JPS6248752A - 工業用装置中での六弗化ウラン及び/又はガス状弗素化剤からの加水分解生成物の形成をさける方法 - Google Patents
工業用装置中での六弗化ウラン及び/又はガス状弗素化剤からの加水分解生成物の形成をさける方法Info
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- JPS6248752A JPS6248752A JP61164869A JP16486986A JPS6248752A JP S6248752 A JPS6248752 A JP S6248752A JP 61164869 A JP61164869 A JP 61164869A JP 16486986 A JP16486986 A JP 16486986A JP S6248752 A JPS6248752 A JP S6248752A
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- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- C08K3/20—Oxides; Hydroxides
- C08K3/22—Oxides; Hydroxides of metals
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、弗素エラストマーを密封物質として用いる方
法で工業用装置中でのUF6及び/又はガス状弗素化剤
からの加水分解生成物の形成をさける方法に関する。
法で工業用装置中でのUF6及び/又はガス状弗素化剤
からの加水分解生成物の形成をさける方法に関する。
従来の技術
市販の弗素エラストマー例えば、ヴイトン(Viton
@)、テクノフロン(Technoflon’ )等の
商品名を有するものを、UP、を処理する装置中での密
封物質として使用することは公知である。このような物
質からの密封材は、処理ガス(UFa単独又はUPaと
添加ガス)と大気との間でも、内部的に異なるUF6−
濃度もしくは同位体濃度の流れの間でも、例えば同位体
分離装置内で使用される。
@)、テクノフロン(Technoflon’ )等の
商品名を有するものを、UP、を処理する装置中での密
封物質として使用することは公知である。このような物
質からの密封材は、処理ガス(UFa単独又はUPaと
添加ガス)と大気との間でも、内部的に異なるUF6−
濃度もしくは同位体濃度の流れの間でも、例えば同位体
分離装置内で使用される。
従来使用されている弗素エラストマーの大きな欠点は、
これが工業用UPa中に常に存在する弗化水素と既に室
温で化学的に反応し、即ち、このIPと、水の形成下に
′反応することである。
これが工業用UPa中に常に存在する弗化水素と既に室
温で化学的に反応し、即ち、このIPと、水の形成下に
′反応することである。
より正確に表現すると、弗素エラストマーの製造工程に
必要な強塩基性の弗化水素−結合剤の添加物、一般にア
ルカリ土類金属の酸化物、水酸化物及び/又は炭酸塩又
は類似化合物が、UP6ガスからの弗化水素と反応する
。この反応では次式に従ってH2Oが形成される。
必要な強塩基性の弗化水素−結合剤の添加物、一般にア
ルカリ土類金属の酸化物、水酸化物及び/又は炭酸塩又
は類似化合物が、UP6ガスからの弗化水素と反応する
。この反応では次式に従ってH2Oが形成される。
Me(OH) 2 + 2HF= MeF2 + 2H
20(1)この水は、周囲の気相中でUF6と後反応す
る;UFa+ 21(20→t102F2+ 4)IP
(2’)この際に生じるIMPは再び(1)式
でH2Oを形成して、連続してUFa−分解に供されう
る。
20(1)この水は、周囲の気相中でUF6と後反応す
る;UFa+ 21(20→t102F2+ 4)IP
(2’)この際に生じるIMPは再び(1)式
でH2Oを形成して、連続してUFa−分解に供されう
る。
反応(2)からのUO2F2はダストとして沈澱し、こ
れは、遅かれ早かれ敏感な領域で例えば同位体分離装置
(ガス拡散法、分離ノズル法)の分離構築物内で付着し
、これらを部分的に栓塞するか又は固着物形成によりそ
の機械的特性を変じる(ガス超遠心分離法)。
れは、遅かれ早かれ敏感な領域で例えば同位体分離装置
(ガス拡散法、分離ノズル法)の分離構築物内で付着し
、これらを部分的に栓塞するか又は固着物形成によりそ
の機械的特性を変じる(ガス超遠心分離法)。
この欠点をさけるために、エラストマー密封材の代わり
に金属密封材を使用した。しかしながら、金属密封材の
使用は、部分的に必要な高い変形力を吸収するために、
経費のかかる構造的変更を必要とする。更に、金属密封
材は、エラストマー密封材よりも高い経費を必要とする
発明が解決しようとする問題点 本発明は、六弗化ウランを処理するための装置中での慣
用の弗素エラストマーの使用の際の欠点をさけること、
殊に、UF6及び工業的なプロセスガスLIF6中に常
