JPS63281024A - 表面すべり波の伝搬速度評価方法および装置 - Google Patents
表面すべり波の伝搬速度評価方法および装置Info
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- JPS63281024A JPS63281024A JP11456287A JP11456287A JPS63281024A JP S63281024 A JPS63281024 A JP S63281024A JP 11456287 A JP11456287 A JP 11456287A JP 11456287 A JP11456287 A JP 11456287A JP S63281024 A JPS63281024 A JP S63281024A
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Landscapes
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、表面すべり波基板の材質のうち特に表面すべ
り波の伝搬速度につき精度良くかつ迅速［＃１定評価す
る方法および装置に関するものである。
り波の伝搬速度につき精度良くかつ迅速［＃１定評価す
る方法および装置に関するものである。
従来の評価方法および装置は、特開昭５８−２０２６１
６号公報に記載のように弾性表面波が対象であり、かつ
装置の構造も弾性表面波（レーリー波）の伝搬速度を測
定するものとなっていた。
６号公報に記載のように弾性表面波が対象であり、かつ
装置の構造も弾性表面波（レーリー波）の伝搬速度を測
定するものとなっていた。
上記従来技術では、弾性表面数とは振動モードが全く異
なる表面すべり波については考慮されておらず、表面す
べり波の伝搬速度を精夏艮く測定および評価することが
できなかった。
なる表面すべり波については考慮されておらず、表面す
べり波の伝搬速度を精夏艮く測定および評価することが
できなかった。
本発明の目的は表面すべりｒ！ｉＬ基板の伝搬速度を迅
速かつ正確忙評価する方法および装置を提供することく
ある。
速かつ正確忙評価する方法および装置を提供することく
ある。
上記目的は同じ表面すべり改用基版を対向させ、更に不
要なすべり仮を除去する為忙入力と出力電極ｒＭ１に電
極形成基板の表面および内部を伝搬する不要波を除去す
る為の深さと位置を考慮した切り込みを設け、かつ切り
込みまでの距離を最適化するごとくより達成される。
要なすべり仮を除去する為忙入力と出力電極ｒＭ１に電
極形成基板の表面および内部を伝搬する不要波を除去す
る為の深さと位置を考慮した切り込みを設け、かつ切り
込みまでの距離を最適化するごとくより達成される。
入力および出力電極を形成する基板を被廁定表面すべり
彼用基板と同じにすることにより両基板上を伝搬する表
面すべり波間のモード納金効果が利用出来る。これＫよ
り両基板間でのエネルギー交換効率か良くなり積置良い
測定ができる・入力電極と出力電極間に位置と深さを考
慮した切り込みを設ける。こｔｌ、により、表面からか
なり深い部分までエネルギーが分布する表面すべり波の
不要信号すなわち電極を形成した基板を直接伝搬する表
面すべり波を除去でき測定精度が良くなる・〔実施例〕 以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。
彼用基板と同じにすることにより両基板上を伝搬する表
面すべり波間のモード納金効果が利用出来る。これＫよ
り両基板間でのエネルギー交換効率か良くなり積置良い
測定ができる・入力電極と出力電極間に位置と深さを考
慮した切り込みを設ける。こｔｌ、により、表面からか
なり深い部分までエネルギーが分布する表面すべり波の
不要信号すなわち電極を形成した基板を直接伝搬する表
面すべり波を除去でき測定精度が良くなる・〔実施例〕 以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。
タンタル酸リチウムＬｉＴｇＯａ単結晶の３６°Ｙカツ
トＸ伝触用基板の表面すべり彼の伝鰍速度を以下の方法
で評価した。厚さ２■、［径７６卿のＬｉＴｇ０３５ｓ
ｃ′Ｙカット基板上に、電極幅３０μｍ、＠極間スペー
ス゛３０μｍ、開ロ長２０Ｍ、対数６の正規型櫛型の入
出力電極台１個を電極間距離６０ｗｍとして形成した。
トＸ伝触用基板の表面すべり彼の伝鰍速度を以下の方法
で評価した。厚さ２■、［径７６卿のＬｉＴｇ０３５ｓ
ｃ′Ｙカット基板上に、電極幅３０μｍ、＠極間スペー
ス゛３０μｍ、開ロ長２０Ｍ、対数６の正規型櫛型の入
出力電極台１個を電極間距離６０ｗｍとして形成した。
そして本基板を基板塔載治具上に固定後、両電極間をカ
ッタで完全に切断した。更に基板端部には電極引出し用
の段差を設け、銀ペーストでリード線を接着し、測定器
忙接続する。
ッタで完全に切断した。更に基板端部には電極引出し用
の段差を設け、銀ペーストでリード線を接着し、測定器
忙接続する。
その後、本基板を基板塔載治具上に設置する。
尚、本基板と上記治具釦は真空吸着用の孔を設けてあり
、被評価用基板を吸着する。
、被評価用基板を吸着する。
下部ＬｉＴα０３基板上価３基板上方電極峰りで励起さ
れた表面すべり波は基板上を伝搬する。この伝搬中、エ
