JPS6239707A - 複合金属材の幅検出方法 - Google Patents
複合金属材の幅検出方法Info
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- JPS6239707A JPS6239707A JP17990085A JP17990085A JPS6239707A JP S6239707 A JPS6239707 A JP S6239707A JP 17990085 A JP17990085 A JP 17990085A JP 17990085 A JP17990085 A JP 17990085A JP S6239707 A JPS6239707 A JP S6239707A
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- rays
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、金属母材の表面に異種金属を部分的に接合さ
せたいわゆるインレイ条の位置及び幅の測定を行なう複
合金属材の幅検出方法に関するものである。
せたいわゆるインレイ条の位置及び幅の測定を行なう複
合金属材の幅検出方法に関するものである。
第１図に示す様に、銅、銅合金、ステンレス鋼等、安価
な金属材料を母材１とし、金、銀等貴金属あるいはハン
ダ等の低融点金属等の異種金属２を部分的に接合させた
、いわゆるインレイ条と呼ばれる複合金属条３は、電気
接点、半導体用リードフレーム等の材料として使用させ
ている。この場合、複合材の要求特性及び製造コストを
下げるために、上記異種金属２の位置（ａ、 ｃ）及び
幅（ｂ）は、・正確に測定され保証される必要がある。
な金属材料を母材１とし、金、銀等貴金属あるいはハン
ダ等の低融点金属等の異種金属２を部分的に接合させた
、いわゆるインレイ条と呼ばれる複合金属条３は、電気
接点、半導体用リードフレーム等の材料として使用させ
ている。この場合、複合材の要求特性及び製造コストを
下げるために、上記異種金属２の位置（ａ、 ｃ）及び
幅（ｂ）は、・正確に測定され保証される必要がある。
そのため、従来は、金属条の長さ方向の数点を選んで、
ノギスによる測定、あるいは、読取顕微鏡等を用いた拡
大目視測定が行われていた。しかしながらこの様な方法
は、多大な労力を要するばかりか、長さ方向の全長に亘
り、仕様を保証することは極めて困難であった。
ノギスによる測定、あるいは、読取顕微鏡等を用いた拡
大目視測定が行われていた。しかしながらこの様な方法
は、多大な労力を要するばかりか、長さ方向の全長に亘
り、仕様を保証することは極めて困難であった。
なお、印刷物等の識別に使用されている光学的測定法は
、ある限定された用途には利用できるが、一般の金属条
の場合は、金属面からの反射が判別出来ず利用できない
。
、ある限定された用途には利用できるが、一般の金属条
の場合は、金属面からの反射が判別出来ず利用できない
。
本発明は、この様な状況を配慮してなされたものであり
、金属母材の表面に異種金属材を部分的に接合させて形
成される複合金属条を連続又は断続的に長さ方向に走行
させ、この条の表面に小径のＸ線を連続的に幅方向に走
査させながら照射し、発生する螢光Ｘ線の多少を計測す
ることによって、異種金属材の位置及び／又は幅を検出
することを特徴とする。又、母材金属および異種金属の
螢光Ｘ線量のうち、どちらか一方の絶対量の変化を計測
することを特徴とする。さらに又、母材金属及び異種金
属の螢光Ｘ線量の比を計測することを特徴とする。
、金属母材の表面に異種金属材を部分的に接合させて形
成される複合金属条を連続又は断続的に長さ方向に走行
させ、この条の表面に小径のＸ線を連続的に幅方向に走
査させながら照射し、発生する螢光Ｘ線の多少を計測す
ることによって、異種金属材の位置及び／又は幅を検出
することを特徴とする。又、母材金属および異種金属の
螢光Ｘ線量のうち、どちらか一方の絶対量の変化を計測
することを特徴とする。さらに又、母材金属及び異種金
属の螢光Ｘ線量の比を計測することを特徴とする。
すなわち、本発明の複合金属の幅検出方法は、第２図に
示す様に、小径のＸ線スポット５を複合金属条の幅方向
に走査させ、インレイ部の境界４ｂを通過する時に、第
３〜５図に示される状態に応じて、発生する金属固有の
特性Ｘ線（螢光Ｘ線）量の多少を測定することにより、
境界（４ｂ） （４ａ）の位置を検出し、インレイ部の
位置及び幅を測定するものである。
示す様に、小径のＸ線スポット５を複合金属条の幅方向
に走査させ、インレイ部の境界４ｂを通過する時に、第
３〜５図に示される状態に応じて、発生する金属固有の
特性Ｘ線（螢光Ｘ線）量の多少を測定することにより、
境界（４ｂ） （４ａ）の位置を検出し、インレイ部の
位置及び幅を測定するものである。
たとえば、母材金属１の螢光Ｘ線を利用する場合は、第
６図に示す信号が得られ、第１図に対応した（ａ）、
（ｂ）、 （Ｃ）が求められる。また、異種金属２の螢
光Ｘ線を利用する場合には、機械的ガイド又は、光学的
、電気的マイクロメータによって複合金属条３のエツジ
信号より５ａ、 ５ｂを検知し、これと組合わせること
によって、異種金属２の螢光Ｘ線信号Ｘ２＋第７図より
（ａ）、 （ｂ）、 （Ｃ）が求められる。
６図に示す信号が得られ、第１図に対応した（ａ）、
