JPS627696B2 - - Google Patents
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- JPS627696B2 JPS627696B2 JP56156663A JP15666381A JPS627696B2 JP S627696 B2 JPS627696 B2 JP S627696B2 JP 56156663 A JP56156663 A JP 56156663A JP 15666381 A JP15666381 A JP 15666381A JP S627696 B2 JPS627696 B2 JP S627696B2
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- JP
- Japan
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- supply
- section
- ics
- tray
- measured
- Prior art date
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-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/10—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof using carriers specially adapted therefor, e.g. front opening unified pods [FOUP]
- H10P72/16—Trays for chips
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Chutes (AREA)
- Sorting Of Articles (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は半導体装置の製造工程に於て、その半
導体装置の組立完了後、その機能をチエツクし、
良品、不良品に分ける為の選別装置に関する。
導体装置の組立完了後、その機能をチエツクし、
良品、不良品に分ける為の選別装置に関する。
この選別作業は一般に、被測定物の機械的ハン
ドリングを行うオートハンドラーと、その電気的
機能チエツクを行うテスターとが対となつて行わ
れる。
ドリングを行うオートハンドラーと、その電気的
機能チエツクを行うテスターとが対となつて行わ
れる。
本発明は、特にこのオートハンドラーに関する
ものであり、半導体装置の中でも特にDIP型集積
回路装置の選別作業に用いられて、その効果を発
揮するものである。
ものであり、半導体装置の中でも特にDIP型集積
回路装置の選別作業に用いられて、その効果を発
揮するものである。
第１図及び第３図は従来の選別装置に使用され
ているオートハンドラーの構造図である。
ているオートハンドラーの構造図である。
即ち第１図のオートハンドラーでは、被測定物
であるDIP型集積回路装置１（以下ICと記す）は
図に示す様な状態で、約30度に傾斜した供給レー
ル２にセツトされる。そしてIC１はこの供給レ
ール２を重力ですべり降り、測定部３へ搬送さ
れ、そこでテスター４と電気的接続がなされ、機
能チエツクがなされる。そしてその後ターレツト
５にて傾斜した収納レール６に良否に分類されて
収納される。又この種の装置の供給部及び収納部
は第２図の詳細な説明図に示す如く、IC１は一
般的に８〜16本の複数列に並んだ供給レール２−
１〜２−１６にセツトされ、コンベア−状のキヤ
リヤー７により測定部３のレール箇所のガイド８
に運ばれ、測定され、測定済品は分類シヤトル９
に排出され、分類結果に従い収納レール６−１〜
６−１６に収納される構造である。
であるDIP型集積回路装置１（以下ICと記す）は
図に示す様な状態で、約30度に傾斜した供給レー
ル２にセツトされる。そしてIC１はこの供給レ
ール２を重力ですべり降り、測定部３へ搬送さ
れ、そこでテスター４と電気的接続がなされ、機
能チエツクがなされる。そしてその後ターレツト
５にて傾斜した収納レール６に良否に分類されて
収納される。又この種の装置の供給部及び収納部
は第２図の詳細な説明図に示す如く、IC１は一
般的に８〜16本の複数列に並んだ供給レール２−
１〜２−１６にセツトされ、コンベア−状のキヤ
リヤー７により測定部３のレール箇所のガイド８
に運ばれ、測定され、測定済品は分類シヤトル９
に排出され、分類結果に従い収納レール６−１〜
６−１６に収納される構造である。
又第３図に示す構造のオートハンドラーでは、
被測定物であるIC１は同図に示す様な状態で、
筒状のトレー１０に入れられ装置の供給部１１に
