JPS6243820A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
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- JPS6243820A JPS6243820A JP18307285A JP18307285A JPS6243820A JP S6243820 A JPS6243820 A JP S6243820A JP 18307285 A JP18307285 A JP 18307285A JP 18307285 A JP18307285 A JP 18307285A JP S6243820 A JPS6243820 A JP S6243820A
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- layer
- material layer
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
技W分野一
本発明は、高密度な磁気記録および再生を可能とした磁
気記録媒体に関する。 従来の技術 従来、磁気記録は、プラスチックフィルムのような非磁
性支持体上に、酸化鉄などの強磁性体微粉末および樹脂
バインダーを主成分とする磁性体層を形成し、磁性体層
の面方向と平行方向に磁化を行う方法が一般に用いられ
てきた。 しかし、このような面内磁気記録において記録密度を大
きくしようとすると、磁性体層内の減磁界が増加するた
め、記録密度の向−1−には限界があった。 近年、この面内記録方式の欠点を解決するものとして、
磁性体層の面方向に対して垂直方向に磁化容易軸をもつ
磁性体層を用い、垂直方向に磁化を行う垂直磁気記録方
式が提案された。 この方式は、記録密度が高まるほど磁性体層内の減磁界
が減少するので、本質的に高密度記録に適し7ており、
多くの研究り臂1われている。 東向ツノ向に磁化容易軸をも−)磁性体層どしては、た
とえばスパッタリング法や蒸着υ、で形成さ社たCo−
Cr、C:o−0,Co−PL。 Co −Pr、 [’ e301. Ha F e12
0.。 Co F e 、 04薄膜が検討されている。また、
その他のものとして、無電解メッキd、によるC0−N
1−PL(Re)や、塗布法によって13al’e、□
0... y −l’e、O,、Cr 02などの強磁
性体微粉末を結合剤とともに支持体I−に付着せしめ、
磁場配向によって磁化容易軸を垂直方向に揃える方法も
検討されている。 しかしながら、塗布法によるものは結合剤を用いるため
に磁性体層の磁化量が減少するので、記録密度の向
気記録媒体に関する。 従来の技術 従来、磁気記録は、プラスチックフィルムのような非磁
性支持体上に、酸化鉄などの強磁性体微粉末および樹脂
バインダーを主成分とする磁性体層を形成し、磁性体層
の面方向と平行方向に磁化を行う方法が一般に用いられ
てきた。 しかし、このような面内磁気記録において記録密度を大
きくしようとすると、磁性体層内の減磁界が増加するた
め、記録密度の向−1−には限界があった。 近年、この面内記録方式の欠点を解決するものとして、
磁性体層の面方向に対して垂直方向に磁化容易軸をもつ
磁性体層を用い、垂直方向に磁化を行う垂直磁気記録方
式が提案された。 この方式は、記録密度が高まるほど磁性体層内の減磁界
が減少するので、本質的に高密度記録に適し7ており、
多くの研究り臂1われている。 東向ツノ向に磁化容易軸をも−)磁性体層どしては、た
とえばスパッタリング法や蒸着υ、で形成さ社たCo−
Cr、C:o−0,Co−PL。 Co −Pr、 [’ e301. Ha F e12
0.。 Co F e 、 04薄膜が検討されている。また、
その他のものとして、無電解メッキd、によるC0−N
1−PL(Re)や、塗布法によって13al’e、□
0... y −l’e、O,、Cr 02などの強磁
性体微粉末を結合剤とともに支持体I−に付着せしめ、
磁場配向によって磁化容易軸を垂直方向に揃える方法も
検討されている。 しかしながら、塗布法によるものは結合剤を用いるため
に磁性体層の磁化量が減少するので、記録密度の向
【−
のためにはスパッタリング法、蒸着法等のP V I)
法によるものや、メッキ法の方が好ましい。 垂直磁化材料の中でも、六力品最密充填(hCP)構造
