JPS6234699B2 - - Google Patents
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- JPS6234699B2 JPS6234699B2 JP58152754A JP15275483A JPS6234699B2 JP S6234699 B2 JPS6234699 B2 JP S6234699B2 JP 58152754 A JP58152754 A JP 58152754A JP 15275483 A JP15275483 A JP 15275483A JP S6234699 B2 JPS6234699 B2 JP S6234699B2
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01413—Reactant delivery systems
- C03B37/0142—Reactant deposition burners
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/04—Multi-nested ports
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/04—Multi-nested ports
- C03B2207/06—Concentric circular ports
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/04—Multi-nested ports
- C03B2207/16—Non-circular ports, e.g. square or oval
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/50—Multiple burner arrangements
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
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- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Description
この発明は、光フアイバ用ガラスプリフオーム
(ガラス多孔質母材)の製造方法に関し、特に
VAD法(気相軸付法)による光フアイバ用ガラ
スプリフオームの製造方法の改良に関する。 従来、VAD法によつてグレーデツト型あるい
はステツプ型多モード光フアイバのガラスプリフ
オームを作成する場合、第1図に示すように1本
の丸型同心多重管バーナ1を用いてコアの屈折率
分布の形成を行ないながらガラスプリフオーム2
の堆積生長を行なうようにしている。通常の合成
速度すなわち0.3〜1.0grm/min程度であればこ
の方法でガラスプリフオーム2を形成することが
できる。しかしながら、この方法では、大量生産
によるコストダウンを図るため、合成速度を増大
し、高速化しようとすると次のような問題が生じ
て、これを達成することができない。 すなわち、この方法において高速合成を行なお
うとする場合、まず原料ガスの流量を増加するこ
とが考えられる。原料ガス流量が増加した場合、
バーナ1の口径が同じであるとすると、原料ガス
流量が増えたためにその流速が大きくなる。する
と、酸水素火炎中で生成するスート(ガラス微粒
子)流の流速も大きくなり、ターゲツトでの滞留
時間が短くなり、付着効率は減少し、原料ガスの
送入量の増加に対して合成速度は第2図に示すよ
うに飽和してしまう。 そこで、つぎにバーナ1の口径を増大すること
が考えられる。この場合、原料ガスの流速を一定
にしておきながら原料ガスの流量を増大できるの
で、上記のような不都合が生じることなく合成速
度を増すことができる。しかし、この場合には、
屈折率分布の制御が困難になるという問題と、ガ
ラスプリフオーム2の直径の増大に対してガラス
プリフオーム2の長さ方向の生長速度が飽和して
しまうという問題が生じる。すなわち、バーナ1
の口径を増大することによりスート流が太くなる
ため結果としてガラスプリフオーム2の直径は増
大するのであるが、これに反して長さ方向の引き
上げ速度はほとんど増えない。すると直径の大き
なガラスプリフオーム2が作成されることにな
り、次の工程において脱水・焼結しようとすると
大きな直径のためにこれが困難になつてしまうと
いう欠点を惹起する。また、一方で、このような
方法では広帯域な光フアイバが未だに得られてい
ないことが経験的に知られている。これは、屈折
率分布はスートの付着面での温度分布に応じて形
成されるものであるが、スート流の直径の増大に
より付着面上での温度分布が不均一になり易くな
りそのため屈折率分布の制御が困難になるからで
あると推定される。 この発明は、上記に鑑み、屈折率分布の制御を
精度高く行ないながら高速合成できるVAD法に
よる光フアイバ用ガラスプリフオームの製造方法
を提供することを目的とする。 この発明に係るVAD法による光フアイバ用ガ
ラスプリフオームの製造方法は、スートが堆積し
て生長していくガラスプリフオームの中心軸上に
配置されたコア形成用の角型バーナと、上記ガラ
スプリフオームの側方に配置されたコア形成用の
少なくとも1本のバーナとを備え、後者のバーナ
を上記ガラスプリフオームの中心軸に平行な方向
