JPS6244619A - 光電式変位検出装置 - Google Patents
光電式変位検出装置Info
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- JPS6244619A JPS6244619A JP18497485A JP18497485A JPS6244619A JP S6244619 A JPS6244619 A JP S6244619A JP 18497485 A JP18497485 A JP 18497485A JP 18497485 A JP18497485 A JP 18497485A JP S6244619 A JPS6244619 A JP S6244619A
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- Japan
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- measurement
- optical
- light
- measurement surface
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
本発明は、光学式変位検出装置に係り、特に、）１隔物
体の厚さや変位等を非接触で測定する際に用いるのに好
適な、測定面に測定光を照射する発光器と、測定面から
の測定反射光を受けて電気信号に変換する光電変換器と
、該電気信号を処理して、発光器に対する測定面の変位
量に関する測定値を求める電子回路を含んで形成された
光学式変位検出装置の改良に関する。
体の厚さや変位等を非接触で測定する際に用いるのに好
適な、測定面に測定光を照射する発光器と、測定面から
の測定反射光を受けて電気信号に変換する光電変換器と
、該電気信号を処理して、発光器に対する測定面の変位
量に関する測定値を求める電子回路を含んで形成された
光学式変位検出装置の改良に関する。
産業界における生産の自動化、ロボット導入等に伴い、
計測のインプロセス化、高速度化、高精度化が急速に要
請されており、赤熱した鉄板の圧）Ｉ Ｉ稈における厚
さのインプロセス測定のように、遠隔物体の厚さや変位
等を非接触で測定できる変位検出装置の必要性も大とな
っている。 このような非接触式の変位検出装置としては、被測定物
体に役割した光の反射光や散乱光を変位に関する信号と
する光学内方１式を利用したもの、磁束変化、渦電流、
容量変化等、電磁気的場の効果を利用したもの、放射線
の吸収度を利用したもの、超音波を利用したもの等が提
案されているが、被測定物体との設定距離を大きくとれ
るという点では、光学的方式を利用したものが有利であ
る。 この光学式変位検出装置としては、種々の方式が提案さ
れているが、その１つに、例えば第６図に示を如く、測
定面１０に測定光を照射する発光器１２と、測定面１０
からの測定反射光を受けて電気信号に変換する、例えば
−次元イメージセンサ等の光電変換器１４と、該電気信
号を処理して、発光器１０に対する測定面１０の変位ｍ
に関する測定値を求める電子回路１６を備え、測定光の
測定面１０での散乱光点を検出し、三角１１（４）法に
従って測定面１０の変位量を演算するようにした、いわ
ゆる散乱光点のポイント計測方式によるものがある（特
開昭６０−５７２０２、特願昭５９＝２６８２７、特願
昭５９−１３２７８１）。 このような光学式変位検出装置は、非接触性等便宜から
普及しつつある。
計測のインプロセス化、高速度化、高精度化が急速に要
請されており、赤熱した鉄板の圧）Ｉ Ｉ稈における厚
さのインプロセス測定のように、遠隔物体の厚さや変位
等を非接触で測定できる変位検出装置の必要性も大とな
っている。 このような非接触式の変位検出装置としては、被測定物
体に役割した光の反射光や散乱光を変位に関する信号と
する光学内方１式を利用したもの、磁束変化、渦電流、
容量変化等、電磁気的場の効果を利用したもの、放射線
