JPS6233315A - 薄膜磁気テ−プヘツドの構造及び加工法 - Google Patents
薄膜磁気テ−プヘツドの構造及び加工法Info
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- JPS6233315A JPS6233315A JP17287185A JP17287185A JPS6233315A JP S6233315 A JPS6233315 A JP S6233315A JP 17287185 A JP17287185 A JP 17287185A JP 17287185 A JP17287185 A JP 17287185A JP S6233315 A JPS6233315 A JP S6233315A
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- thin film
- head
- magnetic tape
- magnetic head
- film magnetic
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/187—Structure or manufacture of the surface of the head in physical contact with, or immediately adjacent to the recording medium; Pole pieces; Gap features
- G11B5/1871—Shaping or contouring of the transducing or guiding surface
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3103—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/3116—Shaping of layers, poles or gaps for improving the form of the electrical signal transduced, e.g. for shielding, contour effect, equalizing, side flux fringing, cross talk reduction between heads or between heads and information tracks
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
薄膜磁気テープヘッドはテープがヘッドのＲ面を覆うよ
うに走行する為、外部の振動がリート／ライト部（ギャ
ップ）に伝わり易い為、本発明では基板を予め多層構造
にし、基板間の接合材料を含めた材料の硬度差を利用し
、微妙にＲ形状をコントロールしく凹部）、外部の振動
がリード／ライト部に伝わりにりくシ、安定な特性を得
るようにした。
うに走行する為、外部の振動がリート／ライト部（ギャ
ップ）に伝わり易い為、本発明では基板を予め多層構造
にし、基板間の接合材料を含めた材料の硬度差を利用し
、微妙にＲ形状をコントロールしく凹部）、外部の振動
がリード／ライト部に伝わりにりくシ、安定な特性を得
るようにした。
（産業上の利用分野）
本発明は薄膜磁気テープヘッドのテープと接するＲ面に
関し、基板の構造を多層とし、Ｒ５７１時にラップ特性
を利用し、Ｒ部に凹みを形成するようにして、浮上安定
性のあるヘッド加工を可能とした薄膜磁気テープヘッド
に関する。
関し、基板の構造を多層とし、Ｒ５７１時にラップ特性
を利用し、Ｒ部に凹みを形成するようにして、浮上安定
性のあるヘッド加工を可能とした薄膜磁気テープヘッド
に関する。
磁気テープ装置は磁気ヘッドを搭載し、該磁気ヘッドに
よりテープ上に、情報を書き込み／読み出しを行うもの
である。
よりテープ上に、情報を書き込み／読み出しを行うもの
である。
上記磁気ヘッドとして例えば、第４図に示すような磁気
テープ用ヘッドがある。図は磁気テープヘッドの組立体
を示し、記録へラドＷ、再生ヘッドＲのチップ１を組合