に往復移動させながらこれらのバーナからコアの
屈折率分布形成用のスート流を生ぜしめるように
したことを特徴とする。 以下、図面を参照しながらこの発明の一実施例
について説明すると、第3図に示すようにガラス
プリフオーム2の中心軸上にコア中心を形成する
ためのバーナとして所謂角型バーナ3を配置し、
ガラスプリフオーム2の側方にはコアのその他の
分布を形成するためのバーナとして少なくとも1
本以上の(この実施例では4本の)丸型バーナ4
〜7(これらをサイドバーナと称する)を互いに
3〜4cmの間隔を置いて配置する。そして、コア
中心のバーナ3だけでなく、サイドバーナ4〜7
にもSiCi4、GeCl4、POCl3、BBr3、CF4などのド
ーパントガスを送り、これら複数本のバーナ3〜
7により全体としてグレーデツド型またはステツ
プ型などの第4図に示すような屈折率分布を形成
する。なお、コア中心の角型バーナ3では、第5
図に示すように、中心部のノズル31からたとえ
ばSiCl4、GeCl4などを、ノズル32からArを、
ノズル33からスートの拡散防止用のH2を、周
囲のノズル34からH2を、ノズル35からAr
を、最外周のノズル36からO2をそれぞれ噴射
させる。 このようにコア中心バーナとして角型バーナ3
を使用したことにより、一般に丸型の同心多重管
バーナを用いた場合に比較して直径10〜15mm程の
細いスートを形成することができ、コア中心部に
おいて生長速度を150〜200mm/hと速くすること
ができる。他方、サイドバーナ4〜7によつてガ
ラスプリフオーム2の直径を太くすることがで
き、全体としてガラスプリフオーム2の合成速度
を3〜5grm/minまで容易に増大することがで
きる。 具体的について述べる。次の表に示す流量の原
料ガスをバーナ3〜7の各々に流してガラスプリ
フオーム2を作成した。
(ガラス多孔質母材)の製造方法に関し、特に
VAD法(気相軸付法)による光フアイバ用ガラ
スプリフオームの製造方法の改良に関する。 従来、VAD法によつてグレーデツト型あるい
はステツプ型多モード光フアイバのガラスプリフ
オームを作成する場合、第1図に示すように1本
の丸型同心多重管バーナ1を用いてコアの屈折率
分布の形成を行ないながらガラスプリフオーム2
の堆積生長を行なうようにしている。通常の合成
速度すなわち0.3〜1.0grm/min程度であればこ
の方法でガラスプリフオーム2を形成することが
できる。しかしながら、この方法では、大量生産
によるコストダウンを図るため、合成速度を増大
し、高速化しようとすると次のような問題が生じ
て、これを達成することができない。 すなわち、この方法において高速合成を行なお
うとする場合、まず原料ガスの流量を増加するこ
とが考えられる。原料ガス流量が増加した場合、
バーナ1の口径が同じであるとすると、原料ガス
流量が増えたためにその流速が大きくなる。する
と、酸水素火炎中で生成するスート(ガラス微粒
子)流の流速も大きくなり、ターゲツトでの滞留
時間が短くなり、付着効率は減少し、原料ガスの
送入量の増加に対して合成速度は第2図に示すよ
うに飽和してしまう。 そこで、つぎにバーナ1の口径を増大すること
が考えられる。この場合、原料ガスの流速を一定
にしておきながら原料ガスの流量を増大できるの
で、上記のような不都合が生じることなく合成速
度を増すことができる。しかし、この場合には、
屈折率分布の制御が困難になるという問題と、ガ
ラスプリフオーム2の直径の増大に対してガラス
プリフオーム2の長さ方向の生長速度が飽和して
しまうという問題が生じる。すなわち、バーナ1
の口径を増大することによりスート流が太くなる
ため結果としてガラスプリフオーム2の直径は増
大するのであるが、これに反して長さ方向の引き
上げ速度はほとんど増えない。すると直径の大き
なガラスプリフオーム2が作成されることにな
り、次の工程において脱水・焼結しようとすると
大きな直径のためにこれが困難になつてしまうと
いう欠点を惹起する。また、一方で、このような
方法では広帯域な光フアイバが未だに得られてい
ないことが経験的に知られている。これは、屈折
率分布はスートの付着面での温度分布に応じて形
成されるものであるが、スート流の直径の増大に
より付着面上での温度分布が不均一になり易くな
りそのため屈折率分布の制御が困難になるからで
あると推定される。 この発明は、上記に鑑み、屈折率分布の制御を
精度高く行ないながら高速合成できるVAD法に
よる光フアイバ用ガラスプリフオームの製造方法
を提供することを目的とする。 この発明に係るVAD法による光フアイバ用ガ
ラスプリフオームの製造方法は、スートが堆積し
て生長していくガラスプリフオームの中心軸上に
配置されたコア形成用の角型バーナと、上記ガラ
スプリフオームの側方に配置されたコア形成用の
少なくとも1本のバーナとを備え、後者のバーナ
を上記ガラスプリフオームの中心軸に平行な方向
に往復移動させながらこれらのバーナからコアの
屈折率分布形成用のスート流を生ぜしめるように
したことを特徴とする。 以下、図面を参照しながらこの発明の一実施例
について説明すると、第3図に示すようにガラス
プリフオーム2の中心軸上にコア中心を形成する
ためのバーナとして所謂角型バーナ3を配置し、
ガラスプリフオーム2の側方にはコアのその他の
分布を形成するためのバーナとして少なくとも1
本以上の(この実施例では4本の)丸型バーナ4
〜7(これらをサイドバーナと称する)を互いに