の吸収度を利用したもの、超音波を利用したもの等が提
案されているが、被測定物体との設定距離を大きくとれ
るという点では、光学的方式を利用したものが有利であ
る。 この光学式変位検出装置としては、種々の方式が提案さ
れているが、その１つに、例えば第６図に示を如く、測
定面１０に測定光を照射する発光器１２と、測定面１０
からの測定反射光を受けて電気信号に変換する、例えば
−次元イメージセンサ等の光電変換器１４と、該電気信
号を処理して、発光器１０に対する測定面１０の変位ｍ
に関する測定値を求める電子回路１６を備え、測定光の
測定面１０での散乱光点を検出し、三角１１（４）法に
従って測定面１０の変位量を演算するようにした、いわ
ゆる散乱光点のポイント計測方式によるものがある（特
開昭６０−５７２０２、特願昭５９＝２６８２７、特願
昭５９−１３２７８１）。 このような光学式変位検出装置は、非接触性等便宜から
普及しつつある。
しかしながら、このような光学式変位検出装置において
、基準位置ｐｓから一ヒ下に設定範囲で変位する測定面
１０の変位量を試験、検査する場合、変位検出装置の特
性の良い範囲で測定することが好ましく、前記基準位置
ｐｓにおいて充電変換器１４の中心部相当出力信号が出
力されるように設定するのが一般的である。これは、振
幅を最大にとることにもなって好ましい。しかしながら
、測定面１０の基準位置Ｐｓへの設定は、測定面１０に
当る測定光を漠然たる目安としているに過ぎず、正確な
設定が困難であった。この設定作業は、設定角を変更す
る場合や、試料を交換する毎に行わなければならず、し
かも測定対象面の状態によって一定確認が難しかった。 更に、小型化、経済性等の要請から発光器１２に半導体
レーザを採用する傾向があるが、この場合には、出力光
が不可視光線となるため、設定位置のｖ！Ｊ整が非常に
困難となる。更に、測定面１０の傾きがある場合には、
設定位置のｉｌｌ整が非常に困難となる等の問題点を有
していた。
、基準位置ｐｓから一ヒ下に設定範囲で変位する測定面
１０の変位量を試験、検査する場合、変位検出装置の特
性の良い範囲で測定することが好ましく、前記基準位置
ｐｓにおいて充電変換器１４の中心部相当出力信号が出
力されるように設定するのが一般的である。これは、振
幅を最大にとることにもなって好ましい。しかしながら
、測定面１０の基準位置Ｐｓへの設定は、測定面１０に
当る測定光を漠然たる目安としているに過ぎず、正確な
設定が困難であった。この設定作業は、設定角を変更す
る場合や、試料を交換する毎に行わなければならず、し
かも測定対象面の状態によって一定確認が難しかった。 更に、小型化、経済性等の要請から発光器１２に半導体
レーザを採用する傾向があるが、この場合には、出力光
が不可視光線となるため、設定位置のｖ！Ｊ整が非常に
困難となる。更に、測定面１０の傾きがある場合には、
設定位置のｉｌｌ整が非常に困難となる等の問題点を有
していた。
本発明は、前記従来の問題点を解消するべくなされたち
ので、測定面を適切にセットするための視覚的指標が得
られ、従って、測定面を容易に目つ的確にセットできる
光学式変位検出装置を提供することを目的とする。
ので、測定面を適切にセットするための視覚的指標が得
られ、従って、測定面を容易に目つ的確にセットできる
光学式変位検出装置を提供することを目的とする。
本発明は、測定面に測定光を照射する発光器と、測定面
からの測定反射光を受けて電気信号に変換する光電変換
器と、該電気信号を処理して、発光器に対する測定面の
変位量に関する測定値を求める電子回路を含んで形成さ
れた光学式変位検出装置において、各ビームの光軸が、
前記測定光の光軸に対して所定の角度を持つように配設
され、少くとも測定範囲内で前記測定面上に光マークを
形成する複数の可視光ビームを発生させるマーク発生器
を設けることにより、上記目的を達成したものである。 又、本発明の実施態様は、前記マーク発生器が、基準位
置において測定面上の測定光照射位置と重複せず、且つ
