JPS628030A - 油圧センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、非晶質磁性合金の磁歪を応用した油圧センサ
に関するものである。

従来の技術 非晶質磁性合金の磁歪効果を用いた油圧センサにおいて
は、例えば特開昭５９−１１１０３３号　　　　　　□
公報に記載の様な発明があった。この技術においては非
晶質合金ダイヤフラムを磁気回路として直接利用し、非
晶質磁性合金の持つ３つの特徴、すなわち、 （１）機械的に極めて強い（引張強度が３００〜／−２
以上に達するものが有る）。

（２化学的に均質な保護膜が形成されやすく耐蝕性が高
い。

（ｊ　鉄系のものは大きな磁歪効果を有する。

をうまく利用していた。

従来の構成では非晶質合金ダイヤフラムを容器内で上下
から圧着していた。例えば第３図は従来の油圧センサの
構成例を示す断面図である。１は磁歪を有する非晶質合
金円板、２は円筒状溝２ａを有する円筒形軟磁性フェラ
イト、３は前記軟磁性フェライト２の円筒状溝に対応す
る部分に貫通した溝を有する金属スペーサ、４は前記軟
磁性フェライト溝部に巻回されたコイル、６はこれらを
収めた容器、６は容器６とかしめられた蓋部である。７
はコイル４を用いて磁気回路のインダクタンスを測定す
る検出回路である。油圧が加わると透孔８を通じて圧力
が非晶質合金円板１に加わり、これが変形して磁歪効果
により非晶質合金円板１と軟磁性体フェライト２の磁気
回路の磁気抵抗が変化しインダクタンス値が変化する。

これを検出回路７が測定し、油圧が検出される。

発明が解決しようとする問題点 非晶質合金円板１は上下より、スペーサ３、及び蓋部６
により圧着されている事が判る。この様な構成の場合容
器５と蓋部ｅのかしめ圧により出力が変化する。すなわ
ちかしめ圧は等測的に油圧が非晶質合金円板１に加わっ
ている事になるので、このかしめ圧のばらつきが出力の
ばらつきを生じさせる。油圧が充分高くこの様なかしめ
圧が無視できる場合はこの不都合は問題ではないが、油
圧が低く、ゼロ圧力近傍では大きな問題となる。さらに
かしめ圧が一定であったとしても非晶質合金円板は上下
より平板状のもので圧着されているため、圧力による変
形がスムーズに行なわれず低圧部で種々の異常を生じる
。第４図はこの様な異常の内より生ずる測定例で、低圧
部でインダクタンス値が油圧に対し極値を持ち、センサ
としては使用不能となっている。

問題点を解決するための手段 非晶質合金円板に接し、非晶質板に接する面及び外側面
に溝を持ち、その溝にＱ　ＩＪソング装着した金属リン
グがバネにより非晶質板に押圧されるとともに、この金
属リング内に、配置され非晶質板に接する金属円筒がそ
の裏面からバネにより非晶質板に押圧される構成とする
。

作　　　用 ２個のバネを用いる事により、非晶質合金円板を圧着す
る力のばらつきが小さくなり、出力のばらつきを小さく
できる。外周の０リング用金属リングと別個の円筒金属
及びバネを使用する事により、非晶質合金円板の中央部
の圧着圧を極めて小さく取る事が可能となり、低圧部で
の異常が無くなる。

実施例 第１図は本発明誇駈施例を示す断面図である。

１は磁歪を有する非晶質磁性合金円板、２は円筒状溝を
有する円筒形軟磁性フェライト、３は軟磁性体フェライ
ト溝部に対応する部分に帯状の透孔を持つ金属スペーサ
、４は軟磁性フェライトの円筒状溝部に巻回されたコイ
ルであシ、以上は従来例と同様である。９は非晶質磁性
合金円板１に接する面及び外側面に溝を有する金属リン
グであシ、それらの溝にはｏリング１０が装着されてい
る。

金属リング９の中央穴には、円筒状金属１１が設けられ
、バネ１２により非晶質磁性合金円板１に圧着されてい
る。１３は金属リング９を圧着するサラバネでこれにょ
シｏリング１０をつぶし、金属リング９を非晶質磁性合
金円板１に圧着している。１４はこれら全体を収容する
容器で油圧の導入口１６が設けられている。１６はコイ
ル４を用いて非晶質磁性合金円板１と軟磁性体２の作る
磁気回路のインダクタンスを測定している。

この構成によれば非晶質合金板１は、金属リング９と円
筒状金属１１及び金属スペーサ３によシ圧着されている
。この圧着する力はバネ１２及びサラバネ１３が発生し
ている。この様にバネを用いれば、非晶質合金１の圧着
圧は容器１４の寸法誤差を考慮してもほぼ一定圧にする
事ができる。

すなわち従来例では容器や蓋部の弾性が一種のバネとし
て働き圧着していたのであるが、この状態に比べるとバ
ネ定数としては数ケタ小さいものが実現される事になシ
、圧着力は安定するのであるさらに中央部を円筒状金属
１１及びバネ１３で圧着しているが、この部分の圧着圧
は、ｏリング１０のつぶし圧を変える必要が無いので極
めて小さくする事が可能となる。これにより非晶質合金
板の圧力に対する変形がスムーズになシ、低圧部での異
常もなくなる。第２図は第１図構成の油圧センサにおい
て従来の構成のものと同じ条件下で出力を測定した例で
ある。低圧部での異常がなくなっている。

また非晶質合金板の圧着圧が減少したために非晶質合金
の低歪が実現される。この低歪領域では非晶質合金の応
力に対する透磁率変化が大きくセンサとしては高感度で
ある。そのため第２図から判る様に出力が従来の例第４
図より増大する効果も生ずる。

発明の効果 以上述べた如く本発明によれば次の様な効果が得られる
。

（１）油圧センサの出力ばらつきを抑制する効果が大き
い。

（巧　油圧センサの低圧部での異常出力を除去できる。

（３）油圧センナの出力を増大する事ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例における油圧センサの断面図
、第２図は第１図実施例の出力例を示すグラフ、第３図
は従来の油圧センサ例の断面図、第４図は第３図油圧セ
ンサの出力例を示すグラフである。 １・・・・・・磁歪を有する非晶質合金円板、２・・・
・・・軟磁性フェライト、３・・・・・・金属スペーサ
、４・・・・・・コイル、９・・・・・・金属リング、
１ｏ・・・・・・０リング、１１・・・・・・円筒状金
属、１２・・・・・・バネ、１３・・・・・・サラバネ
、１４・・・・・・容器、１６・・・・・・油圧導入口
、１６・・・・・・検出回路。 代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　ほか１名浮力
（斗／−９ 第　３　図 第４図 圧力　（にＭ凛す

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 円環状の溝が設けられた円柱状軟磁性体と、前記軟磁性
   体溝部に対応する部分に帯状透孔を有し前記軟磁性体溝
   部開口面に配置された金属板と、その金属板の前記帯状
   透孔を覆う磁歪を有する少くとも１枚の非晶質合金板と
   、前記非晶質板に接し、非晶質板に接する面及び外周側
   面に溝を有する金属リングと、前記金属リングの各々の
   前記溝に装着されたＯリングと、前記金属リング内に配
   置され、前記非晶質合金に当接し、その裏面からバネに
   より前記非晶質合金に押圧される金属円筒と、前記金属
   リングを前記非晶質合金に押圧するバネと、これらを収
   容し、前記金属円筒及び金属リングの有る側に油圧導入
   口を有する筐体と、前記軟磁性体溝部に巻回されたコイ
   ルと、前記コイルに接続された検出回路より成る事を特
   徴とする油圧センサ。