3〜4cmの間隔を置いて配置する。そして、コア
中心のバーナ3だけでなく、サイドバーナ4〜7
にもSiCi4、GeCl4、POCl3、BBr3、CF4などのド
ーパントガスを送り、これら複数本のバーナ3〜
7により全体としてグレーデツド型またはステツ
プ型などの第4図に示すような屈折率分布を形成
する。なお、コア中心の角型バーナ3では、第5
図に示すように、中心部のノズル31からたとえ
ばSiCl4、GeCl4などを、ノズル32からArを、
ノズル33からスートの拡散防止用のH2を、周
囲のノズル34からH2を、ノズル35からAr
を、最外周のノズル36からO2をそれぞれ噴射
させる。 このようにコア中心バーナとして角型バーナ3
を使用したことにより、一般に丸型の同心多重管
バーナを用いた場合に比較して直径10〜15mm程の
細いスートを形成することができ、コア中心部に
おいて生長速度を150〜200mm/hと速くすること
ができる。他方、サイドバーナ4〜7によつてガ
ラスプリフオーム2の直径を太くすることがで
き、全体としてガラスプリフオーム2の合成速度
を3〜5grm/minまで容易に増大することがで
きる。 具体的について述べる。次の表に示す流量の原
料ガスをバーナ3〜7の各々に流してガラスプリ
フオーム2を作成した。
【表】
この条件でガラスプリフオーム2を作成したと
ころ合成速度は4.2grm/minとなつた。またこう
して作つたガラスプリフオーム2から光フアイバ
を紡糸したところ、伝送帯域500MHzKm(at1.3μ
m)、伝送損失0.7dB/Km(at1.3μm)のグレー
デツド型多モード光フアイバが得られた。 上記の実施例でサイドバーナ4〜7を固定した
とするとこれらのバーナ4〜7によつて形成され
る屈折率分布は第4図に示すように階段状になる
ことがあるが、これを避けるためには第6図に示
すようにバーナ4〜7をフレーム8に一体に保持
させてこのフレーム8をガラスプリフオーム2の
中心軸に平行な方向に繰り返し往復移動させるよ
うにする。すると、サイドバーナ4〜7によつて
形成される不連続な温度分布が連続的になり、第
7図に示すようななめらかな屈折率分布を得るこ
とができる。 具体例を述べると、原料ガスの流量条件は上記
と同じとし、サイドバーナ4〜7を幅1.5cmの範
囲で1〜2回/secの周期で往復移動させたとこ
ろガラスプリフオーム2の合成速度は上記と同じ
であつたが、このガラスプリフオーム2から伝送
帯域700〜800MHzKm(at1.3μm)、伝送損失
0.7dB/Km(at1.3μm)のグレーデツド型多モー
ド光フアイバが得られた。 以上実施例について説明したように、この発明
によれば、ガラスプリフオームの中心軸上に角型
バーナを配するとともに、ガラスプリフオームの
側方に少なくとも1本のバーナを配し、後者のバ
ーナをガラスプリフオームの中心軸に平行な方向
に往復移動させながらこれらのバーナからコアの
屈折率分布形成用のスート流を生ぜしめるように
してガラスプリフオームを製造するようにしてい
るので、ガラスプリフオームの合成速度を高くす
ることが容易で、しかも滑らかで精度の高い屈折
率分布を容易に形成することができる。
ころ合成速度は4.2grm/minとなつた。またこう
して作つたガラスプリフオーム2から光フアイバ
を紡糸したところ、伝送帯域500MHzKm(at1.3μ
m)、伝送損失0.7dB/Km(at1.3μm)のグレー
デツド型多モード光フアイバが得られた。 上記の実施例でサイドバーナ4〜7を固定した
とするとこれらのバーナ4〜7によつて形成され
る屈折率分布は第4図に示すように階段状になる
ことがあるが、これを避けるためには第6図に示
すようにバーナ4〜7をフレーム8に一体に保持
させてこのフレーム8をガラスプリフオーム2の
中心軸に平行な方向に繰り返し往復移動させるよ
うにする。すると、サイドバーナ4〜7によつて
形成される不連続な温度分布が連続的になり、第
7図に示すようななめらかな屈折率分布を得るこ
とができる。 具体例を述べると、原料ガスの流量条件は上記
と同じとし、サイドバーナ4〜7を幅1.5cmの範
囲で1〜2回/secの周期で往復移動させたとこ
ろガラスプリフオーム2の合成速度は上記と同じ
であつたが、このガラスプリフオーム2から伝送
帯域700〜800MHzKm(at1.3μm)、伝送損失
0.7dB/Km(at1.3μm)のグレーデツド型多モー
ド光フアイバが得られた。 以上実施例について説明したように、この発明
によれば、ガラスプリフオームの中心軸上に角型
バーナを配するとともに、ガラスプリフオームの
側方に少なくとも1本のバーナを配し、後者のバ
ーナをガラスプリフオームの中心軸に平行な方向
に往復移動させながらこれらのバーナからコアの
屈折率分布形成用のスート流を生ぜしめるように
してガラスプリフオームを製造するようにしてい
るので、ガラスプリフオームの合成速度を高くす
ることが容易で、しかも滑らかで精度の高い屈折
率分布を容易に形成することができる。
第1図は従来例の模式図、第2図は従来におけ
る原料送入量における合成速度の関係を示すグラ
フ、第3図はこの発明に係る一実施例の模式図、
第4図は屈折率分布を表わすグラフ、第5図はバ
ーナ3のノズルを示す概略的斜視図、第6図は他
の実施例の模式図、第7図は屈折率分布を表わす
グラフである。 1……丸型同心多重管バーナ、2……ガラスプ
リフオーム、3……中心バーナ、4〜7……サイ
ドバーナ、8……フレーム。
る原料送入量における合成速度の関係を示すグラ
フ、第3図はこの発明に係る一実施例の模式図、
第4図は屈折率分布を表わすグラフ、第5図はバ
ーナ3のノズルを示す概略的斜視図、第6図は他
の実施例の模式図、第7図は屈折率分布を表わす
グラフである。 1……丸型同心多重管バーナ、2……ガラスプ
リフオーム、3……中心バーナ、4〜7……サイ
ドバーナ、8……フレーム。
Claims (1)
- 1 スートが堆積して生長していくガラスプリフ
オームの中心軸上に配置されたコア形成用の角型
バーナと、上記ガラスプリフオームの側方に配置
されたコア形成用の少なくとも1本のバーナとを
備え、後者のバーナを上記ガラスプリフオームの
中心軸に平行な方向に往復移動させながらこれら
のバーナからコアの屈折率分布形成用のスート流
を生ぜしめるようにしたことを特徴とするVAD
法による光フアイバ用ガラスプリフオームの製造
方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15275483A JPS6046939A (ja) | 1983-08-22 | 1983-08-22 | 光フアイバ用ガラスプリフオ−ムの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15275483A JPS6046939A (ja) | 1983-08-22 | 1983-08-22 | 光フアイバ用ガラスプリフオ−ムの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6046939A JPS6046939A (ja) | 1985-03-14 |
JPS6234699B2 true JPS6234699B2 (ja) | 1987-07-28 |
Family
ID=15547433
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15275483A Granted JPS6046939A (ja) | 1983-08-22 | 1983-08-22 | 光フアイバ用ガラスプリフオ−ムの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6046939A (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63242940A (ja) * | 1987-03-31 | 1988-10-07 | Tatsuta Electric Wire & Cable Co Ltd | 光フアイバ用多孔質母材の製造方法 |
JPS6424044A (en) * | 1987-07-20 | 1989-01-26 | Tatsuta Densen Kk | Production of porous base material for optical fiber |
JPS6424043A (en) * | 1987-07-20 | 1989-01-26 | Tatsuta Densen Kk | Burner for synthesizing porous base material of optical fiber |
US5211732A (en) * | 1990-09-20 | 1993-05-18 | Corning Incorporated | Method for forming a porous glass preform |
US5116400A (en) * | 1990-09-20 | 1992-05-26 | Corning Incorporated | Apparatus for forming a porous glass preform |
JPH0656078U (ja) * | 1993-01-19 | 1994-08-02 | 株式会社富士製作所 | レール吊り金具 |
KR100711766B1 (ko) | 2005-09-06 | 2007-04-30 | 주식회사 포스코 | 괴성체 제조 장치의 롤타이어 취외용 버너 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5795838A (en) * | 1980-12-03 | 1982-06-14 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Manufacture of oxide powder rod for optical fiber |
-
1983
- 1983-08-22 JP JP15275483A patent/JPS6046939A/ja active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5795838A (en) * | 1980-12-03 | 1982-06-14 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Manufacture of oxide powder rod for optical fiber |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6046939A (ja) | 1985-03-14 |
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