JPS623945B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS623945B2 JPS623945B2 JP9132181A JP9132181A JPS623945B2 JP S623945 B2 JPS623945 B2 JP S623945B2 JP 9132181 A JP9132181 A JP 9132181A JP 9132181 A JP9132181 A JP 9132181A JP S623945 B2 JPS623945 B2 JP S623945B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate holder
- plate
- mask substrate
- edge
- holder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P95/00—Generic processes or apparatus for manufacture or treatments not covered by the other groups of this subclass
Landscapes
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はマスク基板等の薄いプレートを保持す
るためのプレート保持具に関する。
るためのプレート保持具に関する。
ホトマスクを製造するに際し、従来は複数のマ
スク基板を専用の容器に収容して各処理工程にお
ける処理を行なつていた。バツチ処理の場合には
このような方法でもよいが、製造工程を自動化し
インライン化するには、各処理装置にマスク基板
を一枚づつ供給及び取り出し可能であること、ま
た各処理工程においてマスク基板の表裏両主面を
同時に処理し得ることが不可欠の要件となる。こ
の目的から従来の容器とは異なり、マスク基板を
両主面に接触することなく一枚づつ確実に保持し
得るプレート保持具の出現を強く要望されてい
た。
スク基板を専用の容器に収容して各処理工程にお
ける処理を行なつていた。バツチ処理の場合には
このような方法でもよいが、製造工程を自動化し
インライン化するには、各処理装置にマスク基板
を一枚づつ供給及び取り出し可能であること、ま
た各処理工程においてマスク基板の表裏両主面を
同時に処理し得ることが不可欠の要件となる。こ
の目的から従来の容器とは異なり、マスク基板を
両主面に接触することなく一枚づつ確実に保持し
得るプレート保持具の出現を強く要望されてい
た。
本発明はかかる事情に鑑みてなされたもので、
マスク基板のような薄いプレートの新規な保持具
を提供することを目的とし、このため本発明の特
徴は、略Ｌ字状縁辺を有する第１の薄板部材と、
略直状縁辺を有する第２の薄板部材とが、前記Ｌ
字状縁辺と前記略直線状縁辺とが「コ」の字状を
なし且つ相対向する２つの縁辺が内側に向く予圧
を有する如く平行板バネにより係合されてなるこ
とにある。
マスク基板のような薄いプレートの新規な保持具
を提供することを目的とし、このため本発明の特
徴は、略Ｌ字状縁辺を有する第１の薄板部材と、
略直状縁辺を有する第２の薄板部材とが、前記Ｌ
字状縁辺と前記略直線状縁辺とが「コ」の字状を
なし且つ相対向する２つの縁辺が内側に向く予圧
を有する如く平行板バネにより係合されてなるこ
とにある。
以下本発明の一実施例を第１図及び第２図によ
り説明する。両図とも本実施例の説明に供するた
めの上面図であつて、１は本実施例のプレート保
持具で、略Ｌ字状縁辺を有する第１の薄板部材２
と略直状縁辺を有する第２の薄板部材３とが平行
板バネ４により「コ」の字状に一体化され、且つ
相対向する縁辺が内側に向く予圧を有するよう係
合されている。５，６，７はテフロンゴムのよう
な耐薬品性の良好な弾性体よりなる緩衝体、８は
案内溝、９は支持台（図示せず）上に植え込まれ
たガイドピン、１０は被処理体で例えばマスク基
板、１１はフオーク状支持棒である。
り説明する。両図とも本実施例の説明に供するた
めの上面図であつて、１は本実施例のプレート保
持具で、略Ｌ字状縁辺を有する第１の薄板部材２
と略直状縁辺を有する第２の薄板部材３とが平行
板バネ４により「コ」の字状に一体化され、且つ
相対向する縁辺が内側に向く予圧を有するよう係
合されている。５，６，７はテフロンゴムのよう
な耐薬品性の良好な弾性体よりなる緩衝体、８は
案内溝、９は支持台（図示せず）上に植え込まれ
たガイドピン、１０は被処理体で例えばマスク基
板、１１はフオーク状支持棒である。
次に第１図及び第２図により本実施例のプレー
ト保持具１にマスク基板１０を装着する過程を説
明する。先ず案内溝８をガイドピン９に向けてプ
レート保持具１を押しつける。第２の部材３とこ
れに相対向する第１の部材２の縁辺とは平行平板
バネ４により向側に向く予圧を与えられているの
で、両者の間隔は狭くなつているが、ガイドピン
９が案内溝８に押し込まれることにより、ガイド
ピンに案内されて上記相対向する２つの縁辺の間
隔は充分に広げられる。このように固定されたプ
レート保持具１に向けて、マスク基板１０を載置
したフオーク状支持棒１１を図の矢線Ａで示すよ
うに移動せしめる。支持棒１１の先端がプレート
保持具１に突き当ると、支持棒１１はプレート保
持具１を矢線Ｂに示す方向（図の下向きの方向）
に押し出す。やがてガイドピン９が案内溝８から
はずれると、プレート保持具１の相対向する２つ
の縁辺は両者を押し広げる外力が消滅するので、
内側に向く予圧により間隔が狭まり、第２図に示
すようにマスク基板１０を挾持する。このとき、
プレート保持具１の内縁には弾性を有する緩衝体
５，６，７が止着されているので、マスク基板１
０を損傷することなく確実に挾持する。なお第２