せて構成している。この時のリード信号にライトのノイ
ズがのらないように、シールド板２を介して一体化する
。
テープ用ヘッドがある。図は磁気テープヘッドの組立体
を示し、記録へラドＷ、再生ヘッドＲのチップ１を組合
せて構成している。この時のリード信号にライトのノイ
ズがのらないように、シールド板２を介して一体化する
。
なお、磁気テープ３の走行の安定性を保つ為に、磁気テ
ープ３が磁気ヘッド素子４部分の巻付は長さを、大きく
とるように磁気ヘッドのＲ面を覆うように走行する。な
おＲ面には磁気ヘッド素子４上に、磁気ヘッド素子４を
保護するカバー板５が接着されている。６は磁気ヘッド
を固定するフレームである。
ープ３が磁気ヘッド素子４部分の巻付は長さを、大きく
とるように磁気ヘッドのＲ面を覆うように走行する。な
おＲ面には磁気ヘッド素子４上に、磁気ヘッド素子４を
保護するカバー板５が接着されている。６は磁気ヘッド
を固定するフレームである。
磁気テープ３は、磁気ヘッドのＲ面を覆うように走行し
ているが、図示しないガイド系、テンションコントール
系のバネ等と接しているので、磁気テープ３に伝わった
それらの振動により、ヘッドの出力特性が不安定になり
易い。
ているが、図示しないガイド系、テンションコントール
系のバネ等と接しているので、磁気テープ３に伝わった
それらの振動により、ヘッドの出力特性が不安定になり
易い。
そこで、外部の振動Ｇこより特性が劣化しないような磁
気ヘッド構造が要望される。
気ヘッド構造が要望される。
従来、外部の振動により特性が劣化しないようにした磁
気ヘッドとして、第５図に示すような磁気ヘッドがある
。第５図は従来のアウトリガ−型磁気テープヘッドの断
面図である。
気ヘッドとして、第５図に示すような磁気ヘッドがある
。第５図は従来のアウトリガ−型磁気テープヘッドの断
面図である。
図は磁気テープヘッドのライト側のブロック８を示し、
該ブロック８の中にパーマロイ積層コア９とコア１０に
捲線を施したものを内蔵して構成している。
該ブロック８の中にパーマロイ積層コア９とコア１０に
捲線を施したものを内蔵して構成している。
磁気テープ３は磁気ヘッドのＲ面の２つの山１２．１３
と接して走行するが、磁気ヘッドの外部に生じた振動は
、最初の山１２で殆ど吸収され、振動が落ち付いた状態
でギャップでライト／リードされる（図はライトヘッド
Ｗを示す）。
と接して走行するが、磁気ヘッドの外部に生じた振動は
、最初の山１２で殆ど吸収され、振動が落ち付いた状態
でギャップでライト／リードされる（図はライトヘッド
Ｗを示す）。
ところが、最近は半導体技術を用いて、第６図に示すよ
うな薄膜磁気ヘッドが製作されている。
うな薄膜磁気ヘッドが製作されている。
第６図は従来の薄膜磁気ヘッドを説明する図である。図
において、磁気ヘッド素子４をチップ（アルミナ系セラ
ミック等の基板）■上にスパッタ技術、エツチング技術
を駆使して形成し、その上に基板と同じ材料のカバー板
５を接着層７で接着し、各チップ単位に切断し、切断面
の一部をＲ面加工して形成している。なお、カバー板５
は磁気ヘッド素子４を保護し、かつ磁気テープ３をスム
ーズに走行させる役目をして、長くテープを巻付けるよ
うにしている。
において、磁気ヘッド素子４をチップ（アルミナ系セラ
ミック等の基板）■上にスパッタ技術、エツチング技術
を駆使して形成し、その上に基板と同じ材料のカバー板
５を接着層７で接着し、各チップ単位に切断し、切断面
の一部をＲ面加工して形成している。なお、カバー板５
は磁気ヘッド素子４を保護し、かつ磁気テープ３をスム
ーズに走行させる役目をして、長くテープを巻付けるよ
うにしている。
第５図の従来のパーマロイ積層、捲線型ヘッドはアウト
リガ−形状で、磁気テープ３と２つの山で接しており、
磁気テープ３にのった外部振動を最初の山Ｃで吸収し、
振動の落ち付いた状態で、ギャップ部のある次の山ｄで
テープと接し、安定した特性を得ている。このヘッドは
、センサ部のディブスの精度等が１０μｍとそれほど厳
しくなく、その為成型研削加工でＲ面のアウトリガ−形
状の加工が出来る。
リガ−形状で、磁気テープ３と２つの山で接しており、
磁気テープ３にのった外部振動を最初の山Ｃで吸収し、
