JPS6255590A - 精密位置決め装置 - Google Patents

精密位置決め装置

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JPS6255590A
JPS6255590A JP61201889A JP20188986A JPS6255590A JP S6255590 A JPS6255590 A JP S6255590A JP 61201889 A JP61201889 A JP 61201889A JP 20188986 A JP20188986 A JP 20188986A JP S6255590 A JPS6255590 A JP S6255590A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、特に光学部材を整列させるための精密位置決
め装置に関するものである。
従来の技術 １つの自由度を有する一般的な移動装置は、ベースフレ
ーム上を滑動する可動なプラットフォームを有している
。この滑動ガイド又はガイド機構によって規定された運
動範囲は、アクチュエータによって制御される。このア
クチュエータの本体はベースフレームに固定されていて
、アクチュエータの可動部分は適当な伝達手段によって
プラットフォームに接続されている。アクチュエータの
運動がほぼ直線的であって、ガイドの運動軸線に対して
ほぼ並行であれば、移動手段は、ダールを介在させてア
クチュエータに対して支持されているプラットフォーム
に過ぎない。この支持はフレームとプラットフォームと
の間に延びるばねによって得られる。
よく知られているアクチュエータには２つのタイプのも
のがある。１つはマイクロメータスクリューに接続され
たもの、もう１つは圧電積層円板に接続されたものであ
る。
２つの自由度を有する移動運動を得るために、第２の同
様の装置のフレームが、１つの自由度を有する第１の装
置の可動プラットフォームに固定されているが、この第
２の装置は、異なる方向、例えば第１の装置に対して直
角に向けられている。第１図には２つの自由度を有する
公知の移動装置が示されている。同様に、３つの一次限
モジュールを直列接続することによってδつの自由度を
有する装置が得られる。
従来の運動ガイド装置は、１０咽から１００−までの間
の比較的大きい範囲の運動のために、特に１ミクロンか
ら１０ミクロンまでの間の高精度を維持することができ
る。大きい運動はスクリューアクチュエータによって制
御されるが、時には圧電圧アクチュエータが、イアリン
グゼールと可動ゾラット７オームとの間に取りつけられ
ている。この公知の装置は理論的には、１００分の１ミ
クロンよりも低い分析に関して非常に高い精度を得るこ
とができるが、この性能は、それに応じたガイド部分の
剛性及び繰り返えし可能性を伴なわなければ得られない
。運動システムは主に、滑動経路、遊び、摩擦及び摩耗
の加工精度が原因となって制限されている。
一般に、このような装置は、例えば単一モーＰでガイド
される光学部材を位置決め又は取りつけるような１０分
の１ミクロンの典型的な精度が要求される所定の使用時
には適していない。
移動範囲が特に１閣より小さいか又はこれと同じである
程度の小いものである場合、例えばジエイ、フィジカル
、イー：サイエンス、イ゛ンストルメンン（Ｊ、Ｐｈｙ
ｓ、Ｅ：Ｓｃｉ、Ｉｎｓｔｒｕｍ−ｅｎｌ３　）　、第
１７巻（１９８４）、９２２イージに開示された、ビー
、エイチ、シデンハム（Ｐ　、　’Ｈ、Ｓｙｄｅｎｈａ
ｍ）著による「工業における精密メカニズムの弾性設計
（Ｅｌａｓｔｉｃ　Ｄｅｓｉ−ｇｎ　ｏｆ　Ｆｉｎｅ　
Ｍｅｃｈａｎｉｓｍ　ｉｎ　Ｉｎｄｕｓｔｒｙ）に記載
された弾性ガイドの原理を用いることが提案されている
。
このようなガイド形式は、薄く細長い条片を用いること
によって容易に行なわれる。この条片は一端部が固定さ
れていて他端部が作動するようになっており、条片に対
して直交する方向の偏位運動に適しており、条片に対し
て平行な方向では剛性を維持する。この条片の偏位は、
この条片が停止している時の条片の平面に位置する軸を
中心とした自由端部の回転運動と同じである。このよう
な弾性的な「ビボント」を牛つ適当に組み合わせると、
