JPS6245070B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6245070B2 JPS6245070B2 JP57224992A JP22499282A JPS6245070B2 JP S6245070 B2 JPS6245070 B2 JP S6245070B2 JP 57224992 A JP57224992 A JP 57224992A JP 22499282 A JP22499282 A JP 22499282A JP S6245070 B2 JPS6245070 B2 JP S6245070B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pattern
- conductor
- resistor pattern
- forming
- resistor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 41
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 14
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 12
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 9
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 6
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims 1
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 10
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 6
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 5
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 4
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/315—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material
- B41J2/32—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material using thermal heads
- B41J2/335—Structure of thermal heads
Landscapes
- Electronic Switches (AREA)
- Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
（技術分野）
本発明は製造工程の簡略化を図り歩留がよく安
価なサーマルヘツドを得ることができるサーマル
ヘツドの製造方法に関する。
価なサーマルヘツドを得ることができるサーマル
ヘツドの製造方法に関する。
（従来技術）
従来のサーマルヘツドの製造方法を第１図によ
つて説明する。絶縁基板１上に真空蒸着法又はス
パツタリング法等により一様に抵抗膜２を生成
し、該抵抗膜２上に更に真空蒸着法又はスパツタ
リング法等によつて一様に導体膜３を生成する
（第１図ａ）。レジスト膜をマスクとして通常のホ
トリソエツチングにより所定の導体パターン３ａ
と、前述同様にレジスト膜をマスクとして抵抗体
パターン２ａを形成すると共に前記導体パターン
３ａの一部を選択的に食刻し、発熱部４を形成す
る（同図ｂ，ｇ）。前記発熱部４には抵抗体パタ
ーン２ａの保護と摩滅防止のためスパツタリング
法によつて保護膜５を形成する（同図ｃ）。二層
配線素子８やダイオード９等のボンデイングを容
易にするため導体パターン３ａ上に導体電解メツ
キ６を行う（同図ｄ）。前記導体電解メツキ６を
行つた後、ダイオード９の接続部７をレジスト膜
をマスクとしてホトリソエツチングにより再形成
する。次に二層配線素子８を用いて所定の回路を
構成するように導体パターン３ａと二層配線素子
８の導体８ａをボンデイングによつて接続する。
所定の回路構成ができたところでパターンのシヨ