振動の落ち付いた状態で、ギャップ部のある次の山ｄで
テープと接し、安定した特性を得ている。このヘッドは
、センサ部のディブスの精度等が１０μｍとそれほど厳
しくなく、その為成型研削加工でＲ面のアウトリガ−形
状の加工が出来る。
しかし、このＲ面のアウトリガ−形状を第６図に示す薄
膜ヘッドで形成しようとした場合、薄膜磁気ヘッドでは
ディプスの精度が２μｍと厳しく、従来の５倍以上の精
度が要求される。この精度は従来の９面研削では出ない
為、ラップ加工でＲ面を仕上げて、精度を出す必要があ
る。
膜ヘッドで形成しようとした場合、薄膜磁気ヘッドでは
ディプスの精度が２μｍと厳しく、従来の５倍以上の精
度が要求される。この精度は従来の９面研削では出ない
為、ラップ加工でＲ面を仕上げて、精度を出す必要があ
る。
ところが、Ｒラップ加工を行うと従来のアウトリガ−の
形状が崩れてしまい、形成出来ないと云う問題点があっ
た。
形状が崩れてしまい、形成出来ないと云う問題点があっ
た。
ｃ問題点を解決するための手段〕
第１図は本発明の詳細な説明する図で、（イ）は本発明
の積層基板の断面図、（ロ）は本発明の薄膜磁気ヘッド
の断面図である。
の積層基板の断面図、（ロ）は本発明の薄膜磁気ヘッド
の断面図である。
第１図（イ）において、２枚のアルミナ系セラミック（
例えば、アルミナ・チタン・カーバイト）１２の間にガ
ラス１３をガラス接着し、多層基板１４を作る。ガラス
接着する技術は従来からあるので、詳細は省略するが、
接着層】５の厚みが一定になるように接着する。接着層
１５の厚さを含めたガラス部の厚さは、１．５ｍｍ程度
とする。（最終ヘッド形状により異なる） この多層基板１４を使用し、表面にスパッタ技術、エツ
チング技術により薄Ｈり磁気ヘッド素子１６を形成し、
該薄膜ヘッド素子１６上にカバー板１７を接着する。そ
の後、各薄膜磁気ヘッド１６単位に切断し、切断面の一
部を８面加工し、第１図（ロ）の形状とする。
例えば、アルミナ・チタン・カーバイト）１２の間にガ
ラス１３をガラス接着し、多層基板１４を作る。ガラス
接着する技術は従来からあるので、詳細は省略するが、
接着層】５の厚みが一定になるように接着する。接着層
１５の厚さを含めたガラス部の厚さは、１．５ｍｍ程度
とする。（最終ヘッド形状により異なる） この多層基板１４を使用し、表面にスパッタ技術、エツ
チング技術により薄Ｈり磁気ヘッド素子１６を形成し、
該薄膜ヘッド素子１６上にカバー板１７を接着する。そ
の後、各薄膜磁気ヘッド１６単位に切断し、切断面の一
部を８面加工し、第１図（ロ）の形状とする。
このＲ面をラップ加工する時に、材料によりラップ加工
速度が異なる。本発明はこの性質を利用して、従来のパ
ーマロイ積層、捲線型ヘッドのアウトリガ−形状に似せ
た加工を可能としている。
速度が異なる。本発明はこの性質を利用して、従来のパ
ーマロイ積層、捲線型ヘッドのアウトリガ−形状に似せ
た加工を可能としている。
即ち、多層基板１４はアルミナ系セラミックの硬い材料
の間に、ガラス１３が挟まれているので、磁気ヘッド素
子１６形成後に各磁気ヘッド素子１６単位に切断し、そ
の切断面の一部をＲ加工するランプ加工時に、材料の硬
度差によりガラス部が余計にラップされて凹み、テープ
と接触しない部分が形成出来る。
の間に、ガラス１３が挟まれているので、磁気ヘッド素
子１６形成後に各磁気ヘッド素子１６単位に切断し、そ
の切断面の一部をＲ加工するランプ加工時に、材料の硬
度差によりガラス部が余計にラップされて凹み、テープ
と接触しない部分が形成出来る。
このようにして、ヘッド部に２つの山ｅ、「が形成出来
ることにより、磁気テープ３の外部からの振動を最初の
山ｅで吸収し、振動の落ち付いた状態で、ギャップ部の
ある山「と接するので、安定した特性が得られる。
ることにより、磁気テープ３の外部からの振動を最初の
山ｅで吸収し、振動の落ち付いた状態で、ギャップ部の
ある山「と接するので、安定した特性が得られる。
〔実施例］
第２図は本発明の詳細な説明する図、第３図は本発明の
薄膜磁気ヘッドの製作プロセスを説明する図である。な
お、全図を通し同一符号は同一対象物を示す。
薄膜磁気ヘッドの製作プロセスを説明する図である。な
お、全図を通し同一符号は同一対象物を示す。