第７図に示した移動運動が得られる。このような平行四
辺形機構は、第２の平行四辺形機構を用いて直線移動運
動を与えることによってさらに改良される。
変化が弾性限度に達しない程度に計算されていて、剛性
な固定を避けるために本体に継手が省かれていれば、遊
び、摩擦及び摩耗のない完全に正確で繰り返えし可能な
装置が得られる。
正確さは、予定された移動運動に対して直交する方向に
おけろ条片の限定された剛性に関連した、この直交方向
に加ｔえられる種々異なる負（荷の影響によってのみ制
限される。
単体の弾性システムは公知の電気侵食加工法によって有
利に行なわれる。圧電式アクチュエータによって制御さ
れる複雑な構造の、単体の弾性ガイド装置は、リサーチ
＆デイベロップメ７　　ト　（Ｒｅ５ｅａｒｃｈ　　＆
　　Ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ　）　　、　　（１９８４
年Φ月）１１４ペー、）に開示された［マイクロ回路測
定技術の精密さを改良する可動ステージ（Ｍｏｕｉｎｇ
　Ｓｔａｇｅ　Ｉｍｐｒｏｖｅｓ　Ａｃｃｕ−ｒａｃｙ
　ｏｆ　Ｍｉｃｒｏｃｉｒｃｕｉｔ　Ｍｅａｓｕｒｉｎ
ｇＴｅｃｈｎｉｑｕｅ　）　Ｊと題された７−Ａ／１７
’イー１ヤング（Ｒ、Ｄ　、　Ｙｏｕｎｇ）によって報
告されている。
しかしながら、弾性継手を備えた精密位置決め装置を使
用すると、システムにアクチュエータを組み込むことに
関連して様々な問題が生じる。圧電式のアクチュエータ
は非常に高い精度を提供するが、多くの欠点も有してい
る。つまり、１０００ポルト以上にもなる制御電圧を必
要とすること、非直線的な応答及び高いヒステリシスが
存在することである。このようなアクチュエータを使用
する場合、各アクチュエータに接続された制御ループに
組み込まれた移動検出器を必要とする。
マイクロメータスクリュ一式アクチュエータは移動運動
が大きいという利点を有しているが、比較的重くかさば
っているという欠点がある。
負荷及び振動に敏感な弾性ガイＰシスチムニよれば、そ
の性質及び高い固有精度の利点を得ようとする場合に、
いくつかの座標に従って移動させるために１つの自由度
を有する複数の位置決めモジュールを直列配置すること
は不可能である。
発明の課題 従って本発明の第１の課題は、前記システムの限度を有
していない精密位置決め装置を提供することである。
第２の課題は、単一ガイド式光学部材を取りつけること
のできる複数の自由度を有する精密位置決め装置を提供
することである。
第３の課題は、弾性ガイド手段を使用する精密位置決め
装置を提供することである。
第４の課題は、構造が小さくコンパクトな精密位置決め
装置を提供することである。
第５の課題は、電気侵食によって形成される精密位置決
め装置を提供することである。
課題を解決するだめの手段 前記課題を解決した本発明によれば、自由度Ｎ（２≦Ｎ
≦６゛）を有する精密位置決め装置において、Ｎ個のガ
イド機構によって接続された少なくとも２つの１ｔ４１
１１性部材を有しており、これら２つの剛性部材のうち
の第１の剛性部材が基準プラットフォームを構成し、第
２の剛性部材が可動プラットフォームを構成しており、
前記ガイド機構が互いに独立していて、それぞれアクチ
ュエータと、１つの自由度を有する弾性ガイド手段とを
備えており、前記アクチュエータがそれぞれ前記基準プ
ラットフォームに接続されていて、対応する弾性ガイド
”手段が前記アクチュエータと前記可動プラットフォー
ムとの間に直列に接続されている。
実施例 次に図面に示した実施例について本発明の構成を具体的
に説明する。
２つの自由度を有する公知の位置決め装置が第１図に示
されている。この位置決め装置は基準プラットフォーム
１を有しており、この基準プラットフォーム上で中間の
プラットフォーム２が滑動可能である。中間のプラット
フォーム２は可動なプラットフォーム３のための基準プ
ラットフォームとして働く。基準プラットフォーム１に
固定されたアクチュエータＩＯは、可動ヘッド１１及び
ベアリングゼール１２を介してプラットフォーム２の運
動を第１座標に沿って制御する。これに対して、中間プ
ラットフォーム２に固定されたアクチュエータ２０は、
可動ヘッド２１及びベアリングゼール２２を介してプラ
