JPS626506A - 音叉型水晶振動子の電極形成方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （技術分野） 本発明は近年著しく小型化が進んだ電子機器等に組込ま
れる超小型音叉型水晶振動子の電極形成方法に関するも
のである。

（従来技術） 従来主流となっていた音叉型水晶振動子の電極構造は、
第５図に示すように第１の音叉脚部１１の表裏面（以下
主面という）に形成された第１の励振電極２１と、第２
の音叉脚部１２の内外側面（以下側面という）に形成さ
れた第１の励振電極２２とを音叉型水晶片基部側面１３
１にて共通接続し、第１の音叉脚部１１の側面に形成さ
れた第２の励振電極２４と、第２の音叉脚部１２の主面
に形成された第２の励振電極２３とを音叉型水晶片基部
側面（図示せ　　　　　　　２ず）にて共通接続してい
た。これはマスキング手段を用い励振電極を音叉型水晶
片に形成する際、この音叉型水晶片の主面を第６図に示
すような金属性の蒸着マスク３にて挟み、真空蒸着機に
て必要な部分にのみ励振電極を形成することにより必熱
的に生じる電極構造なのである。叩ち第５図に示す電ｌ
ｉＡ部とＢ部は同極であり、本来ならば音叉型水晶片基
部１３の主面上にて接続すべきものであるが、実際上蒸
着マスクの構造上困難なのである。第６図に示す蒸着マ
スクに注目すると、前記電極Ａ部を形成するのは透孔Ｂ
部であり、前記電極Ｂ部を形成するのは透孔１部である
。ここで、この透孔Ｂ部と１部を部分的にでも接続する
と、マスクＢ部並びにに部の延長上が切断されているこ
とにより、このマスクＢ部並びにに部が若干なりとも浮
き、励振電極形成のための蒸着の際、電極がショートす
る等の事故が多くなる。よって、従来マスキング手段を
用いる場合の蒸着マスクはほぼ第６図の構造に類似して
いた。

しかしながら電子機器の超小型化が進むにつれて水晶振
動子も小型化が要求されてきており、従来の方法では第
５図に示す電極Ａ部を極端に細（せざるを得なくなり、
このため主面と側面を繋ぐ部分りで電極切れが生じたり
、また電気的特性を変更する電極構造、寸法等の設計上
の自由度も極端に少なくなるという欠点を有していた。

（目的） 本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、超小型化し
ても設計上自由度を有し、電気的特性にも優れた音叉型
水晶振動子の電極形成方法を提供するものである。

（構成） 本発明は、第１の脚部主面に形成される第１の励振電極
と、第２の脚部側面に形成される第１の励振電極とを音
叉型水晶片表面において共通接続し、第１の脚部側面に
形成される第２の励振電極と、第２の脚部主面に形成さ
れる第２の励振電極とを前記音叉型水晶片基部の裏面に
おいて共通接続した音叉型水晶振動子の電極形成におい
て、音叉脚部内側面に電極形成するための透孔部に一種
のブリッジ部を設けた蒸着マスクを使用して蒸着を行う
ことを特徴とするものである。

（実施例） 本発明による実施例を図面とともに説明する。

第１図は本発明による電極構造の１例を示す図である。

第１の音叉脚部５１の主面に形成された第１の励振電極
６１と、第２の音叉脚部５２の側面に形成された第１の
励振電極６２とは音叉型水晶片基部表面５３にて共通接
続され、第１の音叉脚部５１の側面に形成された第２の
励振電極６４と、第２の音叉脚部５２の主面に形成され
た第２の励振電極６３とは音叉型水晶片基部裏面（図示
せず）にて共通接続されており、音叉型水晶片基部表面
５３においては第１の励振電極が、音叉型水晶片基部裏
面においては、第２の励振電極がかなりの部分を占めて
いる電極構成となっている。

次に、第１図に示す電極構造を実現する蒸着マスクの構
造を第２図にて説明する。７は音叉型水晶片５の表面を
覆う第１の蒸着マスクであり、斜線で示す部分は、透孔
部７２、その他の部分は金属製のマスク部７１である。

音叉型水晶片５は点線のように配置される。マスクＮ部
の下部は他のマスク部と繋がっていないが、ブリッジ２
部にてマス２０部と３部を連結しているので、マスク０
部並びにマスクＮ部が浮き上がるなど不安定になること
はない。音叉型水晶片の裏面に設置する第２の蒸着マス
クもほぼ同じ構造を有しており、第１の蒸着マスク７に
形成したブリッジ２部は第２の蒸着マスク８にも存在す
るが、第１の蒸着マスクにおける位置と相対的にややず
らして形成している。