ートチエツク並びに修正作業を行う（同図ｅ）。
ダイオード９を接続部７に橋絡する如く導体パタ
ーン３ａにボンデイングすることによつて第１図
ｆに示すサーマルヘツドが完成する。
つて説明する。絶縁基板１上に真空蒸着法又はス
パツタリング法等により一様に抵抗膜２を生成
し、該抵抗膜２上に更に真空蒸着法又はスパツタ
リング法等によつて一様に導体膜３を生成する
（第１図ａ）。レジスト膜をマスクとして通常のホ
トリソエツチングにより所定の導体パターン３ａ
と、前述同様にレジスト膜をマスクとして抵抗体
パターン２ａを形成すると共に前記導体パターン
３ａの一部を選択的に食刻し、発熱部４を形成す
る（同図ｂ，ｇ）。前記発熱部４には抵抗体パタ
ーン２ａの保護と摩滅防止のためスパツタリング
法によつて保護膜５を形成する（同図ｃ）。二層
配線素子８やダイオード９等のボンデイングを容
易にするため導体パターン３ａ上に導体電解メツ
キ６を行う（同図ｄ）。前記導体電解メツキ６を
行つた後、ダイオード９の接続部７をレジスト膜
をマスクとしてホトリソエツチングにより再形成
する。次に二層配線素子８を用いて所定の回路を
構成するように導体パターン３ａと二層配線素子
８の導体８ａをボンデイングによつて接続する。
所定の回路構成ができたところでパターンのシヨ
ートチエツク並びに修正作業を行う（同図ｅ）。
ダイオード９を接続部７に橋絡する如く導体パタ
ーン３ａにボンデイングすることによつて第１図
ｆに示すサーマルヘツドが完成する。
しかるに、かかる製造方法においては保護膜５
の生成作業が高温のため導体パターン３ａ表面に
他金属が拡散したり、導体パターン３ａ自身の表
面が一部酸化する。即ち導体パターン３ａの表面
はボンデイング作業を行うには非常に不適切な状
態となつてしまう。従つてボンデイングの密着不
良を防止するため導体パターン３ａ表面に導体電
解メツキ６が必要となる。前記導体電解メツキ６
を行うにはパターンが入力端から出力端まで導体
パターン３ａか抵抗体パターン２ａで接続されて
いる状態、即ち第１図ｄに示す工程時点で行う必
要がある。従つて第１図ｅに示すダイオード９の
接続部７を予め設けることができず、導体電解メ
ツキ６を行つた後、ホトリソエツチングにより導
体パターンの再形成をすることにより接続部７を
設ける必要があつた。このためマスク合せ等工程
が複雑であるという欠点があつた。
の生成作業が高温のため導体パターン３ａ表面に
他金属が拡散したり、導体パターン３ａ自身の表
面が一部酸化する。即ち導体パターン３ａの表面
はボンデイング作業を行うには非常に不適切な状
態となつてしまう。従つてボンデイングの密着不
良を防止するため導体パターン３ａ表面に導体電
解メツキ６が必要となる。前記導体電解メツキ６
を行うにはパターンが入力端から出力端まで導体
パターン３ａか抵抗体パターン２ａで接続されて
いる状態、即ち第１図ｄに示す工程時点で行う必
要がある。従つて第１図ｅに示すダイオード９の
接続部７を予め設けることができず、導体電解メ
ツキ６を行つた後、ホトリソエツチングにより導
体パターンの再形成をすることにより接続部７を
設ける必要があつた。このためマスク合せ等工程
が複雑であるという欠点があつた。
（発明の目的）
本発明の目的はかかる欠点に鑑み前述のような
複雑な工程を簡略化し、歩留のよいサーマルヘツ
ドの製造方法を提供するものである。
複雑な工程を簡略化し、歩留のよいサーマルヘツ
ドの製造方法を提供するものである。
（発明の構成）
前述の目的を達成するための本発明の基本的な
構成は、絶縁基板上に薄い抵抗膜と導体膜を一様
に生成した後、導体及び抵抗体パターンを形成す
ると共に導体パターンの一部をホトリソエツチン
グで所定の長さだけ食刻し抵抗体パターンを露出
させて発熱部とダイオード接続部を設け、ダイオ
ード接続部の抵抗体パターン幅を発熱部の抵抗体
パターン幅より幅細に設定する。つまり発熱部の
抵抗体パターンの電流容量よりもダイオード接続
部の電流容量を小さくする。しかる後発熱部には
保護膜を、導体パターン上には導体電解メツキを
施し、ここでダイオード接続部の抵抗体パターン
が焼損切断しかつ発熱部の抵抗体パターンに損傷
を与えない程度の電流を加えて抵抗体パターンを
切断し、ダイオード接続部を完成すると共に導体
パターンのシヨートチエツクを同時に行うもので
ある。以下図面に基づいて本発明に係る実施例を
詳細に説明する。