セツトされる。そしてIC１は傾斜した搬送レー
ル１２により測定部３に運ばれ、機能チエツクが
なされた後、良品はその収納部１４にセツトされ
た空の筒状トレー１０に収納される。又不良品
は、一般には測定部３から収納部１４までのレー
ルの途中で他の部分へ排出されるものである。又
この様な構造の装置の供給部１１では、第４図に
示す如く、筒状のトレー１０を縦方向に積み重
ね、最下段のトレー１０−１に入つているIC１
を測定部３へ順次供給し、その中のICがなくな
つたら、矢印Ａの方向にそのトレーを排除し、そ
の上のトレー１０−２を下方へ落し、その中の
ICを再び順次測定部へ供給していくものであ
り、この様な構造の場合一度にセツト出来る筒状
トレーの数は、一般には20〜30本程度である。
被測定物であるIC１は同図に示す様な状態で、
筒状のトレー１０に入れられ装置の供給部１１に
セツトされる。そしてIC１は傾斜した搬送レー
ル１２により測定部３に運ばれ、機能チエツクが
なされた後、良品はその収納部１４にセツトされ
た空の筒状トレー１０に収納される。又不良品
は、一般には測定部３から収納部１４までのレー
ルの途中で他の部分へ排出されるものである。又
この様な構造の装置の供給部１１では、第４図に
示す如く、筒状のトレー１０を縦方向に積み重
ね、最下段のトレー１０−１に入つているIC１
を測定部３へ順次供給し、その中のICがなくな
つたら、矢印Ａの方向にそのトレーを排除し、そ
の上のトレー１０−２を下方へ落し、その中の
ICを再び順次測定部へ供給していくものであ
り、この様な構造の場合一度にセツト出来る筒状
トレーの数は、一般には20〜30本程度である。
即ち、この様な従来型の装置に於ては、第１に
その供給部からのICの搬出及び収納部への収納
が全て重力による搬送であることから、特に供給
部分及び収納部分に、各工程間で共通して使用さ
れる筒状トレーを使用した場合、そのトレーが少
しでも曲つたり変形していた場合、中のICは全
部が排出されず、装置にかけたはずのICが測定
されずにそのままトレーの中に残つてしまうとい
う不都合が生じていた。即ちこれは、製品として
出荷されるICが測定も受けずに良品として出荷
される危険性を含むものであり、装置としては重
大欠点となつていた。
その供給部からのICの搬出及び収納部への収納
が全て重力による搬送であることから、特に供給
部分及び収納部分に、各工程間で共通して使用さ
れる筒状トレーを使用した場合、そのトレーが少
しでも曲つたり変形していた場合、中のICは全
部が排出されず、装置にかけたはずのICが測定
されずにそのままトレーの中に残つてしまうとい
う不都合が生じていた。即ちこれは、製品として
出荷されるICが測定も受けずに良品として出荷
される危険性を含むものであり、装置としては重
大欠点となつていた。
又第２には、これを第１図で説明すると、収納
部では、先に測定収納されているIC１−１に、
次に測定収納されたIC１−２がその収納レール
６上でぶつかり合うことになる。そして搬送方法
は重力によつていることから、レールの下部では
ICの降下スピードが早く、このIC同志のぶつか
り合いにより、もろく、欠け易いセラミツクパツ
ケージのICは、その外形に割れやクラツクが生
じ、機能的には良品でも、寿命の短かいICとな
つてしまうという不都合があつた。即ちこれは
ICの信頼性を落すものであり、装置としては重
大欠点である。又特に第１図の構造の装置に於
て、第２図に示す如く、その供給レール２を専用
パレツト１６とした場合、ICは工程間に用いる
筒状トレー１０からその専用パレツト１６の供給
レール２−４に一度に流し込まれる様になる。即
ちこの場合筒状トレー１０に入つたIC１は一度
に供給レール２−４に落し込まれることから、前
記の様なIC同志のぶつかり合いはよりはげしく
なり、ICパツケージの割れやクラツクは、より
発生し易すくなるものである。
部では、先に測定収納されているIC１−１に、
次に測定収納されたIC１−２がその収納レール
６上でぶつかり合うことになる。そして搬送方法
は重力によつていることから、レールの下部では
ICの降下スピードが早く、このIC同志のぶつか
り合いにより、もろく、欠け易いセラミツクパツ
ケージのICは、その外形に割れやクラツクが生
じ、機能的には良品でも、寿命の短かいICとな
つてしまうという不都合があつた。即ちこれは
ICの信頼性を落すものであり、装置としては重
大欠点である。又特に第１図の構造の装置に於
て、第２図に示す如く、その供給レール２を専用
パレツト１６とした場合、ICは工程間に用いる
筒状トレー１０からその専用パレツト１６の供給
レール２−４に一度に流し込まれる様になる。即
ちこの場合筒状トレー１０に入つたIC１は一度
に供給レール２−４に落し込まれることから、前
記の様なIC同志のぶつかり合いはよりはげしく
