FR2782385A1 - Determination de la tache de mesure dans l'analyse par fluorescence x - Google Patents

Abstract

Un élément d'échantillon (10) pour la détermination des données d'intensité d'une tache de mesure (13) dans l'analyse à fluorescence X se distingue par le fait qu'il présente un contour défini par une sonde (12) entourée par un matériau périphérique (11), le matériau périphérique (11) et le matériau de la sonde (12) présentant les mêmes coefficients d'affaiblissement linaire du rayonnement à fluorescence X (8) émis. Par le procédé selon l'invention, on peut déterminer tant le barycentre des intensités que le contour de la tache de mesure.

Description

Détermination de la tache de mesure dans l'analyse par fluorescence X

L'invention concerne un élément d'échantillon et un procédé de détermination des données d'intensité d'une tache de mesure dans l'analyse à fluorescence X. Si une substance est irradiée par un rayonnement X dur, donc à onde courte et ainsi riche en énergie, les électrons qui se trouvent dans les atomes de ces substances, en particulier des couches internes, sont ionisés, et par suite, cet emplacement vide est comblé par des électrons issus des couches externes. On émet ainsi ce que l'on appelle le rayonnement à fluorescence X (rayonnement secondaire)qui est plus doux donc à onde plus longue et ainsi plus pauvre en énergie que le rayonnement X primaire incident. Le rayonnement secondaire émis est caractéristique de chaque atome du système périodique. Chaque spectre de fluorescence X émis par l'atome est constitué seulement de quelques lignes caractéristiques, à l'aide desquelles il est identifiable de façon univoque. Pour procéder à une analyse quantitative, outre la longueur d'onde, on mesure également l'intensité, donc l'amplitude du rayonnement émis, qui est une indication quantitative de la teneur du type d'atome correspondant dans la sonde, pour l'épaisseur de couche et la concentration

du type d'atome correspondant.

L'analyse à fluorescence X est entre autres d'une grande importance comme méthode de contrôle non destructif des matériaux pour l'analyse des épaisseurs de couches et des compositions d'échantillons en couches et massifs, en particulier pour l'analyse d'échantillons très petits et/ou structurés, tels que des pistes conductrices, de surfaces de brasage ou de liaison, ainsi que d'autres surfaces de contact, telles

que des revêtements électrolytiques.

Dans l'analyse à fluorescence X, l'échantillon à examiner est excité avec le rayonnement polychromatique dur d'un tube à rayon X pour produire une émission de rayonnement de fluorescence. Le rayon primaire tombant sur le matériau de l'échantillon est alors focalisé, soit au moyen de collimateurs constitués de métal ou de verre, ou d'éléments focalisateurs tels que des capillaires en verre. La plage d'analyse excitée par le rayonnement primaire du matériau de l'échantillon ou la surface du rayonnement primaire arrivant sur l'échantillon est appelée la tache de mesure. La taille de la tache de mesure de l'analyse à fluorescence X des petits objets à mesurer est d'environ 10 à 100 mm. Le rayonnement à fluorescence X émis par le matériau de l'échantillon est décelé par des détecteurs appropriés, tels que des tubes de comptage proportionnel ou bien des détecteurs

à semiconducteurs.

En particulier, lors de l'analyse de petits échantillons, il s'avère nécessaire de, non seulement limiter suffisamment les dimensions géométriques de la tache de mesure, mais également de donner une présentation visualisable pour positionner précisément l'échantillon. Pour la représentation de la tache de mesure, il faut, d'une part, déterminer le centre du rayon primaire arrivant sur l'échantillon et, d'autre part, déterminer l'étendue spatiale ou le contour de la

tache de mesure.