構成は、絶縁基板上に薄い抵抗膜と導体膜を一様
に生成した後、導体及び抵抗体パターンを形成す
ると共に導体パターンの一部をホトリソエツチン
グで所定の長さだけ食刻し抵抗体パターンを露出
させて発熱部とダイオード接続部を設け、ダイオ
ード接続部の抵抗体パターン幅を発熱部の抵抗体
パターン幅より幅細に設定する。つまり発熱部の
抵抗体パターンの電流容量よりもダイオード接続
部の電流容量を小さくする。しかる後発熱部には
保護膜を、導体パターン上には導体電解メツキを
施し、ここでダイオード接続部の抵抗体パターン
が焼損切断しかつ発熱部の抵抗体パターンに損傷
を与えない程度の電流を加えて抵抗体パターンを
切断し、ダイオード接続部を完成すると共に導体
パターンのシヨートチエツクを同時に行うもので
ある。以下図面に基づいて本発明に係る実施例を
詳細に説明する。
（実施例）
第２図は本発明に係るサーマルヘツドの中間製
造工程における回路、即ちダイオードを接続する
前の回路構成を示す。同図に示す如くサーマルヘ
ツドの回路はマトリクス状で共通電極A1〜Ａnに
複数の抵抗体パターン２２ａを並列に接続する。
該抵抗体パターン２２ａは二層配線素子８を用い
て共通電極B1〜Ｂoに接続する。抵抗体パターン
２２ｂは導体電解メツキ工程が終了するまで電流
の導通体として利用するもので、前記抵抗体パタ
ーン２２ｂは導体電解メツキ工程終了後切断電流
を流して切断する。
造工程における回路、即ちダイオードを接続する
前の回路構成を示す。同図に示す如くサーマルヘ
ツドの回路はマトリクス状で共通電極A1〜Ａnに
複数の抵抗体パターン２２ａを並列に接続する。
該抵抗体パターン２２ａは二層配線素子８を用い
て共通電極B1〜Ｂoに接続する。抵抗体パターン
２２ｂは導体電解メツキ工程が終了するまで電流
の導通体として利用するもので、前記抵抗体パタ
ーン２２ｂは導体電解メツキ工程終了後切断電流
を流して切断する。
第３図は本発明に係るサーマルヘツドの製造工
程を示す工程図である。同図によつて本発明のサ
ーマルヘツドの製造方法を説明する。
程を示す工程図である。同図によつて本発明のサ
ーマルヘツドの製造方法を説明する。
絶縁基板１上に真空蒸着法又はスパツタリング
法等により一様に抵抗膜２を生成し、更に該抵抗
膜２上に真空蒸着法又はスパツタリング法等によ
つて一様に導体膜３の生成を行う（第３図ａ）。
レジスト膜をマスクとして通常のホトリソエツチ
ングにより導体パターン２３を形成すると共に該
導体パターン２３の一部を所定の長さだけ食刻し
発熱部２４とダイオード接続部２５を形成する。
次に導体パターン２３に重合するようにレジスト
膜をマスクとしてホトリソエツチングにより抵抗
体パターン２２を形成する。ここでダイオード接
続部２５の抵抗体パターン２２ｂのパターン幅
W1は発熱部２４の抵抗体パターン２２ａのパタ
ーン幅Ｗの例えば1/2以下に設定する。即ちW1
１／2Wとする（同図ｂ，ｇ）。また第３図ｈに示
す抵抗体パターン２２ｃの如く中央部を更に細く
することによつてダイオード接続部２５の中央が
効率良く切断できる。
法等により一様に抵抗膜２を生成し、更に該抵抗
膜２上に真空蒸着法又はスパツタリング法等によ
つて一様に導体膜３の生成を行う（第３図ａ）。
レジスト膜をマスクとして通常のホトリソエツチ
ングにより導体パターン２３を形成すると共に該
導体パターン２３の一部を所定の長さだけ食刻し
発熱部２４とダイオード接続部２５を形成する。
次に導体パターン２３に重合するようにレジスト
膜をマスクとしてホトリソエツチングにより抵抗
体パターン２２を形成する。ここでダイオード接
続部２５の抵抗体パターン２２ｂのパターン幅
W1は発熱部２４の抵抗体パターン２２ａのパタ
ーン幅Ｗの例えば1/2以下に設定する。即ちW1
１／2Wとする（同図ｂ，ｇ）。また第３図ｈに示
す抵抗体パターン２２ｃの如く中央部を更に細く
することによつてダイオード接続部２５の中央が
効率良く切断できる。
次に発熱部２４の抵抗体パターン２２ａには該
パターン２２ａの保護と摩滅防止のためスパツタ
リング法により保護膜２６を形成する（同図
ｃ）。また導体パターン２３上に導体電解メツキ
２７を行う（同図ｄ）。絶縁基板１上に各パター
ン形成後二層配線素子８を用いて第２図に示す回
路を構成するように導体パターン２３と前記二層
配線素子８の導体８ａをボンデイング接続する。
配線作業終了後第２図に示す共通電極A1と共通
