JPS628031A - 油圧センサ - Google Patents
油圧センサInfo
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- JPS628031A JPS628031A JP60147526A JP14752685A JPS628031A JP S628031 A JPS628031 A JP S628031A JP 60147526 A JP60147526 A JP 60147526A JP 14752685 A JP14752685 A JP 14752685A JP S628031 A JPS628031 A JP S628031A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/16—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in the magnetic properties of material resulting from the application of stress
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H10N35/101—Magnetostrictive devices with mechanical input and electrical output, e.g. generators, sensors
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、非晶質磁性合金の磁歪効果を応用した油圧セ
ンナに関するもので、特に高圧油圧の検出に適した油圧
センサに関する。
ンナに関するもので、特に高圧油圧の検出に適した油圧
センサに関する。
従来の技術
非晶質磁性合金の磁歪効果を用いた油圧センサにおいて
は例えば特開昭５９−１１１０３３号公報に記載の様な
発明があった。この技術においては非晶質合金ダイヤス
ラムを磁気回路としても直接利用し、非晶質磁性合金の
持つ３つの特徴すなわち、■ 機械的に極めて強い。（
引張強度が３００Ｋｇ／−以上に達するものもある。）
■ 化学的に均質な保護膜が形成されやすく耐蝕性が高
い■ 鉄系のものは大きな磁歪効果を有する、をうまく
利用していた。
は例えば特開昭５９−１１１０３３号公報に記載の様な
発明があった。この技術においては非晶質合金ダイヤス
ラムを磁気回路としても直接利用し、非晶質磁性合金の
持つ３つの特徴すなわち、■ 機械的に極めて強い。（
引張強度が３００Ｋｇ／−以上に達するものもある。）
■ 化学的に均質な保護膜が形成されやすく耐蝕性が高
い■ 鉄系のものは大きな磁歪効果を有する、をうまく
利用していた。
発明が解決しようとする問題点
前記の油圧センサの如き従来の技術においては、受圧ダ
イヤフラムとして磁歪を有する非晶質合金を単板で用い
るため高圧の油圧まで耐えられない欠点が有った。その
ため同一組成の非晶質合金を重ねる方法が考えられる。
イヤフラムとして磁歪を有する非晶質合金を単板で用い
るため高圧の油圧まで耐えられない欠点が有った。その
ため同一組成の非晶質合金を重ねる方法が考えられる。
しかしこの方法は磁歪効果の利用には支障がないが、受
圧ダイヤスラムとしでもっと適した組成（高強度、高耐
蝕性を有には、特願昭５９−１１８５０８号で示した様
に、直流磁界をトランスデユーサ部の検出用交流磁界に
重畳する必要があシ、同一組成の磁性を有する非晶質合
金を複数重ねた場合、直流磁界を最適な大きさにするた
め直流電流をコイルに多く流す必要が生じている。この
直流磁界は直接油圧センサの検出には使用されない余分
の電流を消費するものであり、この観点からも同一組成
の非晶質合金を重ねるのは適当でない。
圧ダイヤスラムとしでもっと適した組成（高強度、高耐
蝕性を有には、特願昭５９−１１８５０８号で示した様
に、直流磁界をトランスデユーサ部の検出用交流磁界に
重畳する必要があシ、同一組成の磁性を有する非晶質合
金を複数重ねた場合、直流磁界を最適な大きさにするた
め直流電流をコイルに多く流す必要が生じている。この
直流磁界は直接油圧センサの検出には使用されない余分
の電流を消費するものであり、この観点からも同一組成
の非晶質合金を重ねるのは適当でない。
問題点を解決するための手段
受圧ダイヤフラムを、磁性を有する非晶質合金及び磁性
を有しない非晶質合金を重ねた複数枚の非晶質板とする
。磁歪を有する一非晶質合金板は軟磁性体側に、磁性を
有しない非晶質合金は、蓋部側に配置する。
を有しない非晶質合金を重ねた複数枚の非晶質板とする
。磁歪を有する一非晶質合金板は軟磁性体側に、磁性を
有しない非晶質合金は、蓋部側に配置する。
作 用
受圧ダイヤフラムは従来の発明に比べ厚みが増すため油
圧に対するダイヤスラムの歪量が減少し、広い範囲の高
圧力まで測定が可能となる。さらに磁性のない非晶質合