ットフォーム３の運動を前記第１座標に直交する第２座
標に溢って制御する。プラットフォーム２はばね１３に
よって固定されていて、可動なプラットフォーム３はば
ね２３によって固定されている。２つの移動運動のガイ
ドはそれぞれ、プラットフォーム２のための支持範囲１
５．１６及びプラットフォーム３のだめの支持範囲２５
．２６によって保証される。図面で付 は同一の部材には同一の符号が印されている。
第２図には、第１図に示した装置における２つの移動モ
ジュールの直列接続形式を示した概略図が示されている
。この第２図によれば一方では２つの機構がＸ、Ｙ方向
で互いに干渉し合い、他方では、アクチュエータ１０が
定置の基準プラットフォーム１に固定されていれば、ア
クチュエータ２０は可動なプラットフォーム２に固定さ
れている。このように機構が直列接続されていると、第
１に各機構に生じる故障が互いに重ね合わされる。さら
に、可動な部分にアクチュエータを取りつけると、質量
の小さいコン・ξクトな構造体を動かす時に不都合が生
じる。
第３図では、本発明による、２つの互いに直交し合う移
動運動を有する装置の作動原理を示した概略図が示され
ている。この装置は基準プラットフォーム１と、それぞ
れＸ、Ｙ方向の移動運動を伝達するだめの２つのアクチ
ュエータ１’ｏ　、　２０と可動なプラットフォーム３
とを有している。本発明によれば、２つのアクチュエー
タ１０，２０が基準プラットフォーム１に固定されてい
て、２つの機構は互いに独立している。第１の機構は、
アクチュエータ１０　ト第１のガイド手段１８と第２の
ガイド手段２７とを有している。第２の機構は、アクチ
ュエータ２０と第１のガイド手段２８と第２のガイド手
段１７とを有している。従って各機構は一方では基準プ
ラットフォーム１を接続し、他方では可動なプラットフ
ォーム３を接続する。このような形式の装置は、第２図
に示した直列接続ではなく、並列接続されている。ガイ
ド手段１７゜２７は２つの機構を互いに仕切る手段をも
構成している。第３図の変化実施例は第４図に示されて
いる。基準プラットフォーム１は、２つの中間プラット
フォーム１９．２９のだめの滑りガイドとして働く、互
いに直交し合う１対の支持面（例えばガイド手段１８　
、２８　）を有している。これらのプラットフォームは
基準プラットフォーム１に固定された２つのアクチュエ
ータ１０．２０によって制御され、それ自体、互いに直
交し合う１対のもの（例えばガイド手段１７．２７）内
においても支持面を構成していて、可動なプラットフォ
ーム３のだめの滑りガイＰとして働く。
第５図には、２つの移動運動と回転運動とによる３つの
自由度を有する、本発明の原理による別の装置の概略図
が示されている。前記実施例による２つの機構はこの実
施例でも示されているが、これら２つの機構は中間プラ
ットフォーム３１を直交する２つの座標に沿って移動せ
しめられる。回転運動を行なう機構は、基準プラットフ
ォーム１に固定されたアクチュエータキ○とガイド手段
４１．４２．４３とを有している。
第６図では、それぞれ直交し合う３つの方向Ｘ、Ｙ、Ｚ
による３つの運動の自由度を有する装置の実施例が示さ
れている。基準プラットフォーム１は３面体長方形の形
状を有しており、この３面体長方°形の各３つの面は支
持範囲（ｆ！イド手段１８．２８．５８）を有している
。第１の機構はアクチュエータ１０とガイド手段１８．
２７．５７’とを有している。第２の機構はアクチュエ
ータ２０とガイド手段２８　、５７　。
１７′とを有している。第３の機構はアクチュエータ５
０とガイド手段５８，１７．２７’とを有している。従
って可動なプラットフォーム３は、基準プラットフォー
ム１に接続された３つの独立した機構によって３つの方
向で移動せしめられる。
本発明の原理は、前記実施例に示されているように、滑
動ガイド手段に適しているが、この滑動ガイド手段の性
能は、滑動面の加工の正確さ、遊び、摩擦及び摩耗によ
って制限されている。このような欠点は弾性的なガイド
部材を使用することに工って取り除かれる。第７図には
、移動運動における弾性ガイド原理が示されている。可
動プラットフォーム２００は、互いに平行な２つの薄い
弾性ストリップ１１０，１２０によって基準プラットフ
ォーム１００に取りつけられている。可動プラットフォ
ーム２００は、弾性ストリップがゆがむことによって適
当な動作にさらされると、矢印方向で移動する。各弾性
ストリップ毎に２つの旋回軸を規定することができる。
つまり、弾性ストリップ１１０．１２０のために符号Ａ
、Ｂ、Ｃ，Ｄで示された軸が規定される。前記軸Ａ、Ｂ
、Ｃ，Ｄを中心とした回転運動のために、可動プラット
フォーム２００の運動は正確な直線運動ではない。
第８図は、回転のため生じる移動ミスが補償される弾性
ガイＰによって移動運動を行なうための装置が示されて
いる。この装置は２重子行四辺形の形を有している。可
動プラットフォーム２００は、２つの弾性ストリップ１
１０，１２０によって中間プラットフォーム３００に取
りつけられている。この中間プラットフォーム３００は
２つの弾性ストリップ１３０．１４０によって前記２つ
の弾性ストリップ１１０．１２０に対して平行に基準プ
ラットフォーム１００に取りつけられている。このよう
な形式の装置は例えば、ビー・エイチ・シデンー・ム（
Ｐ。
Ｈ、Ｓｙｄｅｎｈａｍ）による前記論文に記載されてい
る。
第９図には、制御手段を有する本発明による装置の変化
実施例が示されている。ここでは、可動プラットフォー
ム２００、中間ゾラソトフ、ｔ−ム３ＱＱ、弾性ストリ
ップ１１０−１１４、基準プラットフォームｌ○○によ
って形成された２重平行四辺形構造が示されている。可
動プラント７オーム２００の制御は、基準プラットフォ
ームに固定されたアクチュエータ１５０と、このアクチ
ュエータ１５０、基準プラットフォーム、可動プラット
フォームにそれぞれ弾性ス　。
トリップ１６１，１６２，１６３を介して接続された剛
性伝達レバー１６０とによって行なわれろ。この、可動
プラットフォームを制御するだめの装置は、剛性伝達し
・々−１６０による縮小作用によってアクチュエータ（
例えばマイクロメータスクリュー）のレベルの正確さの
不足を補なう。弾性ストリップ１６１．１６２．１６３
はそれぞれ長さは異なっているが、中心は整列させなけ
ればならない。また、剛性伝達し・ζ−１６０によって
伝達された運動の直線性を保証するだめには、次の条件
を満たさなければならｔｃい。
Ｌｌ−４２ｎ この式中、ｌ−１’ｌ−２’ｌ−５はそれぞれ弾性スト
リップ１６１．．１６２．１６３の長さであって、ｍは
弾性ストリップ１６３の中心点と１６２の中心点との間
の間隔、ｎは弾性スト’Ｊツブ１６１の中心・点と１６
２の中心点との間の間隔である。第１０図は、第９図に
示した装置の７フトされた状態を示した図である。
製造費用の観点から見ても、性能の観点から見ても有利
な解決策は、前記装置を一体構造に構成する点にある機
構のすべての部分は、例えばアルミニウムプレートを電
気侵食することによって同一プレート内でカットして形
成される。
第１１図には、１つの自由度を有する装置の実施例の断
面図が示されている。この装置では、異なる部材の所望
の運動方向以外の方向における剛性を増大させるだめに
、第９図に示したプレートと同じ２枚の、プレートがブ
レースによって接続されて互いに平行に配置されている
。第９図のＡ　−Ａ’線に涜った断面図によれば、上部
プレートと下部プレートとが３つのブレース１０１．１
０２．２０１によって接続されている。
２つのブレース１０１．１０２が２つの基準プラットフ
ォーム１００ａ、１００ｂを剛性に接続しており、これ
に対してブレース２０１は可動プラットフォーム２００
ａ　、２０ｏｂを一緒に剛性に接続する。第１１図には
、弾性スト’Ｊツブ１６１ａ　、１６１ｂに接続された
滑りナツト１５２に作用するマイクロメータスクリュー
１５１より成るアクチュエータが図示されている。
このような扁平な弾性構造体の２層構造は、例えば互い
に直交し合う２つの方向における２つの自由度を有する
移動装置に特に適している。
第１２ａ図及び第１２ｂ図には、互いに直交し合う２つ
の方向における２つの移動運動を得るだめの２つの扁平
構造体の有利な実施例が示されている。これら第１２ａ
図及び第１２ｂ図の２つの構造体は同一のものであって
、Ｘ、Ｙ方向の運動が得られるように互いに上下に配置
構成されている。各構造体においては、伝達レノζ−１
６０と、薄い弾性ストリップ１６２．１６３と、中間プ
ラントフォーム３００ト弾性ストＩＪ　７ゾ１１０，１
