JPS6269192A - 真空排気装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は真空排気装置に係り、峙て核軸合装置の真空容
器に接続される真空排気装置に関する。

〔発明の技術的背景とその問題点〕

従来の真空排気装置を備えた磁気閉じ込めてよるプラズ
マ核融合実験装置においては電離用の気体として水素ガ
スを用いることがある。この実験装置は、所定の時間間
隔で繰返し運転が行なわれるが、毎回の実験の直前まで
は実検装置の真空容器内を例えば１０−？ＴＯｒｒ以下
の高真空に保っておき、実検開始時；でこの真空容器内
に厄；推用気体を導入してプラズマを生成し、磁力線に
よってこのプラズマを真空容器の内壁から離して保持し
、さらに加熱を施していた。この−回の実Ｈ，４が終了
した後には前記真空容器内の気体を実験装置の外に排出
し、再び真空容器内を実験開始前の高真空状態−まで復
帰させていた。そこでこの高１ｃ空状態を得るためにこ
の真空容器には真空排気装置が接続されていた。この真
空排気装置には例えばターボ分子ポンプ等の排気速度の
大きなポンプが使用されている。ここで第４図を参照し
て従来の真空排気装置について説明する。１は核融合実
検装置の真空容器であり、この真空容器１には排気用マ
ニフォルド２を介してターボ分子ポンプ３ａ　、メカニ
カルブースタポンプ３ｂ　、ロータリーポンプ３０等の
真空排気ポンプ：３が接続されており、さらにこの真空
排気ポンプ３の排気口には他端が屋外に開放されたダク
ト４の一鶏が接続されている。またこのダクト４の屋外
開放端には、ダクト４の中の気体を室外へ、導くブロア
５が設置されている。

したがって前記真空容器１の内部の気体は、真空排気ポ
ンプ３により吸気され、この真空排気ポンプ３の排気口
からダクト４を通りブロア５により屋外に導かれる。し
かしながらこの気体が水素等の町り然性気体である場合
には、ダクト４の内部（て気体が、蜀留すると静電気等
により燃焼するおそれがあるので、ダクト４の内部に気
体が滞留しない構造が必要でちった。そこで従来は第４
図に示すようンこ＾１Ｊ記ダクト４の屋外開放端が真空
排気ポンプ３の接続部より徐々に高くなるように勾配を
もたせてダクト４を設置し、水素を屋外に導いていた。

ところが真空容器１の真空度が高くなるにつれて真空排
気ポンプ３の排気口からはほとんど気体が排出されない
ため、前記ブロアー５を作動させてもダクト４の内部圧
力がブロア５の排気能力によって決定する圧力まで下が
るだけで真空排気ポンプ３からの排出気体が屋外まで有
効に排出されないという問題があった。

〔発明の目的〕

本発明は上記問題点を解決するため（′こ真空排気ポン
プからダクト排出される気体が少なくとも、このダクト
内に排出された気体を効率的に外部に排出することがで
きる真空排気装置を提供することを目的とする。

〔発明の概要〕

本発明は上記目的を達成するために真空容器に接続され
かつこの真空容器内の気体を吸気する真空排気ポンプ部
と、この真空排気ポンプ部の排気口に接続されこの真空
排気ポンプ部からの排出気体を外部に導くダクトと、こ
のダクト内の気体を外部に送風するブロアとからなり、
前記ダクトの前記真空ポンプ部との接続部近傍に前記真
空荏器の圧力が所定以下の時に聞かれる弁を有する空気
導入口を形成し７、真空容器内の圧力が所定以下の時、
この空気導入口から空気を導びき、この空気と共にダク
ト内の気体を前記ブロアにより外部に送風し、真空排気
ポンプからダクト内に排出された気体を効率よく外部に
排出できる真空排気装置を提供する。