、測定光照射位Ｖに関して対称な位置に同形の光マーク
を形成するものとしたちのである。 又、本発明の他の実施態様は、前記光マークを、同寸法
の円形としたちのである。 又１本発明の他の＊施態様は、前記光マークを、互いに
重複する異寸法の円形としたものである。 又、本発明の他の実施態様は、前記光マークを、互いに
交差する棒状としたものである。 又、本発明の他の実施態様は、前記光マークの色調を、
測定光とは異なるものとしたものである。
からの測定反射光を受けて電気信号に変換する光電変換
器と、該電気信号を処理して、発光器に対する測定面の
変位量に関する測定値を求める電子回路を含んで形成さ
れた光学式変位検出装置において、各ビームの光軸が、
前記測定光の光軸に対して所定の角度を持つように配設
され、少くとも測定範囲内で前記測定面上に光マークを
形成する複数の可視光ビームを発生させるマーク発生器
を設けることにより、上記目的を達成したものである。 又、本発明の実施態様は、前記マーク発生器が、基準位
置において測定面上の測定光照射位置と重複せず、且つ
、測定光照射位Ｖに関して対称な位置に同形の光マーク
を形成するものとしたちのである。 又、本発明の他の実施態様は、前記光マークを、同寸法
の円形としたちのである。 又１本発明の他の＊施態様は、前記光マークを、互いに
重複する異寸法の円形としたものである。 又、本発明の他の実施態様は、前記光マークを、互いに
交差する棒状としたものである。 又、本発明の他の実施態様は、前記光マークの色調を、
測定光とは異なるものとしたものである。
本発明は、光学式変位検出装置において、各ビームの光
軸が、測定光の光軸に対して所定の角度を持つように配
設され、少くとも測定範囲内で前記測定面上に光マーク
を形成する複数の可視光ビームを発生させるマーク発生
器を設（プるようにしている。従って、測定面を適切に
セットするための視覚的指標が得られ、測定面を容易に
且つ的確にセットできる。 又、前記マーク発生器が、基準位置において測定面上の
測定光照射位置と重複せず、且つ、測定光照射位置に関
して対称な位置に同形の光マーク） を形成する
ものとした場合には、光マークが測定反射光に悪影響を
与えることがなく、且つ、光マークの識別が容易となる
。 又、前記光マークを、同寸法の円形とした場合には、光
マーク発生器の構成を共通なものとして簡略化すること
ができる。 又、前記光マークを、互いに単複する異寸法の円形や互
いに交差する棒状とした場合には、基準位置に対する測
定面のずれの方向も知ることができ、セットが更に容易
となる。 又、前記光マークの色調を、測定光とは異なるものとし
た場合には、光マークの識別が容易となる。
軸が、測定光の光軸に対して所定の角度を持つように配
設され、少くとも測定範囲内で前記測定面上に光マーク
を形成する複数の可視光ビームを発生させるマーク発生
器を設（プるようにしている。従って、測定面を適切に
セットするための視覚的指標が得られ、測定面を容易に
且つ的確にセットできる。 又、前記マーク発生器が、基準位置において測定面上の
測定光照射位置と重複せず、且つ、測定光照射位置に関
して対称な位置に同形の光マーク） を形成する
ものとした場合には、光マークが測定反射光に悪影響を
与えることがなく、且つ、光マークの識別が容易となる
。 又、前記光マークを、同寸法の円形とした場合には、光
マーク発生器の構成を共通なものとして簡略化すること
ができる。 又、前記光マークを、互いに単複する異寸法の円形や互
いに交差する棒状とした場合には、基準位置に対する測
定面のずれの方向も知ることができ、セットが更に容易
となる。 又、前記光マークの色調を、測定光とは異なるものとし
た場合には、光マークの識別が容易となる。
以下図面を参照して、本発明に係る光学式変位検出装置
の実施例を詳細に説明する。 本発明の第１実施例は、第１図に示す如く、前出第６図
に示した従来例と同様の光学式変位検出装置において、
更に、前記発光器１２の両脇に、各ビームの光軸が、測
定光の光軸に対して所定の同一角度を持つように配設さ
れ、少くとも測定範囲内で測定面１０上に同寸法の円形
の光マークを形成する２本の可視光ビームを発生させる
２つのマーク発生ｅ２０１２２を設けたちのである。 前記マーク発生器２０．２２による光マーク２０Ａ、２
２Ａは、第２図に詳細に示す如く、基準位置ｐｓにおい
て測定面１０上の測定光照射位置１２Ａと重複せず、且
つ、測定光照射位置１２△に関して線対称な位置に同寸
法の円形の光マーク２０Ａ、２２Ａを形成するものとさ
れている。 従って、基準位置ＰＳよりも上の位置ｐＨでは第２図（
Ａ）に示す如く、測定光照射位置１２Ａに関して光マー
ク２ＯＡが図の左側、光マーク２２Ａが図の石側の位置
となる。又、基準位置Ｐｓでは、第２図（Ｂ）に示ず如
く、２つの光マーク２ＯＡ、２２Ａが完全に合致する。 更に、下の位置Ｐρでは、第２図（Ｃ）に示丈如く、光
マーク２ＯＡが図の右側、光マーク２２Ａが口の左側と
なる。 よって、この第１実施例においては、第２図（Ｂ）に示
す如く、２つの光マーク２０△、２２Ａが完全に合致す
るように測定面１０の位置を調整することによって、測
定面１０の位置を基準位ｊＦｌ？ｐＳに容易に設定する
ことができる。 この第１実施例においては、光マーク２０Ａ。 ２２ Ａの形状が同一とされているので、マーク発生器
の一方を省略し、使方から発生される光をハーフミラ−
等で分割して複数の可視光ビームを形成することも容易
である。 次に、本発明の第２実施例を詳細に説明する。 この第２実施例は、前記第１実施例と同様の光学式変位
検出装置において、＠３図に示す如く、前記マーク発生
器２０による光マーク２ＯＡを、マーク発生器２２によ
る光マーク２２Ａより、大とし、２つの光マーク２ＯＡ
、２２Ａが、互いに単複するようにしたちのである。 他の点については、前記第１実施例と同様であるので説
明は省略する。 この第２実施例において、基準位ｆａＰｓより上の位置
ｐｕでは、第３図（Ａ＞に示す如く、光マーク２２△が
光マーク２ＯＡの範囲内で右側にずれる。又、基準位置
ｐｓでは、第３図（Ｂ）に示す如く、光マーク２２Ａが
光マーク２０Δの中心位置にくる。更に、基準位置ｐｓ
より下の位置Ｐβでは、第３図（Ｃ）に示す如く、光マ
ーク２０Ａの範囲内で光マーク２２Ａが図の左側にずれ
る。 従って、第３図（Ｂ）に示す如く、光マーク２０Ａの中
心位置に光マーク２２Δが（るように測定面１０の位置
を調整することによって、測定面１０を基準位置ｐｓに
合致させることができる。 前記第１実施例及びこの第２実施例においては、何れも
光マーク２ＯＡ、２２Ａの形状が円形とされていたので
、測定面１０の傾きをも容易に判断することができる。 なお、光マーク２ＯＡ、２２Ａの形状は円形に限定され
ない。 次に、本発明の第３実施例を詳細に説明する。 この第３実施例は、前記第１実施例と同様の光学式変位
検出装置において、第４図に示す如く、前記光マーク２
ＯＡ、２２Ａを、互いに直交する棒状としたものである
。 他の点については、前記第１実施例と同様であるので説
明は省略する。 この第３実施例において、基準位置ｐｓより上の位置Ｐ
ＬＩでは、第４図（Ａ）に示す如く、光マ一り２２Ａが
光マーク２０Ａの中心位置より右側にずれる。又、基準
位置ｐｓでは、第４図（Ｂ）に示す如（、光マーク２Ｏ
Ａと２２Ａの中心が合致して、完全な十字ができる。又
、基準位ＣＰ Ｓより下の位置Ｐ、＋２では、第４図（
Ｃ）に示す如く、光マーク２２Ａが光マーク２ＯＡの中
心位置より図の左側にずれる。 従って、第４図（Ｂ）に示す如く、光マーク２２Ａが光
マーク２０△の中心にきて、完全な十字が形成されるよ
うに測定面１０の位置をＭｌすることによって、測定面
１０の位置を基準位ｒＰＳと合致させることができる。 この第３実施例及び前記第２実施例においては、光マー
ク２０Ａと２２△を互いに区別することができ、基準位
置ＰＳに対する測定面１０のずれの方向を知ることがで
きる。 次に、本発明の第４実施例を詳細に説明する。 この第４実施例は、前記第２実施例と同様の光学式変位