電極B1〜Ｂo間に抵抗体パターン２２ｂが焼損切
断する程度の切断電流を同時に流し前記抵抗体パ
ターン２２ｂを切断し切断部２８を設ける（第３
図ｅ）。前述の切断工程を共通電極Ａnまで繰り返
し各々の抵抗体パターン２２ｂを切断する。また
前記の切断電流を流す切断器（図示せず）には導
体パターン２３のシヨートチエツク機能を有して
おり、該機能により抵抗体パターン２２ｂの切断
と同時にシヨートチエツクを自動的に行う。抵抗
体パターン２２ｂを切断後、ダイオード９をダイ
オード接続部２５を橋絡する如く導体パターン２
３にボンデイングすることによつて第３図ｆに示
すサーマルヘツドが完成する。
パターン２２ａの保護と摩滅防止のためスパツタ
リング法により保護膜２６を形成する（同図
ｃ）。また導体パターン２３上に導体電解メツキ
２７を行う（同図ｄ）。絶縁基板１上に各パター
ン形成後二層配線素子８を用いて第２図に示す回
路を構成するように導体パターン２３と前記二層
配線素子８の導体８ａをボンデイング接続する。
配線作業終了後第２図に示す共通電極A1と共通
電極B1〜Ｂo間に抵抗体パターン２２ｂが焼損切
断する程度の切断電流を同時に流し前記抵抗体パ
ターン２２ｂを切断し切断部２８を設ける（第３
図ｅ）。前述の切断工程を共通電極Ａnまで繰り返
し各々の抵抗体パターン２２ｂを切断する。また
前記の切断電流を流す切断器（図示せず）には導
体パターン２３のシヨートチエツク機能を有して
おり、該機能により抵抗体パターン２２ｂの切断
と同時にシヨートチエツクを自動的に行う。抵抗
体パターン２２ｂを切断後、ダイオード９をダイ
オード接続部２５を橋絡する如く導体パターン２
３にボンデイングすることによつて第３図ｆに示
すサーマルヘツドが完成する。
（発明の効果）
前述の製造方法によれば導体電解メツキ後の導
体パターン再形成工程を必要としないため、前記
パターン再形成のためのマスク合せ等複雑な工程
の簡略化によつてサーマルヘツドの歩留向上が図
れる。またダイオード接続部の抵抗体パターン２
２ｂを切断する切断電流によつて導体パターンの
シヨートチエツクが同時に可能となるなど工程縮
減ができる。
体パターン再形成工程を必要としないため、前記
パターン再形成のためのマスク合せ等複雑な工程
の簡略化によつてサーマルヘツドの歩留向上が図
れる。またダイオード接続部の抵抗体パターン２
２ｂを切断する切断電流によつて導体パターンの
シヨートチエツクが同時に可能となるなど工程縮
減ができる。
第１図ａ〜ｆは従来のサーマルヘツドの製造工
程断面図、同ｇはｂのＡ―A′矢視図、第２図は
本発明に係る一実施例のダイオード接続前の回路
図、第３図ａ〜〜ｆは本発明のサーマルヘツドの
製造工程断面図、同ｇはｂのＢ―B′矢視図、同ｈ
は抵抗体パターンの第２の実施例を示す平面図で
ある。 １…絶縁基板、２…抵抗膜、３…導体膜、２
ａ，２２，２２ａ，２２ｂ…抵抗体パターン、
３，２３…導体パターン、５，２６…保護膜、
６，２７…導体電解メツキ、８…二層配線素子、
９…ダイオード。
程断面図、同ｇはｂのＡ―A′矢視図、第２図は
本発明に係る一実施例のダイオード接続前の回路
図、第３図ａ〜〜ｆは本発明のサーマルヘツドの
製造工程断面図、同ｇはｂのＢ―B′矢視図、同ｈ
は抵抗体パターンの第２の実施例を示す平面図で
ある。 １…絶縁基板、２…抵抗膜、３…導体膜、２
ａ，２２，２２ａ，２２ｂ…抵抗体パターン、
３，２３…導体パターン、５，２６…保護膜、
６，２７…導体電解メツキ、８…二層配線素子、
９…ダイオード。
Claims (1)
- １ 絶縁基板上に抵抗膜を一様に生成し、該抵抗
膜上に導体膜を一様に生成する工程と、レジスト
膜をマスクとして導体パターンを形成すると共に
導体パターンの一部を所定の長さだけ食刻し発熱
部とダイオード接続部を形成する工程と、前記導
体パターンと重合するようにレジスト膜をマスク
として抵抗体パターンを形成し、かつ前記ダイオ
ード接続部の抵抗体パターン幅を発熱部の抵抗体
パターン幅より幅細に形成する工程と、発熱部の
抵抗体パターン上に保護膜を形成し、導体パター
ン上に導体電解メツキを行う工程と、前記ダイオ
ード接続部の抵抗体パターンを切断する切断電流
を流し、前記抵抗体パターンを切断することを特