なり、ICパツケージの割れやクラツクは、より
発生し易すくなるものである。
又第３には、従来の方式では、供給部にストツ
クされるICの数はレールの本数又は筒状トレー
の本数で16本〜30本程度であり、これは一般的な
１４ピン、１６ピンのICの個数にして300個から
750個程度である。よつてもしICの測定時間を１
秒とすると、300秒から750秒に１回は、IC即ち
トレーの交換又は追加を行う必要があり、作業に
従事する人間は非常に忙しく、作業者１人で操作
出来る装置の台数は１〜２台程度となつてしま
い、その作業能率は悪いというのが現状であつ
た。
クされるICの数はレールの本数又は筒状トレー
の本数で16本〜30本程度であり、これは一般的な
１４ピン、１６ピンのICの個数にして300個から
750個程度である。よつてもしICの測定時間を１
秒とすると、300秒から750秒に１回は、IC即ち
トレーの交換又は追加を行う必要があり、作業に
従事する人間は非常に忙しく、作業者１人で操作
出来る装置の台数は１〜２台程度となつてしま
い、その作業能率は悪いというのが現状であつ
た。
本発明は、この様な現状装置の欠点をなくし、
選別品の信頼性を向上させ、又その作業能力を著
しく向上させる装置を提供するものであり、以下
に詳しく説明を行う。
選別品の信頼性を向上させ、又その作業能力を著
しく向上させる装置を提供するものであり、以下
に詳しく説明を行う。
第５図は本発明の一実施例を示す構造図であ
る。同図に於て、本体部は１８であり、供給収納
部は１９である。即ち図面に於て、これから測定
されるIC１は、一般的には15連程度にまとめら
れた平面状トレー２１に入れられ、供給収納部１
９の供給部分２２に一度に10段程度セツトされ
る。そして、その最下段の平面状トレー２１−１
位置にはトレー内部のICをひつかけて強制的に
送り出す供給スイーパー２３があり、それはトレ
ー内のICを本体部１８へ強制的に送り出す。又
本体部１８には、回転傾斜機構により水平にもな
りかつ傾斜することも出来る供給パレツト２４が
あり、先ず水平位置ａにて供給部分２２からの
ICの供給を受け、その後に傾斜しｂの如き状態
となる。第７図の斜視図に供給パレツトの状態を
示す。供給パレツト２４の下端には、上下方向に
運動するストツプピン３７が各レーン毎に貫通し
て設置されており、ストツピン３７が下りた状態
ではICはレーン内に留まつている。この各レー
ン毎に動くストツプピン３７が上がるとレーン内
の下端のICがコンベア状のキヤリア７上に排出
され、キヤリア７が横方向（矢印方向）に動くこ
とによつてキヤリア７上のICはガイド８に導か
れる。レーン内のICが全部排出されたら、順次
隣のレーンのストツプピンが上がり、トレー内の
全ICをキヤリア上に排出して行く。その後、主
として重力によりICをその測定部３へ搬送す
る。
る。同図に於て、本体部は１８であり、供給収納
部は１９である。即ち図面に於て、これから測定
されるIC１は、一般的には15連程度にまとめら
れた平面状トレー２１に入れられ、供給収納部１
９の供給部分２２に一度に10段程度セツトされ
る。そして、その最下段の平面状トレー２１−１
位置にはトレー内部のICをひつかけて強制的に
送り出す供給スイーパー２３があり、それはトレ
ー内のICを本体部１８へ強制的に送り出す。又
本体部１８には、回転傾斜機構により水平にもな
りかつ傾斜することも出来る供給パレツト２４が
あり、先ず水平位置ａにて供給部分２２からの
ICの供給を受け、その後に傾斜しｂの如き状態
となる。第７図の斜視図に供給パレツトの状態を
示す。供給パレツト２４の下端には、上下方向に
運動するストツプピン３７が各レーン毎に貫通し
て設置されており、ストツピン３７が下りた状態
ではICはレーン内に留まつている。この各レー
ン毎に動くストツプピン３７が上がるとレーン内
の下端のICがコンベア状のキヤリア７上に排出
され、キヤリア７が横方向（矢印方向）に動くこ
とによつてキヤリア７上のICはガイド８に導か
れる。レーン内のICが全部排出されたら、順次
隣のレーンのストツプピンが上がり、トレー内の
全ICをキヤリア上に排出して行く。その後、主
として重力によりICをその測定部３へ搬送す
る。
そして測定されたICは、回転するターレツト
５により再び水平方向に向けられ、圧力空気等に
より分配器２７へ運ばれる。そして分配器２７は
その測定結果に従い左右に動きプツシユロツドに
よりICを本体部の一時保管パレツト２８へ収納
する。
５により再び水平方向に向けられ、圧力空気等に
より分配器２７へ運ばれる。そして分配器２７は
その測定結果に従い左右に動きプツシユロツドに
よりICを本体部の一時保管パレツト２８へ収納
する。
そしてこの一時保管パレツト２８に所定個数の
ICが溜まつた時点で、前記の供給スイーパー２