（ｂ）、 （Ｃ）が求められる。また、異種金属２の螢
光Ｘ線を利用する場合には、機械的ガイド又は、光学的
、電気的マイクロメータによって複合金属条３のエツジ
信号より５ａ、 ５ｂを検知し、これと組合わせること
によって、異種金属２の螢光Ｘ線信号Ｘ２＋第７図より
（ａ）、 （ｂ）、 （Ｃ）が求められる。
なお、ＳＮ比を向上させるために、両者の比−ＸＩ／Ｘ
２を演算させれば一層好ましい。
２を演算させれば一層好ましい。
以下本発明を実施例にてさらに説明する。
実施例１
母材として厚さ０．３ｍｍ、幅５０ｍｍの銅条のほぼ中
央に、厚さ０．Ｉｎ＋＋ｎ、幅１０ｍｍの銀−銅合金が
部分的にクラッドされた複合条を毎分５ｍの速度で長さ
方向に移動させて、直径１ｍｍのＸ線を幅方向に毎分２
０ｍの速度で走査させながら、照射し、そこから発生す
るＣｕのＸ線強度ＸＣｕ及びＡｇのＸ線強度ＸＡｇの比
、ＸＣｕ／ＸＡｇを測定して、（ａ）、 （ｂ）、 （
ｃ）の値を±０．５＋ｎｍの精度で測定することが出来
た。
央に、厚さ０．Ｉｎ＋＋ｎ、幅１０ｍｍの銀−銅合金が
部分的にクラッドされた複合条を毎分５ｍの速度で長さ
方向に移動させて、直径１ｍｍのＸ線を幅方向に毎分２
０ｍの速度で走査させながら、照射し、そこから発生す
るＣｕのＸ線強度ＸＣｕ及びＡｇのＸ線強度ＸＡｇの比
、ＸＣｕ／ＸＡｇを測定して、（ａ）、 （ｂ）、 （
ｃ）の値を±０．５＋ｎｍの精度で測定することが出来
た。
ここで、Ｘ線の径は、小さい方が精度が上がるが、信号
の量が弱くなるため、走査速度を遅くする必要がある。
の量が弱くなるため、走査速度を遅くする必要がある。
一般には２〜０．１＋＋＋＋ｎが好ましい。
本発明の効果は、次の如くである。すなわち、本発明に
よれば１．長さ方向の全長にわたり極めて少ない労力で
、精度の高いインレイ部の位置、幅が測定できる。
よれば１．長さ方向の全長にわたり極めて少ない労力で
、精度の高いインレイ部の位置、幅が測定できる。
第１ａ及び１ｂ図ないし第５図は、それぞれ、本発明に
係る説明略図であり、 第６図及び第７図は、それぞれ螢光Ｘ線強度の測定例を
示す説明略図である。 １・・・金属母材 ２・・・異種金属３・・・
複合金属条 ４・・・異種金属境界部５・・・Ｘ
線照射部 第６図 第７図 手続補正書 １゜ 昭和６１年 １月 ３１日 １、事件の表示 昭和６０年 特許 願第１７９９００ 号２、発明の名
称 複合金属材の幅検出方法 ３、補正をする者 事件との関係特許出願人 （５２９） 古河電気工業株式会社 明細書第１頁第８行〜第１７行を下記の如く訂正する。 ２、特許請求の範囲 Ｌ 金属母材の表面に異種金属材を部分的に接合させて
形成される複合金属条を連続又は断続的に長さ方向に走
行させ、この条の表面に小径のＸ線を連続的に幅方向に
走査させながら照射し、発生する螢光Ｘ線の多少を計測
することによって、異種金属材のする複合金属材の幅検
出方法。 ′λ 母材金属及び異種金属の螢光Ｘ線量のうち、どち
らか一方の絶対量の変化を計測することを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載の複合金属材の幅検出方法。 ＆ 母材金属及び異種金属の螢光Ｘ線量の比を計測する
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の複合金属
材の幅検出方法。」２、明細書第２頁第８行「使用させ
てり、Ｘる。」を「使用されている。」に訂正する。 ａ、同第３頁第１１行「さらに又、」を「あるし１は、
」に訂正する。 ｉ、同第４頁第５行「利用する場合には、機械的ガイド
」を「利用する場合には、第７図に示すように、機械的
ガイド」に訂正し、 同頁第７行「エツジ信号」を「エツジ信号Ｓ」に訂正し
、 同頁第７〜ｌＯ行「これと組合わせることによって、異
種金属２の螢光Ｘ線信号ｘｉ Ｉ第７図より（ａ） 、
（ｂ） 、 （Ｃ）が求められる。」を次の如く訂正
する。 「これと異種金属２の螢光Ｘ線信号ｘ８を組合わせるこ
とによって、（ａ） 、 （ｂ） 、 （ｃ）が求めら
れる。」 ６、同第６頁第５行「一般には２〜０．１ｗ％ｍが好ま
しい。」を「一般には直径２〜０．１門の円力（好まし
いが、これに限定さ、れるものではないＯ」にｔｒｏｔ
：ナス ・６０図面中、第７図を別紙の如く訂正する。 〆・、′；ン一＼
係る説明略図であり、 第６図及び第７図は、それぞれ螢光Ｘ線強度の測定例を
示す説明略図である。 １・・・金属母材 ２・・・異種金属３・・・
複合金属条 ４・・・異種金属境界部５・・・Ｘ
線照射部 第６図 第７図 手続補正書 １゜ 昭和６１年 １月 ３１日 １、事件の表示 昭和６０年 特許 願第１７９９００ 号２、発明の名
称 複合金属材の幅検出方法 ３、補正をする者 事件との関係特許出願人 （５２９） 古河電気工業株式会社 明細書第１頁第８行〜第１７行を下記の如く訂正する。 ２、特許請求の範囲 Ｌ 金属母材の表面に異種金属材を部分的に接合させて
形成される複合金属条を連続又は断続的に長さ方向に走
行させ、この条の表面に小径のＸ線を連続的に幅方向に
走査させながら照射し、発生する螢光Ｘ線の多少を計測
することによって、異種金属材のする複合金属材の幅検
出方法。 ′λ 母材金属及び異種金属の螢光Ｘ線量のうち、どち
らか一方の絶対量の変化を計測することを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載の複合金属材の幅検出方法。 ＆ 母材金属及び異種金属の螢光Ｘ線量の比を計測する
