JPS6278260A - 導電性ポリエステル繊維の製造方法 - Google Patents
導電性ポリエステル繊維の製造方法Info
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- JPS6278260A JPS6278260A JP21312085A JP21312085A JPS6278260A JP S6278260 A JPS6278260 A JP S6278260A JP 21312085 A JP21312085 A JP 21312085A JP 21312085 A JP21312085 A JP 21312085A JP S6278260 A JPS6278260 A JP S6278260A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は歩行時に電撃を与えないカーペット、人体にま
つわりがない衣服、ホコリ付性が少なく散型現象のない
特殊作業衣等に用いられる、低湿度下においてもすぐれ
たg型持性を示すJg電性ポリエステル織訂1の製造方
法に関する。
つわりがない衣服、ホコリ付性が少なく散型現象のない
特殊作業衣等に用いられる、低湿度下においてもすぐれ
たg型持性を示すJg電性ポリエステル織訂1の製造方
法に関する。
(従来技術)
従来、イra導電性繊維としては■スパッタリング労°
の方法で金属アルミニウムを蒸着したアルミニラl−蒸
rt 機11[、(特Di1昭56−165070)、
■含金属ドープ浸漬法による金属塗布繊維(特開昭54
−84278) 、■機賄形成′性ポリマーに4電性企
居粉末をブレンドした金居粉末混合繊訂1(特開昭58
−109022) 、■化学メッキ法による銅Oニッケ
ルメツ−8−11t(t<特開昭53−701f)D)
および■導電性金属化合物を吸4?させたム訂1(特開
昭55−51873、特開昭55−107504)があ
るが、■は機維東の内部まで蒸着されないのでμ材であ
る繊維との密着性が不充分で耐久性に劣る、■は繊キイ
tとの密イ′?性不充分てlit摩耗性に劣る、高ジク
電性が得られない、■金属粉末をブレ/トするので製糸
性がわるくなる、糸質が変化しやすい、■はメツ・1−
処理前に1ス材繊霧11のエツヂング処理、触媒による
活性化処理のような複■1な工程と厳密な条件管理か要
求されるという欠点があり実用上の大きな問題になって
いる。■に示された技術は通弊゛の紡糸・延伸されたレ
ギュラーポリエステル機紐に応用されているためg市4
1企屈化合物(沃化銅)の吸着量が少なく充分ら導電効
果か得られないという欠点をイ「シテいる。
の方法で金属アルミニウムを蒸着したアルミニラl−蒸
rt 機11[、(特Di1昭56−165070)、
■含金属ドープ浸漬法による金属塗布繊維(特開昭54
−84278) 、■機賄形成′性ポリマーに4電性企
居粉末をブレンドした金居粉末混合繊訂1(特開昭58
−109022) 、■化学メッキ法による銅Oニッケ
ルメツ−8−11t(t<特開昭53−701f)D)
および■導電性金属化合物を吸4?させたム訂1(特開
昭55−51873、特開昭55−107504)があ
るが、■は機維東の内部まで蒸着されないのでμ材であ
る繊維との密着性が不充分で耐久性に劣る、■は繊キイ
tとの密イ′?性不充分てlit摩耗性に劣る、高ジク
電性が得られない、■金属粉末をブレ/トするので製糸
性がわるくなる、糸質が変化しやすい、■はメツ・1−
処理前に1ス材繊霧11のエツヂング処理、触媒による
活性化処理のような複■1な工程と厳密な条件管理か要
求されるという欠点があり実用上の大きな問題になって
いる。■に示された技術は通弊゛の紡糸・延伸されたレ
ギュラーポリエステル機紐に応用されているためg市4
1企屈化合物(沃化銅)の吸着量が少なく充分ら導電効
果か得られないという欠点をイ「シテいる。
(発明かh’1法しようとする問題点)本発明は
IHg宙↑′1物質と以訂1の密着t’l不充分による
耐久t’l不良 2)導電Fl物質付与による製糸性の低下3) )fj
電性物負イ・1与にイ゛rう工程の複雑化4)充分なる
導電性を付与するのに要求される多r、jの導電性物質
付与量 および導電性物質必要付与量を付与することの困難性。
