JPS5999205A - 複合金属テ−プの偏位測定装置 - Google Patents
複合金属テ−プの偏位測定装置Info
- Publication number
- JPS5999205A JPS5999205A JP10821683A JP10821683A JPS5999205A JP S5999205 A JPS5999205 A JP S5999205A JP 10821683 A JP10821683 A JP 10821683A JP 10821683 A JP10821683 A JP 10821683A JP S5999205 A JPS5999205 A JP S5999205A
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- Japan
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- tape
- aluminum layer
- light
- nickel alloy
- aluminum
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は半導体装置又は集積回路のリードフレーム用に
使用される複合金属テープの偏位測定装置の改良に関す
る。
使用される複合金属テープの偏位測定装置の改良に関す
る。
複合金属テープは、第１図および第２図に示す如く、ニ
ッケル合金テープｌの片側の表面の一部（例えば巾の中
央の一部）に薄いテープ状アルミニウム層（テープ）２
をロール圧接により被覆したテープであり、被覆された
アルミニウム層２がニッケル合金テープ１上の正しい位
置にあるかどうかを非接触で検査する場合、重要なこと
は、ニッケル合金テープ１にロール圧接されたアルミニ
ウム層２との境界部分のコントラストの比を大きくして
精度良くアルミニウム層のエツジを検出することである
。
ッケル合金テープｌの片側の表面の一部（例えば巾の中
央の一部）に薄いテープ状アルミニウム層（テープ）２
をロール圧接により被覆したテープであり、被覆された
アルミニウム層２がニッケル合金テープ１上の正しい位
置にあるかどうかを非接触で検査する場合、重要なこと
は、ニッケル合金テープ１にロール圧接されたアルミニ
ウム層２との境界部分のコントラストの比を大きくして
精度良くアルミニウム層のエツジを検出することである
。
この検出方法として、イメージセンサーヲ用い、金属の
表面反射率の差を利用することが考えられるが、光をテ
ープの長手方向の上方よりテープ表面に照射して反射す
る通常の方法では、コントラスト比が０．１〜０．１５
程度しか得られないため、金属表面のゴミ、傷等の
影響により安定してアルミニウム層２のエツジを検出す
ることができない欠点がある。
表面反射率の差を利用することが考えられるが、光をテ
ープの長手方向の上方よりテープ表面に照射して反射す
る通常の方法では、コントラスト比が０．１〜０．１５
程度しか得られないため、金属表面のゴミ、傷等の
影響により安定してアルミニウム層２のエツジを検出す
ることができない欠点がある。
本発明は上述の欠点を解消するもので、光の照射装置を
改善することにより、ニッケル合金とアルミニウムの表
面反射率の差を利用して、アルミニウム層のエツジ部の
コントラスト比を大きくしテ、精度良くニッケル合金テ
ープ上のアルミニウム層の偏位を測定する装置を提供せ
んとするものである。
改善することにより、ニッケル合金とアルミニウムの表
面反射率の差を利用して、アルミニウム層のエツジ部の
コントラスト比を大きくしテ、精度良くニッケル合金テ
ープ上のアルミニウム層の偏位を測定する装置を提供せ
んとするものである。
本発明は、上述のニッケル合金テープ上のアルミニウム
層の偏位を、走行中イメージ七ンサーを利用して測定す
る装置において、上記複合金属テープの長手方向に垂直
な方向で、かつ該テープの表面に対し約８０°の斜上方
より該表面を照射する光源を具備することを特徴とする
複合金属テープ、の偏位測定装置である。
層の偏位を、走行中イメージ七ンサーを利用して測定す
る装置において、上記複合金属テープの長手方向に垂直
な方向で、かつ該テープの表面に対し約８０°の斜上方
より該表面を照射する光源を具備することを特徴とする
複合金属テープ、の偏位測定装置である。
以下本発明を図面を用いて説明する。
複合金属テープは、前述の如く第１図ふ・よび第２図に
示す構造を有し、例えば巾２０〜４・Ｑ ｍｙｎ、のニ
ッケル合金テープｌの上に非常に薄いアルミニウムテー
プ２をロール圧接して製造する。そのため、テープｌと
テープ２の断差は殆んどない。
示す構造を有し、例えば巾２０〜４・Ｑ ｍｙｎ、のニ
ッケル合金テープｌの上に非常に薄いアルミニウムテー
プ２をロール圧接して製造する。そのため、テープｌと
テープ２の断差は殆んどない。
しかし圧接する際、ロールでテープｌと２を強く押シつ