金では、Ｃｒ、Ｍｏを多量に含ませたりＴｉ−Ｃｕ系の
アモルファス合金を利用したりすれば、均一保護膜が形
成され化学的に極めて安定にする事が出来る。その結果
腐蝕性物質が混入した油であっても使用に耐えられる様
になる。
圧に対するダイヤスラムの歪量が減少し、広い範囲の高
圧力まで測定が可能となる。さらに磁性のない非晶質合
金では、Ｃｒ、Ｍｏを多量に含ませたりＴｉ−Ｃｕ系の
アモルファス合金を利用したりすれば、均一保護膜が形
成され化学的に極めて安定にする事が出来る。その結果
腐蝕性物質が混入した油であっても使用に耐えられる様
になる。
また油圧センサの感度向上、温度特性向上のためトラン
スデユーサ部の検出用交流磁界に重畳する直流磁界につ
いては、受圧ダイヤフラムに加えられた非磁性非晶質合
金はこの直流磁界には全く無関係であるため、このため
のコイルに流す直流電流も増やす必要が無く、余分の電
流消費が無くなる。
スデユーサ部の検出用交流磁界に重畳する直流磁界につ
いては、受圧ダイヤフラムに加えられた非磁性非晶質合
金はこの直流磁界には全く無関係であるため、このため
のコイルに流す直流電流も増やす必要が無く、余分の電
流消費が無くなる。
実施例
４−図は本発明による油圧センサのトランスデユーサ部
の断面図である。１は磁歪を有する非晶質合金円板、２
は軟磁性フェライトでこの２つで磁気回路を構成してい
る。３は前記軟磁性フェライト２の円筒状溝２ａに対応
する部分に貫通した溝を有する金属スペーサで、これに
よシ磁気回路の安定化を計っている。４は軟磁性フェラ
イト２の円筒状溝２ａに装着されたコイルである。６は
磁歪を有する非晶質合金１の上に重ねられた磁性を有し
ない非晶質合金円板である。これらは円筒状の容器６に
収められ蓋部７により上方よシ固定される。８は油圧導
入口９から透孔１ｏを通じて浸入する→圧力媒質、油を
封じるためのｏリングである。１１はコイル４を用い、
油圧に応じて変化するトランスデユーサ部のインダクタ
ンスを検出する回路部である。
の断面図である。１は磁歪を有する非晶質合金円板、２
は軟磁性フェライトでこの２つで磁気回路を構成してい
る。３は前記軟磁性フェライト２の円筒状溝２ａに対応
する部分に貫通した溝を有する金属スペーサで、これに
よシ磁気回路の安定化を計っている。４は軟磁性フェラ
イト２の円筒状溝２ａに装着されたコイルである。６は
磁歪を有する非晶質合金１の上に重ねられた磁性を有し
ない非晶質合金円板である。これらは円筒状の容器６に
収められ蓋部７により上方よシ固定される。８は油圧導
入口９から透孔１ｏを通じて浸入する→圧力媒質、油を
封じるためのｏリングである。１１はコイル４を用い、
油圧に応じて変化するトランスデユーサ部のインダクタ
ンスを検出する回路部である。
油圧は導入口９より透孔１０を通じて非晶質合金円板１
及び６からなるダイヤフラム層に加えられる。応力の印
加に伴い非晶質合金中に歪が発生すると、磁歪を有する
非晶質合金円板１の透磁率が変化し、インダクタンス検
出回路１１により検出されるインダクタンス値が変化す
る。これにより油圧がインダクタンスの形で検出される
。
及び６からなるダイヤフラム層に加えられる。応力の印
加に伴い非晶質合金中に歪が発生すると、磁歪を有する
非晶質合金円板１の透磁率が変化し、インダクタンス検
出回路１１により検出されるインダクタンス値が変化す
る。これにより油圧がインダクタンスの形で検出される
。
加えられた油圧は非晶質合金層１及び５で受けられるた
め発生する歪は、非晶質合金円板１のみで受圧した場合
の数分の１にまで低下する。また当然歪が減少するため
破壊圧力も高まる。すなわち非晶質合金円板６を重ねた
ため測定可能な油圧が数倍大きくなる。この場合非晶質
合金円板５が結晶質のものでは弾性限界が低く、疎性変
形のため同様な効果は得がたい。
め発生する歪は、非晶質合金円板１のみで受圧した場合
の数分の１にまで低下する。また当然歪が減少するため
破壊圧力も高まる。すなわち非晶質合金円板６を重ねた
ため測定可能な油圧が数倍大きくなる。この場合非晶質
合金円板５が結晶質のものでは弾性限界が低く、疎性変
形のため同様な効果は得がたい。
さらに圧力媒質の油は非晶質合金円板５に接するだけな
のでこの非晶質合金を高耐触性を有する組成のものとす
る事により、腐蝕に対し極めて安定なものとなる。
のでこの非晶質合金を高耐触性を有する組成のものとす
る事により、腐蝕に対し極めて安定なものとなる。
また非晶質合金円板６は磁性を持たないので、磁気回路
としては、非晶質合金円板１と金属スペーサ３、及び軟
磁性体だけを考えればよい。すなわち検出回路１１から
コイル４を通じて見た磁気回路は非晶質合金円板６の枚
数とは無関係となり、油圧測定レンジを大きくするため
磁性を有しない非晶質合金円板６の枚数を増やしたとし
ても同一の検出回路が使用できる。
としては、非晶質合金円板１と金属スペーサ３、及び軟
磁性体だけを考えればよい。すなわち検出回路１１から