第２図は本発明の薄膜磁気テープヘッドを示し、図にお
いて、２はシールド板、６は８１％ヘッドを固定するフ
レーム、１２はアルミナ系セラミック、１３はガラスで
、約１．５ｍｍ厚とし、ガラス１３部を凹まし２つの山
形とする。この２つの山を持つ基板上に、磁気ヘッド素
子１６、カバー板Ｉ７を設けた薄膜磁気ヘッド１４とし
ている。
いて、２はシールド板、６は８１％ヘッドを固定するフ
レーム、１２はアルミナ系セラミック、１３はガラスで
、約１．５ｍｍ厚とし、ガラス１３部を凹まし２つの山
形とする。この２つの山を持つ基板上に、磁気ヘッド素
子１６、カバー板Ｉ７を設けた薄膜磁気ヘッド１４とし
ている。
以下に実施例として、アルミナ・チタン・カーバイト板
（アルミナ系セラミック）２枚とガラス板をガラス接着
した基板を使用し、ヘッド化した場合を説明する。
（アルミナ系セラミック）２枚とガラス板をガラス接着
した基板を使用し、ヘッド化した場合を説明する。
第３図はその製作プロセスを示す。図（イ）は２枚のア
ルミナ・チタン・カーバイト板１２の間に、ガラス板１
３をガラス接着し、図（ロ）のような多層基板１４を作
る。
ルミナ・チタン・カーバイト板１２の間に、ガラス板１
３をガラス接着し、図（ロ）のような多層基板１４を作
る。
該多層基板１４の上に薄膜技術により、図（ハ）のよう
に薄膜磁気ヘッド素子１６を形成する。
に薄膜磁気ヘッド素子１６を形成する。
その薄膜磁気ヘッド素子１６上に、基板と同じ硬い材料
のカバー板１７を、図（ニ）のように接着する。
のカバー板１７を、図（ニ）のように接着する。
図（ホ）に示すように各′ｐｉ膜磁気ヘッド素子１６単
位に切断（Ｘ、Ｙ方向）し、その切断面の一部を、図（
へ）のように８面加工する。
位に切断（Ｘ、Ｙ方向）し、その切断面の一部を、図（
へ）のように８面加工する。
この時８面はラップにより形成するが、材料の差により
、ガラス板１３は余計にラップされ、図（ト）に示すよ
うな磁気テープ３と接触しない部分２０が、形成出来る
。
、ガラス板１３は余計にラップされ、図（ト）に示すよ
うな磁気テープ３と接触しない部分２０が、形成出来る
。
なお、アルミナ・チタン・カーバイトとガラスのダイヤ
モンドパウダーを使用した時のラップ量は、図（チ）に
示すランプ定盤１９及び、パウダー、ラップ条件、ラン
プ面積に依存する。その−例として、１μｍダイヤモン
ドパウダー、アルミ定盤を使用した時のラップスピード
は、アルミ・チタン・カーバイト／ガラス−３〜４倍程
度であるが、パウダー径の関係から両者の段差は０．２
〜０．６μｍ程度におさまる（パウダー径の６０％程度
以下に収束する）。
モンドパウダーを使用した時のラップ量は、図（チ）に
示すランプ定盤１９及び、パウダー、ラップ条件、ラン
プ面積に依存する。その−例として、１μｍダイヤモン
ドパウダー、アルミ定盤を使用した時のラップスピード
は、アルミ・チタン・カーバイト／ガラス−３〜４倍程
度であるが、パウダー径の関係から両者の段差は０．２
〜０．６μｍ程度におさまる（パウダー径の６０％程度
以下に収束する）。
上記の薄膜磁気ヘッドと従来の薄膜磁気ヘッドと比較し
たところ、振動しない時に共に１０ｍｖの出力が得られ
たものが、何かの振動によって従来のものは４ｍｖに低
下したが、本発明のものは９ｍｖの出力が得られた。
たところ、振動しない時に共に１０ｍｖの出力が得られ
たものが、何かの振動によって従来のものは４ｍｖに低
下したが、本発明のものは９ｍｖの出力が得られた。
このように非接触部分２０を、ギヤツブ付近に設け２つ
の山ｅ、ｆを形成することにより、磁気テープ３の外部
振動が最初の山ｅで吸収され、振動の落ち付いた状態で
ギャップ部と接するので、安定した特性が得られる。
の山ｅ、ｆを形成することにより、磁気テープ３の外部
振動が最初の山ｅで吸収され、振動の落ち付いた状態で
ギャップ部と接するので、安定した特性が得られる。
以上説明したように本発明によれば、多層基板を使用し
、その上に薄膜チップを形成し、チップと直交する断面
のＲ形状を、ラップ特性を利用して形成することにより
、特性の安定したヘッドが得られる。
、その上に薄膜チップを形成し、チップと直交する断面
