JPS6271039A - マスタ−スタンバ−の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の属する技術分野〕 本発明は、映像、音声等の情報信号が凹凸状に記録され
る複製体の製造や、トラック溝が形成される複製体の製
造に用いられるマスタースタンパーの製造方法に関する
。

〔従来技術とその問題点〕

従来、マスタースタンパ−を製造する方法は、光学研磨
し、洗浄されたガラスよりなる原盤上にフォトレジスト
を塗布し、変調された、もしくは連続し６た光ビームを
照射して露光し、現像処理により凹凸状の信号もしくは
トラック溝を形成し、さらに薄い第１の金属層を銀鏡法
、蒸着法、スパッタ法などにより形成し、この上に電解
メッキにより第１の金属層と同種もしくは異種の第２の
金属層を形成し、その後これらの金属層を原盤から剥離
し、表面に付着しているフォトレジスト層をレジスト溶
解液で洗い落して製造している。

以下図面を参照しながら、この従来法の工程について詳
しく説明する。第２図は従来法の工程図である。

まず、光学研磨されたガラスよりなる原盤（１）を洗浄
工程で清浄にし、その上に約ｔｚｓｏＸの厚さでレジス
ト層（２）を形成する。次に変調された、もしくは連続
した光ビーム、例えばアルゴンイオンレーザ光で露光し
、次いで現像して凹凸状の信号、もしくはトラック溝を
形成する。次に銀鏡法、蒸着法、スパッタ法等により、
凹凸状の信号もし、くけトラック溝の形成されたレジス
ト層（２′）を有する原盤の表面に約８００λの厚さで
第１の金属層（４）（主に銀、′ニッケル、金）を形成
して電極付を行なう。その後ニッケル電解メッキを行な
りて、２００〜４００μｍの厚さのニッケルからなる第
２の金属層（５）を形成する。次に、上記レジスト層（
２’）　。

第１の金属層（４）、第２の金属層１５）を原盤＜１）
７＞ｋら剥離し、最後に剥離した金属層の表面に付着し
ているレジスト層（２つをレジスト溶解液で洗い落して
、マスタースタンパ−（６）を製造する。

以上に述べたこのような従来法では、次のような問題点
があった。

まず第１に、剥離工程においてレジスト層が破壊され、
原盤側と金属層側と（て分離する。さらに、溶剤への溶
解等により、形成した凹凸状の信号もしくは、トラック
溝が破壊され、複数枚のマスタースタンパ−を製造する
ことができない。第２に、マスタースタンパ−からマザ
ースタンパ−、スタンバ−と製造する過程において、工
程の途中で汚れ、キズ等が発生した場合、再度初めの工
程からやりなおさなければならない。第３に、凹凸状の
信号もしくはトラック溝を形成した原盤から１枚のマス
チースタンパ−しか製造できないので、多くのマザース
タンパ−を複製することができない。

第４に、スパッタ法、エレクトロンビーム真空蒸着法等
により第１の金属膜（４）を形成した場合、レジスト洗
浄工程において、マスタースタンパ・−の表面にレジス
ト溶解液に溶けないレジストが残り、凹凸状の信号、も
しくはトラック溝の寸法、及び形状に影響を与え、この
ようなマスタースタンパ−を用いて複製したマザースタ
ンパ−１樹脂成形体等の複製体の特性に著しく影響を与
える。第５゜Ｋ、よっ−ご剥離工程後に、マスタースタ
ンパ−の表面から残ったレジスト層を洗い落す必要があ
り、工程が繁雑である。第６に、上述したよじな理由か
らコスト高となり、経済的でない。等多くの問題点を有
していた。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、現像工程後の凹凸状の信号もしくはト
ラック溝を形成した原盤から、複数枚のマスタースタン
パ−を製造することを可能にするとともに、凹凸状の信
号もしくはトラック溝の寸法や形状、複製体の特性に影
響を与えるマスタースタンパ−表面のレジスト残りをな
くして前述した従来法の種々の問題点を解決するマスタ
ースタンパ−の製造方法を提供することである。

〔発明の概要〕

本発明によるマスタースタンパ−の製造方法では、光学
研磨されたガラスよりなる原盤上にレジスト層を形成後
、その面上に凹凸状の信号もしくはトラック溝を形成し
、その凹凸状の信号もしくはトラック溝を形成したレジ
スト層に紫外線を照射してレジスト層を変質させた後、
その変質したレジスト層を有する原盤の表面上に第１の
金属層を形成し、さらにその第１の金属層上に同種もし
ぐは異種の第２の金属層を形成する。

こうしてレジスト全体を変質させることＫより、レジス
ト層を強固にし、さらにレジスト溶解液（有機溶剤も含
む）に対しても不溶解性にし、さらに原盤を剥離する際
に原盤上にレジスト層が破壊されることなく密着して残
すことができ、これより再度の利用に対する原盤洗浄を
可能にしたものである。

すなわち本発明は、原盤上にレジスト層を形成する工程
と、前記レジスト層に凹凸状の信号もしくはトラック溝
を形成する工程と、凹凸状の信号もしくはトラック溝が
形成された前記レジスト層に紫外光線を照射して、レジ
スト層を変質させる工程と、前記変質したレジスト層を
有する原盤の表面に第１の金属層を形成する工程と、前
記第１の金属層−上に前記第１の金属層と同種もしくは
異種の第２の金属層を形成する工程と、前記第１の金属
層及び第２の金属層を原盤から剥離する工程と、からな
ることを特徴とするものである。