ネルギーが上部被評価用基板（Ａωへ乗り移るが、残り
のエネルギーは切り込みの部分Ｇ１６４）で出力電極（
Ａ２）への伝搬を止められる・一方）被評価用基板へ乗
り移った表面すべり波は該基板上を伝搬し、下部基板上
の出力電極へ到達後電気信号に変換され、測定器（Ａ９
）へ信号が送られる。
れた表面すべり波は基板上を伝搬する。この伝搬中、エ
ネルギーが上部被評価用基板（Ａωへ乗り移るが、残り
のエネルギーは切り込みの部分Ｇ１６４）で出力電極（
Ａ２）への伝搬を止められる・一方）被評価用基板へ乗
り移った表面すべり波は該基板上を伝搬し、下部基板上
の出力電極へ到達後電気信号に変換され、測定器（Ａ９
）へ信号が送られる。
これにより得られる遅延時間と入力−出力電極間距離と
から伝ｆＩＭ速度を算出した。
から伝ｆＩＭ速度を算出した。
本発明によれば、挿入損失を５５ｄＢ以下とできｔ伝搬
速度を精度良く測定できた・ 尚、切り込みは本実施例では完全に切断したが電極形成
基板の厚さおよび切り込みの深さと位置を適当に設定す
れば溝でも良い。
速度を精度良く測定できた・ 尚、切り込みは本実施例では完全に切断したが電極形成
基板の厚さおよび切り込みの深さと位置を適当に設定す
れば溝でも良い。
本発明によれば従来のデバイス作成による測定に比べ伝
ＪＩＩｉ速度を短時間でかつ精度良く固定できるという
効果がある。
ＪＩＩｉ速度を短時間でかつ精度良く固定できるという
効果がある。
第１図は本発明の一実施例を示す断面図、第２図はその
平面図である・ １・・・入力電極、２・・・出力電極、３・・・Ｌｉ’
ｌ’ａＯｓ基板。 ４・・・切り込み、５・・・真空吸層孔＃ ６・・・基
板塔載治具、７・・・オリ７ラガイド、８・・・被評価
用Ｌｉ’ｌ”ａＯｓ基板、９・・・世１１定器。 第 １ 月 第２図
平面図である・ １・・・入力電極、２・・・出力電極、３・・・Ｌｉ’
ｌ’ａＯｓ基板。 ４・・・切り込み、５・・・真空吸層孔＃ ６・・・基
板塔載治具、７・・・オリ７ラガイド、８・・・被評価
用Ｌｉ’ｌ”ａＯｓ基板、９・・・世１１定器。 第 １ 月 第２図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、表面すべり波基板の伝搬速度を評価する方法におい
て、該基板上に表面すべり波を励振および検出するため
の手段として、電気信号と表面すべり波信号との相互変
換をならしめる電極を各１個以上設けたことを特徴とし
た表面すべり波基板の伝搬速度評価方法。 ２、被評価用表面すべり波基板と同様の表面すべり波基
板、その上に設けられた入力櫛型電極および出力櫛型電
極を有し、かつ該電極間に電極形成基板の表面および内
部を伝搬する不要波を低減する目的の切り込みを形成し
たことを特徴とする表面すべり波基板の伝搬速度評価装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62114562A JPH0629776B2 (ja) | 1987-05-13 | 1987-05-13 | 表面すべり波の伝搬速度評価方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62114562A JPH0629776B2 (ja) | 1987-05-13 | 1987-05-13 | 表面すべり波の伝搬速度評価方法および装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63281024A true JPS63281024A (ja) | 1988-11-17 |
| JPH0629776B2 JPH0629776B2 (ja) | 1994-04-20 |
Family
ID=14640918
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62114562A Expired - Fee Related JPH0629776B2 (ja) | 1987-05-13 | 1987-05-13 | 表面すべり波の伝搬速度評価方法および装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0629776B2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6267416A (ja) * | 1985-09-20 | 1987-03-27 | Mitsubishi Electric Corp | 音速測定方法 |
-
1987
- 1987-05-13 JP JP62114562A patent/JPH0629776B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6267416A (ja) * | 1985-09-20 | 1987-03-27 | Mitsubishi Electric Corp | 音速測定方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0629776B2 (ja) | 1994-04-20 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |