JPS6252948B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6252948B2 JPS6252948B2 JP15385981A JP15385981A JPS6252948B2 JP S6252948 B2 JPS6252948 B2 JP S6252948B2 JP 15385981 A JP15385981 A JP 15385981A JP 15385981 A JP15385981 A JP 15385981A JP S6252948 B2 JPS6252948 B2 JP S6252948B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wire
- clamper
- capillary
- wire holding
- holding clamper
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- H10W72/0711—
-
- H10W72/07141—
-
- H10W72/075—
-
- H10W72/07502—
-
- H10W72/07521—
-
- H10W72/07551—
-
- H10W72/50—
-
- H10W72/536—
-
- H10W72/5363—
-
- H10W90/756—
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はワイヤボンデイング装置、特にワイヤ
ループ高さをコントロールするワイヤボンデイン
グ装置に関するものである。
ループ高さをコントロールするワイヤボンデイン
グ装置に関するものである。
従来、ワイヤループ高さコントロール機構とし
て、例えば特公昭53―9949号公報に示すようにワ
イヤにエアーを吹き付けてワイヤにテンシヨンを
与えるエア摩擦機構と、特開昭54―82167号公報
に示すようにワイヤにワイヤガイドを押付けてワ
イヤにテンシヨンを与える機械的摩擦機構とが知
られている。しかしながら、エア摩擦機構はエア
の噴出しを常に一定に保つことが困難であり、ま
た機械的摩擦機構も同様にワイヤガイドとワイヤ
との摩擦力を常に一定に保つことが困難であるの
で、ワイヤループの高さのバラツキが大きく、品
質が安定しないと共に、摩擦力を微調整すること
ができないという欠点があつた。
て、例えば特公昭53―9949号公報に示すようにワ
イヤにエアーを吹き付けてワイヤにテンシヨンを
与えるエア摩擦機構と、特開昭54―82167号公報
に示すようにワイヤにワイヤガイドを押付けてワ
イヤにテンシヨンを与える機械的摩擦機構とが知
られている。しかしながら、エア摩擦機構はエア
の噴出しを常に一定に保つことが困難であり、ま
た機械的摩擦機構も同様にワイヤガイドとワイヤ
との摩擦力を常に一定に保つことが困難であるの
で、ワイヤループの高さのバラツキが大きく、品
質が安定しないと共に、摩擦力を微調整すること
ができないという欠点があつた。
本発明は上記従来技術の欠点に鑑みなされたも
ので、常に安定したワイヤループ高さが得られる
と共に、ワイヤループ高さを試料に合せて自由に
コントロールできるワイヤボンデイング装置を提
供することを目的とする。
ので、常に安定したワイヤループ高さが得られる
と共に、ワイヤループ高さを試料に合せて自由に
コントロールできるワイヤボンデイング装置を提
供することを目的とする。
以下、本発明を図示の実施例により説明する。
第１図は本発明になるワイヤボンデイング装置
の一実施例を示す正面図、第２図は第１図のＡ―
A′線断面図である。XY駆動装置１によつてXY方
向に移動させられるボンデイングヘツド２にはア
ームホルダー３に固定された支軸４が回転自在に
支承されている。アームホルダー３には一端にキ
ヤピラリ５を保持したボンデイングアーム６及び
ワイヤ切断用クランパー７が固定されている。ま
たボンデイングヘツド２の上部にはスプールホル
ダー８が固定されており、スプールホルダー８に
はワイヤ９が巻回されたスプール１０が取付けら
れている。またワイヤ切断用クランパー７とスプ
ール１０との間には、後記するループコントロー
ル機構１１のレバー１２の一端に固定されたＶ字
状の滑らかな溝が形成されたガイド部材１３と、
レバー１２の下面に固定されたワイヤ保持用クラ
ンパー１４とが配設されている。そして、スプー
ル１０から繰り出されたワイヤ９は、ガイド部材
１３、ワイヤ保持用クランパー１４、ワイヤ切断
用クランパー７を経てキヤピラリ５の下端より突