２０，１３０，１４０．！：から成る機構が設けられて
いる。Ｘ、Ｙ方向の運動をそれぞれ独立させるだめの手
段は、第２の２重平行四辺形構造の形状を有している。
この第２の２重平行四辺形構造は、第２の中間プラット
フォーム４００と弾性ストリップ１７０，１７１．１８
０．１８１より成ッテオリ、第１の平行四辺形構造に対
して平行であって、２つの機構を分離している。可動プ
ラットフォーム２００は、例えば光学部材を取りつける
だめの中央孔を備えている。
第１２ｂ図には、前述のようにコンパクトな２層構造を
形成するΦつの扁平構造体の基準プラットフォームを互
いに接続するブレース５００及び、同じヰ゛っの扁平構
造体の可動プラットフォームを互いに接続する中央ブレ
ースの配置が示されている。
本発明は図示の実施例のみに限定されるものではない。
発明の効果 以上のように本発明によれば構造が小さくコン・ξクト
でしかも高い精度を有する、光学部材に適した精密位置
決め装置が得られた。
【図面の簡単な説明】
第１図は、２つの自由度と１つの滑りガイドとを有する
公知の精密位置決め装置の概略的な側面図、第２図は第
１図による装置の、２つの移動モジュールの直列接続形
式を示した概略図、第３図は２つの自由度を有する本発
明の原理による装置の並列接続形式を示した概略図、第
牛図は、滑りガイド手段を使用した、第３図による装置
の、変化実施例を示した概略的な側面図、第５図は本発
明の原理に基づいた３つの自由度を有する装置の接続形
式を示した概略図、第６図は滑りガイド手段を使用した
３つの自由度を有するさらに別の実施例による装置の胴
視図、第７図は弾性ガイドを有する本発明による装置の
第１実施例の部分的な概略図、第８図は弾性ガイドを有
する装置の第２実施例の部分的な概略図、第９図は制御
手段を有する本発明による装置の平面図、第１○図は第
９図による装置の変形後の状明を示した平面図、第１１
図は第９図に示した装置を２重にした装置の第９図Ａ−
Ａ′線に沿った断面図、第１２ａ図及び第１２ｂ図はそ
れぞれ２つの自由度を有する精密位置決め装置のそれぞ
れ別の変化実施例を示した平面図である。 １・・・基準プラットフォーム、２，３・・・プラット
フォーム、１０・・・アクチュエータ、１２・・・ベア
リングボール、１３・・・ばね、１５．１６・・・支持
範囲、１７・・・第２のガイド手段、１８・・・第１の
ガイド手段、１９・・・中間プラットフォーム、２０・
・・アクチュエータ、２１・・・可動ヘソｐ　：　２−
２・ベアリングボ−ル、２３・・・ばね、２５．２６・
・・支持範囲、２７．２７’、２８・・・第２のガイド
手段、２９．３１・・・中間プラットフォーム、牛Ｏ・
・アクチュエータ、４．１，４２．４３・・・ガイド９
部材、５０・・・アクチュエータ、５７．５７’。 ５８・・ガイド手段、１００・・・ベース、１ｏ１゜１
０２　・・・ブレース、１１０，１２０，１３０゜１４
０・・・弾性ストリップ、１５０・・・アクチュエータ
、１５１・・・マイクロメータスクリュー、１５２・・
・滑りナンド、１６０・・・剛性伝達し・ζ−１１６１
，１６１ａ、１６１ｂ　、１６２．１６３゜１７０．１
７１．１８０．１８１・・・弾性ストリップ、２ｏ０．
２００ａ　、２００ｂ・・・可動プラットフォーム、２
０１・・・ブレース、３００　、４ｏＯ・・・中間プラ
ットフォーム、５００・・・ブレース ト−基準プラットフォーム ２、　　：３．、．１１丁動シラノドフオーム１０．２
Ｆ＋　　・アクチュエータ Ｆ／（ｉ、　７

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、自由度Ｎ（２≦Ｎ≦６）を有する精密位置決め装置
    において、Ｎ個のガイド機構によって接続された少なく
    とも２つの剛性部材を有しており、これら２つの剛性部
    材のうちの第１の剛性部材が基準プラットフォーム（１
    ；１００）を構成し、第２の剛性部材が可動プラットフ
    ォーム（２、３；１９、２９、３１；２００、２００ａ
    、２００ｂ、３００、４００）を構成しており、前記ガ
    イド機構が互いに独立していて、それぞれアクチュエー
    タ（１０、２０、４０、５０、１５０）と、１つの自由
    度を有する弾性ガイド手段とを備えており、前記アクチ
