JPS6243097A - Ｅｌパネルの製造方法 - Google Patents
Ｅｌパネルの製造方法Info
- Publication number
- JPS6243097A JPS6243097A JP60182312A JP18231285A JPS6243097A JP S6243097 A JPS6243097 A JP S6243097A JP 60182312 A JP60182312 A JP 60182312A JP 18231285 A JP18231285 A JP 18231285A JP S6243097 A JPS6243097 A JP S6243097A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- panel
- shadow mask
- emitting layer
- panel substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 16
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 21
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 18
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 15
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 15
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 10
- 239000003086 colorant Substances 0.000 claims description 7
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 2
- 244000003034 Arancio amaro Species 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 238000010422 painting Methods 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 210000002784 stomach Anatomy 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概 要〕
製造工程の短縮化と単純化を目的とし、シャドウマスク
を用いて発光層材料をそれぞれの蒸発源から色彩別に異
なる角度で入射させパネル基板に蒸着させて複数の色彩
発光層を形成するＥＬパネルの製造方法である。
を用いて発光層材料をそれぞれの蒸発源から色彩別に異
なる角度で入射させパネル基板に蒸着させて複数の色彩
発光層を形成するＥＬパネルの製造方法である。
本発明は、複数の色彩表示が可能な多色表示ＥＬパネル
に係り、複数の異なる発光色を呈する発光層を有するＥ
Ｌパネルの製造方法に関するものである。
に係り、複数の異なる発光色を呈する発光層を有するＥ
Ｌパネルの製造方法に関するものである。
従来、マトリックス形の多色表示ＥＬパネルを製造する
方法として、第１に各発光色ごとの発光層を駆動用電極
も含めて単純に積層する方法、第２にパターニング技術
を使って各発光色ごとの発光層を塗り分ける方法が知ら
れている。
方法として、第１に各発光色ごとの発光層を駆動用電極
も含めて単純に積層する方法、第２にパターニング技術
を使って各発光色ごとの発光層を塗り分ける方法が知ら
れている。
前記従来の技術における第１の方法は、各発光色別の発
光層を積層するので多色表示ＥＬパネルの製造工程が長
くなるとともに発光層のマトリックス駆動が困難である
という欠点があり、又前記第２の方法も多色表示ＥＬパ
ネルの製造工程が長くなり発光色別の発光層の塗り分け
が複雑で容易でないという欠点がある。
光層を積層するので多色表示ＥＬパネルの製造工程が長
くなるとともに発光層のマトリックス駆動が困難である
という欠点があり、又前記第２の方法も多色表示ＥＬパ
ネルの製造工程が長くなり発光色別の発光層の塗り分け
が複雑で容易でないという欠点がある。
本発明は、前記従来の技術の欠点に鑑み１色彩別の複数
の発光層材料を簡単な短い製造工程で。
の発光層材料を簡単な短い製造工程で。