のマグネトブランバイト型バリウムフェライトは、磁気
光り性が大きいこと、化学的に安3一 定であること、さらにはコストが安いことなどの理由か
ら多くの研究がなされてきてJより、近年、ぞの特徴を
ノ1かし磁へ(光学効果を利用して記録・再生する超高
密度記録の研究も進んでいる。 さらに近年では、1−記した垂偵力向に磁化容易軸をも
−)磁性体層と支持体との間に、パーマロイのような抗
磁力が500e以トの磁性層を設けることにより、いっ
そう記録効率が向I−することが確認されている。 発明の目的 本発明は、高密度記録が可能な磁気記録媒体を提供する
ことを目的とする。 発明のV!成 本発明の磁気記録媒体は、非磁性支持体I−に、抗磁力
が50エールステッド以ドの第1磁性層と、厚さが20
00Å以下の非磁性層と、一般式(I)%式%) (式中、Me、Ma、x、nは次の通りである。 Me : Ba、Pb、S rおよびScから選ばれる
少なくとも1種の金属元素 Ma:Feと置換11丁能な1種または2種以りの金属
元素 x:0≦x≦1 n:5≦n≦6) で表オ)された強磁性酸化物からなる第2磁性体層とを
、順次積層したことを特徴とする。 以ド、本発明についてさらに詳細に説明する。 第1図は本発明の磁気記録媒体の祷成例を示す断面図で
あり、非磁性支持体11上に第1磁性体層13、非磁性
層15および第2磁性体層17が順次積層して形成され
ている。 第1磁性体層は抗磁力が500e以下の物質から形成さ
れ、特にパーマロイ、センダストやCoとZrまたはN
bの合金等の金属磁性薄膜から形成することが好ましい
。パーマロイはN i :50−85%、Fe:15−
50%、Mo:0−1%、Cu:Q 〜15%、Mn:
0−5%からなる合金であり、センダストはA1:4〜
13%、Si:4〜13%、Feニア5〜92%からな
る合金である。 第1磁性体層の厚さは1μm以ドが適当であり、好まし
くは0.1〜0.5μm以ドである。 第2磁性体層17は、以五の一般式(+)で表わされる
強磁性酸化物からなる。 MeO−n(MaXFe2−XO3) (I)(式中
、Me、Ma、x、nは次の通りである。 Me:Ba、Pb、SrおよびScから選ばれる少なく
とも1種の金属元素 MarFeと置換可能な1種または1以)二の金属元素 X二〇≦x≦1 n:5≦n≦6) ここで、Feと置換可能な金属元素Maとしては、たと
えば、Co、Mn、Ni、Ti、ZrzAl、Sn、C
u、Cr、Mg、I nなどが挙げられ、これらの一種
または二種以l−で置換することができる。これらの元
素で置換することにより、保磁力、垂直異方性、キュー
リ一温度などの特性を制御することができる。一般式(
I)における置換数Xは0.1〜0.7の範囲が好〜6
− ましく、より好ましくは0.2〜0.5である。 第2磁性体層17は、六方晶最密充填(h、c、p)構
造で、マグネトブランバイト型の結晶構造を有する。第
2磁性体層の厚さは1μm以下が適当であり、好ましく
は0.2〜0.5μmである。 第1磁性体層13と第2磁性体層17どの間に、200
0Å以下の非磁性層15が設けられることにより、第2
磁性体層の配向性がより向上し、その結果、垂直方向の
磁気特性が向上して記録密度が向−トする。非磁性層の
膜厚が厚くなりすぎると、記録密度の向上効果が十分で
なくなる。また、あまり薄すぎると第2磁性体層が垂直
磁化膜となりにくいので、100Å以上とすることが好
ましい。非磁性層の好ましい膜厚は100〜800人で
ある。非磁性層は非磁性体から形成することができるが
、第2磁性体層をエピタキシャル成長させうる物質が好
ましい5このような物質としてはり、c、p構造または
面心立方格子(f、c、c)を有する物質があり、これ
ら物質の結晶層から非磁性層を形成することにより、6
面または(I11)面上に第2磁性体層がエピタキシャ
ル成長する。h、c、p構造を有する物質としてはZn
O,AIN、Beo、Al2O,。 a−FeaOaなどが挙げられ、また、f、c、c構造
を有する物質としてはMgO,Au、pt。 Tiなどが例示される。 支持体1】としては、プラスチックフィルム、セラミッ
ク、金属支持体など、適宜の非磁性材料が用いられる。 月明−件然米 本発明によれば、第2磁性体層と支持体との間に、抗磁
力5000以下の第1磁性体層を設けた磁気記録媒体に
おいて、第2磁性体層を特定のマグネトブランバイト型
強磁性体層から形成し、さらに、第1と第2の磁性体層