〔発明の実施例〕

次に実施例をあげて、本発明を具体的に説明するが、本
発明；まこれに限定されるものではない。

ｇ　ｌ　図ｔｄ、本発明におけるマスタースタンパ−の
製造方法の製造工程図である。

まず、光学研磨されたガラスよりなる原盤（１）を洗剤
、純水、有機溶媒中にてそれぞれ超音波洗浄を行う。次
にポジ型フォトレジスト例えばＭＰ　−１４００（マイ
クロポジット社製）をスピンナーを用いて１２５０Ａの
厚さで塗布し、レジスト層（２）を形成する。そして、
アルゴンイオンレーザを用いて露光を行い、次いで現像
し、レジスト層に凹凸状の信号もしくはトラック溝（２
つを形成する。

そのあと中圧水銀灯（波長３１３１ｍ）を用い出力８０
Ｗ／、照射時間５分間の照射条件でレジストＣπ 変質層（３）を形成し、その上にスパッタ法によ抄ニッ
ケルよりなる第１の金属層（４）を厚さ６００にで形成
して電極付を行なう。このニッケル金属層の上にスルフ
ァミン酸ニッケル溶を用いてニッケル電解メッキを行い
、厚さ約３００μ７ｎのニッケル層を第２の金属層（５
）として形成する。これより原盤からの剥離工程では、
レジスト変質層（３）とＷＪｌの金属層（４）との間を
、レジスト変質層（３）を破壊するととなく剥離できる
。こうした工程を経て１枚めのマスタースタンパ−（６
）を完成する。その後凹凸状の信号もしくは、トラック
溝を有したレジスト変質層（３）が密着して、電極付は
以前の状態にもどった原盤を純水　有機溶剤等で洗浄し
、再度電極付けの工程以降をくり返すことにより、２枚
め、３枚めのマスタースタンパ−（６）を完成する。

なお、本実施例では紫外線照射工程において、中圧水銀
灯を用いたが、その他の紫外線発生源、例えば、実用的
なものとしてメタルハライドランプ、低圧水銀灯、高圧
水銀灯、エキシマレーザ−等が使用可能である。ただし
、本発明における紫外線領域は２００ｎｍ〜４００ｐｍ
の波長が好ましく、さらに好ましくは２５４ｎｍ〜３５
５　ｎｍ　　である。

また、レジストとしてはノボラック系のポジ型フォトレ
ジストが好ましい。したがって、最適の紫外線照射時間
は、レジストの種類及び膜厚によって一定ではなく、さ
らに１紫外線発生光−源の分光エネルギー分布により異
なる。例えば、ポジ型レジストとして、ＭＰ−１４００
（マイクロポジット社製）を用い、膜厚がｘｏｏｏＡの
とき、中圧水銀灯を用いた場合２分以上の照射で完全に
レジスト変質層が形成されるが、高圧水銀灯を用いた場
合５分以上の照射時間を必要とする。

また、紫外線を照射してレジスト変質を行った結果、収
縮によりレジスト膜厚が３％へ６９ｇ減少する。初めの
膜厚が１０００１の場合、減少量は３０λ〜６０＾であ
るが、初めの塗布工程において、減少１分を上乗せして
塗布しておくことが望ましい。同時に、凹凸状の信号も
しくはトラック溝も、収縮により寸法が２に〜４に大き
くなるので、記録工程において適正１光以下のレーザ出
力で記録するか、現像工程において調整することが望ま
しい０ 〔発明の効果〕 以上、本発明は、凹凸状の信号もしくはトラック溝を形
成したレジスト層に紫外線を照射し、レジスト全体を変
質させることによ：フ、レジスト層ケ強固にし、かつ耐
熱性を向上させ、さらにレジスト溶解液（有機溶剤を含
む）に対しでも不溶屏性になるので、剥離工程において
ガラスよりなる原盤上にレジスト層が破壊されることな
く密着し、て残る。そして有機溶剤での洗浄も可能なた
め、１度凹凸状の信号、もしくはトラック溝を形成した
原盤から複数枚のマスタースタンパ−を製造できる。そ
の結果、１枚のマスタースタンパ−が破損しても、再度
、最初から製作しなおす必要がない。また従来に比べ、
多くのマザースタンパ−が製造できる。

さらに、レジスト層が強固になっているため、剥離工程
でマスタースタンパ−の表面にレジストが残留しない。

したがって、レジスト洗浄工程を省略でき、工程が簡略
化される。その他にも、凹凸状の信号もしくはトラック
溝の転写性が向上し、寸法、形状の変形等影響がなく、
複製体の特性にも影響を与えないという効果が得られる
。

このような利点によりコストを大幅に低減することがで
きる。　　（以下依色）

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例を示すマスタースタンパ−の製
造工程断面略図、第２図は従来のマスタースタンパ−の
製造工程断面略図である。 １・・・原盤 ２・・・フォトレジスト層 ２′・・・凹凸状の信号もしくはトラック溝の形成され
たレジスト層 ３・・・レジスト変質層 ４・・・第１の金属層 ５・・・第２の金属層 ６・・・マスタースタンパ− 代理人　弁理士　則　近　憲　佑 同　　　　竹　花　喜久男 ／　　　　　　原（がＬン先２９ト 壷 と２Ｚとシー−とヲラ牙〜−２しジストイシ秒第　　１
　　図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　原盤上にレジスト層を形成する工程と、前記レジスト
   層に凹凸状の信号もしくはトラック溝を形成する工程と
   、凹凸状の信号もしくはトラック溝が形成された前記レ
   ジスト層に紫外光線を照射して、レジスト層を変質させ
   る工程と、前記変質したレジスト層を有する原盤の表面
   に第１の金属層を形成する工程と、前記第１の金属層上
   に前記第１の金属層と同種もしくは異種の第２の金属層
   を形成する工程と、前記第１の金属層及び第２の金属層
   を原盤から剥離する工程と、からなることを特徴とする
   マスタースタンパーの製造方法。