Pour déterminer le centre du rayon, par exemple il est connu de déplacer sur la largueur de la tache de mesure la face limite plane d'un matériau fluorescent et d'un matériau non fluorescent pour la même excitation, et de mesurer le rayonnement de fluorescence émis par le matériau fluorescent pour différentes positions relatives par rapport au rayon primaire. Si la surface limite se trouve au centre du rayon, alors l'intensité de ce rayonnement de fluorescence est précisément de la moitié de ce qu'il est lorsque la totalité de la surface du matériau fluorescent est excitée par le rayon primaire. Cette position o l'on a une demi intensité sert alors au réglage, par exemple d'un réticule à croisée de fils d'un appareil d'observation, tel qu'une caméra vidéo. Dans les méthodes décrites, il s'avère désavantageux qu'elles soient entachées d'erreur du fait que les matériaux différents s'influencent mutuellement dans la zone de leurs surfaces limites, en particulier pour de petites taches de mesure. La cause des erreurs réside dans le fait que le rayon primaire pénètre relativement profondément dans l'échantillon et, ainsi, non seulement sur la surface de l'échantillon, mais, au contraire, il se produit un rayonnement de fluorescence aussi dans des zones plus profondes, rendant ainsi l'affaiblissement du rayonnement de fluorescence produit dans le matériau de l'échantillon important pour l'intensité mesurée. Cet affaiblissement suit la loi d'affaiblissement connue: I = Io e'Lx o Io est l'intensité du rayonnement de fluorescence X émis directement sur un atome excité et I est l'intensité de rayonnement après passage de la veine x d'un matériau ayant un coefficient

d'affaiblissement linéaire g.

Le coefficient d'affaiblissement linéaire g

dépend du matériau.

Pour déterminer les dimensions géométriques (contours) de la tache de mesure, il est connu d'estimer celle-ci selon la section transversale du collimateur utilisé, ou bien selon les espacements qui existent entre la source de rayonnement, le collimateur et l'échantillon. La forme et la taille de la tache de mesure réelle peuvent différer de la forme ainsi construite, du fait que les suppositions prises comme base ne correspondent qu'approximativement à la réalité, du fait que la taille et la position réelles du point projeté de la source de rayonnement ne sont pas exactement connues. En outre l'axe de rayon primaire est modifié par rapport à l'axe optique sous l'effet des influences thermiques. En outre l'absorption incomplète du rayonnement primaire sur les bords du collimateur n'est pas prise en compte. On ne remarquera pas l'éventualité d'un écart des conditions réelles (taille du point, erreur d'ajustement pour le

centre du rayon).

En outre, il est connu pour déterminer le contour de la tache de mesure d'éclairer au lieu d'un échantillon un matériau en film sensible pour le rayonnement x dont la longueur d'onde est située dans la plage du rayonnement primaire. Cette méthode fournit certes une représentation réaliste de la tache de mesure, cependant le matériau du film doit être enlevé pour procéder au développement et l'information

concernant le centre du rayon est perdue.

L'invention a pour but, en évitant les inconvénients précités, de proposer un élément d'échantillon et un procédé pour déterminer tant le barycentre des intensités qu'également la distribution des intensités d'une tache de mesure, donc les données d'intensité d'un rayon x incident sur une surface, dans l'analyse à fluorescence X. Le problème est résolu selon l'invention, avec un élément d'échantillon pour la détermination des données d'intensité d'une tache de mesure dans l'analyse à fluorescence X, par le fait que l'élément d'échantillon présente un contour défini par une sonde entourée par un matériau périphérique, le matériau périphérique et le matériau de la sonde présentant les mêmes coefficients d'affaiblissement linaire du

rayonnement à fluorescence X émis.

Pour déterminer le barycentre des intensités de la tache de mesure, l'élément d'échantillon selon l'invention est déplacé sur la largeur de la tache de mesure, si bien que soit la sonde, soit le matériau périphérique, ou tant la sonde que le matériau

périphérique, sont excités par le rayonnement primaire.

Du fait que la sonde et le matériau périphérique sont différents, les spectres de fluorescence caractéristiques peuvent être différents. Du fait que, selon l'invention le matériau de la sonde et le matériau périphérique présentent les mêmes coefficients d'affaiblissement linéaire pour le rayonnement de fluorescence émis, les intensités (amplitudes) du rayonnement fluorescent émis à des profondeurs différentes de la sonde ainsi que du matériau périphérique de la partie d'échantillon sont affaiblies ou absorbées de la même manière, si bien que, à la limite entre l'échantillon et le matériau périphérique, il n'y a aucune influence mutuelle des segments et que les intensités des spectres de fluorescence émis par l'échantillon et le matériau périphérique sont comparables. Un rayon secondaire, émis par exemple dans un plan plus profond de l'échantillon, subit donc le même affaiblissement après la sortie du matériau de la

sonde dans le matériau périphérique.

