JPS6248446A

JPS6248446A - マガジン搬送機構

Info

Publication number: JPS6248446A
Application number: JP18863985A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Suzuki; 弘鈴木
Original assignee: Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
Current assignee: Hitachi High Tech Corp
Priority date: 1985-08-29
Filing date: 1985-08-29
Publication date: 1987-03-03
Also published as: JPH0212694B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】産業上の利用分野本発明は、例えば紫外線マーク機などにおいて、半導体
デバイス、論理デバイス等のデバイスが内部に収納され
たマガジンをローダレーンに搬送したり、空マガジンを
アンローダレーンに搬送するマガジン搬送機構に関し、
特にローダ側のマガジンの積層数を増大すると共にアン
ローダレーンに空マガジンを自動セットできるマガジン
搬送機構に関する。

従来の技術従来のこの種のマガジン搬送機構は、第７図に示すよう
に、デバイスが内部に収納された複数のマガジン１をマ
ガジンセット部Ｍに上下方向に積層しており、このマガ
ジンセット部Ｍから図示省略のマガジンプッシャー等で
側方から矢印Ｐのように一本のマガジン１を押し出して
ローダ部２にクランプ機構Ｃ等で位置決めし、このロー
ダ部２のマガジン１からデバイスを矢印Ｑのように例え
ばマーキング工程を行うマーキング部３に払い出し、こ
のマーキング部３からマーキング処理後のデバイスが矢
印Ｒのように送り出され、このデバイスをアンローダ部
４にセットされた空マガジン１′に収納するようになっ
ていた。ここで、上記ローダ部２と、マーキング部３と
、アンローダ部４とは、同一直線上で直列状態に配置さ
れていた。

そして、ローダ部２のマガジン１からデバイスが全部払
い出されて空になると、その空マガジンは取り除かれ、
マガジンセット部Ｍから次なるマガジンｌが矢印Ｐのよ
うに押し出されてセットされる。このとき、上記マガジ
ンセット部Ｍには、その上部へ新しいマガジン１を順次
補充していた。

また、アンローダ部４には、その空マガジン１′がデバ
イスで一杯になると、作業者がその度毎に空のマガジン
１′と交換してセットしていた。

発明が解決しようとする問題点しかし、このようなマガジン搬送機構においては、上記
マガジンセット部Ｍにおけるマガジン１の積層数が２０
〜３０本であると共に、その積層はマガジンセット部Ｍ
において一列のみであった。

従って、マガジンセット部Ｍにおけるマガジン１の積層
数は多いとはいえず、上記マガジンセット部間へデバイ
スが収納されたマガジン１を順次補充する作業を頻繁に
行わなければならなかった。

また、ローダ部２とアンローダ部４とは、マーキング部
３の両側方でそれぞれ独立しており何ら連けい動作をし
ていないので、上記マーキング部３から送り出されたデ
バイスでアンローダ部４の空マガジン１′が一杯になっ
たら、作業者がその都度新しい空マガジン１′と交換し
てセットしなければならなかった。これらのことから、
装置全体として作業能率が悪いと共に、稼働率も低下す
るものであった。そこで、本発明は、このような問題点
を解決することを目的とする。

問題点を解決するための手段上記の問題点を解決する本発明の手段は、デバイスが内
部に収納された複数個のマガジンを上下方向に積層する
複数列のマガジンセットレーンと、このマガジンセット
レーンの隣にてマガジンからデバイスを次工程へ払い出
すローダレーンと、このローダレーンの隣にて前工程か
ら送り出されるデバイスを空マガジンに収納するアンロ
ーダレーンとをそれぞれ一定間隔で横方向に平行に設け
ると共に、上記各レーン間をマガジンを載せてピッチ送
りするスライダを設け、このスライダの駆動により上記
マガジンセットレーンからデバイスが収納されたマガジ
ンをローダレーンに順次搬送すると同時に、ローダレー
ンに残った空マガジンはアンローダレーンに搬送するよ
うにしたことによってなされる。

実施例以下、本発明の実施例を添付図面に基づいて詳細に説明
する。

第１図は本発明によるマガジン搬送機構の実施例を示す
平面図であり、第２図はその右側面図である。第１図に
おいて、平板状のベース５の上面には、例えば三列のマ
ガジンセットレーン６ａ。

