JPS6345055Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6345055Y2 JPS6345055Y2 JP1984093704U JP9370484U JPS6345055Y2 JP S6345055 Y2 JPS6345055 Y2 JP S6345055Y2 JP 1984093704 U JP1984093704 U JP 1984093704U JP 9370484 U JP9370484 U JP 9370484U JP S6345055 Y2 JPS6345055 Y2 JP S6345055Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- input
- piezoelectric substrate
- output transducer
- surface acoustic
- strip coupler
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 18
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 claims description 16
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 10
- 239000011358 absorbing material Substances 0.000 claims description 6
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 3
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 2
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910013641 LiNbO 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
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- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は弾性表面波素子の改良に関する。
一般に弾性表面波素子は第1図に示す如くニオ
ブ酸リチウム(LiNbO3)、タンタル酸リチウム
(LiTaO3)等の圧電物質で形成した圧電基板1
の表面にそれぞれ1対の櫛形状の電極パターンを
組合わせた形状に薄膜金属により形成した入力ト
ランスジユーサ2と出力トランスジユーサ3とを
設けたものであつて入力トランスジユーサ2より
電気信号4を入れて弾性表面波5を発生させ、こ
れを伝播させて出力トランスジユーサ3より電気
信号6として取出すことができるようにしたもの
である。この場合、トランスジユーサ2および3
の電極パターンの設計をいろいろ工夫することに
より電気信号から音響信号へ変換するとき、ある
いはその逆変換のときに任意のフイルタ特性をつ
くることができる。ところが入力トランスジユー
サ2からは表面波のほかに基板1の内部を伝播す
るバルク波も発生し、このバルク波が出力トラン
スジユーサ3に伝達されて出力特性に悪影響を及
ぼす。この対策として第2図に示す如く入力トラ
ンスジユーサ2と出力トランスジユーサ3とを図
の如き位置に平行移動させ、かつその中間に複数
本のフイラメント状導体からなるマルチストリツ
プカプラと呼ばれる複数平行電極7を設け、実線
矢印で示す如き伝播路8を形成し、点線矢印で示
すバルク波9の影響を防止している。しかしこの
ような方式を用いても第3図に示す如くマルチス
トリツプカプラ7および出力トランスジユーサ3
の端部から10および10′の如き表面波の反射
があり、これが特性に悪影響を及ぼす。本考案は
この欠点を改良するために案出されたものであ
る。
ブ酸リチウム(LiNbO3)、タンタル酸リチウム
(LiTaO3)等の圧電物質で形成した圧電基板1
の表面にそれぞれ1対の櫛形状の電極パターンを
組合わせた形状に薄膜金属により形成した入力ト
ランスジユーサ2と出力トランスジユーサ3とを
設けたものであつて入力トランスジユーサ2より
電気信号4を入れて弾性表面波5を発生させ、こ
れを伝播させて出力トランスジユーサ3より電気
信号6として取出すことができるようにしたもの
である。この場合、トランスジユーサ2および3
の電極パターンの設計をいろいろ工夫することに
より電気信号から音響信号へ変換するとき、ある
いはその逆変換のときに任意のフイルタ特性をつ
くることができる。ところが入力トランスジユー
サ2からは表面波のほかに基板1の内部を伝播す
るバルク波も発生し、このバルク波が出力トラン