のＲ形状を、ラップ特性を利用して形成することにより
、特性の安定したヘッドが得られる。
第１図（イ）（ロ）は本発明の詳細な説明する図、
第２図は本発明の詳細な説明する図、
第３図（イ）〜（チ）は本発明の薄ｌＩ＃磁気ヘッドの
製作プロセスを説明する図、 第４図は従来の磁気テープヘッドを説明する図、第５図
は従来の磁気ヘッドのカーパイアウトリガ−を説明する
図、 第６図は従来の薄膜磁気ヘッドを説明する図である。 図において、 ２はシールド十反、 ３は磁気テープ、 Ｉ２はアルミナ系セラミック、 １３はガラス手反、 １４は多層基板、 １５は接着層、 １６は磁気ヘッド素子、 １７はカバー板、 １８はネジ、 １９はラップ定盤、 ２０は非接触部を示す。
製作プロセスを説明する図、 第４図は従来の磁気テープヘッドを説明する図、第５図
は従来の磁気ヘッドのカーパイアウトリガ−を説明する
図、 第６図は従来の薄膜磁気ヘッドを説明する図である。 図において、 ２はシールド十反、 ３は磁気テープ、 Ｉ２はアルミナ系セラミック、 １３はガラス手反、 １４は多層基板、 １５は接着層、 １６は磁気ヘッド素子、 １７はカバー板、 １８はネジ、 １９はラップ定盤、 ２０は非接触部を示す。
Claims (2)
- （１）セラミック基板（１２）２枚とガラス板（１３）
を、ガラス接着して形成した多層基板（１４）上に、磁
気ヘッド素子（１６）を設け、 さらに、その上に該磁気ヘッド素子（１６）を保護する
カバー板（１７）を接着するとともに、該基板（１４）
のテープ接触面に走行テープ（３）と接触しない凹部を
有することを特徴とする薄膜磁気テープヘッドの構造。 - （２）セラミック基板（１２）２枚とガラス板（１３）
を、ガラス接着して形成した多層基板（１４）上に形成
した磁気ヘッド素子（１６）上に、該磁気ヘッド素子（
１６）を保護する為のカバー板（１７）を接着した後、
切断により該磁気ヘッド素子（１６）を分離し、該切断
面の一部をＲ加工する際、前記多層基板（１４）の材料
間の加工スピード差を利用し、多層基板（１４）に凹部
を形成することを特徴とする薄膜磁気テープヘッドの加
工法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17287185A JPS6233315A (ja) | 1985-08-06 | 1985-08-06 | 薄膜磁気テ−プヘツドの構造及び加工法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17287185A JPS6233315A (ja) | 1985-08-06 | 1985-08-06 | 薄膜磁気テ−プヘツドの構造及び加工法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6233315A true JPS6233315A (ja) | 1987-02-13 |
Family
ID=15949846
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17287185A Pending JPS6233315A (ja) | 1985-08-06 | 1985-08-06 | 薄膜磁気テ−プヘツドの構造及び加工法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6233315A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH056509A (ja) * | 1991-03-25 | 1993-01-14 | Sharp Corp | 磁気記録再生装置 |
-
1985
- 1985-08-06 JP JP17287185A patent/JPS6233315A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH056509A (ja) * | 1991-03-25 | 1993-01-14 | Sharp Corp | 磁気記録再生装置 |
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