L'élément d'échantillon selon l'invention peut, par exemple, être relié rigidement à une table à échantillon programmable à l'aide de laquelle on peut effectuer des déplacements locaux définis par rapport

au rayonnement primaire qui est localement fixe.

L'élément d'échantillon constitué de la sonde et du matériau périphérique présente de préférence une face supérieure plane, si bien que la sonde est en alignement avec le matériau périphérique et qu'il ne se produit aucun effet d'absorption et de dispersion sur

les arêtes en saillie.

Selon un mode de réalisation préféré, la sonde et le matériau périphérique sont proches de la saturation au sens de la fluorescence X. La forme définie de la sonde de la partie d'échantillon selon l'invention peut, par exemple, être ronde ou polygonale. Les dimensions de la section transversales de la sonde sont alors de préférence inférieures à celles de la section transversale du rayon primaire incident sur la partie d'échantillon et, de préférence, inférieure à 100 gm. Si la surface de la sonde est plus petite que la tache de mesure, la distribution d'intensité, déterminée par l'intensité du rayonnement de fluorescence émis, du rayon primaire constitue déjà un modèle réaliste du profil d'intensité du rayon primaire, en ce que le maximum d'intensité est identifiée sous la forme d'un pic discret. Si la surface de la sonde est d'une surface supérieure à celle de la tache de mesure, le maximum d'intensité est identifié comme étant un plateau. La sonde peut par exemple être constituée d'un morceau de film métallique

noyé dans le matériau périphérique.

Comme déjà mentionné, la sonde et le matériau périphérique sont constitués de matériaux différents, possédant ainsi des spectres de fluorescence différents, mais des coefficients d'amortissement linéaire identiques pour le rayonnement de fluorescence émis. Ainsi par exemple, les deux composants, la sonde et le matériau périphérique, peuvent être constitués d'alliages formés de constituants d'alliages différents, ou bien soit la sonde soit le matériau sont constitués d'un métal pur, tandis que à chaque fois l'autre composant est constitué d'un alliage qui ne

contient pas ce métal pur comme constituant d'alliage.

Le choix d'un métal pour la sonde ainsi que d'un alliage de même coefficient d'amortissement linéaire va

être explicité ci-après.

Le problème de l'invention est résolu par un procédé de détermination des données d'intensité d'une tache de mesure dans l'analyse à fluorescence X, en ce que le rayonnement à fluorescence X est mesuré, au moins pour plusieurs positions relatives de la tache de mesure d'un contour défini, à partir de la sonde et d'un matériau périphérique, dont les coefficients

d'affaiblissement linéaires sont identiques.

Des matériaux de la sonde et le matériau périphérique sont choisis de manière qu'ils présentent un coefficient d'amortissement linéaire identique et qu'au moins l'un des matériaux, en cas d'excitation par des quanta de rayonnements X, dont la longueur d'onde est située sur la plage de la longueur d'onde du rayonnement primaire, émette un rayonnement de fluorescence. Pour déterminer le barycentre des intensités de la tache de mesure, et celui du rayon primaire tombant sur la partie échantillon, on peut, pour plusieurs positions relatives de la sonde et de la tache de mesure, mesurer soit le rayonnement de fluorescence de la sonde, soit celui du matériau périphérique. Tandis que, dans la premier cas, le barycentre des intensités du rayonnement de fluorescence X mesurées correspond au barycentre des intensités de la tache de mesure, dans le deuxième cas le minimum d'intensité mesurée du rayonnement de fluorescence X correspond au barycentre d'intensités de la tache de mesure, le barycentre des intensités de la tache de mesure ou le centre de la tache de mesure, dans chaque cas, étant obtenus pour la position de la partie échantillon dans laquelle la sonde - qui de préférence est petite par rapport à la tache de mesure - est congruente avec le maximum d'intensité de la tache de mesure. Si les matériaux de la sonde et du matériau périphérique sont choisis de manière que seul l'un des matériaux émette un rayonnement de fluorescence, lors de l'excitation par des quanta de rayonnements X, dans la plage de longueurs d'ondes du rayon primaire, les chevauchements entre les lignes des spectres de fluorescence de la sonde et du matériau

périphérique sont ainsi exclus.