出している。
の一実施例を示す正面図、第２図は第１図のＡ―
A′線断面図である。XY駆動装置１によつてXY方
向に移動させられるボンデイングヘツド２にはア
ームホルダー３に固定された支軸４が回転自在に
支承されている。アームホルダー３には一端にキ
ヤピラリ５を保持したボンデイングアーム６及び
ワイヤ切断用クランパー７が固定されている。ま
たボンデイングヘツド２の上部にはスプールホル
ダー８が固定されており、スプールホルダー８に
はワイヤ９が巻回されたスプール１０が取付けら
れている。またワイヤ切断用クランパー７とスプ
ール１０との間には、後記するループコントロー
ル機構１１のレバー１２の一端に固定されたＶ字
状の滑らかな溝が形成されたガイド部材１３と、
レバー１２の下面に固定されたワイヤ保持用クラ
ンパー１４とが配設されている。そして、スプー
ル１０から繰り出されたワイヤ９は、ガイド部材
１３、ワイヤ保持用クランパー１４、ワイヤ切断
用クランパー７を経てキヤピラリ５の下端より突
出している。
次に前記ループコントロール機構１１の構成に
ついて説明する。レバー１２の他端はボンデイン
グヘツド２の上面に固定された軸受１５に支軸１
６を介して回動自在に取付けられている。レバー
１２の中央部には横長穴１２ａが設けられてお
り、この横長穴１２ａに移動軸１７が摺動可能に
装着されている。移動軸１７はリンク１８の一端
に回動自在に取付けられており、リンク１８の他
端にはピン１９が固定されている。ピン１９はア
ームホルダー３に固定されたスタンド２０に回動
自在に支承されている。また移動軸１７には雌ね
じ部１７ａが設けられており、この雌ねじ部１７
ａに調整ボルト２１が螺合している。調整ボルト
２１はレバー１２のフツク部１２ｂに遊合し、フ
ツク部１２ｂと移動軸１７との間にスプリング２
２が配設されている。また調整ボルト２１の頭部
には廻し孔２１ａが設けられている。
ついて説明する。レバー１２の他端はボンデイン
グヘツド２の上面に固定された軸受１５に支軸１
６を介して回動自在に取付けられている。レバー
１２の中央部には横長穴１２ａが設けられてお
り、この横長穴１２ａに移動軸１７が摺動可能に
装着されている。移動軸１７はリンク１８の一端
に回動自在に取付けられており、リンク１８の他
端にはピン１９が固定されている。ピン１９はア
ームホルダー３に固定されたスタンド２０に回動
自在に支承されている。また移動軸１７には雌ね
じ部１７ａが設けられており、この雌ねじ部１７
ａに調整ボルト２１が螺合している。調整ボルト
２１はレバー１２のフツク部１２ｂに遊合し、フ
ツク部１２ｂと移動軸１７との間にスプリング２
２が配設されている。また調整ボルト２１の頭部
には廻し孔２１ａが設けられている。
次にかかる構成よりなる本装置の動作を第３図
を参照しながら説明する。第３図ａに示すよう
に、キヤピラリ５の先端に延在したワイヤ９に水
素トーチ又は電気トーチ等によりボール９ａが形
成される。この状態においてはワイヤ切断用クラ
ンパー７及びワイヤ保持用クランパー１４は開状
態にある。次に支軸４を中心としてアームホルダ
ー３が第１図において反時計方向に回転し、第３
図ｂに示すようにキヤピラリ５、ワイヤ切断用ク
ランパー７及びワイヤ保持用クランパー１４が下
降し、キヤピラリ５によつてボール９ａがペレツ
ト３０のパツド上に圧着され、第１ボンドが行わ
れる。ここで、ワイヤ保持用クランパー１４は、
スタンド２０、ピン１９、リンク１８、移動軸１
７を介してレバー１２が支軸１６を中心として回
動することにより下降する。
を参照しながら説明する。第３図ａに示すよう
に、キヤピラリ５の先端に延在したワイヤ９に水
素トーチ又は電気トーチ等によりボール９ａが形
成される。この状態においてはワイヤ切断用クラ
ンパー７及びワイヤ保持用クランパー１４は開状
態にある。次に支軸４を中心としてアームホルダ
ー３が第１図において反時計方向に回転し、第３
図ｂに示すようにキヤピラリ５、ワイヤ切断用ク
ランパー７及びワイヤ保持用クランパー１４が下
降し、キヤピラリ５によつてボール９ａがペレツ
ト３０のパツド上に圧着され、第１ボンドが行わ
れる。ここで、ワイヤ保持用クランパー１４は、
スタンド２０、ピン１９、リンク１８、移動軸１
７を介してレバー１２が支軸１６を中心として回
動することにより下降する。
次にアームホルダー３が前記の逆方向（第１図
において時計方向）に回転し、第３図ｃに示すよ
うにキヤピラリ５、ワイヤ切断用クランパー７及
びワイヤ保持用クランパー１４が上昇し、上昇途
中又は最高上昇位置でXY駆動装置１によりボン