    ュエータ（１０、２０、４０、１５０）がそれぞれ前記
    基準プラットフォーム（１、１００）に接続されていて
    、対応する弾性ガイド手段が前記アクチュエータと前記
    可動プラットフォームとの間に直列に接続されているこ
    とを特徴とする、精密位置決め装置。 ２、前記各ガイド機構の弾性ガイド手段が、このガイド
    機構のシフト運動を縮小させるためにガイド機構の前記
    アクチュエータに隣接して配置された伝達レバーより成
    っている、特許請求の範囲第１項記載の精密位置決め装
    置。 ３、伝達運動を２つ又は３つの方向に行なうように構成
    されており、しかも前記ガイド機構が同一に構成されて
    いる、特許請求の範囲第１項記載の精密位置決め装置。 ４、伝達運動方向が互いに直交し合っている、特許請求
    の範囲第３項記載の精密位置決め装置。 ５、前記伝達レバー（１６０）が基準プラットフォーム
    （１００）とアクチュエータ（１５０）と、３つの弾性
    ストリップ（１６１、１６２、１６３）より成る対応す
    る弾性ガイド手段とに接続されている、特許請求の範囲
    第２項記載の精密位置決め装置。 ６、３つの弾性ストリップ（１６１、１６２、１６３）
    の中心点が、シフト方向に対して直交する方向に整列さ
    れている、特許請求の範囲第５項記載の精密位置決め装
    置。 ７、前記伝達レバー（１６０）を、アクチュエータ（１
    ５０）と基準プラットフォーム（１００）と弾性ガイド
    手段とに接続する弾性ストリップ（１６１、１０２、１
    ６３）の長さｌ１、ｌ２、ｌ３がそれぞれｌ３−ｌ２／
    ｌ１−ｌ２＝ｍ／ｎの式によって規定され、この式中、
    ｍは長さｌ２の弾性ストリップの中心点と長さｌ３の弾
    性ストリップの中心点との間の間隔であって、ｎは長さ
    ｌ２の弾性ストリップの中心点と長さｌ１の弾性ストリ
    ップの中心点との間隔である、特許請求の範囲第６項記
    載の精密位置決め装置。 ８、ガイド機構の弾性ガイド手段が一体的なプレートに
    成形されている、特許請求の範囲第１項記載の精密位置
    決め装置。 ９、前記一体的なプレートがアルミニウムより成ってい
    て、前記ガイド手段が電気侵食によって形成されている
    、特許請求の範囲第８項記載の精密位置決め装置。 １０、２つのガイド機構を構成するプレートが、基準プ
    ラットフォームと可動プラットフォームとを互いに剛性
    に接続する形式で互いに固定されている、特許請求の範
    囲第８項記載の精密位置決め装置。 １１、精密位置決め装置が、ブレースによって仕切られ
    た２つの重ね合わされた層構造を有しており、これら２
    つの層のそれぞれが２つのプレートより形成されている
    、特許請求の範囲第１０項記載の精密位置決め装置。 １２、精密位置決め装置が、アクチュエータを制御する
    ための制御手段を有しており、該制御手段が前記２つの
    層の間に配置されている、特許請求の範囲第１１項記載
    の精密位置決め装置。 １３、精密位置決め装置が複合運動式位置決め装置とし
    て構成されており、基準プラットフォーム（１００）と
    可動プラットフォームと、この基準プラットフォームと
    可動プラットフォームとの間に配置された複数の弾性ガ
    イド手段とを有しており、これらの弾性ガイド手段が前
    記可動プラットフォームの運動の自由度に応じて設けら
    れていて、またこの可動プラットフォームの自由度に応
    じた数のアクチュエータが設けられており、これらすべ
    てのアクチュエータが、前記基準プラットフォームと前
    記弾性ガイド手段の各部材との間で作用する、特許請求
    の範囲第１項から第１２項までのいずれか１項記載の精
    密位置決め装置。
JP61201889A 1985-08-30 1986-08-29 精密位置決め装置 Expired - Lifetime JPH0760191B2 (ja)

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