用いて簡単
に行うことができるので、調整装置の簡素化が図れると
いう効果がある。
第１図は本発明の実施例における粗調時における参照パ
ターンの記憶時の様子を示す図、第２図は第１図の状態
から載物台を微小距ＭＸだけ移動させたときのテレビカ
メラ視野内の様子を示す図、第３図は本発明の実施例に
おける微調時のテレビカメラ視野と載物台との動きとの
関係を示す図である。 主要部分の符号の説明 １・・・・・・テレビカメラ視野 ２・・・・・・直線状参照パターン ７・・・・・・チップ内の所定参照パターン第２図
ターンの記憶時の様子を示す図、第２図は第１図の状態
から載物台を微小距ＭＸだけ移動させたときのテレビカ
メラ視野内の様子を示す図、第３図は本発明の実施例に
おける微調時のテレビカメラ視野と載物台との動きとの
関係を示す図である。 主要部分の符号の説明 １・・・・・・テレビカメラ視野 ２・・・・・・直線状参照パターン ７・・・・・・チップ内の所定参照パターン第２図
Claims (1)
- テレビカメラを有する観測光学系と、パターン認識装置
と、半導体ウェハを載置する載物台とを備えた半導体ウ
ェハ目合せ機構において、半導体ウェハ内のチップの並
び方向と前記載物台の移動方向とを平行とするような角
度調整方法であって、前記ウェハ内のチップ上にあって
かつこのチップの並び方向に平行な直線状の参照パター
ンを前記パターン認識装置に記憶せしめるステップと、
このステップにおける位置から前記載物台を、前記参照
パターンが前記テレビカメラの視野から外れない程度の
微小距離だけ移動させるステップと、このステップにお
ける前記テレビカメラの視野内の前記参照パターンの前
記パターン認識装置に記憶された位置からのずれ量を求
めるステップと、このずれ量と前記載物台の移動量とか
ら載物台移動方向とチップの並び方向とのなす角度を求
めるステップと、この角度をもとに前記載物台を回動せ
しめて角度の粗調整をなすステップと、任意のチップ内
における所定パターンをパターン認識装置により記憶す
るステップと、このステップにおける位置から前記載物
台をチップ寸法の整数倍だけ移動せしめるステップと、
このときの前記所定パターンの前記テレビカメラの視野
におけるずれ量をパターン認識によつて求めるステップ
と、このずれ量と載物台の移動量とからウェハのチップ
並び方向と載物台の移動方向とのなす角度を求め、この
角度をもとに載物台を回動させて角度の微調整をなすス
テップとを含む半導体ウェハの角度調整方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13998085A JPH0737896B2 (ja) | 1985-06-26 | 1985-06-26 | 半導体ウェハの角度調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13998085A JPH0737896B2 (ja) | 1985-06-26 | 1985-06-26 | 半導体ウェハの角度調整方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62806A true JPS62806A (ja) | 1987-01-06 |
| JPH0737896B2 JPH0737896B2 (ja) | 1995-04-26 |
Family
ID=15258139
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13998085A Expired - Lifetime JPH0737896B2 (ja) | 1985-06-26 | 1985-06-26 | 半導体ウェハの角度調整方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0737896B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111370298A (zh) * | 2020-04-16 | 2020-07-03 | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 | 半导体衬底清洗方法及调整方法 |
-
1985
- 1985-06-26 JP JP13998085A patent/JPH0737896B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111370298A (zh) * | 2020-04-16 | 2020-07-03 | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 | 半导体衬底清洗方法及调整方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0737896B2 (ja) | 1995-04-26 |
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