コイル４を通じて見た磁気回路は非晶質合金円板６の枚
数とは無関係となり、油圧測定レンジを大きくするため
磁性を有しない非晶質合金円板６の枚数を増やしたとし
ても同一の検出回路が使用できる。
この効果の袷、油圧センサの感度向上、温度特性向上の
ためトランスデユーサ部検出用交流磁界に重畳する直流
磁界を同一に保てることである。
ためトランスデユーサ部検出用交流磁界に重畳する直流
磁界を同一に保てることである。
この事は直接油圧センサの検出には使用されない余分の
電流の消費を抑制できる事を意味する。
電流の消費を抑制できる事を意味する。
発明の効果
受圧ダイヤフラムとして磁歪を有する非晶質合金と磁性
を有しない非晶質合金を用いる事により次の効果がある
。
を有しない非晶質合金を用いる事により次の効果がある
。
１ 高油圧まで測定可能となる。
２ 高耐触性を更に高める事ができる。
３ 測定油圧レンジに無関係に検出回路が構成でき、不
要な直流磁界の増加も防げる。
要な直流磁界の増加も防げる。
図は本発明の一実施例における油圧センサの断面図であ
る。 １・・・・・・磁歪を有する非晶質合金、２・・・・・
・軟磁性フェライト、３・・・・・・金属スペーサ、４
・・・・・・検出用コイル、５・・・・・・磁性を有し
ない非晶質合金、６・・・・・・容器、７・・・・・・
蓋部、８・・・・・・ｏリング、９・・・・・・油圧導
入口、１ｏ・・・・・・透孔、１１・・・・・・検出回
路。
る。 １・・・・・・磁歪を有する非晶質合金、２・・・・・
・軟磁性フェライト、３・・・・・・金属スペーサ、４
・・・・・・検出用コイル、５・・・・・・磁性を有し
ない非晶質合金、６・・・・・・容器、７・・・・・・
蓋部、８・・・・・・ｏリング、９・・・・・・油圧導
入口、１ｏ・・・・・・透孔、１１・・・・・・検出回
路。
Claims (1)
- 円環状の溝が設けられた円柱状の軟磁性体と、前記軟磁
性体溝部に対応する部分に帯状透孔を有し前記軟磁性体
溝部開口面に配置された金属板と、前記金属板の軟磁性
体面と逆の面に配置され金属板溝部を覆う磁歪を有する
少くとも一枚の非晶質合金板と、前記非晶質合金板の前
記金属板と逆の面に配置された少くとも一枚の磁性のな
い非晶質合金と、前記軟磁性体溝部に巻回されたコイル
と前記軟磁性体を保持する筒状容器と、前記磁性のない
非晶質合金板上でこれに接し、圧力伝達媒質を通す透孔
を有し圧力伝達媒質を封じるＯリングを装備した蓋部と
、前記コイルに接続された検出回路とを備えた油圧セン
サ。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60147526A JPS628031A (ja) | 1985-07-04 | 1985-07-04 | 油圧センサ |
| DE8686109042T DE3683413D1 (de) | 1985-07-04 | 1986-07-02 | Fluid-druckaufnehmer. |
| EP86109042A EP0207512B1 (en) | 1985-07-04 | 1986-07-02 | Fluid pressure sensor |
| US06/882,535 US4696192A (en) | 1985-07-04 | 1986-07-07 | Fluid pressure sensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60147526A JPS628031A (ja) | 1985-07-04 | 1985-07-04 | 油圧センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS628031A true JPS628031A (ja) | 1987-01-16 |
Family
ID=15432306
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60147526A Pending JPS628031A (ja) | 1985-07-04 | 1985-07-04 | 油圧センサ |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4696192A (ja) |
| EP (1) | EP0207512B1 (ja) |
| JP (1) | JPS628031A (ja) |
| DE (1) | DE3683413D1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018004491A (ja) * | 2016-07-04 | 2018-01-11 | 株式会社東栄科学産業 | 磁歪計測装置、磁歪計測方法 |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4937553A (en) * | 1986-11-14 | 1990-06-26 | Alfred Teves Gmbh | Electrohydraulic device for continuously monitoring the pressure in a hydraulic brake system for automotive vehicles |