けるため、ロールマーク（ロールの研磨目）が表面に転
写され、テープ１と２の硬さが異なるため、より軟かい
アルミニウムテープ２上への転写マークがきつい。
けるため、ロールマーク（ロールの研磨目）が表面に転
写され、テープ１と２の硬さが異なるため、より軟かい
アルミニウムテープ２上への転写マークがきつい。
このためニッケル合金テープ１とアルミニウムテープ２
の反射率が異なり、複合金属テープの表面に光を照射し
た時、夫々の反射光分布が異なる。
の反射率が異なり、複合金属テープの表面に光を照射し
た時、夫々の反射光分布が異なる。
第３図はテープの表面に対し３０°の斜上方より表面の
０点を照射した場合の夫々ニッケル合金テープおよびア
ルミニウムテープにおける光反射分布特性を示す図であ
る。図において横軸はテープの巾方向を示し、縦軸は反
射光量を示す。曲線８および４は夫々ニッケル合金テー
プｌおよびアルミニウムテープ２の光反射分布特性を示
す。
０点を照射した場合の夫々ニッケル合金テープおよびア
ルミニウムテープにおける光反射分布特性を示す図であ
る。図において横軸はテープの巾方向を示し、縦軸は反
射光量を示す。曲線８および４は夫々ニッケル合金テー
プｌおよびアルミニウムテープ２の光反射分布特性を示
す。
この図より、テープの光照射点Ｏ直」二では、ニッケル
合金テープ１による反射光は無く、アルミニウムテープ
２のみによる反射光がある。これは、テープｌは表面が
滑らかであるため正反射分布が多いが、テープ２０表面
には凹凸が多いため乱反射成分が多いためである。
合金テープ１による反射光は無く、アルミニウムテープ
２のみによる反射光がある。これは、テープｌは表面が
滑らかであるため正反射分布が多いが、テープ２０表面
には凹凸が多いため乱反射成分が多いためである。
従ってカメラ又はイメージセンサ−を０点」ユ方に配置
して、パターンを取らせると、テープｌからの反射光は
殆んどカメラ又はイメージセンサ−に入らないため、テ
ープ１上のテープ２のエツジのコントラストが向上し、
アルミニウムテープ２の偏位を精度良く測定することが
できる。
して、パターンを取らせると、テープｌからの反射光は
殆んどカメラ又はイメージセンサ−に入らないため、テ
ープ１上のテープ２のエツジのコントラストが向上し、
アルミニウムテープ２の偏位を精度良く測定することが
できる。
この場合、光のテープ表面に対する角度は３０°が最良
であるが、実用上±５°が許容され、上述と同様の測定
精度が得られる。本発明において、「約８０°」とは８
０°±５°を意味する。
であるが、実用上±５°が許容され、上述と同様の測定
精度が得られる。本発明において、「約８０°」とは８
０°±５°を意味する。
第４・図は本発明の実施例を示す断面図である。
図において、５は第１図に示した複合金属テープで、連
続的に送られ、走行している。本発明装置は、複合金属
テープ５の長手方向に垂直な方向で、かつテープ５の表
面に対し約３０°の斜上方より該表面のアルミニウムテ
ープ２の両エツジを含む部分に光を照射する光源６を有
し、テープ２の中心付近の上方にはテープ５からの反射
光を検出するイメージセンサ−７を配置したものである
。
続的に送られ、走行している。本発明装置は、複合金属
テープ５の長手方向に垂直な方向で、かつテープ５の表
面に対し約３０°の斜上方より該表面のアルミニウムテ
ープ２の両エツジを含む部分に光を照射する光源６を有
し、テープ２の中心付近の上方にはテープ５からの反射
光を検出するイメージセンサ−７を配置したものである
。
かような装置により、例えば巾２０〜４０ｙのニッケル
合金テープ１上に巾約４〜ｌＯｍＮのアルミニウムテー
プ２を圧接した複合金属テープのアルミニウム層の偏位
を測定した結果、±０．０３ｍｘの精度で測定すること
ができて非常に正確である。
合金テープ１上に巾約４〜ｌＯｍＮのアルミニウムテー
プ２を圧接した複合金属テープのアルミニウム層の偏位
を測定した結果、±０．０３ｍｘの精度で測定すること
ができて非常に正確である。
−クー
以上述べたように、本発明は、複合金属テープのアルミ
ニウム層の偏位を、イメージセンサ−を利用して測定す
る装置において、上記複合金属テープの長手方向に垂直
な方向で、かつ該テープの表面に対し約３０°の斜上方
より該表面を照射する光源を具備するため、ニッケル合
金とアルミニウムの反射分布特性の差を利用して殆んど
アルミニウム層表面からの反射光のみをイメージセンサ
−で検出し、アルミニウム層のエツジ部のコントラスト
比を向上するので、アルミニウム層の偏位を精度良く測
定することができる効果がある。
ニウム層の偏位を、イメージセンサ−を利用して測定す
る装置において、上記複合金属テープの長手方向に垂直
な方向で、かつ該テープの表面に対し約３０°の斜上方
より該表面を照射する光源を具備するため、ニッケル合
金とアルミニウムの反射分布特性の差を利用して殆んど
アルミニウム層表面からの反射光のみをイメージセンサ