耐久t’l不良 2)導電Fl物質付与による製糸性の低下3) )fj
電性物負イ・1与にイ゛rう工程の複雑化4)充分なる
導電性を付与するのに要求される多r、jの導電性物質
付与量 および導電性物質必要付与量を付与することの困難性。
(問題点を解決するための手段)
上記間に点を解決すべく鋭意研究の結手、本発明に到達
した。すなわち、主たる繰り返し単位がyテレ/テレフ
タレートである未延伸ポリエステル綴杆に沃詔を吸着さ
せ、次いで該沃素吸着繊維を無機および/または打機の
第一銅化合物を含む液で処理して該ポリエステル繊維中
に沃化第一銅を3自させることを特徴とする導電性ポリ
ニスアル繊釘1の製造方法である。
した。すなわち、主たる繰り返し単位がyテレ/テレフ
タレートである未延伸ポリエステル綴杆に沃詔を吸着さ
せ、次いで該沃素吸着繊維を無機および/または打機の
第一銅化合物を含む液で処理して該ポリエステル繊維中
に沃化第一銅を3自させることを特徴とする導電性ポリ
ニスアル繊釘1の製造方法である。
本発明でいう土たる繰返し単位がニゲ・し/ブレフタレ
ートであるポリニス】ル1ユ4「とは、85モル%以」
、がエヂレ/デレフタレー) !l’1位からなるもの
で、特にグ゛レフタル酸またはその機fIL的諷jj4
体とエチレングリコールまたはエチレンオキザイトとか
ら製造されるポリエチレンテレフタレートを土な対象と
するが、酸成分としてテレフタル酸またはその機能的誘
導体のほかに15モル%未満、好ましくは10モル%未
満のイソフタル酸、アジピン酸、セバヂン酸、アゼライ
ン酸、づづトール酸、p−オキシ安息香酸、2,5−ジ
メヂルテレフタル酸、ビス(p−カルボキシフェノ身・
シ)エタン、2,6−ナフタレンジカルボン酸、3.5
−ジ(カルボメトキシ)ベンゼンスルホン酸塩またはそ
れらの機能的誘導体等を加えるか、もしくはグリコール
成分として、エチレングリコールのほかにジエチレング
リコール、プロピレングリコール、1.4−ブタンジ」
−ル、1,4−ブタンジオール、l、4−ヒドロキシメ
チルシクロヘキサン等の2価アルコールを加えた共重合
体であってもよい。また例えば難燃性を付与するための
芳香族ポリホスホネートを加えた共重合体等であっても
さしつかえない。更にこれらの重合体に酸化防止/11
1、艶Jrj剤、着色剤、染色性向上剤、難燃性向上剤
、制電剤等を添加してもさしつかえない。本発明ていう
紡糸速度とは通常の紡糸装置において引き取りローラー
の巻き取り速度をいう。
ートであるポリニス】ル1ユ4「とは、85モル%以」
、がエヂレ/デレフタレー) !l’1位からなるもの
で、特にグ゛レフタル酸またはその機fIL的諷jj4
体とエチレングリコールまたはエチレンオキザイトとか
ら製造されるポリエチレンテレフタレートを土な対象と
するが、酸成分としてテレフタル酸またはその機能的誘
導体のほかに15モル%未満、好ましくは10モル%未
満のイソフタル酸、アジピン酸、セバヂン酸、アゼライ
ン酸、づづトール酸、p−オキシ安息香酸、2,5−ジ
メヂルテレフタル酸、ビス(p−カルボキシフェノ身・
シ)エタン、2,6−ナフタレンジカルボン酸、3.5
−ジ(カルボメトキシ)ベンゼンスルホン酸塩またはそ
れらの機能的誘導体等を加えるか、もしくはグリコール
成分として、エチレングリコールのほかにジエチレング
リコール、プロピレングリコール、1.4−ブタンジ」
−ル、1,4−ブタンジオール、l、4−ヒドロキシメ
チルシクロヘキサン等の2価アルコールを加えた共重合
体であってもよい。また例えば難燃性を付与するための
芳香族ポリホスホネートを加えた共重合体等であっても
さしつかえない。更にこれらの重合体に酸化防止/11
1、艶Jrj剤、着色剤、染色性向上剤、難燃性向上剤
、制電剤等を添加してもさしつかえない。本発明ていう
紡糸速度とは通常の紡糸装置において引き取りローラー
の巻き取り速度をいう。
本発明でいう未延伸繊維とは紡糸の後通n゛の延伸工程
による延伸処理を施さない繊維であるが好ましくは、具
体的には複屈折率(八〇)が0.03〜0、 l50)
fi <IIをいう。
による延伸処理を施さない繊維であるが好ましくは、具
体的には複屈折率(八〇)が0.03〜0、 l50)
fi <IIをいう。
紡糸した後、通常の延伸を行なうと、沃素の吸着X11
か低く本発明の目的とする繊維を得ることがてきない。