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の複合金属
材の幅検出方法。」２、明細書第２頁第８行「使用させ
てり、Ｘる。」を「使用されている。」に訂正する。 ａ、同第３頁第１１行「さらに又、」を「あるし１は、
」に訂正する。 ｉ、同第４頁第５行「利用する場合には、機械的ガイド
」を「利用する場合には、第７図に示すように、機械的
ガイド」に訂正し、 同頁第７行「エツジ信号」を「エツジ信号Ｓ」に訂正し
、 同頁第７〜ｌＯ行「これと組合わせることによって、異
種金属２の螢光Ｘ線信号ｘｉ Ｉ第７図より（ａ） 、
（ｂ） 、 （Ｃ）が求められる。」を次の如く訂正
する。 「これと異種金属２の螢光Ｘ線信号ｘ８を組合わせるこ
とによって、（ａ） 、 （ｂ） 、 （ｃ）が求めら
れる。」 ６、同第６頁第５行「一般には２〜０．１ｗ％ｍが好ま
しい。」を「一般には直径２〜０．１門の円力（好まし
いが、これに限定さ、れるものではないＯ」にｔｒｏｔ
：ナス ・６０図面中、第７図を別紙の如く訂正する。 〆・、′；ン一＼
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、金属母材の表面に異種金属材を部分的に接合させて
形成される複合金属条を連続又は断続的に長さ方向に走
行させ、この条の表面に小径のＸ線を連続的に幅方向に
走査させながら照射し、発生する螢光Ｘ線の多少を計測
することによって、異種金属材の幅を検出することを特
徴とする複合金属材の幅検出方法。 ２、母材金属及び異種金属の螢光Ｘ線量のうち、どちら
か一方の絶対量の変化を計測することを特徴とする特許
請求の範囲第１項記載の複合金属材の幅検出方法。 ３、母材金属及び異種金属の螢光Ｘ線量の比を計測する
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の複合金属
材の幅検出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17990085A JPS6239707A (ja) | 1985-08-15 | 1985-08-15 | 複合金属材の幅検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17990085A JPS6239707A (ja) | 1985-08-15 | 1985-08-15 | 複合金属材の幅検出方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6239707A true JPS6239707A (ja) | 1987-02-20 |
Family
ID=16073862
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17990085A Pending JPS6239707A (ja) | 1985-08-15 | 1985-08-15 | 複合金属材の幅検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6239707A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04250308A (ja) * | 1991-01-28 | 1992-09-07 | Matsushita Electric Works Ltd | プリント配線板のパターン幅測定方法 |
| US5419019A (en) * | 1993-02-26 | 1995-05-30 | Yoshida Kogyo K.K. | Automatically locking slider for slide fasteners |
| FR2782385A1 (fr) * | 1998-08-14 | 2000-02-18 | Helmut Fischer Gmbh & Co | Determination de la tache de mesure dans l'analyse par fluorescence x |
-
1985
- 1985-08-15 JP JP17990085A patent/JPS6239707A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04250308A (ja) * | 1991-01-28 | 1992-09-07 | Matsushita Electric Works Ltd | プリント配線板のパターン幅測定方法 |
| US5419019A (en) * | 1993-02-26 | 1995-05-30 | Yoshida Kogyo K.K. | Automatically locking slider for slide fasteners |
| FR2782385A1 (fr) * | 1998-08-14 | 2000-02-18 | Helmut Fischer Gmbh & Co | Determination de la tache de mesure dans l'analyse par fluorescence x |
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