の間に非磁性層を設けることにより、記録密度を向上す
ることができる。 実施例 真空蒸着装置を用いて、下記条件によりポリイミドフィ
ルム(50μm厚)上に2000人のパーマロイ膜(第
1磁性体層)髪形酸した。 蒸発材料 N i (78atm%)−Fe合金
支持体温度 150℃ 真空槽内の背圧 10−’ Torr ついで同様にして真空蒸着装置を用いRFイオンブレー
ティング法により下記条件で上記パーマロイ膜上に80
0人のZnO膜を形成した。 蒸発材料 ZnO 支持体温度 200℃ 真空槽内の背圧 10−’Torr 酸素ガス圧 2 X 1O−3Torr高周波電力
120W 蒸発源基板間隔 30cm この時のZnO膜をX線回折図形で調べた所良好なC軸
配向膜となっていた。 PbFe□、O□、の微粉末を焼結してターゲットを作
成し、総ガス圧60n+ Torr、酸素分圧0.3I
Torr、膜作成速度25人7分、支持体温度400℃
の条件でZnO膜の上にスパッタリングし、厚さ0.3
μmの磁性体層(第2磁性体層)を形成した。 この磁性体層のX線回折分析を行ったところ第2図に示
すように(006)、 (008)の6面の強い回折ピ
ークが見られ、かつ、6面以外の回折ピークが見られず
、C面配向膜となっていることがわかった。(OOa)
面のΔθ5゜は1.6度であった。 また、 VSMで媒体面に垂直な方向に測定したときの
飽和磁束密度は330emu/ccであった。 以上のようにして作成した磁気記録媒体を、厚み0.2
μmのパーマロイ薄膜をガラス板ではさんだものを主磁
極とし、M n −Z nフェライトを補助磁極とする
補助磁極励磁形垂直勺ド 。 を用いて記録再生を行ったところ、Dsoで77KBP
Iと高密度な記録ができた。Ds、は再生出力が低密度
記録時の半分になる記録密度である。 比較例1 第1磁性体層と第2磁性体層の間にZnOの非磁性層を
設けない以外は上記実施例と同様にして作成したところ
、第2磁性体層の回折ピーク強度が実施例の約半分と小
さかった。また、(008)面のΔθ5.は2.3度で
あり、垂直方向に測定したときの飽和磁束密度は290
e m u / c cであった。実施例と同様に記
録、再生を行ったときの1)3.は58に旧Pであった
。 比較例2 7、 n (’)の非磁性層を3000人と厚くして設
けた以外は−1−記実施例と同様にして第1および第2
磁性体層を設けて磁気記録媒体を作成した。 1−記実施例と同じ垂直ヘッドで記録・再生してたとこ
ろ、再生出力が小とくで1)、。は42KRPTと約゛
ト分であった。
のためにはスパッタリング法、蒸着法等のP V I)
法によるものや、メッキ法の方が好ましい。 垂直磁化材料の中でも、六力品最密充填(hCP)構造
のマグネトブランバイト型バリウムフェライトは、磁気
光り性が大きいこと、化学的に安3一 定であること、さらにはコストが安いことなどの理由か
ら多くの研究がなされてきてJより、近年、ぞの特徴を
ノ1かし磁へ(光学効果を利用して記録・再生する超高
密度記録の研究も進んでいる。 さらに近年では、1−記した垂偵力向に磁化容易軸をも
−)磁性体層と支持体との間に、パーマロイのような抗
磁力が500e以トの磁性層を設けることにより、いっ
そう記録効率が向I−することが確認されている。 発明の目的 本発明は、高密度記録が可能な磁気記録媒体を提供する
ことを目的とする。 発明のV!成 本発明の磁気記録媒体は、非磁性支持体I−に、抗磁力
が50エールステッド以ドの第1磁性層と、厚さが20
00Å以下の非磁性層と、一般式(I)%式%) (式中、Me、Ma、x、nは次の通りである。 Me : Ba、Pb、S rおよびScから選ばれる
少なくとも1種の金属元素 Ma:Feと置換11丁能な1種または2種以りの金属
元素 x:0≦x≦1 n:5≦n≦6) で表オ)された強磁性酸化物からなる第2磁性体層とを
、順次積層したことを特徴とする。 以ド、本発明についてさらに詳細に説明する。 第1図は本発明の磁気記録媒体の祷成例を示す断面図で
あり、非磁性支持体11上に第1磁性体層13、非磁性
層15および第2磁性体層17が順次積層して形成され
ている。 第1磁性体層は抗磁力が500e以下の物質から形成さ
れ、特にパーマロイ、センダストやCoとZrまたはN
bの合金等の金属磁性薄膜から形成することが好ましい
。パーマロイはN i :50−85%、Fe:15−