しかも確実に塗り分けることができる多色表示ＥＬパネ
ルの発光ｒＦＩ製造方法を提供することを目的とし、パ
ネル基板に対して所定距離に配置したシャドウマスクと
１色彩別に設けた複数の発光層材料の蒸発源とを用い、
該菫発源別に異なる一定角度で前記シャドウマスクに入
射させて前記パネル基板に発光層材料を蒸着させて複数
の色形発光層を形成することを特徴とするものである。
ルの発光ｒＦＩ製造方法を提供することを目的とし、パ
ネル基板に対して所定距離に配置したシャドウマスクと
１色彩別に設けた複数の発光層材料の蒸発源とを用い、
該菫発源別に異なる一定角度で前記シャドウマスクに入
射させて前記パネル基板に発光層材料を蒸着させて複数
の色形発光層を形成することを特徴とするものである。
本発明によれば、複数の色彩表示が可能なマトリックス
形ＥＬパネルの発光層製造方法において。
形ＥＬパネルの発光層製造方法において。
パネル基板に対して所定距離にシャドウマスクを配置し
３発光層材料の蒸発源を色彩別に設け、前記シャドウマ
スクを用いて該色彩別の７発源の各々からそれぞれ異な
る一定角度で入射させて発光層材料を前記パネル基板に
泉着させることによって、複数の色彩発光層を色彩別に
整然と塗り分は得るものである。
３発光層材料の蒸発源を色彩別に設け、前記シャドウマ
スクを用いて該色彩別の７発源の各々からそれぞれ異な
る一定角度で入射させて発光層材料を前記パネル基板に
泉着させることによって、複数の色彩発光層を色彩別に
整然と塗り分は得るものである。
本発明の実施例を図面に即して説明する。第１図は、２
種類の色形発光層Ａ及びＢに塗り分ける場合の例を示す
断面図である。パネル基板１は透明なガラス坂２と、該
ガラス坂２の面上に第２図に示すようにストライプ状に
形成されたＩＴＯなどの透明電極３とで構成されている
。該透明電極３は所定のピッチβで等間隔で平行に並設
されている。パネル基板１に対して一定の距離ｄにて配
置したシャドウマスク４は、前記透明電極３と平行に設
けたストライプ状の細長い穴５を有している。異なった
発光色を呈する２種類の発光層材料。
種類の色形発光層Ａ及びＢに塗り分ける場合の例を示す
断面図である。パネル基板１は透明なガラス坂２と、該
ガラス坂２の面上に第２図に示すようにストライプ状に
形成されたＩＴＯなどの透明電極３とで構成されている
。該透明電極３は所定のピッチβで等間隔で平行に並設
されている。パネル基板１に対して一定の距離ｄにて配
置したシャドウマスク４は、前記透明電極３と平行に設
けたストライプ状の細長い穴５を有している。異なった
発光色を呈する２種類の発光層材料。
例えば緑色を発するＺｎＳに４ｗｔ％のＴｂＦ：＋を混
入したものを用いた蒸発源Ａ′と、オレンジ色を発する
ＺｎＳに０．５ｗｔ％のＭｎを混入したものを用いた蒸
発源Ｂ′とを配置する。蒸発源Ａ′はパネル基板１に直
角な方向に対してθなる一定角度で。
入したものを用いた蒸発源Ａ′と、オレンジ色を発する
ＺｎＳに０．５ｗｔ％のＭｎを混入したものを用いた蒸
発源Ｂ′とを配置する。蒸発源Ａ′はパネル基板１に直
角な方向に対してθなる一定角度で。
蒸発源Ｂ′は、パネル基板１に直角な方向に対して前記
蒸発源Ａ′と反対側にθなる一定角度で。
蒸発源Ａ′と反対側にθなる一定角度で。
それぞれシャドウマスク４の穴５を通じて入射させて発
光層材料をパネル基板１に真空蒸着させる。
光層材料をパネル基板１に真空蒸着させる。
この場合、シャドウマスク４の穴５のピッチをＰｍ。
透明電極３のピンチを２１発光色の種類の数をｎとする
と、Ｐｍ＝／−ｎ、 シャドウマスク４とパネル基板
１間の距離ｄはｄ＝Ｊ−ｓｉｎＵなる関係を満足するよ
うにそれぞれ決定すればよい。蒸発源Ａ′からの発光層
材料は、θなる角度でシャドウマスク４を経て入射し、
第１図において各穴５の左寄りの透明電極３ａのみに蒸
着され、蒸発源Ｂ′から一θなる角度でシャドウマスク
４を経て入射する発光層材料は、第１図において各穴５
の右寄りの透明電極３ｂのみに蒸着される。かくして１
本おきの透明電極３上に同一列に同一種類の緑又はオレ
ンジ色を呈する発光層Ａ及びＢが整然と形成される。
と、Ｐｍ＝／−ｎ、 シャドウマスク４とパネル基板
１間の距離ｄはｄ＝Ｊ−ｓｉｎＵなる関係を満足するよ
うにそれぞれ決定すればよい。蒸発源Ａ′からの発光層
材料は、θなる角度でシャドウマスク４を経て入射し、
第１図において各穴５の左寄りの透明電極３ａのみに蒸
着され、蒸発源Ｂ′から一θなる角度でシャドウマスク