〔発明の実施例〕

次に本発明シこよる償空排気装置・Ｄ−実施例について
第１図を参照して説１明する。なお第４図と同一部分に
は同一符号を用い説明は省略する。真空排気ポンプ３の
吸気口は排気用マニフオルド２を介して真空容器１に接
続されており、排気口はダクト４の一端に接続されてい
る。そしてこのダクト４の他端は屋外に開放されており
、さらにこのダクト４の開放端にはダクト内の気体を屋
外に導くブロア５が設置されている。またこのダクト４
のブロア５から最も離れた前記真空排気ポンプ３との接
続部近傍には空気導入口６が形成され、この空気導入口
６には空気導入用弁７が設置されている。この空気導入
用弁７は真空排気系制御器８からの信号で開閉される。

なお、この真空排気系制御器８は前記排気用マニフォル
ド２に取り付けられた真空度検出器９からの信号を入力
としており、前記真空排気ポンプ３の各ポンプ、すなわ
ちターボ分子ポンプ３ａ　、メカニカルブースタポンプ
３ｂ、及びロータリーポンプ３ｃの夫々にも接続されて
いる。

次に作用について説明する。前記真空容器Ｉの内部を高
真空状態にするために＠記真空排気ポンプ３を作動させ
ると真空容器１の内部の気体は排気用マニフオルド２を
通り真空排気ポンプ３に吸気され、この真空排気ポンプ
３がらダクト４を通りブロア５に導かれて屋外に排気さ
れる。この過程において前記真空排気ポンプ３は常に全
てのポンプが作動するわけではなく、前記真空度検出器
９により真空容器１の内部圧力を検出し、この真空容器
１の内部圧力が大気圧から０．１Ｔｏｒｒ程度までの時
にはロータリーポンプ３Ｃのみが作動し、０．Ｉ’ｐｏ
ｒｒ以下の高真空の領域の時にはＸ空排気ポンプ３のす
べてのポンプが作動するように前記真空排気系制御器８
から真空排気ポンプ３の各ポンプに信号が送られる。同
時にこの真空排気系制御器８からは前記空気導入弁７に
前記真空容器１の内部圧力が大気圧から０．Ｉ　ＴＯｒ
ｒ　８度までの時には「閉」、また０、１　Ｔｏｒｒ以
下の高真空の時には「開」の信号が送られる。従って前
記真空容器１の内部圧力が大気圧から０．１　Ｔｏｒｒ
程度までの場合、真空容器１の内部気体は排気用マニフ
オルド２を通り、ロータリーポンプ３Ｃによりダクト４
に排気され、ダクト４に排出された気体はブロア５によ
り屋外に排出される。また前記内部圧力がＱ、ｌ　Ｔｏ
ｒｒ以下になった場合、真空容器１の内部気体は排気用
マニフオルド２を通り、真空排気ポンプ３の全ポンプ３
ａ、３ｂ、３Ｃによりダクト４に排出され、ダクト４に
排出された気体は空気導入口６から入る空気と共にブロ
ア５により屋外に排出される。

以上のように真空容器１の内部圧力が低くなり真空排気
ポンプ３からダクト４に排出される気体が少なくなった
場合においても空気導入口６から空気が流入し、ダクト
に排出された気体を空気とともにブロア５で屋外に排出
されるのでダクト４の内部に真空容器１から排出された
水素等の可紡性の高い気体が滞留することを防止するこ
とができる。また水素等がｆ’！９留しないのでこの水
素等がダクト４の内部で燃焼する可能性も烈〈な８１，
５ｔお上記実施例においては空気導入弁６をＸ仝排気系
制御器からの信号により開［場していたが、手動によっ
て開閉を行っても同様な効果を得ることができる。さら
に真空排気ポンプ３としてターボ分子ポンプ３ａ　、メ
カニカルブースタポンプ；３１）、ロータリーポンプ３
Ｃを用いたが、これらのポンプて限定されるものではな
い。

次に他の実施例として真空容器１に残留したトリチウム
等の放射性気体を排気する真空排気装置について第２図
を参照して説明する。なお第１図及び第４図と同一部分
については同一符号を用い説明は省略する。っ真空排気
ポンプ３の排気口にはダクト４の一端が接続されており
、このダクト４の他端は放射性気体処理装置１０に接続
されている。