に存在する弗化水素と弗素エラストマー中に製造条件下
に存在する金属酸化物との反応で生じる水からの加水分
解生成物の形成を充分に阻止することを課題としている
。
に金属密封材を使用した。しかしながら、金属密封材の
使用は、部分的に必要な高い変形力を吸収するために、
経費のかかる構造的変更を必要とする。更に、金属密封
材は、エラストマー密封材よりも高い経費を必要とする
発明が解決しようとする問題点 本発明は、六弗化ウランを処理するための装置中での慣
用の弗素エラストマーの使用の際の欠点をさけること、
殊に、UF6及び工業的なプロセスガスLIF6中に常
に存在する弗化水素と弗素エラストマー中に製造条件下
に存在する金属酸化物との反応で生じる水からの加水分
解生成物の形成を充分に阻止することを課題としている
。
問題点を解決するための手段
この課題は、意外に簡単に、弗素エラストマー中のPb
−分が1−10重量%の範囲に相当するPbOを含有す
る弗素エラストマーを使用することによって解決される
。
−分が1−10重量%の範囲に相当するPbOを含有す
る弗素エラストマーを使用することによって解決される
。
特に、弗素エラストマー中のPb分が1〜5重量%の範
囲に相当するPbOを含有する弗素エラストマーの使用
が有利である。最適な解決は、製造プロセスの間にPb
O3重量%が混入された弗素エラストマーの使用である
。
囲に相当するPbOを含有する弗素エラストマーの使用
が有利である。最適な解決は、製造プロセスの間にPb
O3重量%が混入された弗素エラストマーの使用である
。
作用
工業用UF、との長時間接触の際にも、加水分解物ダス
ト形成は認められなかった。
ト形成は認められなかった。
本発明方法で得られる利点は、次の点に認められる:
即ち ショア硬度、反跳弾性等特定の密封材に必要な特性を保
持し、 例えば同位体分離装置中で、妨害性の付着物を同位体分
離ユニット中にもたらすダスト形成は、本発明により使
用される弗素エラストマーの50℃までの温度範囲で、
tlF6もしくはυPa/H2−又はUFa/He−混
合物中での使用の際にも排除でき、弗素化剤では、難揮
発性又は爆発性の固体加水分解生成物の出現は、少なく
とも一50℃〜+50℃の範囲ではさけることができ、
本発明により使用される弗素エラストマーは、その温度
、溶剤、酸及び放射線に対する不変の高い安定性に基づ
き、多方面で使用できる。
即ち ショア硬度、反跳弾性等特定の密封材に必要な特性を保
持し、 例えば同位体分離装置中で、妨害性の付着物を同位体分
離ユニット中にもたらすダスト形成は、本発明により使
用される弗素エラストマーの50℃までの温度範囲で、
tlF6もしくはυPa/H2−又はUFa/He−混
合物中での使用の際にも排除でき、弗素化剤では、難揮
発性又は爆発性の固体加水分解生成物の出現は、少なく
とも一50℃〜+50℃の範囲ではさけることができ、
本発明により使用される弗素エラストマーは、その温度
、溶剤、酸及び放射線に対する不変の高い安定性に基づ
き、多方面で使用できる。
原則的に、本発明により使用可能な弗素エラストマーは
、従来使用された慣用の密封材に比べて多くの利点を有
して、この密封物質と接触して水を生じることのできる
及び/又はそれ自体H20に対して敏感で、即ち、これ
と反応して、このガスから加水分解生成物として固体又
は難揮発性又は爆発性の物質を形成することのできるガ
ス流を封じるべき所のどこでも使用される。このような
ガス流は、弗化水素、BF2、SiF4、MoFB、W
F6、ハロゲン−弗化物及び他のガス状の弗素化剤又は
、添加物又は汚染物としての前記化合物を含有するガス
から成る。
、従来使用された慣用の密封材に比べて多くの利点を有
して、この密封物質と接触して水を生じることのできる
及び/又はそれ自体H20に対して敏感で、即ち、これ
と反応して、このガスから加水分解生成物として固体又
は難揮発性又は爆発性の物質を形成することのできるガ
ス流を封じるべき所のどこでも使用される。このような
ガス流は、弗化水素、BF2、SiF4、MoFB、W
F6、ハロゲン−弗化物及び他のガス状の弗素化剤又は
、添加物又は汚染物としての前記化合物を含有するガス
から成る。
本発明により使用可能な弗素エラストマーにより、これ
らは、長時間の操業(例えば10年まで)で、長時間作
用としてのその有利な特性を保持することが予期される
。
らは、長時間の操業(例えば10年まで)で、長時間作
用としてのその有利な特性を保持することが予期される
。
実施例
次の2実験につき、本発明を詳述する。
実験l
実験室的実験で、本発明により使用される弗素エラスト
マー(PbO3重量%)29に、貴金属製反応器中で、
LIF660mバールを2000時間付勢した。このエ
ラストマーの外に固体ウラン化合物を生じない僅かな初
期反応(UFa−損失と工ラストマーの重量増加は一致
する)の後に、更にUF6とは反応しなかった。UF6
へのHF5V%の添加も安定性を何ら変えなかった。比
較のために同じ方法で時効処理された市販の弗素エラス
