JPS6267416A - 音速測定方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、弾性表面波基板の音速を精度良く測定する
方法に関するものである。

〔従来の技術〕

第８図は例えば文献Ａｃｏｕｓｔｉｃ　５ｕｒｆａｃｅ
　Ｗａｖｅｓ　（ｂｙ人、Ａ、０１ｆｎｅｒ　）に示さ
れた従来の弾性表面波基板の音速測定方法を示す図であ
る。図において（１）は入力すだれ状電極、（２）　（
ａ）は出力すだれ状電極、（４）（５）は弾性表面波を
示す。

次に測定方法について説明する。入力すだれ状電極（１
）より送信された弾性表面波は２方向（弾性表面波（４
）　（５）　”）に伝搬し、出力すだれ状電極（２）　
（３）によって受信される。この時弾性表面波（４）　
（５）の送受と表わされる０式中２．２．２．は入力す
だれ状電極（１）及ｒＪ　出力ｆ　ｆｒ！　し状ｔ　Ｗ
ｉ（２）　（３）　ｆ）　ｉＥ　ｍ　幅ｆ：、ｚ２ｚｓ
ｌｆｉ入力すだれ状電極（１）及び出力すだれ状電Ｗｉ
（２）　（３）間の電極間距離を示す、又Ｖｏは自由表
面下の弾性表面波音速、ＶｍＩＶｍ、　Ｖｍ、は入力す
だれ状電極（１）及び出力すだれ状電極（２１（３）部
分の平均弾性表面波音速を示す、ここで出力すだれ状電
極（２）　（３）の形状が同一”ｔ’　アレハ、Ｚ４＝
Ｚ＠ｅ　Ｖｍｔ＝■ｍｓ　トｒ！　？）、式（１）（２
）！　？）次式が得られる。

Δｉｄ：ｊｄ、−１ｄ４＝　　Ｃ２ｓ−２ｔ）（３）Ｖ
。

式（３）より入力すだれ状電極（１）及び出力すだれ状
電極（２１（３）間の距離差２ｓ−２，及び遅延時間差
Δｔｄを測定することにより、弾性表面波音速Ｖｏの測
定が可能となる。

〔発明が解決しようとする問題点〕

従来の弾性表面波の音速測定は以上のように行なわれて
いるので、パターン切れ、エツチング不良（特に高周波
においては生じやすい）等により、出力すだれ状電極（
２）　（３）の形状に差が生じると、式（３）の関係が
満足されない、この場合式（３）に相当すとなり、出力
すだれ状電極（２）　（３）の状態に依存するｖｌ！％
Ｓが式中に含まれるので、正確な弾性表面波音速Ｖｏの
測定ができないという問題点があった。

この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、出力すだれ状電極の影響の全くない弾性表面
波基板の音速測定方法を得ることを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明に係る弾性表面波基板の音速測定方法は、弾性
表面波を送受信するためのすだれ状電極の他、弾性表面
波を反射するための反射溝を利用したものである。

〔作用〕

この発明における弾性表面波基板の音速測定方法は、弾
性表面波の反射機構を利用し、出力すだれ状電極に直接
受信される弾性表面波と上記出力すだれ状電極に上記反
射機構を介して受信される弾性表面波とを比較すること
により、出力すだれ状！極の影響を全くなくすることが
できる。

〔発明の実施例〕

第１図にこの発明の一実施例を示す。図において、（１
）は入力すだれ状電極、（２）は出力すだれ状電極％　
（４）（６）は弾性表面波、（７）は弾性表面波反射機
構を示す。なお入力すだれ状電極は出力すだれ状電極の
２倍の長さを持つ。

次に測定方法について説明する。入力すだれ状電極（１
）により送信された弾性表面波のうち一部（弾性表面波
（４））は直接出力すだれ状電極（２）によって受信さ
れるが、残りの部分（弾性表面波（６））は弾性表面波
反射機構（７）で途中反射され、出力すだれ状電極（２
）によって受信される。この時弾性表面波（４）　（６
）の送受信遅延時間は、出力すだれ状電極（２）に直接
受信される弾性表面波（４）に対しては既に述べた式（
１）となり、弾性表面波反射機構（７）を介して受信さ
れる弾性表面波（６）に対しては次のようになる。

式（５）中、２．２．２．は入力すだれ状電極（１）、
弾性表面波反射機構（７）、出力すだれ状を極（２）間
の距離（図１参照）を示す。またＣは弾性表面波反射機
構（７）自身の遅延時間への影響を、示し通常無視でき
る。

式（１）　ｆ５）より次式が得られる。

式（ａ）　ヨ？）、５ｉｌＬ性表ｔｌ［（４）（ａ）Ｏ
伝搬Ｍ差Ｚ、＋Ｚ、＋Ｚ８−２！及び遅延時間差Δ１ｄ
／を測定することにより、弾性表面波音速ＶＯを測定で
きる。しかも弾性表面波（４）　（６）とも同一の出力
すだれ状電極（２）で受信するため、式（６）に示すご
とく出力すだれ状電極（２）の影響は現われない。

また上記実施例では入力すだれ状電ｉ　（１）の片方向
のみに伝搬する弾性表面波を利用しているが、第２図に
示すごとく、弾性表面波反射機構を２個設け、両方向に
伝搬する弾性表面波を利用することにより、式（６）に
おいては、無視していた弾性表面波反射機構の影響も除
くことができる。

〔発明の効果〕 以上のように、この発明によれば弾性表面波反射機構を
設けることにより、単一の出力すだれ状電極で、直接伝
搬してくる弾性表面波及び反射機構を介して伝搬してく
る弾性表面波を受信できるので、その両者を比較するこ
とにより、出力すだれ状電極の影響の全くない弾性表面
波基板の音速測定を行なうことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による弾性表面波基板の音速の測定方法
を示す図、第２図は本発明の他の測定方法を示す図、第
８図は従来の測定方法を示す図である。 （１）は入力すだれ状電極、（２）　（３）は出力すだ
れ状電極、（４）　（５）　（６）　（ｓ）　（９）は
弾性表面波、（７）αＯは弾性表面波反射機構を示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 弾性表面波基板の音速を測定する方法において、弾性表
   面波基板上に設けられた弾性表面波を送信する送信側す
   だれ状電極と弾性表面波を受信する受信側すだれ状電極
   、前記基板上に設けられた弾性表面波を反射するための
   反射機構とを備え、送信側および電極からの弾性表面波
   を反射機構経由で受信側すだれ電極で受信したものと、
   直接受信側すだれ電極で受信したものを比較することに
   よつて弾性表面波基板の音速を測定することを特徴とす
   る音速測定方法。