| US4938069A (en) * | 1988-10-26 | 1990-07-03 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Pressure sensor |
| US5050135A (en) * | 1989-12-20 | 1991-09-17 | Unico, Inc. | Magnetostrictive multiple position sensing device |
| GB2263976A (en) * | 1992-01-31 | 1993-08-11 | Scient Generics Ltd | Pressure sensing utilising magnetostrictive material |
| JPH05296866A (ja) * | 1992-04-23 | 1993-11-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧力センサ |
| US5705751A (en) * | 1995-06-07 | 1998-01-06 | Setra Systems, Inc. | Magnetic diaphragm pressure transducer with magnetic field shield |
| US5751901A (en) * | 1996-07-31 | 1998-05-12 | Qualcomm Incorporated | Method for searching an excitation codebook in a code excited linear prediction (CELP) coder |
| WO2007009097A1 (en) * | 2005-07-13 | 2007-01-18 | Cidra Corporation | Method and apparatus for measuring parameters of a fluid flow using an array of sensors |
| EP3223429A1 (fr) * | 2016-03-24 | 2017-09-27 | The Swatch Group Research and Development Ltd. | Capteur de force, notamment pour une plaque de touche |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6022287B2 (ja) * | 1980-07-17 | 1985-06-01 | 松下電器産業株式会社 | 圧力センサ |
| US4625562A (en) * | 1984-06-08 | 1986-12-02 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Amorphous magnetic alloy sensor |
-
1985
- 1985-07-04 JP JP60147526A patent/JPS628031A/ja active Pending
-
1986
- 1986-07-02 DE DE8686109042T patent/DE3683413D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1986-07-02 EP EP86109042A patent/EP0207512B1/en not_active Expired
- 1986-07-07 US US06/882,535 patent/US4696192A/en not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018004491A (ja) * | 2016-07-04 | 2018-01-11 | 株式会社東栄科学産業 | 磁歪計測装置、磁歪計測方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0207512A2 (en) | 1987-01-07 |
| EP0207512A3 (en) | 1989-07-26 |
| DE3683413D1 (de) | 1992-02-27 |
| US4696192A (en) | 1987-09-29 |
| EP0207512B1 (en) | 1992-01-15 |
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