スジユーサ3に伝達されて出力特性に悪影響を及
ぼす。この対策として第2図に示す如く入力トラ
ンスジユーサ2と出力トランスジユーサ3とを図
の如き位置に平行移動させ、かつその中間に複数
本のフイラメント状導体からなるマルチストリツ
プカプラと呼ばれる複数平行電極7を設け、実線
矢印で示す如き伝播路8を形成し、点線矢印で示
すバルク波9の影響を防止している。しかしこの
ような方式を用いても第3図に示す如くマルチス
トリツプカプラ7および出力トランスジユーサ3
の端部から10および10′の如き表面波の反射
があり、これが特性に悪影響を及ぼす。本考案は
この欠点を改良するために案出されたものであ
る。
このため本考案においては、弾性表面波を伝播
する圧電基板上に一対の櫛形電極からなる入出力
トランスジユーサと複数本のフイラメント状導体
からなるマルチストリツプカプラとを少なくとも
具備し、且つ該入出力トランスジユーサが該マル
チストリツプカプラを挾んで斜に対向して配置さ
れており、該入力トランスジユーサにより発生し
た弾性表面波が該マルチストリツプカプラにより
伝播路変換されて該出力トランスジユーサにより
電気信号として取出される弾性表面波素子におい
て、前記入出力トランスジユーサの前記圧電基板
端面側の終端電極と前記圧電基板端面との間の該
圧電基板上に該終端電極より連続して該入出力ト
ランスジユーサの電極ピツチとほぼ等しい間隔で
複数本のすだれ状電極体を配置し、また前記マル
チストリツプカプラの前記入出力トランスジユー
サに対向する終端フイラメント状導体と該圧電基
板端面との間の該圧電基板上に該終端フイラメン
ト状導体より連続して該マルチストリツプカプラ
のフイラメント状導体ピツチとほぼ等しい複数本
のすだれ状電極体を配置し、更に前記圧電基板両
端面に前記すだれ状電極体を通つて伝播する弾性
表面波を吸収する吸音材を設けてなることを特徴
とするものである。
する圧電基板上に一対の櫛形電極からなる入出力
トランスジユーサと複数本のフイラメント状導体
からなるマルチストリツプカプラとを少なくとも
具備し、且つ該入出力トランスジユーサが該マル
チストリツプカプラを挾んで斜に対向して配置さ
れており、該入力トランスジユーサにより発生し
た弾性表面波が該マルチストリツプカプラにより
伝播路変換されて該出力トランスジユーサにより
電気信号として取出される弾性表面波素子におい
て、前記入出力トランスジユーサの前記圧電基板
端面側の終端電極と前記圧電基板端面との間の該
圧電基板上に該終端電極より連続して該入出力ト
ランスジユーサの電極ピツチとほぼ等しい間隔で
複数本のすだれ状電極体を配置し、また前記マル
チストリツプカプラの前記入出力トランスジユー
サに対向する終端フイラメント状導体と該圧電基
板端面との間の該圧電基板上に該終端フイラメン
ト状導体より連続して該マルチストリツプカプラ
のフイラメント状導体ピツチとほぼ等しい複数本
のすだれ状電極体を配置し、更に前記圧電基板両
端面に前記すだれ状電極体を通つて伝播する弾性
表面波を吸収する吸音材を設けてなることを特徴
とするものである。
以下添付図面に基づいて本考案の実施例につき
詳細に説明する。
詳細に説明する。
第4図に第1の実施例を示す。図において符号
11は基板、12はその上に形成された入力トラ
ンスジユーサ、13は出力トランスジユーサ、1
4はマルチストリツプカプラ、15は吸音材であ
る。そして入力トランスジユーサ12、出力トラ
ンスジユーサ13、マルチストリツプカプラ14
のそれぞれの側方には、該側方より基板1の端部
に塗布された吸音材15までの間に複数条の電極
からなるすだれ状電極体16〜19が形成されて
いる。なおこれらのすだれ状電極体16〜19の
ピツチはそれぞれの対向する電極のピツチに合わ
せる。例えばすだれ状電極体19は出力トランス
ジユーサ13のピツチに合わせ、すだれ状電極体
17,18はマルチストリツプカプラ14のピツ
チと同一にする。
11は基板、12はその上に形成された入力トラ
ンスジユーサ、13は出力トランスジユーサ、1
4はマルチストリツプカプラ、15は吸音材であ
る。そして入力トランスジユーサ12、出力トラ
ンスジユーサ13、マルチストリツプカプラ14
のそれぞれの側方には、該側方より基板1の端部
に塗布された吸音材15までの間に複数条の電極
からなるすだれ状電極体16〜19が形成されて
いる。なおこれらのすだれ状電極体16〜19の
ピツチはそれぞれの対向する電極のピツチに合わ
せる。例えばすだれ状電極体19は出力トランス
ジユーサ13のピツチに合わせ、すだれ状電極体
17,18はマルチストリツプカプラ14のピツ
チと同一にする。
このように形成された本実施例においては、マ
ルチストリツプカプラ14および出力トランスジ
ユーサ13のそれぞれの端部に達した表面波はす
だれ状電極体17,19を通つて吸音材15に吸