−で検出し、アルミニウム層のエツジ部のコントラスト
比を向上するので、アルミニウム層の偏位を精度良く測
定することができる効果がある。
第１図および第２図は複合金属テープを示す図で、夫々
正面図、断面図である。 第３図はテープの表面に対し８０°の斜上方より光を照
射した場合の光反射分布特性を示す図である。 第４図は本発明装置の実施例を示す断面図である。 １・・・ニッケル合金テープ ２・・・アルミニウム層（チーフリ ３・・・ニッケル合金テープの光反射特性−〇− ４・・・アルミニウムテープの光反射特性５・・・複合
金属テープ ６・・・光 源 ７・・・イメージセンサ− ７− 第１図 第３辺 互 番 里 テープの中方向 ７４回 １′ ノ。 １１゜ ２７−
正面図、断面図である。 第３図はテープの表面に対し８０°の斜上方より光を照
射した場合の光反射分布特性を示す図である。 第４図は本発明装置の実施例を示す断面図である。 １・・・ニッケル合金テープ ２・・・アルミニウム層（チーフリ ３・・・ニッケル合金テープの光反射特性−〇− ４・・・アルミニウムテープの光反射特性５・・・複合
金属テープ ６・・・光 源 ７・・・イメージセンサ− ７− 第１図 第３辺 互 番 里 テープの中方向 ７４回 １′ ノ。 １１゜ ２７−
Claims (1)
- （１）ニッケル合金テープの片側の表面の一部にテープ
状アルミニウム層を圧接被覆した複合金属テープの」ユ
記アルミニウム層の偏位を、走行中イメージ七ンサーを
利用して測定する装置において、上記複合金属テープの
長手方向に垂直な方向で、かつ該テープの表面に対し約
８０°の斜上方より該表面を照射する光源を具備するこ
とを特徴とする複合金属テープの偏位測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10821683A JPS5999205A (ja) | 1983-06-16 | 1983-06-16 | 複合金属テ−プの偏位測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10821683A JPS5999205A (ja) | 1983-06-16 | 1983-06-16 | 複合金属テ−プの偏位測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5999205A true JPS5999205A (ja) | 1984-06-07 |
| JPS6338643B2 JPS6338643B2 (ja) | 1988-08-01 |
Family
ID=14478969
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10821683A Granted JPS5999205A (ja) | 1983-06-16 | 1983-06-16 | 複合金属テ−プの偏位測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5999205A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61243303A (ja) * | 1985-04-22 | 1986-10-29 | Hitachi Denshi Ltd | 実装基板の外観検査方式 |
| JPS63184106A (ja) * | 1987-01-27 | 1988-07-29 | Mitsubishi Electric Corp | 数値制御装置 |
| JPH086205A (ja) * | 1994-05-31 | 1996-01-12 | Eastman Kodak Co | 支持体上の感光写真エマルジョンを検知する装置 |
-
1983
- 1983-06-16 JP JP10821683A patent/JPS5999205A/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61243303A (ja) * | 1985-04-22 | 1986-10-29 | Hitachi Denshi Ltd | 実装基板の外観検査方式 |
| JPS63184106A (ja) * | 1987-01-27 | 1988-07-29 | Mitsubishi Electric Corp | 数値制御装置 |
| JPH086205A (ja) * | 1994-05-31 | 1996-01-12 | Eastman Kodak Co | 支持体上の感光写真エマルジョンを検知する装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6338643B2 (ja) | 1988-08-01 |
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