検出装置において、第５図に示す如く、前記光マーク２
ＯＡ、２２Ａの形状を、測定光照射位１１２ Ａに関し
て対称の１字状としたものである。 他の点については、前記第１実施例と同様であるので説
明は省略する。 従って、例えば光マーク２０Ａ、２２Ａが互いに接する
位置に調節することによって、測定面１０を容易に基準
位置ｐｓに設定することができる。 なお前記実施例においては、何れも、光マーク２０△、
２２Ａの位置が測定光照射位置１２Ａとは異なる位置と
されていたので、光マーク２０Ａ。 ２２Ａが測定反射光に悪影響を与えることがない。 又、測定光と光マークの識別、も容易である。なお、光
マークを測定光照射位置とずらすことなく、両者を重複
されることも可能である。 なお、前記実施例においては、何れもマーク発生器の数
が２とされていたが、マーク発生器の個数はこれに限定
されず、３個以上としたり、あるいは、単一の光源から
発生される光をハーフミラ−等で分割して複数の光マー
クを形成することにより１個とすることも可能である。
の実施例を詳細に説明する。 本発明の第１実施例は、第１図に示す如く、前出第６図
に示した従来例と同様の光学式変位検出装置において、
更に、前記発光器１２の両脇に、各ビームの光軸が、測
定光の光軸に対して所定の同一角度を持つように配設さ
れ、少くとも測定範囲内で測定面１０上に同寸法の円形
の光マークを形成する２本の可視光ビームを発生させる
２つのマーク発生ｅ２０１２２を設けたちのである。 前記マーク発生器２０．２２による光マーク２０Ａ、２
２Ａは、第２図に詳細に示す如く、基準位置ｐｓにおい
て測定面１０上の測定光照射位置１２Ａと重複せず、且
つ、測定光照射位置１２△に関して線対称な位置に同寸
法の円形の光マーク２０Ａ、２２Ａを形成するものとさ
れている。 従って、基準位置ＰＳよりも上の位置ｐＨでは第２図（
Ａ）に示す如く、測定光照射位置１２Ａに関して光マー
ク２ＯＡが図の左側、光マーク２２Ａが図の石側の位置
となる。又、基準位置Ｐｓでは、第２図（Ｂ）に示ず如
く、２つの光マーク２ＯＡ、２２Ａが完全に合致する。 更に、下の位置Ｐρでは、第２図（Ｃ）に示丈如く、光
マーク２ＯＡが図の右側、光マーク２２Ａが口の左側と
なる。 よって、この第１実施例においては、第２図（Ｂ）に示
す如く、２つの光マーク２０△、２２Ａが完全に合致す
るように測定面１０の位置を調整することによって、測
定面１０の位置を基準位ｊＦｌ？ｐＳに容易に設定する
ことができる。 この第１実施例においては、光マーク２０Ａ。 ２２ Ａの形状が同一とされているので、マーク発生器
の一方を省略し、使方から発生される光をハーフミラ−
等で分割して複数の可視光ビームを形成することも容易
である。 次に、本発明の第２実施例を詳細に説明する。 この第２実施例は、前記第１実施例と同様の光学式変位
検出装置において、＠３図に示す如く、前記マーク発生
器２０による光マーク２ＯＡを、マーク発生器２２によ
る光マーク２２Ａより、大とし、２つの光マーク２ＯＡ
、２２Ａが、互いに単複するようにしたちのである。 他の点については、前記第１実施例と同様であるので説
明は省略する。 この第２実施例において、基準位ｆａＰｓより上の位置
ｐｕでは、第３図（Ａ＞に示す如く、光マーク２２△が
光マーク２ＯＡの範囲内で右側にずれる。又、基準位置
ｐｓでは、第３図（Ｂ）に示す如く、光マーク２２Ａが
光マーク２０Δの中心位置にくる。更に、基準位置ｐｓ
より下の位置Ｐβでは、第３図（Ｃ）に示す如く、光マ
ーク２０Ａの範囲内で光マーク２２Ａが図の左側にずれ
る。 従って、第３図（Ｂ）に示す如く、光マーク２０Ａの中
心位置に光マーク２２Δが（るように測定面１０の位置
を調整することによって、測定面１０を基準位置ｐｓに
合致させることができる。 前記第１実施例及びこの第２実施例においては、何れも
光マーク２ＯＡ、２２Ａの形状が円形とされていたので