デイングヘツド２が水平移動し、キヤピラリ５の
最高上昇位置又は下降途中で水平移動が終了して
第２ボンド位置であるリードフレーム３１のリー
ドポスト３２の真上に位置する。この位置でワイ
ヤ保持用クランパー１４のみが閉じ、第３図ｄに
示すようにキヤピラリ５、ワイヤ切断用クランパ
ー７及びワイヤ保持用クランパー１４が共に下降
し、キヤピラリ５によりリードポスト３２上にワ
イヤ９が圧着される。
において時計方向）に回転し、第３図ｃに示すよ
うにキヤピラリ５、ワイヤ切断用クランパー７及
びワイヤ保持用クランパー１４が上昇し、上昇途
中又は最高上昇位置でXY駆動装置１によりボン
デイングヘツド２が水平移動し、キヤピラリ５の
最高上昇位置又は下降途中で水平移動が終了して
第２ボンド位置であるリードフレーム３１のリー
ドポスト３２の真上に位置する。この位置でワイ
ヤ保持用クランパー１４のみが閉じ、第３図ｄに
示すようにキヤピラリ５、ワイヤ切断用クランパ
ー７及びワイヤ保持用クランパー１４が共に下降
し、キヤピラリ５によりリードポスト３２上にワ
イヤ９が圧着される。
この第３図ｃから同図ｄの動作において、ワイ
ヤ保持用クランパー１４は閉じた状態にあるの
で、ワイヤ保持用クランパー１４からペレツト３
０までのワイヤ９の長さは、第３図ｃに示すよう
にワイヤ保持用クランパー１４が閉じた瞬間と、
第３図ｄに示すようにキヤピラリ５がリードポス
ト３２に圧着した状態では同じ長さである。即
ち、ワイヤ保持用クランパー１４からキヤピラリ
５の下端までのワイヤ長さを、第３図ｃの状態に
おいてはl1、第３図ｄの状態においてはl1′、キヤ
ピラリ５の下端からペレツト３０までのワイヤ長
さを、第３図ｃの状態においてはl2、第３図(d)の
状態においてはl2′とすると、 l1＋l2＝l1′＋l2′ 又はl2−l2′＝l1′−l1＝差動量 ……(1) となる。
ヤ保持用クランパー１４は閉じた状態にあるの
で、ワイヤ保持用クランパー１４からペレツト３
０までのワイヤ９の長さは、第３図ｃに示すよう
にワイヤ保持用クランパー１４が閉じた瞬間と、
第３図ｄに示すようにキヤピラリ５がリードポス
ト３２に圧着した状態では同じ長さである。即
ち、ワイヤ保持用クランパー１４からキヤピラリ
５の下端までのワイヤ長さを、第３図ｃの状態に
おいてはl1、第３図ｄの状態においてはl1′、キヤ
ピラリ５の下端からペレツト３０までのワイヤ長
さを、第３図ｃの状態においてはl2、第３図(d)の
状態においてはl2′とすると、 l1＋l2＝l1′＋l2′ 又はl2−l2′＝l1′−l1＝差動量 ……(1) となる。
そこで、ワイヤ保持用クランパー１４の下降量
について考察すると、ワイヤ保持用クランパー１
４の動きは近似的に第４図に示す線図で表わされ
る。第４図において、１４ａはワイヤ保持用クラ
ンパー１４のワイヤクランプ部、S1，S2はそれぞ
れ支軸１６から移動軸１７及びワイヤクラプ部１
４ａまでの長さを示す。従つて、移動軸１７の下
降量をZ1とすると、ワイヤクランプ部１４ａの下
降量Z2は次式で表わされる。
について考察すると、ワイヤ保持用クランパー１
４の動きは近似的に第４図に示す線図で表わされ
る。第４図において、１４ａはワイヤ保持用クラ
ンパー１４のワイヤクランプ部、S1，S2はそれぞ
れ支軸１６から移動軸１７及びワイヤクラプ部１
４ａまでの長さを示す。従つて、移動軸１７の下
降量をZ1とすると、ワイヤクランプ部１４ａの下
降量Z2は次式で表わされる。
Z2＝Ｓ２／Ｓ１×Z1 ……(2)
さて、移動軸１７は調整ねじ２１を回すことに
より位置が移動するので、移動軸１７を第１図に
示すＢ方向に移動させるとS1が大となり、(2)式よ
りワイヤクランプ部１４ａの下降量Z2は小さくな
る。また逆に矢印Ｂの逆方向に移動させるとZ2は
大となる。即ち、前記(1)式の差動量＝l2−l2′＝
l1′−l1を自由に変えることができる。そこで、始
動に先立ち、予め調整ねじ２１を回して移動軸１
７の位置を変え、差動量＝l2−l2′＝l1′−l1を適切
値に設定しておくことにより、第３図ｄに示すよ
うにペレツト３０のパツドとリードポスト３２と
に張られたワイヤループ高さが最適になるように
することができる。
より位置が移動するので、移動軸１７を第１図に
示すＢ方向に移動させるとS1が大となり、(2)式よ
りワイヤクランプ部１４ａの下降量Z2は小さくな
る。また逆に矢印Ｂの逆方向に移動させるとZ2は
大となる。即ち、前記(1)式の差動量＝l2−l2′＝
l1′−l1を自由に変えることができる。そこで、始