６ｂ、６ｃが設けられている。これらのマガジンセット
レーン６８〜６ｃは、半導体デバイス、論理デバイス等
のデバイスが内部に収納された複数個のマガジン１，１
．・・・（第２図参照）を上下方向に積層するもので、
上記マガジン１の両側端部に位置するマガジンガイド７
ａ、７ｂ、７ｃがそれぞれベース５上に立設されている
。

上記マガジンセットレーン６ａ〜６ｃのうち第三のマガ
ジンセットレーン６ｃの隣には５０−ダレーン８が設け
られている。このローダレーン８は、マガジン１からデ
バイスを次工程、例えばマーキング工程を行うマーキン
グ部３へ矢印Ａのように払い出すもので、上記マガジン
セットレーン６ａ〜６ｃから順次搬送される一本のマガ
ジン１を従来公知のクランプ機構等によりレーン軸に位
置決めしてセットするようになっている。上記ローダレ
ーン８の隣には、このアンローダレーン９が設けられて
いる。アンローダレーン９は、前工程の例えばマーキン
グ部３から送り出されるデバイスを空マガジン１′に矢
印Ｂのように収納するもので、上記ローダレーン８から
順次搬送される一本の空マガジン１′を従来公知のクラ
ンプ機構等によりレーン軸に位置決めしてセットするよ
うになっている。

そして、上記三列のマガジンセットレーン６ａ。

６ｂ、６ｃと、ローダレーン８と、アンローダレーン９
とは、ベース５上にてそれぞれのレーン間が一定間隔ｐ
をおいて横方向に平行に並べられている。

上記ベース５の下面側には、スライダ１０が設けられて
いる。このスライダ１０は、上記各レーン６ａ〜６ｃ、
８．９間をマガジン１を載せて順次ピッチ送りするもの
で、第２図に示すように。

第一のマガジンセットレーン６ａからローダレーン８の
部分まで延びる角柱部材を有し、この角柱部材の上面に
はマガジン１を載せうる幅の凹所１１．１１．・・・が
上記一定間隔ｐと同一ピッチで各レーンに対応して形成
されている。そして、上記スライダ１０の下面にはスラ
イダ前後シリンダ１２が取り付けられると共に、このス
ライダ前後シリンダ１２のロッド１３の先端部にはスラ
イダ上下シリンダ１４のロッド１５が結合部材１６を介
して結合されている。ここで、上記スライダ上下シリン
ダ１４のロッド１５が伸縮することにより、上記スライ
ダ１０が所定の高さまで上下動すると共に、上記スライ
ダ前後シリンダ１２のロッド１３が伸縮することにより
、そのスライダ１０が上記一定間隔ｐのピッチで前後動
するようになっている。

また、上記マガジンセットレーン６ａ〜６ｃのそれぞれ
の両側端部のマガジンガイド７ａ、７ｂ＋７０の下部に
は、マガジンストッパ１７ａ、１７ｂ、１７ｃがそれぞ
れ設けられている。このマガジンストッパ１７ａ等は、
各マガジンセットレーン６８〜６ｃに上下方向に積層さ
れたマガジン１゜１、・・・を最下位のものから順次ス
ライダ１０の凹所１１内に載せるときにのみロックを解
除するもので、第３図に示すように、マガジンガイド７
ａの下部の支点１８に矢印Ｃのように回動可能に設けら
れている。ここで、上記マガジンガイド７ａの側面には
、作動シリンダ１９が取り付けられ、この作動シリンダ
１９のロッド２０が上記マガジンストッパ１７ａの他端
に連結されている。そして、上記作動シリンダ１９でロ
ッド２０を矢印り方向に収縮することにより、マガジン
ストッパ１７ａが矢印Ｃ方向に回動してロックが解除さ
れ、最下位のマガジン１が矢印Ｅ方向に落ちて、スライ
ダ１ｏの凹所１１内に載せられるようになっている。な
お、上記マガジンストッパ１７ａの下方には、マガジン
１の一本分の空スペースが形成されている。