トマーでは、1000時間後に、添加されたUF8が消
耗したことが明らかであった。固体ウラン化合物がエラ
ストマー材料のまわりに沈着した実験2 工業的ノズル分離法(その分離部材基本ユニットは、本
発明により使用されるPbO3重量%を有する弗素エラ
ストマーからなる密封材を備えており、弗素エラストマ
ーの全量は約1 kg)での2000時間にわたる経時
試験では、分離部材の分離特性の誤差限界を外れる変化
を認めることはできなかった。市販の弗素エラストマー
を用いる比較実験では、類似の時間で認識可能な分離特
性の劣悪化が起った。
マー(PbO3重量%)29に、貴金属製反応器中で、
LIF660mバールを2000時間付勢した。このエ
ラストマーの外に固体ウラン化合物を生じない僅かな初
期反応(UFa−損失と工ラストマーの重量増加は一致
する)の後に、更にUF6とは反応しなかった。UF6
へのHF5V%の添加も安定性を何ら変えなかった。比
較のために同じ方法で時効処理された市販の弗素エラス
トマーでは、1000時間後に、添加されたUF8が消
耗したことが明らかであった。固体ウラン化合物がエラ
ストマー材料のまわりに沈着した実験2 工業的ノズル分離法(その分離部材基本ユニットは、本
発明により使用されるPbO3重量%を有する弗素エラ
ストマーからなる密封材を備えており、弗素エラストマ
ーの全量は約1 kg)での2000時間にわたる経時
試験では、分離部材の分離特性の誤差限界を外れる変化
を認めることはできなかった。市販の弗素エラストマー
を用いる比較実験では、類似の時間で認識可能な分離特
性の劣悪化が起った。
Claims (1)
- 1、密封物質に弗素エラストマーを用いる方法で、工業
用装置中の六弗化ウラン及び/又はガス状弗素化剤から
の加水分解生成物の形成をさけるために、弗素エラスト
マー中にPb分1〜10重量%の範囲に相当するPbO
を含有する弗素エラストマーを使用することを特徴とす
る、工業用装置中での六弗化ウラン及び/又はガス状弗
素化剤からの加水分解生成物の形成をさける方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE3525203.0 | 1985-07-15 | ||
DE3525203A DE3525203C1 (de) | 1985-07-15 | 1985-07-15 | Verfahren zur Vermeidung der Bildung von Hydrolyseprodukten aus Uranhexafluorid und/oder gasfoermigen Fluorierungsmitteln in technischen Anlagen |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6248752A true JPS6248752A (ja) | 1987-03-03 |
JPS6358859B2 JPS6358859B2 (ja) | 1988-11-17 |
Family
ID=6275798
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61164869A Granted JPS6248752A (ja) | 1985-07-15 | 1986-07-15 | 工業用装置中での六弗化ウラン及び/又はガス状弗素化剤からの加水分解生成物の形成をさける方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4732734A (ja) |
EP (1) | EP0208844B1 (ja) |
JP (1) | JPS6248752A (ja) |
BR (1) | BR8603313A (ja) |
CA (1) | CA1305273C (ja) |
DE (2) | DE3525203C1 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01132768A (ja) * | 1987-11-17 | 1989-05-25 | Mitsubishi Electric Corp | タングステン膜の気相化学堆積法 |
JPH0390572A (ja) * | 1989-08-25 | 1991-04-16 | Applied Materials Inc | 半導体ウェーハ上へのタングステン層のcvd蒸着方法 |
JPH0394060A (ja) * | 1989-09-07 | 1991-04-18 | Nisshin Steel Co Ltd | Cvd法による高温用タングステン部材の製造法 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02223343A (ja) * | 1989-02-22 | 1990-09-05 | Hitachi Ltd | 相間絶縁紙およびそれを用いた電動機 |