３と同様な構造の排出スイーパー２９が、その
ICを供給収納部１９の収納部分３０へ強制排出
を行う。即ち、この供給収納部１９の収納部分３
０−１には、その供給部分２２でICが排出され
て空になつた平面状トレー２１が待機しており、
その排出されたICを再び収納し、更にその下部
に位置する収納部３３の中へ溜めて行くものであ
る。即ち供給収納部１９は、その供給部分２２か
ら収納部分３０そして更に下方の収納部３３へと
トレーを運ぶエレベーター機構を有するものであ
る。又本装置に使用されるトレーが平面状で15連
にまとめられたものである場合、本体部の供給パ
レツト２４及び一時保管パレツト２８は15連の本
数を有するのが一般であり、又一時保管部は、そ
の15連の他に不良ICを収納する不良IC収納部を
持つのが一般である。
ICが溜まつた時点で、前記の供給スイーパー２
３と同様な構造の排出スイーパー２９が、その
ICを供給収納部１９の収納部分３０へ強制排出
を行う。即ち、この供給収納部１９の収納部分３
０−１には、その供給部分２２でICが排出され
て空になつた平面状トレー２１が待機しており、
その排出されたICを再び収納し、更にその下部
に位置する収納部３３の中へ溜めて行くものであ
る。即ち供給収納部１９は、その供給部分２２か
ら収納部分３０そして更に下方の収納部３３へと
トレーを運ぶエレベーター機構を有するものであ
る。又本装置に使用されるトレーが平面状で15連
にまとめられたものである場合、本体部の供給パ
レツト２４及び一時保管パレツト２８は15連の本
数を有するのが一般であり、又一時保管部は、そ
の15連の他に不良ICを収納する不良IC収納部を
持つのが一般である。
第８図の斜視図に一時保管パレツトの構造を示
す。測定を終え、ターレツトから出てきたICは
分配器２７に入る。分配器２７は測定結果に従
い、ａ，ｂ両方向に動くことが可能であり、測定
結果が良品であれば、一時保管パレツト２８に端
のレーンから順に各レーン満杯になるまでICを
プツシユロツド（図示せず）により順次収納して
行く。この一時保管パレツト２８の横には不良品
収納部３８があり、不良ICは分配器２７によ
り、この不良品収納部３８の最下段にある不良品
収納筒状トレー３９に収容される。この不良品収
納用筒状トレー３９は満杯になるとＡ方向に排出
され、その上の筒状トレーが新たに降下してセツ
トされる。
す。測定を終え、ターレツトから出てきたICは
分配器２７に入る。分配器２７は測定結果に従
い、ａ，ｂ両方向に動くことが可能であり、測定
結果が良品であれば、一時保管パレツト２８に端
のレーンから順に各レーン満杯になるまでICを
プツシユロツド（図示せず）により順次収納して
行く。この一時保管パレツト２８の横には不良品
収納部３８があり、不良ICは分配器２７によ
り、この不良品収納部３８の最下段にある不良品
収納筒状トレー３９に収容される。この不良品収
納用筒状トレー３９は満杯になるとＡ方向に排出
され、その上の筒状トレーが新たに降下してセツ
トされる。
又こゝでスイーパー機構について更に詳しく説
明すると、その構造は第６図の如くである。即ち
被測定物であるIC１は一般的には15連程度にま
とめられた平面状トレー２１に入れられ、装置に
セツトされる。そして、そのトレーにはスリツト
３５が設けられている。そしてICを供給するス
イーパー２３にはICを押すピン３６が設けられ
ており、スイーパー２３が矢印の方向に移動する
と、ピン３６がトレーのスリツト３５を通りIC
１を外部へ押し出すものである。排出スイーパー
２９についても同様な構造である。
明すると、その構造は第６図の如くである。即ち
被測定物であるIC１は一般的には15連程度にま
とめられた平面状トレー２１に入れられ、装置に
セツトされる。そして、そのトレーにはスリツト
３５が設けられている。そしてICを供給するス
イーパー２３にはICを押すピン３６が設けられ
ており、スイーパー２３が矢印の方向に移動する
と、ピン３６がトレーのスリツト３５を通りIC
１を外部へ押し出すものである。排出スイーパー
２９についても同様な構造である。
即ち、本発明の装置によれば、前記従来装置の
第１の欠点である供給部分での未測定ICの残留
は、強制排出スイーパーにより皆無とすることが
出来る。即ち強制排出スイーパーはもしICがト
レー内でひつかゝつた場合、その排出に異常なる
力を要することから、トレー内のICのひつかゝ
りを検知し、それを作業者に警告することが出
来、又本体部の供給パレツトは本体部の一部品と
なることからその形状は工程間の筒状トレーの如
く、異常に曲げられたり、キズ付けられたりする
ことはなく、その中でのICの通過をさまたげる
様なことはない。
第１の欠点である供給部分での未測定ICの残留
は、強制排出スイーパーにより皆無とすることが
出来る。即ち強制排出スイーパーはもしICがト