50%、Mo:0−1%、Cu:Q 〜15%、Mn:
0−5%からなる合金であり、センダストはA1:4〜
13%、Si:4〜13%、Feニア5〜92%からな
る合金である。 第1磁性体層の厚さは1μm以ドが適当であり、好まし
くは0.1〜0.5μm以ドである。 第2磁性体層17は、以五の一般式(+)で表わされる
強磁性酸化物からなる。 MeO−n(MaXFe2−XO3) (I)(式中
、Me、Ma、x、nは次の通りである。 Me:Ba、Pb、SrおよびScから選ばれる少なく
とも1種の金属元素 MarFeと置換可能な1種または1以)二の金属元素 X二〇≦x≦1 n:5≦n≦6) ここで、Feと置換可能な金属元素Maとしては、たと
えば、Co、Mn、Ni、Ti、ZrzAl、Sn、C
u、Cr、Mg、I nなどが挙げられ、これらの一種
または二種以l−で置換することができる。これらの元
素で置換することにより、保磁力、垂直異方性、キュー
リ一温度などの特性を制御することができる。一般式(
I)における置換数Xは0.1〜0.7の範囲が好〜6
− ましく、より好ましくは0.2〜0.5である。 第2磁性体層17は、六方晶最密充填(h、c、p)構
造で、マグネトブランバイト型の結晶構造を有する。第
2磁性体層の厚さは1μm以下が適当であり、好ましく
は0.2〜0.5μmである。 第1磁性体層13と第2磁性体層17どの間に、200
0Å以下の非磁性層15が設けられることにより、第2
磁性体層の配向性がより向上し、その結果、垂直方向の
磁気特性が向上して記録密度が向−トする。非磁性層の
膜厚が厚くなりすぎると、記録密度の向上効果が十分で
なくなる。また、あまり薄すぎると第2磁性体層が垂直
磁化膜となりにくいので、100Å以上とすることが好
ましい。非磁性層の好ましい膜厚は100〜800人で
ある。非磁性層は非磁性体から形成することができるが
、第2磁性体層をエピタキシャル成長させうる物質が好
ましい5このような物質としてはり、c、p構造または
面心立方格子(f、c、c)を有する物質があり、これ
ら物質の結晶層から非磁性層を形成することにより、6
面または(I11)面上に第2磁性体層がエピタキシャ
ル成長する。h、c、p構造を有する物質としてはZn
O,AIN、Beo、Al2O,。 a−FeaOaなどが挙げられ、また、f、c、c構造
を有する物質としてはMgO,Au、pt。 Tiなどが例示される。 支持体1】としては、プラスチックフィルム、セラミッ
ク、金属支持体など、適宜の非磁性材料が用いられる。 月明−件然米 本発明によれば、第2磁性体層と支持体との間に、抗磁
力5000以下の第1磁性体層を設けた磁気記録媒体に
おいて、第2磁性体層を特定のマグネトブランバイト型
強磁性体層から形成し、さらに、第1と第2の磁性体層
の間に非磁性層を設けることにより、記録密度を向上す
ることができる。 実施例 真空蒸着装置を用いて、下記条件によりポリイミドフィ
ルム(50μm厚)上に2000人のパーマロイ膜(第
1磁性体層)髪形酸した。 蒸発材料 N i (78atm%)−Fe合金
支持体温度 150℃ 真空槽内の背圧 10−’ Torr ついで同様にして真空蒸着装置を用いRFイオンブレー
ティング法により下記条件で上記パーマロイ膜上に80
0人のZnO膜を形成した。 蒸発材料 ZnO 支持体温度 200℃ 真空槽内の背圧 10−’Torr 酸素ガス圧 2 X 1O−3Torr高周波電力
120W 蒸発源基板間隔 30cm この時のZnO膜をX線回折図形で調べた所良好なC軸
配向膜となっていた。 PbFe□、O□、の微粉末を焼結してターゲットを作
成し、総ガス圧60n+ Torr、酸素分圧0.3I
Torr、膜作成速度25人7分、支持体温度400℃
の条件でZnO膜の上にスパッタリングし、厚さ0.3
μmの磁性体層(第2磁性体層)を形成した。 この磁性体層のX線回折分析を行ったところ第2図に示
すように(006)、 (008)の6面の強い回折ピ
ークが見られ、かつ、6面以外の回折ピークが見られず
、C面配向膜となっていることがわかった。(OOa)
面のΔθ5゜は1.6度であった。 また、 VSMで媒体面に垂直な方向に測定したときの
飽和磁束密度は330emu/ccであった。 以上のようにして作成した磁気記録媒体を、厚み0.2
μmのパーマロイ薄膜をガラス板ではさんだものを主磁
