JPS6265405A - 電極層を持つセラミツク部品の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はセラミック部品、特に印刷法による電極膜グリ
ーンシートを持つセラミック部品の製造方法に関するも
のである。

〔従来技術〕

印刷法による電極膜グリーンシートを用いたセラミック
部品としては、積層セラミ、クコンデンサー、チ、ｆイ
ンダクタやチ、グ抵抗などがあるが、以下積層セラミ、
クコンデンサを例として説明する。従来この種の積層セ
ラミ、クコンデンサーは例えば次の様な製造１糧にて作
られる。即ち。

所定の誘電材料セラミック粉末にバインダー、可塑剤９
分散剤、溶媒を混合した泥装を、ドクターブレード法等
により所定の厚みを有するセラミ。

フグリーンシートを形成する。そしてこのセラミ、フグ
リーンシート上に、銀・ぐラジウム等の導電部材にバイ
ンダー及び溶媒を混合した電極ペーストを所定のノやタ
ーンにスクリーン印刷を行ない乾燥することで内部電極
シートを形成する。

次にこの内部電極シートを、対向する電極間で電荷を持
つ部分と内部電極取り出し部が形成される様に複数枚積
層すると共に、上下面に電極を含まない保護シートを積
層し、ホウトゲレスにより加温加圧することで一体化し
生チ、ノ積層板を得る。積層に際して、内部電極シート
間に複数層のセラミックグリーンシートを入れる場合も
ある。

次にこの積層板を個々の積層チ、ノに切断分離した後焼
結を行ない、内部電極取り出し部が引き出される端面に
導電ペーストを塗布焼付し、共通電極を設けることで積
層セラミックごンデンサーチップを得る。

〔発明の解決すべき問題点〕

ところで小形大容量の積層セラミックコンデンサーチッ
プを製造するに際し、電極シートの積層枚数が多くなる
に従って積層シート間の局所的な圧着不良やデラミネー
ションが生じ易くなる。

第４図は上記の局所的な圧着不良とデラミネーシヨンの
発生箇所を示す図である。焼成上りの積層チップを超音
波探傷等の方法にて積層シート間の圧着不良場所を探傷
した場合、不良チ、ｆはこの図に示す様に内部電極ｔＪ
？ターンの周辺近傍における局所的な圧着不良１が発生
を易く、極端な場合はデラミネーション２に拡大する。

このことは材質を異にするセラミック部と電極層部の圧
着の難しいことと、電極シートを多数枚積層した場合に
生ずる電極層部分と周辺のセラミックのみの部分との積
層厚みの差による圧縮応力の境界線が、内部電極・ぐタ
ーン周辺に相当することとによる。

この様な圧着不良箇所の発生は、焼成後の製造工程にお
ける種々の熱歪や機械的歪によシ拡大される場合があり
２例えば共通電極へのリード線半田付工程において焼成
チップ外部にまで露出するクラック発生に結びつき、信
頼性における重欠陥となる問題点がある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明によれば、電極膜グリーンシートを有するセラミ
ック部品を製造する方法において、前記電極膜クリーン
シートを加熱ロール圧着を施す工程を含むことを特徴と
する。電極層を持つセラミック部品の製造方法が得られ
る。

〔実施例〕

以下本発明における実施例について説明する。

第１図はセラミック部品に使われる内部電極シートと別
に用意されたグリーンシートとをローラーによシ加熱圧
縮して一体化をする工程の概略図である。

内部電極部のロールフィルム１は通常のドクターブレー
ド法にてＩジエステルキャリアフィルム上に３０μｍの
厚みのセラミックグリーンシートを形成した後、銀・９
ラジウムから成る内部電極イーストを所定の電極ノＪ？
ターンにて厚み５μｍでスクリーン印刷を行ない、乾燥
・巻き取りを行なったものでアリ、クリーンシートのロ
ールフィルム２は厚み１５１Ｒｎで成膜され巻き取られ
たものである。