JPH0321946U (ja) * | 1989-07-10 | 1991-03-06 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3108018A (en) * | 1960-05-27 | 1963-10-22 | Du Pont | Resin coated graphitized fabric |
FR2356344A5 (fr) * | 1971-02-22 | 1978-01-20 | Commissariat Energie Atomique | Procede de fixation de barrieres microporteuses en materiau ceramique sur des embouts metalliques et produits obtenus par ce procede |
JPS604207B2 (ja) * | 1976-12-16 | 1985-02-02 | 旭硝子株式会社 | 含フツ素エラストマーの製造方法 |
JPS54120700A (en) * | 1978-03-10 | 1979-09-19 | Daikin Ind Ltd | Elastomer composition |
JPS54148952A (en) * | 1978-05-16 | 1979-11-21 | Toshiba Corp | Compound gasket |
US4543394A (en) * | 1983-08-15 | 1985-09-24 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Fluoroelastomer having improved compression set resistance |
DE3338122A1 (de) * | 1983-10-20 | 1985-05-09 | BBT Blei Bau Technik GmbH, 2086 Ellerau | Selbsthaftende plastische masse zur abschirmung radioaktiver strahlung, deren herstellung und deren verwendung |
-
1985
- 1985-07-15 DE DE3525203A patent/DE3525203C1/de not_active Expired
-
1986
- 1986-04-12 EP EP86105055A patent/EP0208844B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1986-04-12 DE DE8686105055T patent/DE3680040D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1986-05-29 US US06/868,111 patent/US4732734A/en not_active Expired - Fee Related
- 1986-07-14 BR BR8603313A patent/BR8603313A/pt not_active IP Right Cessation
- 1986-07-14 CA CA000513662A patent/CA1305273C/en not_active Expired - Fee Related
- 1986-07-15 JP JP61164869A patent/JPS6248752A/ja active Granted
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01132768A (ja) * | 1987-11-17 | 1989-05-25 | Mitsubishi Electric Corp | タングステン膜の気相化学堆積法 |
JPH0390572A (ja) * | 1989-08-25 | 1991-04-16 | Applied Materials Inc | 半導体ウェーハ上へのタングステン層のcvd蒸着方法 |
JPH0394060A (ja) * | 1989-09-07 | 1991-04-18 | Nisshin Steel Co Ltd | Cvd法による高温用タングステン部材の製造法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
BR8603313A (pt) | 1987-02-24 |
JPS6358859B2 (ja) | 1988-11-17 |
EP0208844B1 (de) | 1991-07-03 |
US4732734A (en) | 1988-03-22 |
EP0208844A1 (de) | 1987-01-21 |
CA1305273C (en) | 1992-07-14 |
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