か低く本発明の目的とする繊維を得ることがてきない。
次に当該組紐に沃化第一銅を含イfさせるには先づ、K
、、t*IIに1ス・素を吸着させ次いで第一銅化合物
と反応させる。
、、t*IIに1ス・素を吸着させ次いで第一銅化合物
と反応させる。
L釘1に沃素を吸着させるには神々の方法がある。例え
ば、L天l;水溶液または沃読、イ1槻溶謀溶i+に中
で該a tel、を処理する方法、または11索ガス中
て該繊維を処理する方法等かある。このうち、沃素水溶
i1に中で処理する方法か最も容易で好ましい。
ば、L天l;水溶液または沃読、イ1槻溶謀溶i+に中
で該a tel、を処理する方法、または11索ガス中
て該繊維を処理する方法等かある。このうち、沃素水溶
i1に中で処理する方法か最も容易で好ましい。
iX !t:は水への溶解度が低い為に水溶液とするに
は11化り°トリウム、沃化カリウム、法化アンモニウ
ム等の沃化物等を溶解剤として用いると水への沃素の溶
解が容易となる。
は11化り°トリウム、沃化カリウム、法化アンモニウ
ム等の沃化物等を溶解剤として用いると水への沃素の溶
解が容易となる。
該a紐中に沃素を吸着させる処理条件すなわち沃Jt¥
濃度、処理液温度、処理時間は、仔わに選べば良い。
濃度、処理液温度、処理時間は、仔わに選べば良い。
υwU中に吸着された沃素と第一羽化合物を反応させて
11化第−銅を繊維中に生成させるには11メ:を吸4
’7 LkU維を、第一銅化合物水溶液中で処理するこ
とが好ましい。第一銅化合物水溶液としては、第一銅化
合物の水溶液または、第二銅化合物と還元剤を水に溶解
したものでもよい。
11化第−銅を繊維中に生成させるには11メ:を吸4
’7 LkU維を、第一銅化合物水溶液中で処理するこ
とが好ましい。第一銅化合物水溶液としては、第一銅化
合物の水溶液または、第二銅化合物と還元剤を水に溶解
したものでもよい。
本発明は未延伸糸に11 Xを吸着させつづいて延伸す
ることな(第一銅化合物と反応させu 1111内にン
刀化第〜・銅を生成させるものであるが、沃化第一銅含
イr繊維は未延伸のまま用いてもよいし、必要により延
伸して用いてもよい。
ることな(第一銅化合物と反応させu 1111内にン
刀化第〜・銅を生成させるものであるが、沃化第一銅含
イr繊維は未延伸のまま用いてもよいし、必要により延
伸して用いてもよい。
(作 用)
本発明においては、未延伸ポリエステル繊維に1刀Z:
を彰着させ、その後第一銅化合物水溶液処理することに
より効率よく多量の沃化銅が繊維中に生成する。
を彰着させ、その後第一銅化合物水溶液処理することに
より効率よく多量の沃化銅が繊維中に生成する。
鉦仲されていないポリエステル繊維を出発物質とするこ
とにより通常の延伸糸に比較して効率よくかつ多量に沃
化銅がt!1維中に生成される理由について考察すると
、当該峨紐、では、高濃度の1ス・、÷:Q’i イ”
lか以オイ1の表面層にそって同心固状に起こることに
より、第一銅化合物と沃素との反応が効率的に起る創1
.果、効率よくかつ多量に沃化第一銅か生成するものと
考える。それに対して通常の延伸糸では、沃素の吸着が
少なく、シたがって、沃化銅への転換効率も悪くなる。
とにより通常の延伸糸に比較して効率よくかつ多量に沃
化銅がt!1維中に生成される理由について考察すると
、当該峨紐、では、高濃度の1ス・、÷:Q’i イ”
lか以オイ1の表面層にそって同心固状に起こることに
より、第一銅化合物と沃素との反応が効率的に起る創1
.果、効率よくかつ多量に沃化第一銅か生成するものと
考える。それに対して通常の延伸糸では、沃素の吸着が
少なく、シたがって、沃化銅への転換効率も悪くなる。
このことは沃化第一銅が生成した両総計の断面を透過型
電子顕微鏡で観察することによりうかがえる。(写真1
、写真2、写真3) 写〕′Lは喬哉維断面の透過型?h子顕微鏡写」゛して
ある。写真のj、jj色部分は1′J、化第−銅のイi
イI4示している。黒色部分か沃化第一・銅であること
は、写」°L3の1.11色部分に4.確の存在を示す
X腺マイク「1アリライザーによる銅の特性X線エネル
ギーピークか(銅のKa腺を示ず8. O/I KcV
のエネルギー準位で)みられることにより証明される。
電子顕微鏡で観察することによりうかがえる。(写真1