レー内でひつかゝつた場合、その排出に異常なる
力を要することから、トレー内のICのひつかゝ
りを検知し、それを作業者に警告することが出
来、又本体部の供給パレツトは本体部の一部品と
なることからその形状は工程間の筒状トレーの如
く、異常に曲げられたり、キズ付けられたりする
ことはなく、その中でのICの通過をさまたげる
様なことはない。
又従来装置の第２の欠点であるIC同志の過大
なるぶつかり合いは、本発明の供給部分及び収納
部分が水平であることから、その衝撃は機構の調
整により、より柔らかにすることが出来、もろい
材質のICパツケージに対しても割れやクラツク
を発生させずにすませることが出来るものであ
る。
なるぶつかり合いは、本発明の供給部分及び収納
部分が水平であることから、その衝撃は機構の調
整により、より柔らかにすることが出来、もろい
材質のICパツケージに対しても割れやクラツク
を発生させずにすませることが出来るものであ
る。
又本発明の装置によれば、例えばそのトレーと
して15連の平面状トレーを用いた場合、供給部及
び収納部にストツク出来るICの数は、トレーに
して150本又14ピン、16ピンのDIP型ICの数とし
て3750個程度をストツク出来、測定時間を１秒と
しても、作業者は、一度トレーをセツトすれば１
時間以上の作業をすることが出来る、言いかえれ
ば10台以上の装置を１人の作業者で受け持つこと
が可能となり、従来装置に比べその作業能率は飛
躍的に増大するものである。
して15連の平面状トレーを用いた場合、供給部及
び収納部にストツク出来るICの数は、トレーに
して150本又14ピン、16ピンのDIP型ICの数とし
て3750個程度をストツク出来、測定時間を１秒と
しても、作業者は、一度トレーをセツトすれば１
時間以上の作業をすることが出来る、言いかえれ
ば10台以上の装置を１人の作業者で受け持つこと
が可能となり、従来装置に比べその作業能率は飛
躍的に増大するものである。
以上述べた様に、本発明の装置によれば、IC
製造の最終工程である選別作業の信頼性及びその
作業能率を従来方法に比べ大幅に向上することが
出来、その効果は多大なるものである。
製造の最終工程である選別作業の信頼性及びその
作業能率を従来方法に比べ大幅に向上することが
出来、その効果は多大なるものである。
第１図は従来の選別装置に用いるオートハンド
ラーの構造図、第２図はその供給部及び収納部の
説明図、第３図は従来の選別装置に用いる他のオ
ートハンドラーの構造図、第４図はその供給部の
説明図、第５図は本発明の実施例の構造図、第６
図は本発明に用いられているスイーパー機構の説
明図、第７図は本発明に用いられる供給パレツト
部の斜視図、第８図は本発明に用いられる一次保
管パレツト部の斜視図である。 １……IC、２……供給レール、３……測定
部、４……テスター、５……ターレツト、６……
収納レール、７……キヤリヤー、８……ガイド、
９……分類シヤトル、１０……筒状トレー、１１
……供給部、１２……搬送レール、１４……収納
部、１６……専用パレツト、１８……本体部、１
９……供給収納部、２１……平面状トレー、２２
……供給部分、２３……供給スイーパー、２４…
…供給パレツト、２７……分配器、２８……一時
保管パレツト、２９……排出スイーパー、３０…
…収納部分、３３……収納部、３５……スリツ
ト、３６……ピン、３７……ストツプピン、３８
……不良品収納部、３９……不良品収納用筒状ト
レー。
ラーの構造図、第２図はその供給部及び収納部の
説明図、第３図は従来の選別装置に用いる他のオ
ートハンドラーの構造図、第４図はその供給部の
説明図、第５図は本発明の実施例の構造図、第６
図は本発明に用いられているスイーパー機構の説
明図、第７図は本発明に用いられる供給パレツト
部の斜視図、第８図は本発明に用いられる一次保
管パレツト部の斜視図である。 １……IC、２……供給レール、３……測定
部、４……テスター、５……ターレツト、６……
収納レール、７……キヤリヤー、８……ガイド、
９……分類シヤトル、１０……筒状トレー、１１
……供給部、１２……搬送レール、１４……収納
部、１６……専用パレツト、１８……本体部、１
９……供給収納部、２１……平面状トレー、２２
……供給部分、２３……供給スイーパー、２４…
…供給パレツト、２７……分配器、２８……一時
保管パレツト、２９……排出スイーパー、３０…
…収納部分、３３……収納部、３５……スリツ
ト、３６……ピン、３７……ストツプピン、３８
……不良品収納部、３９……不良品収納用筒状ト
レー。
Claims (1)
- １ 主として供給収納部と本体部とから構成さ
れ、供給収納部は被測定ICを入れたトレーを水
平に複数段重ねて収容する供給部分と、この供給
部分の最下段のトレーから被測定ICを本体部へ
水平に押し出す供給スイーパー機構と、この空に