Pour effectuer le marquage du centre ainsi obtenu de la tache de mesure, on peut utiliser comme moyen d'ajustement, de manière connue, un réticule à croisée de fils d'un appareil d'observation, par exemple, d'une caméra de vidéo, faisant que le

croisement de fil chevauche la partie échantillon.

Selon un mode de réalisation préféré, la partie échantillon est installée à demeure sur une table d'échantillon, de préférence programmable, la sonde se déplaçant ainsi par rapport au rayonnement primaire localement fixe, au moyen de mouvements de pivotement

programmables, par la table d'échantillon.

Pour déterminer la distribution des intensités, et ainsi le contour de la tache de mesure; il est prévu, selon un mode de réalisation préféré, une approximation numérique effectuée après détermination du centre de la tache de mesure. L'approximation numérique repose sur le fait que l'intensité mesurée au moyen de la partie échantillon selon l'invention, concernant le rayonnement à fluorescence X émis, est proportionnelle à la fraction du rayon primaire qui recouvre la surface de la sonde. L'intensité I (x, y) mesurée, du rayonnement à fluorescence X émis, en fonction des coordonnées x et y, qui couvrent un système de coordonnées plan parallèle à la surface plane de la partie échantillon selon l'invention, peut être décrite par conséquent par l'équation (2): I (x, y) = K p (x', y') dx' dy (2) o p (x', y') est la distribution des intensités du rayonnement primaire et K est une constante de la matière qui prend en compte le rapport des intensités entre le rayonnement primaire et secondaire (rayonnement à fluorescence X émis), par exemple, du matériau de la sonde, et l'intégrale de la distribution latérale des intensités p (x, y) sur la surface S=f(x, y) de la sonde devant être formée, les coordonnées locales x et y marquant, de manière

appropriée, le centre des surfaces de sonde.

L'équation (2) décrit la relation entre les intensités du rayonnement secondaire I mesurées et le rayonnement primaire p pour le cas dans lequel le rayonnement à fluorescence X de la sonde est mesuré et, par conséquent, pour une irradiation sur toute la surface de la sonde avec le rayon primaire, on obtient un centre de gravité des intensités du rayonnement à fluorescence X. Si, par contre, le rayonnement à fluorescence X du matériau périphérique est mesuré et que, par conséquent, on obtient pour une irradiation sur toute la surface de la sonde un minimum d'intensité du rayonnement de fluorescence, alors du côté gauche de l'équation (2), on va utiliser Imax - au lieu d'utiliser I (x, y), Imax étant l'intensité maximale du rayonnement à fluorescence loin à l'extérieur de la sonde en cas d'irradiation sur toute la surface du

matériau périphérique.

L'intensité Pi du rayon primaire (7) dans la distribution d'intensité I (x, y) est approximée par une fonction constante par élément: p(x,y) = Pij et pour yi ≤ Y < yj+i pour xi ≤ x < xi+1 p étant l'intensité de la radiation primaire et les coordonnées x, y étant alors identiques à celles

que l'on a au centre de la sonde (12).

Pour déterminer la distribution latérale des intensités, p(x', y') du rayon primaire. On choisit comme équation mathématique de préférence une fonction en escalier à deux niveaux, dont les valeurs varient entre 0 (loin à l'extérieur de la tache de mesure) et Pmax (au centre de la tache de mesure). Pour cela, la tache de mesure est subdivisée à la façon d'une trame en N éléments de surface ayant une taille et un contour définis, pour lesquels on suppose que l'intensité p(x', y') est constante. Cette approximation s'avère en particulier suffisamment exacte pour de très petits

éléments de surface.

Dans l'hypothèse selon laquelle l'intensité p du rayon primaire serait constante pour tout élément de surface dx dy, l'équation (2) peut être exécutée: I (x, y) = K - aij(x, y) Pij (3) K étant une constante,, et aij(x,y) étant des coefficients destinés à décrire le recouvrement des éléments de surface ij(xi ≤ x < xi+ 1 et pour yi ≤ y < Yj+I) et la surface de la sonde à la position (x,y) et pij étant l'intensité supposée constante du rayon

primaire dans cet élément de surface ij, et la somma-

tion étant faite pour tous les éléments de surface ij.