面 これら２つのロールフィルム１と２を電極［３とセラミ
、フグリーンシート面４とが対向する様に引き出した後
加熱圧着ローラー５，６にて加熱・圧縮を行なう。これ
によシ印刷時の厚み５μｍから３０〜５０壬程度圧縮さ
れ３μｍ前後まで厚みの減少した電極面３を中間層に持
ち、上下面がセラミ、フグリーンシートで覆われ、互い
に強固に圧着された第２の電極シート７が得られる。こ
のシートはフィルム巻取りリール１２に巻取られる。

押えローラー５，６を通過したあとキャリアフィルム８
，９は第２の電極シート７におけるセラミック面よシ剥
離され、フィルム巻取りローラー１０．１１にそれぞれ
巻き取られる。この様にして得られた第２の電極シート
７は、従来の方法に従い適当な大きさに打ち抜かれた後
７金型中に積層され、ホットプレスにより生チツプ積層
板となり、所定のチップ形状に゛切断された後焼成され
る。

この場合成膜され一体化されるセラミックグリーンシー
トの厚みは、コンデンサーの設計条件によシ任意に決定
される。

第２図（ａ）は第１図の加熱圧着ローラー５，６がを同
様に誇張して示した図である。３〜７はいずれも第１図
の場合と同じ構成要素を示しである。

これにより電極面３が圧縮される状況が分る。

第３図に第２図（＆）で得られる電極層グリーンシート
を２枚重ねた積層板の断面の拡大囚と従来法による積層
板の断面の拡大（Ｂ）を示す。図において。

ａは最初の印刷膜におけるペースのセラミックシート、
ｂはロール圧縮により密度が上がって薄くなった内部電
極、ｂ′は従来法の内部電極、Ｃはａ。

ｂとロール圧縮により一体化されたセラミックシー）、
ｄは従来法における単独に積層されたセラミックシー）
＋ｅは圧着不良空隙をあられしている。この図から分る
ように、電極シートのロール圧縮を行なうことによシ、
セラミ、クシートは数憾以下の圧縮しか行なわれないが
、同時に圧縮された電極部は５０〜７０％まで圧縮され
る。従って積層板を製造する際、内部電極を含んだセラ
ミック部の厚みと、セラミックのみの部分の厚みの差が
３０〜５０Ｌ４緩和され、これにより内部電極周辺部で
の圧着不良発生が大巾に改善される。また、ロール圧縮
とホ、トゾレスによる加圧が段階を追って成されるため
２強固に圧着された積層板を得ることが出来る。

以上の説明は積層セラミ、クコンデンサーについて説明
したが、はじめに説明したように１本発明は電極層セラ
ミ、クシートを用いたチ、ｆイン積層して用いるのが、
単層の場合でも圧着不良発生が改善される。

〔発明の効果〕

以上の説明から分るように２本発明によれば電極厚みに
よる積層板内の機械的な歪を緩和し、圧着不良ないしデ
ラミネーションの大巾に改善された電極膜グリーンシー
トを用いた　−゛　　　１′　　　　゛　　　　　　信
頼性の高いセラミック部品を得ることが出来る。又、内
部電極の印刷ペースト密度を上げることが出来るため、
焼成に際して電極の収縮が少なく、容量抜け、誘電正接
。

等価直列抵抗の特性面で安定なセラミック部品を得るこ
とが出来る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例構成を示す図、第２図は第１
図の一部を拡大して示す図、第３図は積層板断面の拡大
図であって、（Ａ）は本発明によるもの、（Ｂ）は従来
法によるものを示し、第４図は従来の積層体内部の圧着
不良デラミネーションの発生箇所を示す図である。 記号の説明：１は内部電極部のロールフィルム。 ２はグリーンシートのロールフィルム、３は電極面、４
はセラミ、フグリーンシート面、５，６は加熱圧着ロー
ラ−，７は第２の電極シート、８゜９はキャリアフィル
ム、ｔｏ、ｉｔ、ｉｚはフィルム巻取りリールをそれぞ
れあられしている。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、電極膜グリーンシートを有するセラミック部品を製
   造する方法において、前記電極膜グリーンシートを加熱
   ロール圧着を施す工程を含むことを特徴とする、電極層
   を持つセラミック部品の製造方法。