次に、このように構成されたマガジン搬送機構の動作に
ついて第４図ないし第６図を参照して説明する。まず、
第２図において、各マガジンセットレーン６ａ〜６ｂに
は、マガジンストッパ１７ａ〜１７ｃより上方に複数個
のマガジン１，１゜・・・をそれぞれ積層しておく。こ
の状態から、まず。

スライダ上下シリンダ１４を駆動してそのロッド１５を
伸長し、第４図に示すように、スライダ１０の全体を矢
印Ｅ方向に上昇させる。すると、このスライダ１０の第
一の凹所１１ａは第一のマガジンセットレーン６ａの下
部に、第二の凹所１１ｂは第二のマガジンセットレーン
６ｂの下部に、第三の凹所１１ｃは第三のマガジンセッ
トレーン６Ｃの下部に、第四の凹所ｌｉｄはローダレー
ン８（第２図参照）の位置に、それぞれ位置する。

次に、初めに第一のマガジンセットレーン６ａに集積さ
れたマガジン１を搬送するとして、そのマガジンガイド
７ａの下部に設けられたマガジンストッパ１７ａを第３
図に示すように矢印Ｃ方向に回動して、ロックを解除す
る。すると、第一のマガジンセットレーン６ａに集積さ
れた最下位のマガジン１が第３図に矢印Ｅで示すように
落下して５スライダ１０の第一の凹所１１ａ内に載せら
れる。

このとき、他のレーン６ｂ、６ｃのマガジンストッパ１
７ｂ、１７ｃはロックされている。次に、スライダ前後
シリンダ１２を駆動してそのロッド１３を伸長し、第５
図に示すように、スライダ１０の全体を矢印Ｆ方向に一
定間隔ｐのピッチで前進させる。この間に、上記マガジ
ンストッパ１７ａは再びロックされる。そして、上記第
一の凹所１１ａ内に載せられたマガジン１は、第二のマ
ガジンセットレーン６ｂの下部に移動される。次に。

その位置において、スライダ上下シリンダ１４を駆動し
てそのロッド１５を収縮し、第６図に示すように、スラ
イダ１ｏの全体を矢印Ｇ方向に下降させる。すると、今
まで上記第一め凹所１１ａ内に載せられていたマガジン
１は、第二のマガジンセットレーン６ｂの下部に置かれ
る１次に、スライダ前後シリンダ１２を駆動してそのロ
ッド１３を収縮し、第２図に示すように、スライダ１０
の全体を矢印Ｈ方向に後退させる。これにより初期状態
に戻り、この矢印Ｅ、Ｆ、Ｇ、Ｈで示される矩形運動に
よってスライダ１０によるマガジン１の１搬送行程が終
了する。この結果、第一のマガジンセットレーン６ａの
最下位のマガジン１が第二のマガジンセットレーン６ｂ
の下部に搬送される。そして、この搬送行程を三回繰り
返すことにより、上記第一のマガジンセットレーン６ａ
の最下位のマガジン１が６ａ→６ｂ→６ｃ→８と移動し
、第２図に示すローダレーン８まで搬送され、図示省略
のクランプ機構でセットされる。なお、この搬送行程の
三回の繰り返しの間に、第一のマガジンセットレーン６
ａの下から二番目のマガジン１は第三のマガジンセット
レーン６ｃの下部まで移動され、下から三番目のマガジ
ン１は第二のマガジンセットレーン６ｂの下部に移動さ
れている。

この状態で、上記ローダレーン８にセットされたマガジ
ン１から、第１図に矢印Ａで示すように内部のデバイス
がマーキング部３に順次払い出され、このマーキング部
３でマーキング処理されたデバイスは、予めアンローダ
レーン９にセットされた空マガジン１′に矢印Ｂのよう
に順次収納される。そして、上記ローダレーン８にセッ
トされたマガジン１内のデバイスが無くなると１次のス
ライダ１０の搬送行程により、ローダレーン８に残った
空マガジンは上記スライダ１ｏの第四の凹所ｌｉｄによ
ってアンローダレーン９へ搬送される。このとき同時に
、上記アンローダレーン９にセットされてデバイスを一
杯に収納したマガジンは、上記スライダ１０の外端面に
より外方に押し出され、アンローダレーン９から外され
る。この間に、次なるデバイスを収納したマガジン１が
、上記搬送行程によりローダレーン８に搬送セットされ
る。以後の搬送動作においては、１搬送行程により同時
に、マガジンセットレーン６ａからマガジン１を一個ず
つ順次ローダレーン８に搬送すると共に、ローダレーン
８に残った空マガジン１をアンローダレーン９に搬送し
、かつアンローダレーン９のマガジン１′を外方に押し
出すことが行われる。