Si par exemple, le rayonnement de fluorescente I de la sonde est mesuré, alors les coefficients aij décrivent le recouvrement du ijème élément de surface par la surface de la sonde. Si le ijème élément de surface est complètement sur le matériau périphérique, alors a est de valeur 0; si le ijème élément de surface est complètement sur la sonde alors a = 1. Les intensités Pi déterminées du rayon primaire pour différentes positions relatives du rayon primaire et l'élément échantillon selon l'invention sont, de préférence, déterminés au moyen d'un système d'équation linéaire, pour chaque position de l'élément échantillon dans la trame des N éléments de surface, le rayonnement de fluorescence I étant déterminé; on

obtiendra ensuite N équations.

Pour fixer statistiquement les valeurs de mesure I de rayonnement de fluorescence obtenues pour la détermination du contour de la tache de mesure et pour estimer leur variance et leur écart type, on prévoit au maximum de préférence que, pour chaque élément de surface dans la trame, on procède à une détermination à plusieurs reprises de rayonnement de l'intensité I déterminée du rayonnement à fluorescence X et on utilise à chaque fois les valeurs moyennes des déterminations à plusieurs reprises dans

l'équation (3).

Le contour obtenu de la manière décrite concernant la tache de mesure peut être contrôlé, par exemple, avec un appareil d'observation tel qu'une caméra vidéo, dans lequel le contour calculé de la tache de mesure, ainsi que le centre de cette tache de mesure sont affichés sur le moniteur de l'appareil d'observation. Les quatre matériaux différents de l'élément échantillon sont alors assemblés de façon orthogonale en forme de secteur. Le centre du rayon est identique au point d'impact visible des secteurs, lorsque les intensités relatives de fluorescence de la totalité des quatre matériaux sont chacune de 25 %. Dans un mode de réalisation extrêmement préféré, on peut effectuer un centrage grossier. Il est prévu ici de disposer quatre matériaux jointifs en un point de contact commun, ayant des spectres de fluorescence connus, disposition dans laquelle, en particulier la sonde est noyée dans l'un des quatre matériaux périphériques. Un ajustement est effectué de manière que le matériau de la sonde ou le matériau périphérique soit utilisé sans excitation secondaire et que le rayonnement de fluorescence du matériau soit mesuré, faisant qu'il n'ait pas d'excitation secondaire. En outre, on peut prévoir que par une mesure du spectre de fluorescence, au moyen d'un élément d'ajustement ayant quatre matériaux jointifs sur une arête de contact commun, des matériaux connus, le point d'impact soit déterminé à titre de rayon primaire par rapport à l'arête de contact commune, et en particulier le point d'impact du rayon primaire est placé en coïncidence avec l'arête de contact, à cette fin, en règle générale, le déplacement étant effectué sur l'élément échantillon. Une telle manière de procéder est avantageuse en particulier pour de très petits diamètres de rayon, de 20 pm ou moins, et des éléments d'échantillon de plus petites tailles correspondantes, de 50 Mm ou moins, du fait qu'alors le nombre des quantités nécessaires à la détermination proprement dite de barycentre des intensités est réduit. L'invention va être explicitée en détail ci-après à l'aide d'une forme de réalisation préférée en se référant aux dessins. Dans le dessin: La figure 1 représente une coupe d'un élément échantillon selon l'invention; la figure 2 représente une vue de dessus d'un élément échantillon selon l'invention; et 15. la figure 3 représente une partie échantillon ayant quatre quadrants et un quadrant dans lequel la sonde

est noyée.

Un dispositif pour effectuer l'analyse de fluorescence X présente un tube à rayons X utilisé comme source de rayonnement, qui émet à titre de rayonnement primaire 7 des quanta de rayons X, à ondes courtes et ainsi riches en énergie. Le rayon primaire 7 est focalisé à l'aide d'un collimateur, si bien que la partie échantillon 10 est excitée par des rayons primaires 7 qui tombent à peu près parallèlement. Grâce à l'excitation de la partie échantillon 10 par des quanta de rayons 7 riches en énergie, celle-ci émet un rayonnement à fluorescence X 8 (rayonnement secondaire) qui peut être dirigé parallèlement à l'aide d'un autre

collimateur et qui est appréhendé par un récepteur 6.