、測定面１０の傾きをも容易に判断することができる。 なお、光マーク２ＯＡ、２２Ａの形状は円形に限定され
ない。 次に、本発明の第３実施例を詳細に説明する。 この第３実施例は、前記第１実施例と同様の光学式変位
検出装置において、第４図に示す如く、前記光マーク２
ＯＡ、２２Ａを、互いに直交する棒状としたものである
。 他の点については、前記第１実施例と同様であるので説
明は省略する。 この第３実施例において、基準位置ｐｓより上の位置Ｐ
ＬＩでは、第４図（Ａ）に示す如く、光マ一り２２Ａが
光マーク２０Ａの中心位置より右側にずれる。又、基準
位置ｐｓでは、第４図（Ｂ）に示す如（、光マーク２Ｏ
Ａと２２Ａの中心が合致して、完全な十字ができる。又
、基準位ＣＰ Ｓより下の位置Ｐ、＋２では、第４図（
Ｃ）に示す如く、光マーク２２Ａが光マーク２ＯＡの中
心位置より図の左側にずれる。 従って、第４図（Ｂ）に示す如く、光マーク２２Ａが光
マーク２０△の中心にきて、完全な十字が形成されるよ
うに測定面１０の位置をＭｌすることによって、測定面
１０の位置を基準位ｒＰＳと合致させることができる。 この第３実施例及び前記第２実施例においては、光マー
ク２０Ａと２２△を互いに区別することができ、基準位
置ＰＳに対する測定面１０のずれの方向を知ることがで
きる。 次に、本発明の第４実施例を詳細に説明する。 この第４実施例は、前記第２実施例と同様の光学式変位
検出装置において、第５図に示す如く、前記光マーク２
ＯＡ、２２Ａの形状を、測定光照射位１１２ Ａに関し
て対称の１字状としたものである。 他の点については、前記第１実施例と同様であるので説
明は省略する。 従って、例えば光マーク２０Ａ、２２Ａが互いに接する
位置に調節することによって、測定面１０を容易に基準
位置ｐｓに設定することができる。 なお前記実施例においては、何れも、光マーク２０△、
２２Ａの位置が測定光照射位置１２Ａとは異なる位置と
されていたので、光マーク２０Ａ。 ２２Ａが測定反射光に悪影響を与えることがない。 又、測定光と光マークの識別、も容易である。なお、光
マークを測定光照射位置とずらすことなく、両者を重複
されることも可能である。 なお、前記実施例においては、何れもマーク発生器の数
が２とされていたが、マーク発生器の個数はこれに限定
されず、３個以上としたり、あるいは、単一の光源から
発生される光をハーフミラ−等で分割して複数の光マー
クを形成することにより１個とすることも可能である。
以上説明した通り、本発明によれば、測定面を適切に設
定するための視角的指標が得られ、測定面を容易に基準
位置にセットすることができるという優れた効果を有す
る。
定するための視角的指標が得られ、測定面を容易に基準
位置にセットすることができるという優れた効果を有す
る。
第１図は、本発明に係る光学式変位検出装置の第１実施
例の構成を示す側面図、第２図は、前記第１実施例にお
ける光マークの状態を示す平面図、第３図は、本発明の
第２実施例における光マークの状態を示す平面図、第４
図は、本発明の第３実施例における光マークの状態を示
す平面図、第５図は、本発明の第４実施例における光マ
ークの状態を示す平面図、第６図は、従来の光学式変位
検出装置の一例の構成を示す、一部ブロック線図を含む
側面図である。 １０・・・測定面、 １２・・・発光器、 １２Ａ・・・測定光照射位置、 １４・・・光ｔ２変換器、 １６・・・電子回路、 ｐｓ・・・基準位置、 ２０．２２・・・マーク発生器、 ２０Ａ１２２Ａ・・・光マーク。
例の構成を示す側面図、第２図は、前記第１実施例にお
ける光マークの状態を示す平面図、第３図は、本発明の
第２実施例における光マークの状態を示す平面図、第４
図は、本発明の第３実施例における光マークの状態を示
す平面図、第５図は、本発明の第４実施例における光マ
ークの状態を示す平面図、第６図は、従来の光学式変位
検出装置の一例の構成を示す、一部ブロック線図を含む
