JPS62175636A - 圧力センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は非晶質磁性合金の磁歪効果を用いた圧力センサ
に関するものである。

従来の技術 近年、非晶質磁性合金の磁歪効果を用いた圧力センサが
提案されている。第４図はこのような圧力センサの一例
を示している。１は円環状の溝１ａが設けられた円柱状
の軟磁性体で、２はその上部に配置された磁歪を有する
非晶質磁性合金円板、３は軟磁性体１と非晶質磁性合金
円板２との間に挿入された非磁性円板からなるスペーサ
である。４はＯリング５と透孔６を有する蓋部であり、
圧力導入口４ａを形成している。８は軟磁性体１の溝１
ａに巻装されたコイル、７はこれらを収納する容器、１
０は検出回路である。

圧力が圧力導入口４ａに加わると透孔６を通して圧力が
非晶質磁性合金円板２に加わり、これを軟磁性体１の溝
１８部において押し下げ、非晶質磁性合金円板１内に応
力が発生する。この内部応力の発生で磁歪効果により非
晶質磁性合金の透磁率が減少する。この変化をコイル８
を用いてインダクタンスの形で検出し圧力を測定する様
になっている。

力ゝ 発明功解決しようとする問題点 上記の様な構成のセンサにおいては、軟磁性体１と磁歪
を有する非晶質磁性合金円板２の間にあるスペーサ３を
構成する非磁性円板の位置により、磁気回路の磁気抵抗
が大きく影響を受ける。

これを防ぐためには軟磁性体１とスペーサ３との位置関
係を常に同一になるよう組立ればよい。例えば容器７の
内径にだいし軟磁性体１とスペーサ３の直径を十分近く
すればよい。しかしこのような寸法精度をだすためには
そのコストが高くなってしまう欠点がある。

問題点を解決するための手段 スペーサにおける、溝に対応する部分に、軟磁性体の溝
の方向に凸部を設け、軟磁性体と非晶質磁性合金円板の
間に挿入する。

作用 上記のようなスペーサを用いることにより、センサ組立
時にスペーサ凸部が軟磁性体の溝に落ち込みその結果軟
磁性体と非磁性円板のスペーサとの位置関係が一定にな
り磁気回路の安定化が計られ、センサのインダクタンス
値が安定になる。

実施例 第１図は本発明の一実施例の断面図である。１は円環状
の溝１ａが設けられた円柱状の軟磁性体で、２は磁歪を
有する非晶質磁性合金円板である。３は軟磁性体と非晶
質磁性合金円板の間に置かれた非磁性円板よりなるスペ
ーサで軟磁性体１の溝１ａに対し凸部３ａを有している
。このスペーサ３の形状を第２図に詳細に記す。軟磁性
体溝部方向に凸部が設けられている。これら三つの部材
は一つの閉磁路を構成している。第１図における４は、
圧力を伝達する透孔６を持ち油を阻止するＯリング５を
配置した蓋部であり、その上部が圧力導入口４ａとなっ
ている。７は容器で、蓋部４と共に先述の磁気回路を構
成する部材を収納保持している。８は軟磁性体の溝部の
中に設けられたコイルで先述の磁気回路のインダクタン
スの測定にもちいられる。９は検出回路である。

圧力が圧力導入口４ａより加わると圧力は透孔６を通し
て圧力が非晶質磁性合金に加わり、非晶質磁性合金を軟
磁性体溝部及びスペーサの小孔部分で下方に押し下げる
。これにより非晶質磁性合金円板内に応力が発生し、こ
の内部応力で磁歪効果によりを非晶質磁性合金の透磁率
が減少する。

この変化をコイル９を用いてインダクタンスの形で検出
し圧力を測定する。

センサ組立時には軟磁性体１の溝１ａにスペーサ３の凸
部が落ち込み、スペーサ３と軟磁性体との位置関係は常
に一定になり、磁気回路の安定化が計られ、センサのイ
ンダクタンス値が安定になる。またスペーサ３の凸部３
ａの裏側は凹部となり第２図（Ｂ）に示す。この溝幅ａ
は軟磁性体の溝幅に等しくできるので、センサの感度に
影響はない。

第３図は非磁性円板の他の形で、凸部３ｃに第３図（Ｂ
）に示すような穴がおいている。圧力の検出にはこの部
分は影響しないのでこのような構造でもよく、第２図の
非磁性円板同様な効果が得られる。

発明の効果 本発明によれば、軟磁性体の溝に対応する部分に軟磁性
体向きの溝部の方向に凸部を有する非磁性円板のスペー
サを用いることにより軟磁性体と非磁性円板の位置関係
が一定となり、磁気回路が安定し製造時のばらつきを極
めて小さくなる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例における圧力センサの断面図
、第２図（Ａ）及び（Ｂ）は第１図におけるスペーサの
各々平面図及び断面図、第３図（Ａ）及び（Ｂ）は第１
図におけるスペーサの他の実施例の各々平面図及び断面
図、第４図は従来の圧力センサの断面図である。　　□ ■・・・軟磁性体、１ａ・・・溝、２・・・磁歪を有す
る非晶質磁性合金円板、３・・・凸部を有する非磁性円
板、４・・・蓋部、４ａ・・・圧力導入口、５・・・０
リング、６・・・透孔、７・・・容器、８・・・コイル
、９・・・検出回路。 代理人の氏名　弁理士　中尾敏男はか１名篤１図 第２図 （八） ｏ− ＣＢ） ３巳 第３図 （Ａ） １１４図 ４（Ｌ工電導入口

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）円環状の溝が設けられた円柱状の軟磁性体と、前
   記軟磁性体の溝を有する面に接し、その軟磁性体の溝に
   対応する部分に軟磁性・体向きの凸部を有する非磁性円
   板と、前記軟磁性体と逆の面で前記非磁性円板に接する
   少なくとも１枚の磁歪を有する非晶質磁性合金円板と、
   前記軟磁性体の溝に巻装されたコイルと、これらを保持
   する容器と、前記非晶質磁性合金に接し圧力伝達媒質の
   流出を防ぐ手段を有するとともに、前記軟磁性体の溝に
   対応して前記非晶質磁性合金円板に圧力を伝達する手段
   を有する蓋部とを備えた圧力センサ。
2. （２）非磁性円板が前記軟磁性体の溝に対応する部分に
   細長い溝を有する事を特徴とする特許請求の範囲第１項
   記載の圧力センサ。