L'élément échantillon 10 selon l'invention, représenté en coupe sur la figure 1, est constitué d'une sonde 12 et d'un matériau périphérique 11 et présente une face supérieure 13 plane. Les dimensions transversales D de la sonde 10 sont inférieures aux dimensions transversales d du rayon primaire 7 incident, et à celles de la tache de mesure (figure 2), faisant que le barycentre des intensités du rayon primaire 8 est identifiable sous la forme d'un pic. Les matériaux 11, 12 sont choisis par exemple de manière que, sur la plage des longueurs d'onde de l'excitation, seul le matériau de la sonde 12 émette le rayonnement

de fluorescence 8.

Sur la figure 2, l'élément échantillon 10

selon l'invention est représenté vu de dessus.

L'élément échantillon 10 est par exemple installé à demeure sur une table à échantillon programmable (non illustrée) au moyen de laquelle la sonde 12 est déplaçable par rapport à la tache de mesure 18 localement fixe, dans les directions x et y du système

de coordonnées 16.

La figure 3 représente un élément échantillon 10 ayant quatre quadrants 11, lia, l1b, llc, qui coïncident en une arête 10' commune (parallèlement à la direction d'incidence E du rayon X) en constituant dans la face supérieure de l'élément échantillon 10 un point de croisement. Dans l'un des quadrants est constitué le

matériau périphérique 11 destiné à la sonde 12.

L'élément échantillon 10 est relié à demeure à une tache de mesure programmable. Les spectres des quatre matériaux des quatre quadrants 11, lla, llb, llc sont connus. La position de la tache de mesure par rapport à l'arête de contact 10' ou au point de croisement constitué par celle-ci dans la face supérieure est donnée à l'aide d'un spectre mesuré réel. L'élément échantillon 10 peut se déplacer sous le rayon X, de

manière que les rayons arrivent au point de croisement.

Dans ce cas, le centre du rayon est sensiblement identique au point de croisement lorsque les intensités de fluorescence relatives de tous les quatre matériaux sont chacune identiques et de 25 %. Du fait des espacements a et b protoconaux connus de la sonde 12 par rapport à l'arête 10', le rayon x peut être placé dans la zone de la sonde 12 et ensuite le procédé selon l'invention proprement dit de détermination précise des données d'intensité du rayon primaire ou de la tache de mesure peut être mis en oeuvre. Dans un exemple 'de réalisation concret on noie un fil en nickel mince dans un alliage AlSn faisant office de matériau périphérique, l'étape consistant à noyer l'élément pouvant s'effectuer en procédant à un enfoncement. On effectue un meulage plan transversalement par rapport à la direction du fil, si bien que l'on obtient une face supérieure plane de la totalité de l'élément d'échantillon 10 donc de la sonde 12 et du matériau

périphérique 11.

Comme expliqué, le coefficient d'affaiblissement linéaire de la composante de rayonnement à fluorescence mesurée du matériau à environnement 11 doit correspondre à la composante d'affaiblissement linéaire du matériau de la sonde. En bonne approximation en cas d'alliage, les coefficients d'affaiblissement linéaire se comportent comme des moyennes pondérées correspondant aux fractions massiques. Le coefficient d'affaiblissement linéaire AAlSn d'un alliage AlSn ayant la proportion massique de Sn CSn est alors PAlSn (CSn) = CSn * LSn + (1- CSn) * Al Le coefficient d'affaiblissement linéaire AAlSn de l'alliage AlSn doit être à présent égal au coefficient d'affaiblissement linéaire du matériau de la sonde, Ni, et précisément pour l'énergie de la composante Ni-K-a. Les coefficients d'affaiblissement des trois matériaux utilisés sont: Ni = 535 cm 1

-1 -1

USN = 2150 cm et P AL = 145 cm. Avec l'équation ci-dessus on obtient ainsi une fraction massique de 20 % en Sn pour un alliage dont le coefficient d'affaiblissement linéaire correspond à celui du matériau de la sonde qui est le Nickel. Avec une telle partie d'échantillon, on effectue la détermination des données d'intensité, de la manière selon l'invention, si l'on procède à une répétition d'essais de mesure on obtient une possibilité de révolution du centre

d'intensité avec une précision de 1 gm.