の部材３の先端の内側に向く突出部１２は、保持
されたマスク基板１０が抜け落ちるのを防止する
ために設けたものである。
ト保持具１にマスク基板１０を装着する過程を説
明する。先ず案内溝８をガイドピン９に向けてプ
レート保持具１を押しつける。第２の部材３とこ
れに相対向する第１の部材２の縁辺とは平行平板
バネ４により向側に向く予圧を与えられているの
で、両者の間隔は狭くなつているが、ガイドピン
９が案内溝８に押し込まれることにより、ガイド
ピンに案内されて上記相対向する２つの縁辺の間
隔は充分に広げられる。このように固定されたプ
レート保持具１に向けて、マスク基板１０を載置
したフオーク状支持棒１１を図の矢線Ａで示すよ
うに移動せしめる。支持棒１１の先端がプレート
保持具１に突き当ると、支持棒１１はプレート保
持具１を矢線Ｂに示す方向（図の下向きの方向）
に押し出す。やがてガイドピン９が案内溝８から
はずれると、プレート保持具１の相対向する２つ
の縁辺は両者を押し広げる外力が消滅するので、
内側に向く予圧により間隔が狭まり、第２図に示
すようにマスク基板１０を挾持する。このとき、
プレート保持具１の内縁には弾性を有する緩衝体
５，６，７が止着されているので、マスク基板１
０を損傷することなく確実に挾持する。なお第２
の部材３の先端の内側に向く突出部１２は、保持
されたマスク基板１０が抜け落ちるのを防止する
ために設けたものである。
このように本実施例のプレート保持具１はマス
ク基板等の被処理体１０を一枚づつ確実に保持し
得るので、現像装置或いは洗浄装置等の各処理装
置にこのまゝ供給、取り出し及び装着可能であ
り、更に被処理体の表裏両主面には一切接触して
いないので、両主面を同時に処理することが可能
となつた。従つて上述のプレート保持具はマスク
基板のような薄板のハンドリングをきわめて容易
にするものであつて、その処理工程を自動化しイ
ンライン化するのに好適な保持具を提供する。
ク基板等の被処理体１０を一枚づつ確実に保持し
得るので、現像装置或いは洗浄装置等の各処理装
置にこのまゝ供給、取り出し及び装着可能であ
り、更に被処理体の表裏両主面には一切接触して
いないので、両主面を同時に処理することが可能
となつた。従つて上述のプレート保持具はマスク
基板のような薄板のハンドリングをきわめて容易
にするものであつて、その処理工程を自動化しイ
ンライン化するのに好適な保持具を提供する。
なお上記プレート保持具１からマスク基板１０
を取りはずすときは前述の手順を逆に行なえばよ
いことは容易に理解されよう。
を取りはずすときは前述の手順を逆に行なえばよ
いことは容易に理解されよう。
以上説明したごとく、本発明によりマスク基板
等の薄板を表裏両主面に一切接触することなく確
実に保持し、しかも着脱容易なプレート保持具が
提供され、製造工程の自動化、インライン化に対
する貢献はきわめて大きい。
等の薄板を表裏両主面に一切接触することなく確
実に保持し、しかも着脱容易なプレート保持具が
提供され、製造工程の自動化、インライン化に対
する貢献はきわめて大きい。
第１図及び第２図は本発明の一実施例を示す上
面図であつて、図中１はプレート保持具、２は略
Ｌ字状縁辺を有する第１の部材、３は略直状縁辺
を有する第２の部材、４は平行平板バネを示す。
面図であつて、図中１はプレート保持具、２は略
Ｌ字状縁辺を有する第１の部材、３は略直状縁辺
を有する第２の部材、４は平行平板バネを示す。
Claims (1)
- １ 略Ｌ字状縁辺を有する第１の薄膜部材と、略
直状縁辺を有する第２の薄板部材とが、前記Ｌ字
状縁辺と前記略直線状縁辺とが「コ」の字状をな
し且つ相対向する２つの縁辺が内向きの予圧を有
する如く平行板バネにより係合されてなることを
特徴とするプレート保持具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56091321A JPS584925A (ja) | 1981-06-12 | 1981-06-12 | プレ−ト保持具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56091321A JPS584925A (ja) | 1981-06-12 | 1981-06-12 | プレ−ト保持具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS584925A JPS584925A (ja) | 1983-01-12 |
| JPS623945B2 true JPS623945B2 (ja) | 1987-01-28 |
Family
ID=14023186
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56091321A Granted JPS584925A (ja) | 1981-06-12 | 1981-06-12 | プレ−ト保持具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS584925A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2796131B2 (ja) * | 1989-06-29 | 1998-09-10 | 沖電気工業株式会社 | ホトマスクケース及びホトマスクの保管方法 |
-
1981
- 1981-06-12 JP JP56091321A patent/JPS584925A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS584925A (ja) | 1983-01-12 |
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