収される。従つてマルチストリツプカプラ14お
よび出力トランスジユーサ13の端部からの反射
は無くなる。なおすだれ状電極体16,18も同
様の作用をするものである。
ルチストリツプカプラ14および出力トランスジ
ユーサ13のそれぞれの端部に達した表面波はす
だれ状電極体17,19を通つて吸音材15に吸
収される。従つてマルチストリツプカプラ14お
よび出力トランスジユーサ13の端部からの反射
は無くなる。なおすだれ状電極体16,18も同
様の作用をするものである。
次に第2の実施例を第5図に示す。これは入力
トランスジユーサ12の終端より連続して該入力
トランスジユーサ12と同一ピツチのすだれ状電
極体20を形成し、出力トランスジユーサ13の
終端より連続して該出力トランスジユーサ13と
同一ピツチのすだれ状電極体23を形成し、さら
にマルチストリツプカプラ14の終端より連続し
て該マルチストリツプカプラ14と同一ピツチの
すだれ状電極体21,22を形成し、この各すだ
れ状電極体20〜23を外方に行くほど短かくし
てエンドロープを形づくつたものである。
トランスジユーサ12の終端より連続して該入力
トランスジユーサ12と同一ピツチのすだれ状電
極体20を形成し、出力トランスジユーサ13の
終端より連続して該出力トランスジユーサ13と
同一ピツチのすだれ状電極体23を形成し、さら
にマルチストリツプカプラ14の終端より連続し
て該マルチストリツプカプラ14と同一ピツチの
すだれ状電極体21,22を形成し、この各すだ
れ状電極体20〜23を外方に行くほど短かくし
てエンドロープを形づくつたものである。
このように形成された本実施例においては、マ
ルチストリツプカプラ14および出力トランスジ
ユーサ13のそれぞれ端部に達した表面波はすだ
れ状電極体21,23に入り減衰される。従つて
前実施例と同様にマルチストリツプカプラ14お
よび出力トランスジユーサ13のそれぞれの端部
よりの反射はない。
ルチストリツプカプラ14および出力トランスジ
ユーサ13のそれぞれ端部に達した表面波はすだ
れ状電極体21,23に入り減衰される。従つて
前実施例と同様にマルチストリツプカプラ14お
よび出力トランスジユーサ13のそれぞれの端部
よりの反射はない。
第7図ないし第9図は本考案品と従来品のマル
チストリツプカプラおよび出力トランスジユーサ
からの反射をオシロスコープにより観測した結果
を示したものである。なお入力は第6図に示す如
きパルス24を入力トランスジユーサより入力し
た。また反射波の観測結果は第7図に従来品を、
第8図に本考案の第1の実施例を、第9図に第2
の実施例を示した。これより第7図の従来品には
入力トランスジユーサの終端よりの反射波25の
ほかにマルチストリツプカプラの終端よりの反射
波26と、出力トランスジユーサの終端よりの反
射波27とが認められるが、第8図および第9図
に示す本考案品にはマルチストリツプカプラおよ
び出力トランスジユーサの各終端よりの反射波は
認められない。尚、28は出力トランスジユーサ
自体からの反射波である。
チストリツプカプラおよび出力トランスジユーサ
からの反射をオシロスコープにより観測した結果
を示したものである。なお入力は第6図に示す如
きパルス24を入力トランスジユーサより入力し
た。また反射波の観測結果は第7図に従来品を、
第8図に本考案の第1の実施例を、第9図に第2
の実施例を示した。これより第7図の従来品には
入力トランスジユーサの終端よりの反射波25の
ほかにマルチストリツプカプラの終端よりの反射
波26と、出力トランスジユーサの終端よりの反
射波27とが認められるが、第8図および第9図
に示す本考案品にはマルチストリツプカプラおよ
び出力トランスジユーサの各終端よりの反射波は
認められない。尚、28は出力トランスジユーサ
自体からの反射波である。
以上説明した如く本考案にかかる弾性表面波素
子は入出力トランスジユーサおよびマルチストリ
ツプカプラ等の各電極の終端より連続してすだれ
状電極体を設けることにより表面波の反射を防止
し、特性の改善を可能としたものである。
子は入出力トランスジユーサおよびマルチストリ
ツプカプラ等の各電極の終端より連続してすだれ
状電極体を設けることにより表面波の反射を防止
し、特性の改善を可能としたものである。
第1図は弾性表面波素子の原理説明図、第2図
および第3図は従来の弾性表面波素子の1例の模
式図、第4図は本考案にかかる第1の実施例の弾
性表面波素子の模式図、第5図は第2の実施例の
模式図、第6図ないし第9図はオシロスコープに
よる観測結果であつて、第6図は入力パルス波の
経時線図、第7図は従来品の反射波の経時線図、
第8図は本考案にかかる第1の実施例の反射波の
経時線図、第9図は第2の実施例の反射波の経時
線図である。 11……圧電基板、12……入力トランスジユ
ーサ、13……出力トランスジユーサ、14……