Claims (31)

REVENDICATIONS

1. Elément d'échantillon (10) pour la détermination des données d'intensité d'une tache de mesure (13) dans l'analyse à fluorescence X, caractérisé en ce que l'élément d'échantillon (10) présente un contour défini par une sonde (12) entourée par un matériau périphérique (11), le matériau périphérique (11) et le matériau de la sonde (12) présentant les mêmes coefficients d'affaiblissement

linaire du rayonnement à fluorescence X (8) émis.

2. Elément d'échantillon selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il présente une

face supérieure (13) plane.

3. Elément d'échantillon selon l'une

quelconque des revendications 1 ou 2, caractérisé en ce

que son épaisseur correspond au moins à la profondeur

de pénétration du rayon primaire (7).

4. Elément d'échantillon selon l'une

quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce

que la sonde (12) a une section transversale circulaire.

5. Elément d'échantillon selon l'une

quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce

que la sonde a une section transversale polygonale.

6. Elément d'échantillon selon l'une

quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce

que les dimensions D en section transversale de la sonde (12) sont inférieures à celles de la section transversale "d"' du rayon primaire (7) incident

arrivant sur l'élément d'échantillon (10).

7. Elément d'échantillon selon la revendication 6, caractérisé en ce que les dimensions "D" en section transversale de la sonde (12) sont

inférieures à 100 pm.

8. Elément d'échantillon selon l'une des

revendications 1 à 7, caractérisé en ce que la

sonde (12) est constituée d'un morceau de fil

métallique, noyé dans le matériau périphérique (11).

9. Elément d'échantillon selon l'une des

quelconques revendications 1 à 8, caractérisé en ce que

la sonde (12) et le matériau périphérique (11) sont constitué d'alliages présentant des composants

d'alliages différents.

10. Elément d'échantillon selon l'une

quelconque des revendications 1 à 8, caractérisé en ce

que la sonde (12) est constituée d'un métal pur et le matériau périphérique (11) est constitué d'un alliage, qui ne contient pas le métal de la sonde (12) à titre

de composant d'alliage.

11. Elément d'échantillon selon l'une

quelconque des revendications 1 à 9, caractérisé en ce

que le matériau périphérique (11) est constitué d'un métal pur et la sonde (12) est constituée d'un alliage, qui ne contient pas le métal du matériau

périphérique (11) comme matériau d'alliage.

12. Elément d'échantillon selon l'une

quelconque des revendications 1 à 11, caractérisé en ce

que le matériau de la sonde (12) ou le matériau périphérique (11) ne produit aucune excitation secondaire.

13. Elément d'échantillon en particulier

selon l'une quelconque des revendications 1 à 12,

caractérisé par quatre matériaux (11, lia, 11b, 11c) jointifs sur une arête de contact commune et présentant des spectres de fluorescence connus, s'il existe au moins un chevauchement entre la surface de

mesure et la surface de la sonde.

14. Elément d'échantillon selon la revendication 13, caractérisé en ce que la sonde (12) est noyée dans l'un des quatre matériaux faisant office

de matériau périphérique (11).

15. Procédé de détermination des données d'intensité d'une tache de mesure (18) dans l'analyse à fluorescence X, caractérisé en ce que le rayonnement à fluorescence X (8) est mesuré, au moins pour plusieurs positions relatives de la tache de mesure (18) d'un contour défini, à partir de la sonde (12) et d'un matériau périphérique (11), ayant des coefficients

d'affaiblissement linéaires identiques.

16. Procédé selon la revendication 15, caractérisé en ce que le rayonnement de fluorescence

X (8) de la sonde (12) est mesuré.

17. Procédé selon la revendication 15, caractérisé en ce que le rayonnement à fluorescence

X (8) du matériau périphérique (11) est mesuré.