徴としたサーマルヘツドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57224992A JPS59115871A (ja) | 1982-12-23 | 1982-12-23 | サ−マルヘツドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57224992A JPS59115871A (ja) | 1982-12-23 | 1982-12-23 | サ−マルヘツドの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59115871A JPS59115871A (ja) | 1984-07-04 |
| JPS6245070B2 true JPS6245070B2 (ja) | 1987-09-24 |
Family
ID=16822387
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57224992A Granted JPS59115871A (ja) | 1982-12-23 | 1982-12-23 | サ−マルヘツドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59115871A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2506634B2 (ja) * | 1985-04-19 | 1996-06-12 | 松下電器産業株式会社 | 感熱記録ヘッド |
| JPH0516768A (ja) * | 1991-07-09 | 1993-01-26 | Daifuku Co Ltd | 洗車スペース短縮装置付き自動洗車機 |
-
1982
- 1982-12-23 JP JP57224992A patent/JPS59115871A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59115871A (ja) | 1984-07-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2637662B2 (ja) | チップ型複合電子部品の製造方法及びチップ型ネットワーク抵抗器の製造方法 | |
| JP2001118701A (ja) | 電流検出用低抵抗器及びその製造方法 | |
| JPS604793B2 (ja) | 厚膜型サ−マルヘツドの製造方法 | |
| JPS6245070B2 (ja) | ||
| JPH02251145A (ja) | 突起電極形成方法 | |
| JPS63246844A (ja) | 半導体ヒユ−ズ | |
| JPS61283573A (ja) | 熱線放射ヘツドの製造方法 | |
| JPS5987848A (ja) | 半導体集積回路基板電極膜の形成方法 | |
| JP2002367801A (ja) | チップ形抵抗器およびその製造方法 | |
| JP2002279883A (ja) | チップ型ヒューズ抵抗器及びその製造方法 | |
| JPH07226301A (ja) | 抵抗器 | |
| JPS6012778A (ja) | 半導体装置の素子接続構造およびその製造方法 | |
| JP2001116771A (ja) | 電流検出用低抵抗器及びその製造方法 | |
| JPS63268663A (ja) | サーマルヘッド基板および製造方法 | |
| JP4795568B2 (ja) | チップ形抵抗ネットワークの製造方法 | |
| JPS63122576A (ja) | サ−マルヘツド | |
| JP2556615B2 (ja) | 導体欠損部の修正方法 | |
| JPS59107769A (ja) | 半田流れ防止域の形成方法 | |
| JPH01123759A (ja) | サーマルヘッドの製造方法 | |
| JPS59195843A (ja) | 半導体装置 | |
| JPS62122764A (ja) | サ−マルヘツドの製造方法 | |
| JPH10321403A (ja) | 抵抗器の製造方法 | |
| JPH0274007A (ja) | 厚膜抵抗体のトリミング方法 | |
| JPS62164555A (ja) | サ−マルヘツド | |
| JPS5824040B2 (ja) | サ−マルヘッドにおけるクロスオ−バ配線部の絶縁層形成方法 |