極とし、M n −Z nフェライトを補助磁極とする
補助磁極励磁形垂直勺ド 。 を用いて記録再生を行ったところ、Dsoで77KBP
Iと高密度な記録ができた。Ds、は再生出力が低密度
記録時の半分になる記録密度である。 比較例1 第1磁性体層と第2磁性体層の間にZnOの非磁性層を
設けない以外は上記実施例と同様にして作成したところ
、第2磁性体層の回折ピーク強度が実施例の約半分と小
さかった。また、(008)面のΔθ5.は2.3度で
あり、垂直方向に測定したときの飽和磁束密度は290
e m u / c cであった。実施例と同様に記
録、再生を行ったときの1)3.は58に旧Pであった
。 比較例2 7、 n (’)の非磁性層を3000人と厚くして設
けた以外は−1−記実施例と同様にして第1および第2
磁性体層を設けて磁気記録媒体を作成した。 1−記実施例と同じ垂直ヘッドで記録・再生してたとこ
ろ、再生出力が小とくで1)、。は42KRPTと約゛
ト分であった。
第1図は本発明の磁へ(記録媒体の構成例を示す断面図
である。 第2図は実施例で得られた磁性体層のX線回折スペクト
ルである 11・・・支 持 体 13・・第1磁性体層15
・・非 磁 性層 17 第2磁性体層特給出願
人 株式会社リコー 代理人弁理士 「1 村 文 男 竿1図 第2図
である。 第2図は実施例で得られた磁性体層のX線回折スペクト
ルである 11・・・支 持 体 13・・第1磁性体層15
・・非 磁 性層 17 第2磁性体層特給出願
人 株式会社リコー 代理人弁理士 「1 村 文 男 竿1図 第2図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、非磁性支持体上に、抗磁力が50エールステッド以
下の第1磁性体層と、厚さが2000Å以下の非磁性層
と、一般式( I ) MeO・n(Ma_xFe_2_−_xO_3)( I
)(式中、Me、Ma、x、nは次の通りである。 Me:Ba、Pb、SrおよびScから選 ばれる少なくとも1種の金属元素 Ma:Feと置換可能な1種または2種以 上の金属元素 x:0≦x≦1 n:5≦n≦6) で表わされた強磁性酸化物からなる第2磁性体層とを、
順次積層したことを特徴とする磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18307285A JPS6243820A (ja) | 1985-08-22 | 1985-08-22 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18307285A JPS6243820A (ja) | 1985-08-22 | 1985-08-22 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6243820A true JPS6243820A (ja) | 1987-02-25 |
Family
ID=16129259
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18307285A Pending JPS6243820A (ja) | 1985-08-22 | 1985-08-22 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6243820A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5242208A (en) * | 1991-12-27 | 1993-09-07 | Mazda Motor Corporation | Structure of a body of an automotive vehicle |
-
1985
- 1985-08-22 JP JP18307285A patent/JPS6243820A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5242208A (en) * | 1991-12-27 | 1993-09-07 | Mazda Motor Corporation | Structure of a body of an automotive vehicle |
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