18. Procédé selon la revendication 16, caractérisé en ce que le barycentre de la distribution d'intensité du rayonnement à fluorescence X (8) émis est déterminé et en ce qu'à ce barycentre est associée la position de la sonde (12), à titre de centre de la

tache de mesure.

19. Procédé selon la revendication 17, caractérisé en ce que la distribution d'intensité du rayonnement à fluorescence X (8) émis est déterminée et celle-ci est inversée en procédant à une transformation linéaire de manière qu'on ait valeur maximale = zéro et valeur minimale = 1, et en ce qu'au barycentre de cette distribution inversée de l'intensité est associée la position de la sonde, à titre de centre de la tache de mesure.

20. Procédé selon l'une des

revendications 15 à 19, caractérisé en ce que le centre

de la tache de mesure est marqué par superposition avec

un moyen d'ajustement.

21. Procédé selon la revendication 20, caractérisé en ce qu'on utilise comme moyen d'ajustement un réticule à croisée de fils d'un

appareil d'observation.

22. Procédé selon l'une des

revendications 15 à 21, caractérisé en ce que l'élément

d'échantillon (10) est installé à demeure sur une table de sonde, en particulier programmable, au moyen de laquelle la sonde (12) est positionnée par rapport au

centre de la tache de mesure.

23. Procédé selon une des revendications 15 à

22 caractérisé en ce que la détermination de la distribution d'intensité d'une tache de mesure (18) lors de l'analyse à fluorescence X pour déterminer le centre de la tache de mesure est effectuée par une

approximation numérique.

24. Procédé selon la revendication 23, caractérisé en ce que l'intensité Pi du rayon primaire (7) dans la distribution d'intensité I (x, y) est approximée par une fonction constante par élément: p(x,y) = Pij et pour yi ≤ Y < yj+i pour xi ≤ x < xi+1 p étant l'intensité de la radiation primaire et les coordonnées x, y étant alors identiques à celles

que l'on a au centre de la sonde (12).

25. Procédé selon la revendication 23 ou 24, caractérisé en ce que les intensités I (x, y) du rayonnement à fluorescence X émis, mesurées suivant une trame x-y qui couvre au moins la tache de mesure, sont décrites par l'équation: I(x,y) = K * aij(x,y) pij K étant une constante, et aij(x,y) étant des coefficients destinés à décrire le recouvrement des éléments de surface ij(xi ≤ x < xi+ 1 et pour Yi ≤ y < Yj+i) et la surface de la sonde à la position (x,y) et pij étant l'intensité supposée constante du rayon

primaire dans cet élément de surface ij, et la somma-

tion étant faite pour tous les éléments de surface ij.

26. Procédé selon l'une des

revendications 23 à 25, caractérisé en ce que le

rayonnement à fluorescence X (8) émis est déterminé à plusieurs reprises dans chaque élément de surface pour déterminer l'intensité p du rayonnement primaire (7).

27. Procédé selon la revendication 26, caractérisé en ce que, pour les intensités I (i), on utilise les valeurs moyennes issues des déterminations

faites à plusieurs reprises.

28. Procédé selon l'une des

revendications 15 à 27, caractérisé en ce que le

matériau de la sonde ou de l'environnement est utilisé sans excitation secondaire et en ce qu'on mesure le rayonnement de fluorescence du matériau n'ayant pas

d'excitation secondaire.

29. Procédé, en particulier selon l'une des

revendications 15 à 28, caractérisé en ce que, par une

mesure du spectre de fluorescence au moyen d'une partie d'ajustement avec quatre matériaux jointifs sur une arête de contact commune, ces matériau étant connus, on détermine le point d'impact en tant que rayon primaire,

par rapport à l'arête de contact de commune.

30. Procédé selon la revendication 29, caractérisé en ce que le point d'impact du rayon primaire est placé en coïncidence avec l'arête de contact.

31. Procédé selon la revendication 30, caractérisé en ce que l'on place le point d'impact du rayon primaire par rapport à la sonde, et l'on détermine ensuite les données d'intensité du champ de mesure en connaissant les coordonnées relatives connues

de la sonde par rapport à l'arête de contact.