、写真2、写真3) 写〕′Lは喬哉維断面の透過型?h子顕微鏡写」゛して
ある。写真のj、jj色部分は1′J、化第−銅のイi
イI4示している。黒色部分か沃化第一・銅であること
は、写」°L3の1.11色部分に4.確の存在を示す
X腺マイク「1アリライザーによる銅の特性X線エネル
ギーピークか(銅のKa腺を示ず8. O/I KcV
のエネルギー準位で)みられることにより証明される。
以ド実施例で本発明を具体的に説明するか得られた導電
t’l繊訂1の導電性の測定及びd龜訂1に吸イ′1さ
れている沃J:および7刀化第−銅の量は下記の方tノ
、に従った。
t’l繊訂1の導電性の測定及びd龜訂1に吸イ′1さ
れている沃J:および7刀化第−銅の量は下記の方tノ
、に従った。
η ;h +’+ 7111 定 1人マルチフィ
ラメント糸の一定長さく 1 (、lfl )の電気(
1(抗R(Ω)を超絶縁抵抗器(横河ヒユーレットバッ
カーF社製4329A)を用いて、l OV印加条(’
lでδ111定した。マルチフィラメントの断面積△(
Cよ)を断面写fLから求めた。抵抗と断面Jbiの比
から4電率(σ= l/RX C/八)を求めた。
ラメント糸の一定長さく 1 (、lfl )の電気(
1(抗R(Ω)を超絶縁抵抗器(横河ヒユーレットバッ
カーF社製4329A)を用いて、l OV印加条(’
lでδ111定した。マルチフィラメントの断面積△(
Cよ)を断面写fLから求めた。抵抗と断面Jbiの比
から4電率(σ= l/RX C/八)を求めた。
吸着+、j ?!III定方法
■沃素吸ri量:未処理の繊維を秤量した後、吸ri処
理〜乾燥後、秤ML、沃素後む量を求めた。
理〜乾燥後、秤ML、沃素後む量を求めた。
■第1沃化銅吸首量:■で得られた絵紛に第2処理を行
なった後、焼成し、酸化第二銅を灰分として得る。得ら
れた酸化第二銅の重Utから吸着していた沃化第一銅の
含有率を化学量論的に求めた。
なった後、焼成し、酸化第二銅を灰分として得る。得ら
れた酸化第二銅の重Utから吸着していた沃化第一銅の
含有率を化学量論的に求めた。
実施例 1゜
フェノール/fトラクロロエタンのG/4(ITt量部
)混合溶液中で30℃における固有粘度(η)(以下単
に(η)と表わす)が0.59のポリエチレンテレフタ
レートを紡糸温度297℃で孔径0.38關φ、孔数2
4の紡糸口金より紡:11シ、−i:−ン去によりエア
クエンチしつつ、油剤をイ・1勺し、5500■/分の
速度で引きとって99d/24fの!!紐を得た。
)混合溶液中で30℃における固有粘度(η)(以下単
に(η)と表わす)が0.59のポリエチレンテレフタ
レートを紡糸温度297℃で孔径0.38關φ、孔数2
4の紡糸口金より紡:11シ、−i:−ン去によりエア
クエンチしつつ、油剤をイ・1勺し、5500■/分の
速度で引きとって99d/24fの!!紐を得た。
このようにして得られた繊維5gをかせ巻きにろさとり
、沃素120gおよび沃化カリウム80g1水200■
ぐの水溶液中で70℃20分間沃Z:吸盾処理を施した
後、沃化カリウム水溶液で洗浄した後、水染、風乾し、
沃素後r; m illを得た。
、沃素120gおよび沃化カリウム80g1水200■
ぐの水溶液中で70℃20分間沃Z:吸盾処理を施した
後、沃化カリウム水溶液で洗浄した後、水染、風乾し、
沃素後r; m illを得た。
得られた沃素吸着繊維を、塩化第一銅Gfr、地化γン
モニウノ、20g5水150gの水Hi&中で70℃、
30分間処理した後、塩化アンモニラ!・ □水溶
i4にで洗I争次いで水洗、風乾して1ズ化第−銅を沈
イ′1したα11を得た。この時のiズ化第−銅の含有
率は、’l RjTt、f)パーセントであった。
モニウノ、20g5水150gの水Hi&中で70℃、
30分間処理した後、塩化アンモニラ!・ □水溶
i4にで洗I争次いで水洗、風乾して1ズ化第−銅を沈
イ′1したα11を得た。この時のiズ化第−銅の含有
率は、’l RjTt、f)パーセントであった。
また得られた沃化第一銅を沈着した繊維の導電率はI
O−’ S−cwa−’ (10V印加時)であった
。
O−’ S−cwa−’ (10V印加時)であった
。
比較例
実施例1と同様のポリエチレンテレフタレート (
を紡jffl1300m/分で引きとった後、37倍に