４を経て入射する発光層材料は、第１図において各穴５
の右寄りの透明電極３ｂのみに蒸着される。かくして１
本おきの透明電極３上に同一列に同一種類の緑又はオレ
ンジ色を呈する発光層Ａ及びＢが整然と形成される。
色彩が３種類の場合の実施例を第３図に基づいて説明す
る。シャドウマスク４はパネル基板１上に形成されてい
るストライプ状の透明電極３側に。
る。シャドウマスク４はパネル基板１上に形成されてい
るストライプ状の透明電極３側に。
該パネル基板１に対して所定の距離に配置する。
３種類の発光層材料はそれぞれ別個の蒸発源Ａ′。
Ｂ′及びＣ′に配置される。突発源Ａ′からの発光層材
料は、パネル基板１に直角な方向に対してθなる角度で
、シャドウマスク４を経て入射し。
料は、パネル基板１に直角な方向に対してθなる角度で
、シャドウマスク４を経て入射し。
第３図においてシャドウマスク４の各穴５のそれぞれ右
寄りにある透明電極３ａに蒸着され、苅発源Ｂ′からの
発光層材料は、パネル基板１に直角な方向に沿ってシャ
ドウマスク４を経て入射し。
寄りにある透明電極３ａに蒸着され、苅発源Ｂ′からの
発光層材料は、パネル基板１に直角な方向に沿ってシャ
ドウマスク４を経て入射し。
第３図においてシャドウマスク４の各穴５にそれぞれ対
向する位胃にある透明電極３ｂに基若され。
向する位胃にある透明電極３ｂに基若され。
蒸発源Ｃ′からの発光層材料は、パネル基板１に直角な
方向に対して−θなる角度でシャドウマスク４を経て入
射し、第３図においてシャドウマスク４の各穴５のそれ
ぞれ左寄りにある透明電極３Ｃに層着される。かくして
２本おきの透明電極上に同一列に同一種類の色を呈する
３種類の発光層、へ、Ｂ、及びＣが整然と形成される。
方向に対して−θなる角度でシャドウマスク４を経て入
射し、第３図においてシャドウマスク４の各穴５のそれ
ぞれ左寄りにある透明電極３Ｃに層着される。かくして
２本おきの透明電極上に同一列に同一種類の色を呈する
３種類の発光層、へ、Ｂ、及びＣが整然と形成される。
１？面電極６は、第２図に示すように通明電ＶｉＡ３と
直角に交差する方向に沿って平行に並べて設ける。透明
電極３と背面電極６との間に電圧を印加すると１発光層
Ａを有する透明電極３ａと背面型）へ６との交差点から
緑色の光が発光し１発光層Ｂを有する透明電極３ｂと背
面電極６との交差点からオレンジ色の光が発光し、マト
リックス形ＥＬパネルとして使用できる。
直角に交差する方向に沿って平行に並べて設ける。透明
電極３と背面電極６との間に電圧を印加すると１発光層
Ａを有する透明電極３ａと背面型）へ６との交差点から
緑色の光が発光し１発光層Ｂを有する透明電極３ｂと背
面電極６との交差点からオレンジ色の光が発光し、マト
リックス形ＥＬパネルとして使用できる。
本発明によれば、パネル基板に対して所定距離に配置し
たシャドウマスクと２色彩別に設けた複数の発光層材料
の朶発源とを用い、該蒸発源別に冑なる一定角度で入射
させて発光層材料をパネル基板に基若させるので、複数
の色彩に対応する発光層をパネル基板に簡単に積度よく
形成でき、従来の発光層を単純に債層する方法や、バタ
ーニング技術を使って発光層を塗り分ける方法に比較し
て製造工程がはるかに短くなり、マトリックス形ＥＬの
製造コストを大幅に低減できるという著しい効果が得ら
れる。
たシャドウマスクと２色彩別に設けた複数の発光層材料
の朶発源とを用い、該蒸発源別に冑なる一定角度で入射
させて発光層材料をパネル基板に基若させるので、複数
の色彩に対応する発光層をパネル基板に簡単に積度よく
形成でき、従来の発光層を単純に債層する方法や、バタ
ーニング技術を使って発光層を塗り分ける方法に比較し
て製造工程がはるかに短くなり、マトリックス形ＥＬの
製造コストを大幅に低減できるという著しい効果が得ら
れる。
図面はいずれも本発明の詳細な説明用であって。
第１図は縦断側面図。
第２図は第１図におけるＸ−Ｘ矢視平面図。
第３図は別の実施例を示す縦断側面図である。
１・・・パネル基板。
２・ ・ ・ガラス坂。
３・・・透明電極。
４・・・シャドウマスク。
５・・・穴。
６・・・背面電極。
Ａ、Ｂ、Ｃ・・・発光層。
Ａ’、Ｂ’、Ｃ’ ・・・蒸発源。
第１図
第２図
Claims (1)
- 複数の色彩表示が可能なマトリックス形ＥＬパネルの発
光層製造方法において，パネル基板に対して所定距離に
配置したシャドウマスクと，色彩別に設けた複数の発光
層材料の蒸発源とを用い，該蒸発源別に異なる一定角度
