JPH04282464A - 弾性表面波基板の材質測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、弾性表面波基板の材質
評価のための測定装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】弾性表面波は弾性体の表面付近にエネル
ギーが集中して伝搬する波であり、この弾性表面波を応
用した電子デバイスが実用化されている。この種の弾性
表面波素子は、弾性表面波を伝搬させる基板と該基板面
に形成されて電気と弾性波のエネルギー変換を行わせる
トランスジューサから構成される。基板には圧電体が多
く使用され、トランスジューサには基板面にフォトエッ
チングにより形成されるすだれ状電極が多く使用される
。

【０００３】ここで、弾性表面波基板の材質評価、特に
該基板上に電極を形成する前に評価するための測定装置
は、図２に示すように、ガラス板１上に交差指電極２Ａ
，２Ｂを形成したものを測定治具とし、試料基板３をガ
ラス板１の電極形成面に重ね合わせ、一方の交差指電極
２Ａに励振電圧を印加し、他方の交差指電極２Ｂに伝搬
してくる弾性表面波の伝搬速度、減衰定数などを測定器
４で測定する。

【０００４】他の測定装置としては、図３に示すものが
特開昭５８−２０２６１６号に開示され、試料基板と弾
性表面波の伝搬速度がほぼ等しい圧電体５面に一対の交
差指電極６Ａ，６Ｂを形成し、この圧電体５には電極６
Ａから６Ｂへの直接の弾性表面波伝搬を阻止する阻止溝
５Ａが形成され、さらに試料基板３を真空吸着するため
の真空吸着用孔５Ｂが形成される。圧電体５及び試料基
板３は重ね合わされて真空吸着用金属性保持台７上に載
置され、真空吸込孔７Ａからの真空吸引によって圧電体
５と試料基板３を密着させ、電極６Ａ，６Ｂの一方から
の励振と他方からの伝搬出力測定を行う。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】従来の測定装置におい
て、ガラス板１を使用するものでは、弾性表面波の変換
結合効率が低く、弾性表面波の伝搬速度等を高精度評価
することができない。

【０００６】この点、圧電体５を用い、真空吸着させる
ものは、圧電体５と試料基板３の弾性表面波伝搬速度が
ほぼ等しく、弾性表面波の結合効率が良くなり、前者の
ものよりも精度良い測定ができる。

【０００７】しかしながら、後者のものは試料基板３の
中心部しか測定できないもので、該中心部の試料評価、
即ち極部的な評価しか得られない。ところが、試料基板
３は１枚から数百個のチップを得るもので、極部的な基
板評価では信頼度が低いものとなる。特に、三酸化リチ
ウムニオブ（ＬｉＮｂＯ３）や三酸化リチウムタンタル
（ＬｉＴａＯ３）のように、結晶成長にバラツキのある
基板の評価としては精度的に問題があった。

【０００８】本発明の目的は、試料基板の全面的な材質
評価になる測定装置を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、前記課題の解
決を図るため、弾性表面波基板と同等の材質にされ、弾
性表面波の阻止溝及び該阻止溝の両側に形成された一対
の交差指電極を組として少なくとも４組が分散配置され
、前記一対の交差指電極間の弾性表面波伝搬方向と直交
する方向で該電極の組を２分する吸音材が設けられ、周
辺に真空吸着用孔が設けられた圧電体と、前記圧電体が
載置され該圧電体に重ね合わされる前記基板を前記真空
吸着用孔への負圧吸引によって該圧電体と基板を密着さ
せる保持台と、前記一対の交差指電極の各組に一方の電
極からの夫々励振電圧印加と他方の電極からの電圧出力
測定によって前記基板の材質測定をする測定手段とを備
えたことを特徴とする。

【００１０】

【作用】上記構成によれば、圧電体には少なくとも４組
の交差指電極が形成され、各組での材質測定によって基
板の４箇所以上での材質測定になる。また、各組の電極
間は吸音材によって弾性表面波の不要な伝搬が抑制され
る。