このようにして、第一のマガジンセットレーン６ａのマ
ガジン１が全部搬送されたら、今度は第二のマガジンセ
ットレーン６ｂのマガジンストッパ１７ｂを開閉し、第
二のマガジンセットレーン６ｂからマガジン１を搬送す
る。その次には、同様にして、第三のマガジンセットレ
ーン６ｃからマガジン１を搬送する。その間に、第−及
び第二のマガジンセットレーン６ａ、６ｂには、その上
方から適宜デバイスが収納されたマガジン１を補充して
やればよい。

なお、第１図及び第２図においては、マガジンセットレ
ーン６８〜６ｃを三列設けたものとして示したが、本発
明はこれに限らず、二列または四列以上設けてもよい、
また、マガジン１の搬送は、必ずしも第一のマガジンセ
ットレーン６ａから開始することなく、他のマガジンセ
ットレーン６ｂ。

６ｃから開始してもよい。

発明の効果本発明は、以上説明したように、複数列のマガジンセッ
トレーン６ａ等と、ローダレーン８と、アンローダレー
ン９とをそれぞれ一定間隔ｐで横方向に平行に設けると
共に、上記各レーン間をマガジン１を載せてピッチ送り
するスライダ１０を設けたので、このスライダ１ｏの駆
動により上記マガジンセットレーン６８等からデバイス
が収納されたマガジン１をローダレーン８に順次搬送す
ると同時に、ローダレーン８に残った空マガジン１′は
アンローダレーン９に搬送することができる。従って、
ローダレーン８に搬送供給すべきマガジン１を複数列の
マガジンセットレーン６８等を利用して多数積層するこ
とができ、マガジン１を補充する作業のサイクルタイム
を延長することができる。またローダレーン８と、アン
ローダレ−ン９とは一定間隔Ｐで横方向に並んでおり、
スライダ１０の一連の動作によってローダレーン８から
アンローダレーン９に対して空マガジン１′が自動的に
搬送されるので、従来のように作業者がその都度新しい
空マガジン１′と交換してセットする作業は不要とする
ことができる。これらのことから装置全体として作業能
率を向上できると共に、稼働率も向上することができる
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明によるマガジン搬送機構の実施例を示す
平面図、第２図はその右側面図、第３図はマガジンスト
ッパを示す拡大説明図、第４図ないし第６図は本発明の
マガジン搬送機構の動作を示す説明図、第７図は従来の
マガジン搬送機構を示す平面図である。１・・・マガジン１′・・・空マガジン３・・・マーキング部５・・・ベース６ａ、６ｂ、６ｃ・・・マガジンセットレーン７ａ、７
ｂ、７ｃ・・・マガジンガイド８・・・ローダレーン９・・・アンローダレーン１０・・・スライダ１１、ｌｌａ〜ｌｉｄ・・・スライダの凹所１２・・・
スライダ前後シリンダ１４・・・スライダ上下シリンダ１７ａ、１７ｂ、１７ｃ・・・マガジンストッパ出願人
　日立電子エンジニアリング株式会社第　直　図１′ ｇ２図　　　　　第３図

Claims

【特許請求の範囲】

デバイスが内部に収納された複数個のマガジンを上下方
向に積層する複数列のマガジンセットレーンと、このマ
ガジンセットレーンの隣にてマガジンからデバイスを次
工程へ払い出すローダレーンと、このローダレーンの隣
にて前工程から送り出されるデバイスを空マガジンに収
納するアンローダレーンとをそれぞれ一定間隔で横方向
に平行に設けると共に、上記各レーン間をマガジンを載
せてピッチ送りするスライダを設け、このスライダの駆
動により上記マガジンセットレーンからデバイスが収納
されたマガジンをローダレーンに順次搬送すると同時に
、ローダレーンに残った空マガジンはアンローダレーン
に搬送するようにしたことを特徴とするマガジン搬送機
構。