で前記シャドウマスクを介して入射させて前記パネル基
板に発光層材料を蒸着させて複数の色彩発光層を形成す
ることを特徴とするＥＬパネルの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60182312A JPS6243097A (ja) | 1985-08-20 | 1985-08-20 | Ｅｌパネルの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60182312A JPS6243097A (ja) | 1985-08-20 | 1985-08-20 | Ｅｌパネルの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6243097A true JPS6243097A (ja) | 1987-02-25 |
Family
ID=16116097
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60182312A Pending JPS6243097A (ja) | 1985-08-20 | 1985-08-20 | Ｅｌパネルの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6243097A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10319870A (ja) * | 1997-05-15 | 1998-12-04 | Nec Corp | シャドウマスク及びこれを用いたカラー薄膜ｅｌ表示装置の製造方法 |
-
1985
- 1985-08-20 JP JP60182312A patent/JPS6243097A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10319870A (ja) * | 1997-05-15 | 1998-12-04 | Nec Corp | シャドウマスク及びこれを用いたカラー薄膜ｅｌ表示装置の製造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4396864A (en) | Electroluminescent display component | |
| JPH01283792A (ja) | カラーｅｌパネル | |
| US4758828A (en) | Color thin-film EL display device | |
| JPS6243097A (ja) | Ｅｌパネルの製造方法 | |
| JP3030958B2 (ja) | フルカラー薄膜ｅｌパネルおよび表示装置 | |
| JPH10189244A (ja) | エレクトロルミネセンス・パネル | |
| JPH08286624A (ja) | 立体表示装置 | |
| JPH0613180A (ja) | 分散型ｅｌ表示モジュール | |
| EP0372942A2 (en) | Thin film electroluminescent edge emitter structure | |
| JPH0521278Y2 (ja) | ||
| JPH03233891A (ja) | 電界発光素子及びその製造方法 | |
| JPH0377640B2 (ja) | ||
| JPS62182789A (ja) | マトリクスｅｌ素子 | |
| JPH0348617Y2 (ja) | ||
| JPS58147989A (ja) | Ｅｌパネル | |
| KR20000019458A (ko) | 전방향 전기발광 평판 디스플레이 소자 및 그 제조 방법 | |
| JPS5918630Y2 (ja) | Ｅｌ表示装置 | |
| JP2896977B2 (ja) | エレクトロルミネッセンス装置 | |
| JPS6250958B2 (ja) | ||
| JPH06243965A (ja) | Ｅｌ発光装置 | |
| JPH0220752Y2 (ja) | ||
| JPH059836Y2 (ja) | ||
| JPS61182082A (ja) | 平面デイスプレイパネル | |
| JP2569491B2 (ja) | エレクトロクロミツク表示装置 | |
| JPH11307249A (ja) | 有機ｅｌ素子とその製造方法 |