動に先立ち、予め調整ねじ２１を回して移動軸１
７の位置を変え、差動量＝l2−l2′＝l1′−l1を適切
値に設定しておくことにより、第３図ｄに示すよ
うにペレツト３０のパツドとリードポスト３２と
に張られたワイヤループ高さが最適になるように
することができる。
次に第３図ｅに示すように、ワイヤ保持用クラ
ンパー１４が開となり、キヤピラリ５、ワイヤ切
断用クランパー７及びワイヤ保持用クランパー１
４がわずかに上昇する。続いて第３図ｆに示すよ
うにワイヤ切断用クランパー７が閉じてキヤピラ
リ５、ワイヤ切断用クランパー７及びワイヤ保持
用クランパー１４が上昇し、ワイヤ切断用クラン
パー７によつて第２ボンドの付根からワイヤ９を
引張つて切断する。その後、キヤピラリ５、ワイ
ヤ切断用クランパー７及びワイヤ保持用クランパ
ー１４が上昇する。そして、第３図ａに示すよう
にキヤピラリ５の先端に延在したワイヤ９にボー
ル９ａを形成し、次のボンデイングを繰返す。
ンパー１４が開となり、キヤピラリ５、ワイヤ切
断用クランパー７及びワイヤ保持用クランパー１
４がわずかに上昇する。続いて第３図ｆに示すよ
うにワイヤ切断用クランパー７が閉じてキヤピラ
リ５、ワイヤ切断用クランパー７及びワイヤ保持
用クランパー１４が上昇し、ワイヤ切断用クラン
パー７によつて第２ボンドの付根からワイヤ９を
引張つて切断する。その後、キヤピラリ５、ワイ
ヤ切断用クランパー７及びワイヤ保持用クランパ
ー１４が上昇する。そして、第３図ａに示すよう
にキヤピラリ５の先端に延在したワイヤ９にボー
ル９ａを形成し、次のボンデイングを繰返す。
なお、上記実施例においては、調整ねじ２１を
手で回して移動軸１７を移動させワイヤ保持用ク
ランパー１４の差動量を調整したが、移動軸１７
をモータ等によつて移動させるようにしてもよ
い。またワイヤ保持用クランパー１４はスタンド
２０、ピン１９、リンク１８、移動軸１７を介し
てキヤピラリ５と連動して上下動するように構成
したが、キヤピラリを駆動させる機構と切離し、
ワイヤ保持用クランパー１４をモータ等によつて
別駆動にし、キヤピラリ５の上下動とタイミング
を合せて差動駆動させてもよい。このようにワイ
ヤ保持用クランパー１４をモータ等によつて別駆
動にすると、キヤピラリ５の上下動に関係なくワ
イヤ保持用クランパー１４を上下動させることが
できるので、ワイヤ保持用クランパー１４の下降
は第３図ｃから同図ｄに示すようにキヤピラリ５
が第２ボンド点３２に下降する時のみ作動させる
ようにしてもよい。
手で回して移動軸１７を移動させワイヤ保持用ク
ランパー１４の差動量を調整したが、移動軸１７
をモータ等によつて移動させるようにしてもよ
い。またワイヤ保持用クランパー１４はスタンド
２０、ピン１９、リンク１８、移動軸１７を介し
てキヤピラリ５と連動して上下動するように構成
したが、キヤピラリを駆動させる機構と切離し、
ワイヤ保持用クランパー１４をモータ等によつて
別駆動にし、キヤピラリ５の上下動とタイミング
を合せて差動駆動させてもよい。このようにワイ
ヤ保持用クランパー１４をモータ等によつて別駆
動にすると、キヤピラリ５の上下動に関係なくワ
イヤ保持用クランパー１４を上下動させることが
できるので、ワイヤ保持用クランパー１４の下降
は第３図ｃから同図ｄに示すようにキヤピラリ５
が第２ボンド点３２に下降する時のみ作動させる
ようにしてもよい。
以上の説明から明らかな如く、本発明によれ
ば、ワイヤ保持用クランパーの上下動量をループ
コントロール機構によつて調整するので、作動に
不安定な要素がなく、常に最適なワイヤループ高
さが得られ、品質が向上する。またワイヤループ
高さを試料に合せて自由にコントロールできる等
の効果を有する。
ば、ワイヤ保持用クランパーの上下動量をループ
コントロール機構によつて調整するので、作動に
不安定な要素がなく、常に最適なワイヤループ高
さが得られ、品質が向上する。またワイヤループ
高さを試料に合せて自由にコントロールできる等
の効果を有する。
第１図は本発明になるワイヤボンデイング装置
の一実施例を示す正面図、第２図は第１図のＡ―
A′線断面図、第３図ａ〜ｆは動作説明図、第４
図はワイヤ保持用クランパーの動作線図である。 ５……キヤピラリ、７……ワイヤ切断用クラン
パー、９……ワイヤ、１０……スプール、１１…
…ループコントロール機構、１４……ワイヤ保持
用クランパー、３０……ペレツト、３１……リー
ドフレーム、３２……ポスト。
の一実施例を示す正面図、第２図は第１図のＡ―
A′線断面図、第３図ａ〜ｆは動作説明図、第４
図はワイヤ保持用クランパーの動作線図である。 ５……キヤピラリ、７……ワイヤ切断用クラン