延伸し □た( 99d/24r)。このα訂1に
実施例1と同様の11Z、吸j′1処理および沃化第−
銅沈釘処理を施した。
を紡jffl1300m/分で引きとった後、37倍に
延伸し □た( 99d/24r)。このα訂1に
実施例1と同様の11Z、吸j′1処理および沃化第−
銅沈釘処理を施した。
結果を第1表に示す。
実施例1で得られた繊維を手もみ10回してからJμ電
?I+を測定したが導電率の低下は殆んどろられなかっ
た。
?I+を測定したが導電率の低下は殆んどろられなかっ
た。
一方、市販銅メツキ布帛を同様手もみ10回して導電性
(表面抵抗)を測定した。手もみ前は10″ Ωであっ
たものが手もみ後は10@Ωに低下した。手もみ前後の
線維表面の銅メッキ伏簿を光学題敬鏡で観察すると手も
み前は連続したメッキ層がみられたが手もみ後はメッキ
層が禿げて不連続になっていた。
(表面抵抗)を測定した。手もみ前は10″ Ωであっ
たものが手もみ後は10@Ωに低下した。手もみ前後の
線維表面の銅メッキ伏簿を光学題敬鏡で観察すると手も
み前は連続したメッキ層がみられたが手もみ後はメッキ
層が禿げて不連続になっていた。
表 −1
本発明によるとき、導電性を付与するに必要な沃化第一
銅を容易に繊維に含有させることができ充分な導電性の
得られることがわかる。
銅を容易に繊維に含有させることができ充分な導電性の
得られることがわかる。
実施例 2
実施例1と同様のポリエチレンテレフタレートを、紡糸
温度297℃、孔径0.38 amφ、孔数24の紡糸
「1金より紡出し、常法エアクエンチしつつ、油剤を付
与し、A ; GOOO口/分; 13.4200I1
分、C; 3200m/分の速度で引きとった。130
0■/分で引きとった後、3.7倍に熱伸したIJ 維
りも同時に作成した。
温度297℃、孔径0.38 amφ、孔数24の紡糸
「1金より紡出し、常法エアクエンチしつつ、油剤を付
与し、A ; GOOO口/分; 13.4200I1
分、C; 3200m/分の速度で引きとった。130
0■/分で引きとった後、3.7倍に熱伸したIJ 維
りも同時に作成した。
このようにして得られた99d/24rの線維を沃系処
理した後、実施例1と同様の方法で洗浄後、塩化第一銅
処理した。この時の沃素吸着量、沃化第一銅の含訂量お
よび導電率を第2表に示した。
理した後、実施例1と同様の方法で洗浄後、塩化第一銅
処理した。この時の沃素吸着量、沃化第一銅の含訂量お
よび導電率を第2表に示した。
以 下 余 白
本発明の方法に従うとき目標沃化第一銅の(」与が容易
でありすぐれた導電性が得られることが明らかである。
でありすぐれた導電性が得られることが明らかである。
図面はLK断面の透過型電子顕微鏡写r〔である。写真
の黒色部分が沃化第一銅の存在を示している。第1図は
本発明による導電性繊維(表−2実施例4で得°られた
繊維)の断面写真である。 第2図は従来技術による導電繊維(表−2、比較例2で
得られた繊維)の断面写真を示している。 第3図は該導電性総組の断面写真で示される9、1色部
分が沃化第一銅であることを証明するためのX桿マイク
ロアナライザーによる銅のKa腺である8、 04 K
cVのエネルギー準位をX線を照射した時に得られる特
性エネルギービークを黒色部分と対特許出願人 東洋
紡績株式会社 ゛゛ ・ ′・い7ン・5jなしj 昂1 z 入 2 に5.3 Ml 手続補正書(方式) %式%] 1、 事件の表示 昭和60年特許願m213120号 2 発明の名称 I!3電性ポリエステル繊維の製造方法3 補正をする
者 事件との関係 特許出願人 大阪市北区堂鳥浜二丁目2番8号 昭和61年1月8日 (発送日:昭和61年1月28日) 、中。 図 面 Q 補正の内容 願古に添付した図面を、全図を通じて連続番号を(m1
図、第2図、!3mと) 記入t、1111Eとさしか
えます。 7、 添付書類の目録
の黒色部分が沃化第一銅の存在を示している。第1図は
本発明による導電性繊維(表−2実施例4で得°られた
繊維)の断面写真である。 第2図は従来技術による導電繊維(表−2、比較例2で
得られた繊維)の断面写真を示している。 第3図は該導電性総組の断面写真で示される9、1色部
分が沃化第一銅であることを証明するためのX桿マイク
ロアナライザーによる銅のKa腺である8、 04 K