第２図（ｂ）は前記一対の蒸着マスクに音叉型水晶片を
挟んだ状態での第２図（ａ）のａ−ａ断面図であるが、
第１の蒸着マスク７におけるブリッジ２部の位置と、第
２の蒸着マスク８におけるブリッジ２部の位置は相対的
にずらしである。これは蒸着の際、一対の蒸着マスクに
て音叉型水晶片を挟み、クロム、銀などの蒸着物質を付
着させているが、透孔０部、Ｒ部は第１の音叉脚部５１
と第２の音叉脚部５２の各々の内側面電極を形成するた
めに設けられているので、ブリッジ２部の位置を相対的
にずらすことにより、第３図の音叉型水晶振動子の叉部
拡大図に示すように、所謂マスキングによる陰を極少に
抑えることができ、上記内側面電極の電極切れを防いで
いる。

尚、蒸着の際、被蒸着物（音叉型水晶片を挟んだ蒸着マ
スク）は蒸着−源に対し正対向した状態から３０度また
は４５度の角度をもって設置される。そして、この被蒸
着物は自転しながら、かつ蒸着源を中心として公転して
いるので、蒸着マスクが密着していない部分には隅々に
蒸着物質を形成することができる。ブリッジ２部の形状
は、例えば第４図（ａ）ないしくｄ）の音叉型水晶片叉
部近傍に対応する蒸着マスクの部分図に示すように、マ
スク０部、Ｎ部と８部を繋ぐ形状であれば何でもよく、
特に（ｃ）（ｄ）は比較的面積の大きいＮ部を接続して
いるので、より安定な蒸着マスクとなる。尚、一般的に
は一枚の金属板に、第２図に示すような蒸着マスクパタ
ーンを縦、横に複数個形成して蒸着マスクとし、一度に
複数個の蒸着を行うようにしている。

（効果） 本発明によれば、音叉型水晶片基部の主面に形成された
同極の電極が従来のように分離されず繋がっているため
、部分的な電極切れの事故が殆どなくなり、また第２図
においてＧに示される。ように第２の電極の音叉叉部か
ら下方向への寸法を多くとることができるので、電極構
造、寸法等の設計上の自由度が増し、超小型にしてもク
リスタルインピーダンス等の電気的特性の良好な音叉型
水晶振動子を得ることができる。さらに、電気信号を外
部に引き出すリード線との接着部（第１図のＦ部）の面
積を広くとることができるため、接着強度を増し耐衝撃
性に優れた音叉型水晶振動子を実現した。

【図面の簡単な説明】

第１図は音叉型水晶片を示す図、第２図（ａ）は、本発
明に使用する蒸着マスクの例を示す図、第２図（ｂ）は
蒸着マスク使用時の第２図（ａ）のａ−ａの断面図、第
３図は、本発明による音叉型水晶振動子の叉部拡大図、
第４図は、本発明に使用する蒸着マスクの他の実施例を
示す図、第５図、第６図は従来例を示す図である。 １．５　　−・−・−・−・−・・−・音叉型水晶片２
１．２２．６１．６２−−−−−・・−・−−−−−・
第１の励振電極２３．２４．６３．６４　−−−−−−
−・−・−・第２の励振電極３．７．８　　　・−−−
−−−−一−−−−・−蒸着マスク特許出願人　　株式
会社　大和真空工業所−回−ｊ−

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　第１の脚部主面に形成される第１の励振電極と、第２
   の脚部側面に形成される第１の励振電極とを音叉型水晶
   片基部表面において共通接続し、第１の脚部側面に形成
   される第２の励振電極と、第２の脚部主面に形成される
   第２の励振電極とを前記音叉型水晶片基部の裏面におい
   て接続した音叉型水晶振動子の電極形成方法であって、
   透孔部とマスク部を所定の形状で構成した一対の蒸着マ
   スクで音叉型水晶片を挟み、蒸着にて励振電極を形成し
   、前記一対の蒸着マスクは音叉型水晶片の第１・第２の
   脚部内側面に励振電極を形成するための透孔部に、その
   周囲のマスク部を一部連結するブリッジ部を設け、且つ
   第１の蒸着マスクのブリッジ部と第２の蒸着マスクのブ
   リッジ部との位置を相対的にずらして構成することを特
   徴とする音叉型水晶振動子の電極形成方法。