パー、９……ワイヤ、１０……スプール、１１…
…ループコントロール機構、１４……ワイヤ保持
用クランパー、３０……ペレツト、３１……リー
ドフレーム、３２……ポスト。
Claims (1)
- １ スプールに巻回されたワイヤをワイヤ保持用
クランパー及びワイヤ切断用クランパーを通して
キヤピラリに挿通し、ペレツトのパツドとリード
フレームのポストとの間にワイヤを前記キヤピラ
リで接続するワイヤボンデイング装置において、
前記キヤピラリが第２ボンド点に下降する時に前
記ワイヤ保持用クランパーを下降させると共に、
このワイヤ保持用クランパーの下降量を調整する
ことができるループコントロール機構を設けたこ
とを特徴とするワイヤボンデイング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56153859A JPS5856346A (ja) | 1981-09-30 | 1981-09-30 | ワイヤボンデイング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56153859A JPS5856346A (ja) | 1981-09-30 | 1981-09-30 | ワイヤボンデイング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5856346A JPS5856346A (ja) | 1983-04-04 |
| JPS6252948B2 true JPS6252948B2 (ja) | 1987-11-07 |
Family
ID=15571658
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56153859A Granted JPS5856346A (ja) | 1981-09-30 | 1981-09-30 | ワイヤボンデイング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5856346A (ja) |
-
1981
- 1981-09-30 JP JP56153859A patent/JPS5856346A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5856346A (ja) | 1983-04-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| GB1439958A (en) | Apparatus for transporting an object along a predetermined path | |
| JP2841126B2 (ja) | ワイヤボンデイング方法及び装置 | |
| JP2925469B2 (ja) | 自動巻線機 | |
| JPS6252948B2 (ja) | ||
| JPH0629343A (ja) | ワイヤボンデイング装置 | |
| JP3499256B2 (ja) | 電球用コイル繊條の製造装置 | |
| US4844356A (en) | Wire winder for a stator | |
| JP3000817B2 (ja) | ワイヤボンディング方法 | |
| US5340010A (en) | Bonding apparatus | |
| JPH0135500B2 (ja) | ||
| JPS5988841A (ja) | ワイヤボンデイング装置 | |
| JPH0229086Y2 (ja) | ||
| JP2885242B1 (ja) | ワイヤボンディング方法及び装置 | |
| JP2627968B2 (ja) | 半導体組立装置 | |
| JPH0147893B2 (ja) | ||
| JPS6410431B2 (ja) | ||
| JPS6026300B2 (ja) | ワイヤボンデイング装置 | |
| JPS5823743B2 (ja) | ワイヤボンデイングソウチ | |
| JPH0227401Y2 (ja) | ||
| JPS62269308A (ja) | ボビンレスコイルの巻線方法 | |
| JPH04206747A (ja) | 半田供給装置 | |
| JPS6227740B2 (ja) | ||
| KR920010689B1 (ko) | 본딩장치 | |
| JPH0521879Y2 (ja) | ||
| JPS5834935A (ja) | ボンディング方法 |