cVのエネルギー準位をX線を照射した時に得られる特
性エネルギービークを黒色部分と対特許出願人 東洋
紡績株式会社 ゛゛ ・ ′・い7ン・5jなしj 昂1 z 入 2 に5.3 Ml 手続補正書(方式) %式%] 1、 事件の表示 昭和60年特許願m213120号 2 発明の名称 I!3電性ポリエステル繊維の製造方法3 補正をする
者 事件との関係 特許出願人 大阪市北区堂鳥浜二丁目2番8号 昭和61年1月8日 (発送日:昭和61年1月28日) 、中。 図 面 Q 補正の内容 願古に添付した図面を、全図を通じて連続番号を(m1
図、第2図、!3mと) 記入t、1111Eとさしか
えます。 7、 添付書類の目録
Claims (1)
- 主たる繰返し単位がエチレンテレフタレートである未延
伸ポリエステル繊維に沃素を吸着させ、次いで該沃素吸
着繊維を無機および/または有機の第一銅化合物を含む
液で処理して該ポリエステル繊維中に沃化第一銅を含有
させることを特徴とする導電性ポリエステル繊維の製造
方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21312085A JPS6278260A (ja) | 1985-09-26 | 1985-09-26 | 導電性ポリエステル繊維の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21312085A JPS6278260A (ja) | 1985-09-26 | 1985-09-26 | 導電性ポリエステル繊維の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6278260A true JPS6278260A (ja) | 1987-04-10 |
Family
ID=16633906
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP21312085A Pending JPS6278260A (ja) | 1985-09-26 | 1985-09-26 | 導電性ポリエステル繊維の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6278260A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5399233A (en) * | 1991-12-05 | 1995-03-21 | Fujitsu Limited | Method of and apparatus for manufacturing a semiconductor substrate |
US6910955B2 (en) | 2000-03-27 | 2005-06-28 | Teijin Seiki Co., Ltd. | Rotary drive device of a polishing device |
JP2010031423A (ja) * | 2008-07-30 | 2010-02-12 | Suminoe Textile Co Ltd | 導電繊維及びその製造方法 |
-
1985
- 1985-09-26 JP JP21312085A patent/JPS6278260A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5399233A (en) * | 1991-12-05 | 1995-03-21 | Fujitsu Limited | Method of and apparatus for manufacturing a semiconductor substrate |
US6910955B2 (en) | 2000-03-27 | 2005-06-28 | Teijin Seiki Co., Ltd. | Rotary drive device of a polishing device |
JP2010031423A (ja) * | 2008-07-30 | 2010-02-12 | Suminoe Textile Co Ltd | 導電繊維及びその製造方法 |
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