なつたトレーを下方に移送して重ねて収容し本体
部から押し出される測定済ICを最下段のトレー
に収容する収納部分と、この測定済ICの溜まつ
たトレーを下方に移送して重ねて収容する収納部
と、これらのトレーを水平のまま上下に移送させ
るエレベータ機構とを備え、本体部は前記供給部
分から押し出された被測定ICを一旦水平面で受
け取つた後回転傾斜機構により測定部へ重力で搬
送する供給パレツトと、測定後測定済ICを水平
方向に向けるためのターレツト及び一時保管パレ
ツトに水平面に収容するための分配器と、一次保
管パレツトに水平面に収容された測定済ICを前
記収納部分の最下段トレーに押し出す排出スイー
パー機構とを備えたことを特徴とする選別装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56156663A JPS5857735A (ja) | 1981-10-01 | 1981-10-01 | 選別装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56156663A JPS5857735A (ja) | 1981-10-01 | 1981-10-01 | 選別装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5857735A JPS5857735A (ja) | 1983-04-06 |
| JPS627696B2 true JPS627696B2 (ja) | 1987-02-18 |
Family
ID=15632576
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56156663A Granted JPS5857735A (ja) | 1981-10-01 | 1981-10-01 | 選別装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5857735A (ja) |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JPS59222941A (ja) * | 1983-06-01 | 1984-12-14 | Ulvac Corp | ウエハ用カセツトケ−スの装填装置 |
| JPS6017927A (ja) * | 1983-07-11 | 1985-01-29 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置の計測用搬送装置 |
| JPS6053040A (ja) * | 1983-09-02 | 1985-03-26 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | Ｉｃハンドラ |
| JPS6094734A (ja) * | 1983-10-28 | 1985-05-27 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 半導体素子の供給装置 |
| JPS6097126A (ja) * | 1983-11-02 | 1985-05-30 | Hitachi Ltd | ハンドラ |
| JPS60129138U (ja) * | 1984-02-06 | 1985-08-30 | 株式会社東芝 | 集積回路試験装置 |
| JPS60198899A (ja) * | 1984-03-23 | 1985-10-08 | 日立電子エンジニアリング株式会社 | Ｉｃ多連ハンドラ |
| JPS60206094A (ja) * | 1984-03-30 | 1985-10-17 | 日立電子エンジニアリング株式会社 | 薄形ｉｃの検査用搬送装置 |
| JPS617034U (ja) * | 1984-06-19 | 1986-01-16 | 日立電子エンジニアリング株式会社 | 多連形ｉｃハンドラ |
| JPS6193699A (ja) * | 1984-10-12 | 1986-05-12 | 日本インター株式会社 | 電子部品の特性検査装置 |
| JPH0499974A (ja) * | 1990-08-17 | 1992-03-31 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体試験システム |
-
1981
- 1981-10-01 JP JP56156663A patent/JPS5857735A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5857735A (ja) | 1983-04-06 |
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