【００１１】

【実施例】図１は本発明の一実施例を示す装置構成図で
ある。同図が図３と異なる部分は圧電体５の構成にある
。圧電体１１は、試料基板３とほぼ同様の材質にされ、
平面図を図１の（ｂ）に示すように、一対の交差指電極
１１Ａ，１１Ｂが４組分散配置され、各交差指電極１１
Ａ，１１Ｂを両側として縦横に形成される弾性表面波阻
止溝１２によって電極間の直接の弾性表面波の伝搬が阻
止される。圧電体１１の中央部には吸音材１３が設けら
れる。この吸音材１３は電極１１Ａから１１Ｂへの弾性
表面波の伝搬方向と直交する方向に設けられ、４組の交
差指電極１１Ａ，１１Ｂの組を２分してその間の弾性表
面波の伝搬（漏れ）を抑制する。電極１１Ａ，１１Ｂへ
の励振電圧印加と電圧出力の引き出しは夫々リード部１
４によって外部に引き出される。圧電体１１の４つの隅
には真空吸着用孔１５が設けられ、真空吸着用金属性保
持台７の吸込孔７Ｂと位置合わせされている。

【００１２】本実施例において、圧電体１１は保持台７
に載置され、この圧電体１１の上に試料基板３が重ね合
わされる。この状態で保持台７には真空ポンプ（図示省
略）からの負圧が加えられ、孔１５への負圧吸引によっ
て圧電体１１と試料基板３の密着がなされる。

【００１３】この後、測定手段からは一対の交差指電極
１１Ａ，１１Ｂの一方に励振電圧を印加し、他方の電圧
出力を測定する。このとき、弾性表面波は励振側から発
して試料基板３を伝搬し、他方の電極から電気信号とし
て取り出される。即ち、弾性表面波は阻止溝１２によっ
て圧電体１１を通した直接の伝搬が阻止される。また、
１組の交差指電極間でのみ伝搬し、他の組への伝搬は吸
音材１４によって阻止される。

【００１４】従って、４組の交差指電極１１Ａ，１１Ｂ
について順次測定を行うことにより、試料基板３の４箇
所について材質評価を行うことができ、従来の１箇所の
測定に較べて試料基板３の材質評価精度を高めることが
できる。

【００１５】なお、実施例においては４箇所の測定にな
るが、図１の（ｂ）に示すＡ、Ｂ点にも対の交差指電極
を設けて該部分についても材質評価を得る場合には８箇
所の測定になって精度を一層向上させることができる。

【００１６】

【発明の効果】以上のとおり、本発明によれば、弾性表
面波基板の材質評価のため、少なくとも４組以上の一対
の交差指電極を分散配置し、該電極の組を２分する吸音
材を設けた圧電体を基板に密着させ、電極の各組での材
質評価のための測定を行うようにしたため、試料基板の
全面的な材質評価を得ることができ、評価精度を高める
ことができる。また、吸音材によって電極間の弾性表面
波が他の組の電極側に漏れるのを防止するため、不要反
射等を無くして材質評価を一層高精度にする効果がある
。また、本発明は圧電体と基板の吸着は１回行うのみで
全面的に測定でき、従来装置（図３）で基板全面につい
て測定しようとすると基板位置をずらすことが考えられ
るが、これには真空吸引の運転停止を複数回行うことに
なって測定時間が長くなり、本発明では測定時間を短縮
する効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す装置構成図。

【図２】従来の測定装置。

【図３】従来の他の測定装置。

【符号の説明】

１１…圧電体、１２…弾性表面波阻止溝、１１Ａ，１１
Ｂ…交差指電極、１３…吸音材、１４…リード部、１５
…真空吸着用孔。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　弾性表面波基板と同等の材質にされ、
   弾性表面波の阻止溝及び該阻止溝の両側に形成された一
   対の交差指電極を組として少なくとも４組が分散配置さ
   れ、前記一対の交差指電極間の弾性表面波伝搬方向と直
   交する方向で該電極の組を２分する吸音材が設けられ、
   周辺に真空吸着用孔が設けられた圧電体と、前記圧電体
   が載置され該圧電体に重ね合わされる前記基板を前記真
   空吸着用孔への負圧吸引によって該圧電体と基板を密着
   させる保持台と、前記一対の交差指電極の各組に一方の
   電極からの夫々励振電圧印加と他方の電極からの電圧出
   力測定によって前記基板の材質測定をする測定手段とを
   備えたことを特徴とする弾性表面波基板の材質測定装置
   。