JPS62211532A - 圧力センサ - Google Patents
圧力センサInfo
- Publication number
- JPS62211532A JPS62211532A JP5405786A JP5405786A JPS62211532A JP S62211532 A JPS62211532 A JP S62211532A JP 5405786 A JP5405786 A JP 5405786A JP 5405786 A JP5405786 A JP 5405786A JP S62211532 A JPS62211532 A JP S62211532A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- disk
- bridge part
- outer annular
- sensor
- pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 229910001004 magnetic alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 20
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims description 8
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は非晶質磁性合金の磁歪効果を用いた圧力センサ
に関するものである。
に関するものである。
従来の技術
近年、非晶質磁性合金の磁歪効果を用いた圧力センサが
提案されている。第３図はこのような圧力センサの一例
の断面図を示している。１は円環状の溝１ａが設けられ
た円柱状の軟磁性体で、２はその上部に配置された磁歪
を有する非晶質磁性合金円板、３は軟磁性体１と非晶質
磁性合金円板２との間に挿入された非磁性円板よりなる
スペーサであ。４はＯリング５と透孔６を有する蓋部で
あり、圧力導入口４ａを形成している。８は軟磁性体１
の溝１ａに巻装されたコイル、７はこれらを収納する容
器、１０は検出回路である。
提案されている。第３図はこのような圧力センサの一例
の断面図を示している。１は円環状の溝１ａが設けられ
た円柱状の軟磁性体で、２はその上部に配置された磁歪
を有する非晶質磁性合金円板、３は軟磁性体１と非晶質
磁性合金円板２との間に挿入された非磁性円板よりなる
スペーサであ。４はＯリング５と透孔６を有する蓋部で
あり、圧力導入口４ａを形成している。８は軟磁性体１
の溝１ａに巻装されたコイル、７はこれらを収納する容
器、１０は検出回路である。
圧力が圧力導入口４ａに加わると透孔６を通して圧力が
非晶質磁性合金円板２に加わり、これを溝１ａにおいて
押し下げ、非晶質磁性合金円板２内に応力が発生する。
非晶質磁性合金円板２に加わり、これを溝１ａにおいて
押し下げ、非晶質磁性合金円板２内に応力が発生する。
この内部応力の発生で磁歪効果により非晶質磁性合金の
透磁率が減少する。
透磁率が減少する。
この変化をコイル８を用いてインダクタンスの形で検出
し圧力を測定する様になっている。
し圧力を測定する様になっている。
第４図は第３図例に使用されるスペーサ３の一例で、溝
状孔３ｂにより内円板と外環状板とに分離されており、
両者がばらばらにならないよう架橋部３ａで結ばれてい
る。
状孔３ｂにより内円板と外環状板とに分離されており、
両者がばらばらにならないよう架橋部３ａで結ばれてい
る。
発明が解決しようとする問題点
上記の様な構成のセンサにおいては、架橋部３ａにおい
て非晶質磁性合金に複雑応力が加わりセンサの耐圧を著
しく減少させる。そこで架橋部３ａを無くせば良いが、
内円板の位置決めが極めて困難となり、そのためこのセ
ンサの感度を決定する受圧部分の溝状孔３ｂの幅が再現
性良（設定できなくなり、センサの特性に致命的な欠点
となってしまう。
て非晶質磁性合金に複雑応力が加わりセンサの耐圧を著
しく減少させる。そこで架橋部３ａを無くせば良いが、
内円板の位置決めが極めて困難となり、そのためこのセ
ンサの感度を決定する受圧部分の溝状孔３ｂの幅が再現
性良（設定できなくなり、センサの特性に致命的な欠点
となってしまう。
問題点を解決するための手段
非磁性円板の内円板と外環状板とを結ぶ架橋部をばね性
を有するようにする。
を有するようにする。
作用
架橋部がばね性を有することにより、組立時には内円板
と外環状板の位置関係が一定となり、使用時には圧力印
加により架橋部が弾性変形するので複雑な応力が非晶質
磁性合金に発生しない。
と外環状板の位置関係が一定となり、使用時には圧力印
加により架橋部が弾性変形するので複雑な応力が非晶質
磁性合金に発生しない。
実施例
第１図は本発明の一実施例である。同図（Ａ）において
１０は第４図従来例におけるスペーサ３に相当する非磁
性円板で、内円板１０ａと外環状板１０ｂが架橋部１０
ｃでつながっている。同図（Ｂ）は架橋している部分の
形状を表している。
１０は第４図従来例におけるスペーサ３に相当する非磁
性円板で、内円板１０ａと外環状板１０ｂが架橋部１０
ｃでつながっている。同図（Ｂ）は架橋している部分の
形状を表している。
架橋部１０ｃは内円板１０ａと外環状板１０ｂを単純に
結ぶのではなく湾曲した形状になっている。この構成で
は架橋部非晶質磁性合金円板が圧力により下方に押し下
げられても１０ｃは一種のばねのごと（変形する。
結ぶのではなく湾曲した形状になっている。この構成で
は架橋部非晶質磁性合金円板が圧力により下方に押し下
げられても１０ｃは一種のばねのごと（変形する。
センサ組立時には非磁性円板は架橋部１０ｃにより内円
板が外環状板の保持され所定の位置に固定されるので、
非磁性円板の溝状孔の幅は常に一定になり、センサ出力
の再現性が確保される。そして測定時には、架橋部１０
ｃばねのように変形し非晶質磁性合金に複雑な応力が発
生せずセンサ特性が安定しさら″に・は耐圧特性も良（
なる。
板が外環状板の保持され所定の位置に固定されるので、
非磁性円板の溝状孔の幅は常に一定になり、センサ出力
の再現性が確保される。そして測定時には、架橋部１０
ｃばねのように変形し非晶質磁性合金に複雑な応力が発
生せずセンサ特性が安定しさら″に・は耐圧特性も良（
なる。
第２図は架橋部の他実施例を示すものである。
（Ａ）は架橋部が付は根から斜め方向に湾曲している例
で、（Ｂ）は架橋部が途中２つに別れている例、（Ｃ）
は架橋部が円板と環状板の作る面にだいし上又は下の方
向にはみだし湾曲している例を示している。これらはい
ずれも圧力の印加にともなう非晶質磁性合金円板の変形
をそのばね性で吸収し非晶質磁性合金に複雑な応力が発
生しない。よって第１図実施例同様センサ特性が安定し
耐圧特性もよくなる。
で、（Ｂ）は架橋部が途中２つに別れている例、（Ｃ）
は架橋部が円板と環状板の作る面にだいし上又は下の方
向にはみだし湾曲している例を示している。これらはい
ずれも圧力の印加にともなう非晶質磁性合金円板の変形
をそのばね性で吸収し非晶質磁性合金に複雑な応力が発
生しない。よって第１図実施例同様センサ特性が安定し
耐圧特性もよくなる。
発明の効果
圧力による非晶質磁性合金円板の変形にたいしばねのよ
うに変形する架橋部をとることで、センサ組立時には非
磁性円板の溝状孔の幅は常に一定になり、センサ出力の
再現性が確保され、測定時には架橋部がばねのように変
形し非晶質磁性合金に複雑な応力が発生せずセンサ特性
が安定しさらには耐圧特性も良くなる。。
うに変形する架橋部をとることで、センサ組立時には非
磁性円板の溝状孔の幅は常に一定になり、センサ出力の
再現性が確保され、測定時には架橋部がばねのように変
形し非晶質磁性合金に複雑な応力が発生せずセンサ特性
が安定しさらには耐圧特性も良くなる。。
第１図（Ａ）は本発明の一実施例の圧力センサにおける
非磁性円板の平面図、同図（Ｂ）は同図（Ａ）における
要部の平面図、第２図（Ａ）〜第２図（ｃ）は本発明の
他の実施例における非磁性ρ 円板の平面図、第２図（辻）は第２図（ｃ）のＡ−Ａ’
断面図、第３図は従来例の圧力センサの断面図、第４図
は第３図の実施例における非磁性円板の平面図である。 １０・・・非磁性円板、１０ａ・・・内円板、１０ｂ・
・・外環状板、ｌｌｃ・・・架橋部。 代理人の氏名 弁理士 中尾敏男ほか１名猜１図 第２図 第３図 第４図
非磁性円板の平面図、同図（Ｂ）は同図（Ａ）における
要部の平面図、第２図（Ａ）〜第２図（ｃ）は本発明の
他の実施例における非磁性ρ 円板の平面図、第２図（辻）は第２図（ｃ）のＡ−Ａ’
断面図、第３図は従来例の圧力センサの断面図、第４図
は第３図の実施例における非磁性円板の平面図である。 １０・・・非磁性円板、１０ａ・・・内円板、１０ｂ・
・・外環状板、ｌｌｃ・・・架橋部。 代理人の氏名 弁理士 中尾敏男ほか１名猜１図 第２図 第３図 第４図
Claims (1)
- 円環状の溝が設けられた円柱状の軟磁性体と、前記軟磁
性体の溝に対応する溝状孔を有し前記溝状孔で分離され
た内円板と外環状板とより成る非磁性円板と、前記軟磁
性体と逆の側面で前記非磁性円板に接する少なくとも１
枚の磁歪を有する非晶質磁性合金円板と、前記軟磁性体
の溝に巻装されたコイルと、これらを保持する容器と、
前記非晶質磁性合金に接し圧力伝達媒質の流出を防ぐ手
段を有するとともに前記軟磁性体の溝に対応し前記非晶
質磁性合金円板に圧力を伝達する手段を有する蓋部とを
備え、前記非磁性円板の内円板と外環状板とを結ぶ架橋
部がばね性を有するよう構成されたことを特徴とする圧
力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5405786A JPS62211532A (ja) | 1986-03-12 | 1986-03-12 | 圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5405786A JPS62211532A (ja) | 1986-03-12 | 1986-03-12 | 圧力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62211532A true JPS62211532A (ja) | 1987-09-17 |
Family
ID=12959983
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5405786A Pending JPS62211532A (ja) | 1986-03-12 | 1986-03-12 | 圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62211532A (ja) |
-
1986
- 1986-03-12 JP JP5405786A patent/JPS62211532A/ja active Pending
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