またこの放射性気体処理装置１０とダクト４との接続部
にはブロア５が設置されている。さらに前記ダクト４の
前記真空排気ポンプ３との接続部近傍には空気導入用弁
７を有する空気導入口６が形成されている。したがって
この装置においても真空排気ポンプ３から排出される気
体が少なくなった場合に空気導入用弁７を開き空気導入
口６より空気を流入させることにより真空排気ポンプ３
から排出された放射性気体はこの流入した空気と混合し
てブロア５により放射性気体処理装置に導かれるので放
射性気体がダクト４の内部に滞留することを防止できる
。

次に本発明による真空排気装置のさらに他の一実施例と
して前記真空容器１等の故障に備えた非濱設備を有する
ものについて第３図を参照して説明する。なお第１図、
第２図及び第４図と同一部分については同一番号を用い
説明は省略する。１１は非常用放射性気体処理装置であ
り、この非常用放射性気体処理装置１１は非常用排出弁
１２を有する非常用排出ダクト１３によりダクト４に接
続されている。またこのダクト４の空気導入口６の近傍
には圧力検出器１４が設置され、この圧力検出器１４の
信号は真空排気系制御器８に入力されている。さらにこ
の真空排気系制御器８は前記非常用放射性気体処理装置
１１及び前記非常用排出弁１２にも接続されている。

次に作用について説明する。通常時は非常用排出弁１２
は閉じておゆ、非常用放射性気体処理装置１１も作動し
ていない。この状態で前記一実施例と同様に真空容器１
の内部圧力が大気圧から０．ＩＴｏｒｒ程度までの時は
真空容器１の内部気体は真空排気ポンプ３により吸気さ
れ、この真空排気ポンプ３からダクト４に排気され、こ
の排気された放射性気体は、ブロア５により放射性気体
処理装置１０に導かれる。また０、Ｉ　Ｔｏｒｒ以下の
時は空気導入弁７が開き、空気導入口６がら空気をダク
ト４に流入させ、前記真空排気ポンプ３からダク）４に
排出された放射性気体とともにブロア５により放射性処
理装置１０に導く。さらに真空容器１等の事故により真
空排気ポンプ３から排出される放射性気体が急激に増加
し、ダクト４の内部圧力が大気圧より高くなった場合は
、圧力検出器１４からの信号により真空排気系制御器８
はダクト６の内部圧力の上昇を感知し、空気導入弁７を
閉じ、非常用排出弁１２を開き、非常用放射性気体処理
装置１１を作動させる信号を夫々に送る。この結果放射
性気体処理装置１０の能力オーバーや、空気導入口６か
ら放射性気体が流出することを防止できる。したがって
真空排気ポンプ３からダクト４に排出された放射性気体
の状態にかかわりなくこの放射性気体を効率よくかつ安
全に放射性気体処理装置１０に導くことができる。

〔発明の効果〕

本発明によればダクトの真空排気ポンプとの接続部近傍
に弁を有する空気導入口を形成したので、真空容器内が
高真空状態であっても真空排気ポンプからダクトに排出
される気体を効率よく外部に導くことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す真空排気装置の構成図
、第２図及び第３図は本発明の他の実施例を示す真空排
気装置の構成図、第４図は従来の真空排気装置の構成図
である。 １・・・真空容器　　　　　３・・真空排気ポンプ４・
ダクト　　　　　　　５　ブロア ６　空気導入口　　　　７　空気導入弁８・・真空排気
系制御器　９・真空度検出器代理人　弁理士　　則　近
　憲　佑 同　　　　　　三　　俣　　弘　　文 ヲ　　　　　６ 第１図 第２図 第３図 隻 第４図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）真空容器に接続されかつこの真空容器内の気体を吸
   気する真空排気ポンプ部と、この真空排気ポンプ部の排
   気口に接続されこの真空排気ポンプ部からの排出気体を
   外部に導くダクトと、このダクト内の気体を外部に送風
   するブロアとからなり前記ダクトの前記真空ポンプ部と
   の接続部近傍に前記真空容器の圧力が所定以下の時に開
   かれる弁を有する空気導入口を形成したことを特徴とす
   る真空排気装置。 ２）前記空気導入口の弁は前記真空排気ポンプ部の吸気
   口近傍に設置される真空度検出器からの信号を入力とす
   る真空排気系制御器からの出力信号により開閉する弁で
   あることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の真空
   排気装置。