側面図である。 １０・・・測定面、 １２・・・発光器、 １２Ａ・・・測定光照射位置、 １４・・・光ｔ２変換器、 １６・・・電子回路、 ｐｓ・・・基準位置、 ２０．２２・・・マーク発生器、 ２０Ａ１２２Ａ・・・光マーク。
Claims (6)
- （１）測定面に測定光を照射する発光器と、測定面から
の測定反射光を受けて電気信号に変換する光電変換器と
、該電気信号を処理して、発光器に対する測定面の変位
量に関する測定値を求める電子回路を含んで形成された
光学式変位検出装置において、 各ビームの光軸が、前記測定光の光軸に対して所定の角
度を持つように配設され、少くとも測定範囲内で前記測
定面上に光マークを形成する複数の可視光ビームを発生
させるマーク発生器を設けたことを特徴とする光学式変
位検出装置。 - （２）前記マーク発生器が、基準位置において測定面上
の測定光照射位置と重複せず、且つ、測定光照射位置に
関して対称な位置に同形の光マークを形成するものとさ
れている特許請求の範囲第１項記載の光学式変位検出装
置。 - （３）前記光マークが、同寸法の円形とされている特許
請求の範囲第１項記載の光学式変位検出装置。 - （４）前記光マークが、互いに重複する異寸法の円形と
されている特許請求の範囲第１項記載の光学式変位検出
装置。 - （５）前記光マークが、互いに交差する棒状とされてい
る特許請求の範囲第１項記載の光学式変位検出装置。 - （６）前記光マークの色調が、測定光とは異なるものと
されている特許請求の範囲第１項記載の光学式変位検出
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18497485A JPS6244619A (ja) | 1985-08-22 | 1985-08-22 | 光電式変位検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18497485A JPS6244619A (ja) | 1985-08-22 | 1985-08-22 | 光電式変位検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6244619A true JPS6244619A (ja) | 1987-02-26 |
Family
ID=16162600
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18497485A Pending JPS6244619A (ja) | 1985-08-22 | 1985-08-22 | 光電式変位検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6244619A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH022611U (ja) * | 1988-06-20 | 1990-01-09 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5113271A (ja) * | 1974-07-15 | 1976-02-02 | Fuji Photo Film Co Ltd | Butsutaikeijosokuteisochi |
-
1985
- 1985-08-22 JP JP18497485A patent/JPS6244619A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5113271A (ja) * | 1974-07-15 | 1976-02-02 | Fuji Photo Film Co Ltd | Butsutaikeijosokuteisochi |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH022611U (ja) * | 1988-06-20 | 1990-01-09 |
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