マルチストリツプカプラ、15……吸音材、16
〜23……すだれ状電極体。
および第3図は従来の弾性表面波素子の1例の模
式図、第4図は本考案にかかる第1の実施例の弾
性表面波素子の模式図、第5図は第2の実施例の
模式図、第6図ないし第9図はオシロスコープに
よる観測結果であつて、第6図は入力パルス波の
経時線図、第7図は従来品の反射波の経時線図、
第8図は本考案にかかる第1の実施例の反射波の
経時線図、第9図は第2の実施例の反射波の経時
線図である。 11……圧電基板、12……入力トランスジユ
ーサ、13……出力トランスジユーサ、14……
マルチストリツプカプラ、15……吸音材、16
〜23……すだれ状電極体。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 弾性表面波を伝播する圧電基板上に一対の櫛形
電極からなる入出力トランスジユーサと複数本の
フイラメント状導体からなるマルチストリツプカ
プラとを少なくとも具備し、且つ該入出力トラン
スジユーサが該マルチストリツプカプラを挟んで
斜に対向して配置されており、該入力トランスジ
ユーサにより発生した弾性表面波が該マルチスト
リツプカプラにより伝播路変換されて該出力トラ
ンスジユーサにより電気信号として取出される弾
性表面波素子において、 前記入出力トランスジユーサの前記圧電基板端
面側の終端電極と前記圧電基板端面との間の該圧
電基板上に該終端電極より連続して該入出力トラ
ンスジユーサの電極ピツチとほぼ等しい間隔で複
数本のすだれ状電極体を配置し、 また前記マルチストリツプカプラの前記入出力
トランスジユーサに対向する終端フイラメント状
導体と該圧電基板端面との間の該圧電基板上に該
終端フイラメント状導体より連続して該マルチス
トリツプカプラのフイラメント状導体ピツチとほ
ぼ等しい複数本のすだれ状電極体を配置し、 更に前記圧電基板両端面に前記すだれ状電極体
を通つて伝播する弾性表面波を吸収する吸音材を
設けてなることを特徴とした弾性表面波素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9370484U JPS6027526U (ja) | 1984-06-25 | 1984-06-25 | 弾性表面波素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9370484U JPS6027526U (ja) | 1984-06-25 | 1984-06-25 | 弾性表面波素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6027526U JPS6027526U (ja) | 1985-02-25 |
JPS6345055Y2 true JPS6345055Y2 (ja) | 1988-11-22 |
Family
ID=30224695
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9370484U Granted JPS6027526U (ja) | 1984-06-25 | 1984-06-25 | 弾性表面波素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6027526U (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5652343B2 (ja) * | 2011-06-24 | 2015-01-14 | 株式会社デンソー | 弾性表面波デバイス |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5239348A (en) * | 1975-09-19 | 1977-03-26 | Philips Nv | Surface acoustic wave device and electric filter therewith |
-
1984
- 1984-06-25 JP JP9370484U patent/JPS6027526U/ja active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5239348A (en) * | 1975-09-19 | 1977-03-26 | Philips Nv | Surface acoustic wave device and electric filter therewith |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6027526U (ja) | 1985-02-25 |
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