JPS6258564A - マイクロ波放電装置 - Google Patents

マイクロ波放電装置

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JPS6258564A
JPS6258564A JP60196959A JP19695985A JPS6258564A JP S6258564 A JPS6258564 A JP S6258564A JP 60196959 A JP60196959 A JP 60196959A JP 19695985 A JP19695985 A JP 19695985A JP S6258564 A JPS6258564 A JP S6258564A
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JP
Japan
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ridge
electric field
discharge tube
microwave
gas
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JP60196959A
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JPH0610971B2 (ja
Inventor
Chokichiro Shibata
長吉郎 柴田
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New Japan Radio Co Ltd
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New Japan Radio Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、マイクロ波放電装置に係り、特に、紫外線等
を発生させる放電管をマイクロ波により無電極で放電さ
せる機構に関する。
〔従来の技術〕
半導体に回路パターンを形成するためのフォトレジスト
やある種の塗料などは、紫外線を照射すると、急速に硬
化あるいは不溶物化させることができる。紫外線はまた
、殺菌などにも広く利用されている。この紫外線等を発
生させるには、一般にガス入り放電管が用いられる。
従来の放電管は、金属電極を封入し、これに電圧を加え
て放電を発生させていた。そのため、電極の耐電力以上
の電力を加えることができず、高出力が得られなかった
。また、ハロゲンやハライドなどの腐蝕性ガスを封入で
きないので、利用可能な封入ガスの種類が限定され、所
望のスペクトル成分が得られない問題点もあった。
〔発明が解決しようとする問題点〕
本発明は、従来の放電管の種々の欠点が主に封入された
金属電極に起因することに着目し、無電極放電管により
それらの問題点を解決するために、マイクロ波放電装置
を提供することを目的とする。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明は、上記目的を達成するために、誘電体にガスを
封入した無電極放電管を、リッジ型導波管の電界最大部
に挿入設置し、この導波管にマイクロ波を導入すること
により、無電極で放電を発生させるマイクロ波放電装置
を提案する。
〔発明の作用〕
第２図は、リッジ型導波管の斜視図である。図において
、導波管１の内部にはリッジ２が形成されており、点線
の電気力線で示すように、リッジ２の部分に電界が集中
している。ガスを封入した放電管をこのリッジの強電界
部に挿入すると、ガスはエネルギーを付与されて放電す
ることになる。
従って、金属電極を封入し、ておく必要はない。
さて、マイクロ波放電をさせるには、空胴共振器を用い
ることも考えられる。ところが空胴共振器ではマイクロ
波は定在波となるために、長い発光管を一様に発光させ
ることができない。これに対し、本発明で利用するりッ
ジ型導波管中のマイクロ波は進行波であるから、長い発
光管も一様に発光させることが可能である。
〔発明の実施例〕
次に、第１図により、本発明の一実施例を説明する。第
１図は、本発明によるマイクロ波数電装、置の断面図で
ある。図において、１は導波管、２はリッジ、；３は放
電管、４は導波管壁に設けた網目構造部分である。放電
管３はリッジ２の強電界部に挿入されている。
ここでは、ガス入り放電管３に接するリッジ電極の上面
２Ａを、放物面等の光を集光する曲面にしである。この
ようにすると、放電により発光した光を矢印方向の目標
物に投光するのに効率がよく好都合である。
また、リッジに対向した導波管壁に設けた網［」構造４
は１発光した光を通すが、マイクロ波をカットオフする
ピッチにしである。その結果、マイクロ波が外部に漏洩
することなく１発光した光を利用できる。
本実施例ではガス入り放電管３に金属゛電極を封入して
いないので、耐電力性が高く、高出方の光が得られる。
また、ハロゲンやハライドなどの腐蝕性ガスも自由に封
入できるから、利用可能な封入ガスの種類が拡大し、所
望のスペクトル成分の光を利用可能である。
〔発明の効果〕
本発明によれば２次の効果が得られる。
（１）放電管に金属電極を封入しない無電極放電である
から、耐電力が増し、高出力の光を取出すことができる
。
（２）ハロゲン等の腐蝕性ガスを封入し、従来は未利用
のスペクトル成分が得られる。
（３）　　リッジ型導波管を用いており、この導波管中
のマイクロ波は進行波であるから、長い発光管も一様に
発光させることが可能である。
【図面の簡単な説明】
第１図はリッジ型導波管と無電極放電管を用いた本発明
マイクロ波放電装置の断面図、第２図は本発明に用いる
リッジ型導波管の電界の様子を示す斜視図である。 １・・・リッジ型導波管　　２・・・リッジ２Ａ・・・
リッジ上面　　　　３・・・ガス入り放電管４・・・導
波管壁網目構造

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）リッジ型導波管と、誘電体にガスを封入して形成
    され前記リッジ型導波管の電界最大部に挿入設置される
    放電管とからなり、リッジ型導波管に導入したマイクロ
    波により放電を発生させることを特徴とするマイクロ波
    放電装置。
  2. （２）特許請求の範囲第１項のマイクロ波放電装置にお
    いて、リッジ上面を集光性の曲面に形成する一方、これ
    に対向する導波管壁が光透過性でマイクロ波を通過させ
    ない網目構造であることを特徴とするマイクロ波放電装
    置。
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EP0457745A2 (en) * 1990-05-17 1991-11-21 Potomac Photonics, Inc. Halogen-compatible high-frequency discharge apparatus
JP2009515294A (ja) * 2005-10-27 2009-04-09 ラクシム コーポレーション 誘電体導波管付きプラズマランプ
US8350480B2 (en) 2005-10-27 2013-01-08 Luxim Corporation Plasma lamp using a shaped waveguide body
US11759089B2 (en) 2021-03-02 2023-09-19 Helen Of Troy Limited Lint brush

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